JPH056430B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は超音波振動を利用した超音波モーター
（表面波モーター）に関するものである。

（発明の背景） 従来よりも最も一般的に用いられている、電磁
力を利用したモーターは、形状や材料に対する制
約が大きく、また、構造的にも巻き線や、小型で
高出力を得るために希土類の永久磁石を用いる
等、コスト的にも限界を有していた。

この様な状況に対し、従来よりの電磁式モータ
ーに代わる超音波モーターとして圧電素子等を用
いて弾性体表面に表面波を発生させ、この表面波
に圧接されたローターを駆動させる表面波型の超
音波モーター（以後、表面波モーターと呼ぶ）が
開発された。

このような表面波モーターＭの基本構成は第１
図ａ，ｂに示すように、圧電素子Ｐ（すなわち、
リング状圧電体１、リング状電極２、セグメント
電極群３）、弾性体（以後、弾性リングと称する）
６、移動体（以後、ローターと称する）７から成
り、そして、圧電素子Ｐと弾性リング６とは導電
性を有する接着剤５により接着されている。

第１図に示すリング状圧電体１はその一方の面
全体にリング状電極２がコートされており、その
他方の面にはセグメント電極群３がコートされて
いる。このセグメント電極群３は16個のセグメン
ト電極３ａ〜３ｐから構成されている。このセグ
メント電極３ａは円周方向3/4λの長さを有し
（λは屈曲振動波長）、その電極３ａから180度づ
れたセグメント電極３ｂは同様にλ/4の長さを有
する。このセグメント電極３ａと３ｂとの間に一
方の側にはλ/2の長さのセグメント電極３ｃ〜３
ｉが位置しており、他方の側にはλ/2の長さのセ
グメント電極３ｊ〜３ｐが位置している。各電極
３ｃ〜３ｉが接している圧電体１の各領域は隣接
する領域どうし分極方向が異なるように分極され
ている。例えば、セグメント電極３ｃが接してい
る圧電体１の領域と、セグメント電極３ｄが接し
ている圧電体１の領域とでは分極方向が逆になつ
ている。第１図ａにおいて、○†い

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 電源手段９と、比較手段１０と、交流電圧制
   御手段１１とを備えた超音波モーター用入力電圧
   制御装置であつて、 超音波モーターＭは、弾性体６とそれを励振す
   る圧電素子Ｐとから成る固定子２０と、弾性体６
   に圧接される可動子７とから成り、可動子７が弾
   性体６の表面に発生する超音波振動により駆動さ
   れるものであり、 電源手段９は、圧電素子Ｐに、互いに位相のず
   れた２つの入力交流電圧の印加する発振部９ａを
   備えるものであり、 比較手段１０は、圧電素子Ｐに印加される２つ
   の入力交流電圧を検出する検出部Ａ，Ｂを有し、
   検出された２つの入力交流電圧を比較するもので
   あり、 交流電圧制御手段１１は、比較手段１０の出力
   に応じて２つの入力交流電圧がほぼ等しくなるよ
   うに発振部９ａを制御するものである 超音波モーター用入力電圧制御装置。