JPS59204481A - 超音波モーターの駆動制御装置 - Google Patents

超音波モーターの駆動制御装置

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JPS59204481A
JPS59204481A JP58079412A JP7941283A JPS59204481A JP S59204481 A JPS59204481 A JP S59204481A JP 58079412 A JP58079412 A JP 58079412A JP 7941283 A JP7941283 A JP 7941283A JP S59204481 A JPS59204481 A JP S59204481A
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JP
Japan
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surface wave
wave motor
electrode
terminal
rotor
Prior art date
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JP58079412A
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English (en)
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JPH056429B2 (ja
Inventor
Kazuo Hakamata
和男 袴田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Nippon Kogaku KK
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Publication date
Application filed by Nikon Corp, Nippon Kogaku KK filed Critical Nikon Corp
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は表面波モーターの回転数を制御%する装uに関
するものである。
発明の背景 最近、「日独メカニカル」の1983年2月28日号に
超音波ヨ動を利用した表面波モーター(以下表面波モー
ターと称す)というものが発衣されている。これに基づ
いて考えられる表面波モーターの具体的構成例を以下に
示す。
表面波モーターは全体としてリング状の形状をしており
、第1図に示すような構造をもっている。同図において
、5はリング状をした圧′は体である。tイ、α6は圧
゛置体5上に蒸着等によシ設けられ、やはりリング状を
している。圧う2体5と電極6については後で詳述する
。ν゛を極4は圧電体5の下に′r;しd6と同様にし
て設けられ、リング状をしている。弾性体2はやはりリ
ング状をしており、導電性を有する接着剤3によって゛
1ル極4の下面に接着されている。以上、2〜6は弾性
リングとして一体となっている。ローター1はリング状
に形成され、図中下方から不1菌示の部材により弾1・
′を体2の下面に押しつけられている。そしてこのロー
ター1が弾性体2の下面をその円周方向に回転する。
前述した’tl+−heは、第2図に示すように弾性体
2に牛する屈曲振動の波長(λ)の172の長さに相当
する部分6a〜6 gz 61〜6oと、その波長(ス
)の1/4の長さに相当する部分6hと、その波長(λ
)の374の長さに相当する部分6pに分割されておシ
、6a〜6pの分割された各′α極間はそれぞれ絶縁さ
れている。61〜6g56’〜60の小電極群は導電性
ペースト7によシロa〜6gが1つの電極となるように
、また61〜60が1つの電極となるようにそれぞれ接
続されている。そして小電極群6亀〜6gにはL端子が
設けられ、小電極群61〜6GにはR端子が設けられて
いる。6pの電極は電極4と導伝性ペーストT′によシ
接続され、ここにG端子が設けられでいる。G端子はグ
ランドに接地された端子である。岡、電極6の分割方法
は以上の他にもいろいろ考えられるものである。次に圧
電体5について詳述する。
圧電体5の容態rfj、6 a 〜6 g、6量〜60
のそれぞれに対応する部分は、ペーストTによシ各電極
が接続される前に、この電極6&〜8g161〜6oと
もう1つの電4メ4を用いて分1メ処〕−川が施され、
圧・iff体5の各電極6a〜b gs b l〜6o
のそルぞれに対応する部分はそれぞれ互いに1メtシ合
う部分とは異なる分悩万回金有するμ[1く設けである
。第2図に示し友■は、王′Id体5の各’lu 旨に
対応した部分が紙面に直角な一方向にそれぞれ分極処理
されていることを示している。また同図に示した■は、
圧6体5の各′4諷に対応した部分が紙面に直角な他方
向にそれぞれ分極処理をれていることを示している。以
上のような(・4成の表面波モーターにおいては、R−
G端子間とL−G端子間に適当な周波数を選んで90°
位相の異なる交流イエを加えると弾性体2に屈曲賑動が
生じ、これによってローター1の回転が行なわれる。そ
してR−G。
L−Gの各端子間に加える電圧の大きざを変え九ば、こ
の端子間に加わる4源の周波数も変化し、ローター1の
弾性体2上での回転数も変化する。しかしながらこのよ
うな表面波モータは周波数によって各端子間のインピー
ダンスも変化するので、結局印加する゛ぺ圧の大きさに
よってモーターが最適回転になる周波数も変化すること
になシ、共振点がずれてしまい制御が困錐であるという
欠点を有する。
発明の目的 本発明はこれらの欠点を解決し、表面波モーターの回転
数全容易に制御できるようにすることを目的とする。
実施例 第3〜6図までは本発明の実力亀例である。
第3図は第1図、第2図と凹球に構成された表面波型モ
ータであって相違する部分は次の如くである。すなわち
、lE電体5の電極6hに対応する部分は、電極6tあ
るいは電極6gに対応する部分のいずれかと分極方向が
同方向になるよう分極処理されている。そして電極6h
が制御電極とされここに制御端子Cが設けである。伺、
この制御電極の形状は必ずしも6hのような形状でなけ
ればならないというものではなく、t1τ41り;]の
ように、3/4λの良さに相当する電極6pを6 p 
/ 、6 p //に分割し、6p′を刊7.t←に潅
に、6p#を端子Gに接続する“+ig、に用いる事も
可能である;、I¥5図は前述した衆面波モーターの制
御回路である。表面波モーター110R−G端子間及び
I、−G端子間には、900位相の異なる2相交流が電
源9よりコイル10mと10bをそれぞれ経由して印力
lされる。表面波モーターの端子Cは、インピーダンス
の大きさを変化することができるインピーダンス可使回
路12の一端に接続され、この回路120他端はグラン
ドにおとされている。インピーダンス可変回路12は、
たとえば第6図に示すようなインダクタンス13と可変
抵抗14の直列回路である。そしてこのような回路にし
た場合、インダクタンス13は表面波モーターのC−G
端子1司、詳しくは屯櫃6hと電極4の間の静゛4容計
と電気的に共振するよう力値に屑ばれる。
次にこのような装置において表面波モーター金制御する
動作を説明する。電源9が90゜位相のずれた一定の交
流電圧’1R−G、L−G端子間に印加する。すると弾
性体2に屈曲振動波が生ずる。この振動波発生中、印加
電圧を変えなければ各端子間に印加される周波数も、各
端子間のインピーダンスも一定に保たれる。したがって
ローター1の回転数も一定となる。この時、ローター1
が効率的に最もロスのない回転数、すなわち最適回転数
となるように電源9からの印加−i)?圧や周波数が設
定される。圧°5ル体5の電m6 hに対応する部分は
、圧11体5が振動波を発生するにともない伸縮され、
電極6hll?:接続された端子Cはこの伸縮に応じた
交流電圧を出力する。そしてここで出力された′FI力
はインピーダンス可変回路12で消費されることになる
。そしてインピーダンス可変回路12における可変抵抗
14の抵抗(直を変えてやればこの回路12で消費され
るエネルギーが変化する。
(7) R−C,L−Gのiy 4子を介してモータに加えられ
るエネルギーは印加′[電圧を変えないかぎり一定であ
るから、インピーダンス可変回1J512で消費される
エネルギーを変えてやれば、ローター1を回転させる為
に使われるエネルギーも変化し、結局ローター1の回転
数を変えることができる。このように本実施例ではモー
ターに印加される電圧を変えることなく、シたがって電
源の周波数や、L−G。
R−0間のインピーダンスを変化させることカ<、モー
ター(ローター1)の回転数を変えることができる。
また、第6図に示す可変抵抗14の抵抗値を外部からの
電気信号によ〕変えられるようにしてやっても同様な効
果が期待できる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、表面波モーターの回転数
の開側1が容易にできるという効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
(8) 第1図は表面波モーターの側面図、 第2図はその正面図、 第3図は本発明の実施例を示す正面図、第4図はその改
良例を示す正面図、 第5図は表面波モーターの回転制御回路、第6図はイン
ピーダンス可変回路の具体例を示す回路図である。 〔主要部分の符号の説明〕 1・・・ローター、2・・・弾性体、4・・・電極、5
・・・圧電体、6・・・電極、8・・・弾性リング、S
・・・2相交流電源、1 G !L+ 10 b・・・
インダクタンス、11・・・表面波モーター、12・・
・インピーダンス可変回路、13・・・インダクタンス
、14・・・可変抵抗 (9)          44

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 表面波モーターの電気的に使用されていない圧tg子を
    用いて、外部に任意のインピーダンス素子を接続し、そ
    の接続されたインピーダンス素子のインピーダンスの大
    きさを変化する事により回転数を制御(回転、停止を含
    む)する事を特徴とする表面波モーターの回転制御装置
JP58079412A 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーターの駆動制御装置 Granted JPS59204481A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58079412A JPS59204481A (ja) 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーターの駆動制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58079412A JPS59204481A (ja) 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーターの駆動制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59204481A true JPS59204481A (ja) 1984-11-19
JPH056429B2 JPH056429B2 (ja) 1993-01-26

Family

ID=13689144

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58079412A Granted JPS59204481A (ja) 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーターの駆動制御装置

Country Status (1)

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JP (1) JPS59204481A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62244284A (ja) * 1986-04-17 1987-10-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5229192A (en) * 1975-09-01 1977-03-04 Ki Porichiefunichiesukii I Im Piezooelectric motor

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5229192A (en) * 1975-09-01 1977-03-04 Ki Porichiefunichiesukii I Im Piezooelectric motor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62244284A (ja) * 1986-04-17 1987-10-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ

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Publication number Publication date
JPH056429B2 (ja) 1993-01-26

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