JPH056429B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH056429B2
JPH056429B2 JP58079412A JP7941283A JPH056429B2 JP H056429 B2 JPH056429 B2 JP H056429B2 JP 58079412 A JP58079412 A JP 58079412A JP 7941283 A JP7941283 A JP 7941283A JP H056429 B2 JPH056429 B2 JP H056429B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric body
electrodes
electrode
elastic body
impedance circuit
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP58079412A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59204481A (ja
Inventor
Kazuo Hakamata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Filing date
Publication date
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Priority to JP58079412A priority Critical patent/JPS59204481A/ja
Publication of JPS59204481A publication Critical patent/JPS59204481A/ja
Publication of JPH056429B2 publication Critical patent/JPH056429B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は超音波振動を利用した調音波モーター
の駆動を制御する装置に関するものである。
発明の背景 最近、「日経メカニカル」の1983年2月28日号
に超音波振動を利用した超音波モーター(以下超
音波モータと称す)というものが発表されてい
る。これに基づいて考えられる表面波モーターの
具体的構成例を以下に示す。
表面波モーターは全体としてリング状の形状を
しており、第1図に示すような構造をもつてい
る。同図において、5はリング状をした圧電体で
ある。電極6は圧電体5上に蒸着等により設けら
れ、やはりリング状をしている。圧電体5と電極
6については後で詳述する。電極4は圧電体5下
に電極6と同様にして設られ、リング状をしてい
る。弾性体2はやはりリング状をしており、導電
性を有する接着剤3によつて電極4の下面に接着
されている。以上、2〜6は弾性リングとして一
体となつている。ローター1はリング状に形成さ
れ、図中下方から不図示の部材により弾性体2の
下面に押しつけられている。そしてこのローター
1が弾性体2の下面をその円周方向に回転する。
このように、超音波モーターは、弾性体2とそ
れを励振して表面波を形成する圧電体5とから成
る弾性リング(固定子)8と、弾性体2に圧接さ
れるローター(可動子)1とから構成されてい
る。
前述した電極6は、第2図に示すように弾性体
2に生ずる屈曲振動の波長(λ)の1/2の長さ
に相当する部分6a〜6g,6i〜6oと、その
波長(λ)の1/4の長さに相当する部分6h
と、その波長(λ)の3/4の長さに相当する部
分6pに分割されており、6a〜6pの分割され
た各電極間はそれぞれ絶縁されている。6a〜6
g,6i〜6oの小電極群は導電性ペースト7に
より6a〜6gが1つの電極となるように、また
6i〜6oが1つの電極となるようにそれぞれ接
続されている。そして小電極群6a〜6gにはL
端子が設けられ、小電極群6i〜6oにはR端子
が設けられている。6pの電極は電極4と導伝性
ペースト7′により接続され、ここにG端子が設
けられている。G端子はグランドに接地された端
子である。尚、電極6の分割方法は以上の他にも
いろいろ考えられるものである。次に圧電体5に
ついて詳述する。
圧電体5の各電極6a〜6g,6i〜6oのそ
れぞれに対応する部分は、ペースト7により各電
極が接続される前に、この電極6a〜6g,6i
〜6oともう1つの電極4を用いて分極処理が施
され、圧電体5の各電極6a〜6g,6i〜6o
のそれぞれに対応する部分はそれぞれ互いに隣り
合う部分とは異なる分極方向を有する如く設けて
ある。第2図に示したは、圧電体5の各電極に
対応した部分が紙面に直角な一方向にそれぞれ分
極処理されていることを示している。また同図に
示した○†い蓮

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 電源部9と、インピーダンス可変回路12と
    を備えた超音波モーターの駆動制御装置であつ
    て、 超音波モーター11は、弾性体2とそれを励振
    する圧電体5から成る固定子8と、弾性体2に圧
    接される可動子1とから成り、圧電体5には第一
    電極6a〜6g及び第二電極6i〜6oが設けら
    れ、可動子1が弾性体2の表面に発生する超音波
    により駆動されるものであり、 電源部9は圧電体5に設けられた第一及び第二
    電極6a〜6g,6i〜6oにそれぞれ互いに位
    相の異なる交流電圧を印加して、弾性体2を励振
    させるものであり、 インピーダンス可変回路12は、電源部9によ
    り交流電圧の印加されない圧電体5の電極6h;
    6p′に接続され、インピーダンス可変回路のイン
    ピーダンスの大きさを変えてそこで消費するエネ
    ルギーを変化させることにより可動子1の移動速
    度を制御するものである超音波モーターの駆動制
    御装置。 2 インピーダンス可変回路12は、インダクタ
    ンス素子13と可変抵抗14とから構成され、イ
    ンダクタンス素子のインダクタンスは、接続され
    ている電極6h;6p′に対応する圧電体5の静電
    容量と電気的に共振するような値に選ばれている
    特許請求の範囲第1項記載の超音波モーターの駆
    動制御装置。
JP58079412A 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーターの駆動制御装置 Granted JPS59204481A (ja)

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JP58079412A JPS59204481A (ja) 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーターの駆動制御装置

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Publication Number Publication Date
JPS59204481A JPS59204481A (ja) 1984-11-19
JPH056429B2 true JPH056429B2 (ja) 1993-01-26

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0732609B2 (ja) * 1986-04-17 1995-04-10 松下電器産業株式会社 超音波モ−タ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5229192A (en) * 1975-09-01 1977-03-04 Ki Porichiefunichiesukii I Im Piezooelectric motor

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JPS5229192A (en) * 1975-09-01 1977-03-04 Ki Porichiefunichiesukii I Im Piezooelectric motor

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JPS59204481A (ja) 1984-11-19

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