JPH0557262A - 石英管洗浄方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】特に一端が閉塞している石英管の洗浄を確実に
実施し、洗浄時間を短縮させ、洗浄液を有効に用いるこ
との出来る石英管洗浄方法及び装置を提供する。 【構成】石英管３を傾斜台６に挿入しストッパー５をセ
ットする。この時石英管の閉管部は洗浄槽の低位部に位
置させて入れる。次に給水管８より洗浄液を洗浄槽内に
供給する。洗浄液が石英管の中へ入らない程度に、洗浄
液の液面高さを一定レベルに（液面レベルＡ）調整す
る。セットした石英管を、回転ロール４により、一定時
間毎に回転させる。所定の時間洗浄した後、配水管７よ
り洗浄液２を貯液タンクに排出する。次に液面レベルＢ
まで洗浄液を供給し、石英管内外とも洗浄液に充分浸漬
する。所定時間浸漬後、上述と同様に洗浄液を排水し、
洗浄を終了する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、石英管洗浄方法及び装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体を製造する場合は、例えば拡散工
程、気相成長工程、熱処理工程など各種の工程で、直径
約１００〜２００ｍｍ、長さ２ｍ程度の石英管が多数使
用されている。このように多数の石英管が使用されるの
で、その石英管の清浄度の良否が半導体素子の品質、歩
留、信頼性等に大きな影響を与えることになり、石英管
の洗浄作業は、半導体素子の製造において極めて重要な
作業となる。

【０００３】石英管を洗浄する場合は、通常、石英管を
浸漬するのに十分な深さと長さを有する洗浄槽に洗浄液
を満し、この洗浄液の中に石英管を浸漬させ、所定の時
間放置して洗浄する方式が用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように石英管を洗浄する場合は石英管を洗浄液に浸漬
させて所定の時間放置して行なうのであるが、この方式
では、石英管の外周表面に付着している汚れを結果的に
石英管内に入れてしまうことになり、全体として十分な
洗浄度が得られない。

【０００５】更に従来の方法及び装置によると十分な清
浄度を得るためには、洗浄液の交換頻度を多くすること
を必要としかつ、洗浄時間が長くなってしまう。

【０００６】特に、一端が閉じている閉管については、
洗浄度向上を図るのが難しく特に問題となっていた。

【０００７】本発明の目的は、特に一端が閉塞している
石英管の洗浄を確実に実施し、洗浄時間を短縮させ、洗
浄液を有効に用いることの出来る石英管洗浄方法及び装
置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は石英管を
先づ外面だけを、その次に内外面共に洗浄し、石英管回
転用ローラーを設けたことにあり、それによって閉管の
洗浄効果を大幅に向上させたものである。

【０００９】即ち本発明の上記目的は、洗浄槽内に洗浄
液を満たし、該洗浄液に石英管を浸漬させて洗浄する石
英管洗浄方法において、当初石英管の外面のみを石英管
を回転させながら洗浄し、該外面の洗浄後洗浄液を交換
し、次いで石英管の内面に洗浄液を入れて、石英管を回
転させながら内外面共に洗浄することを特徴とする石英
管洗浄方法。

【００１０】及び洗浄液を入れる洗浄槽の該洗浄液内に
石英管を浸漬させて洗浄する石英管洗浄装置において、
前記洗浄槽内に前記石英管の周りを支持する台を設ける
とともに前記台に石英管を回転させるローラを上下に配
置し、液面レベルコントローラを有することを特徴とす
る石英管洗浄装置によって達成される。

【００１１】

【作用】本発明において、当初石英管の外面のみを石英
管を回転させながら洗浄するということは、石英管の汚
れは外面に多く付着しており、従来の様に浸漬すること
により外面の汚れをとった液が洗浄液を経由して内面に
入りこむことによって、内外面の汚れを平均化すること
を防ぐためで、外面のみを洗浄させる方法としては洗浄
槽の液面を石英管の開口位置よりも下に調整することに
よって得られるし、又開口部に栓を施してもよい。具体
的な一例としては洗浄液レベル計によって液面を調節
し、洗浄液が石英管内に入ることを防ぐ。

【００１２】本発明において、石英管を回転させながら
洗浄するということは、石英管の回転によって石英管外
面に接する洗浄液は断えず新しく交換されるので、洗浄
の能率がよくなる。

【００１３】本発明において、外面の洗浄後洗浄液を交
換するということは、外面を洗浄した洗浄液を排出し、
清浄な液に交換することを意味する。清浄な洗浄液にな
った後、始めて石英管の内面を洗浄するべく石英管の封
栓をあけるか、又は洗浄液面位を石英管以上の高さに設
定し、洗浄液を石英管内に入れ、更に回転させることに
よって石英管内の洗浄液は遠心力によって石英管内壁を
上昇し、石英管の中心部には清浄液が石英管に入り込む
ことにより洗浄を効果的に迅速に行うことが出来る。又
洗浄液を有効に使用することも出来る。

【００１４】石英管を回転させるには色々な装置が考え
られるが、その一つの例として石英管の周りを支持する
台を設け、前記台に石英管を回転させるローラを上下に
配置する装置を用いることが出来る。

【００１５】

【実施例】本発明の一実施例を図を用いて説明する。

【００１６】図１は、本発明の石英管洗浄装置の一実施
例を示す縦断面図である。この装置を用いて洗浄する場
合は、まづ石英管３を傾斜台６に挿入しストッパー５を
セットする。この時石英管の閉管部は洗浄槽の低位部に
位置させて入れる。次に給水管８より洗浄液を洗浄槽内
に供給する。洗浄液が石英管の口から中へ入らない程度
に、洗浄液の液面高さを一定レベルに（液面レベルＡ）
調整する。装置を自動化する場合は、液面レベルをフロ
ートスイッチでコントロールするとよい。

【００１７】セットした石英管を、回転ロール４によ
り、一定時間毎に回転させる。

【００１８】所定の時間洗浄を実施した後、排水管７よ
り洗浄液２を貯液タンクに排出する。

【００１９】次に洗浄液を液面レベルＢまで洗浄液を供
給し、石英管内外とも洗浄液に十分浸漬する。所定時間
浸漬後、上述と同様に洗浄液を排水する。

【００２０】図１に示す装置では洗浄装置を小型にし、
且つ洗浄液を有効に用いる方法を実現するために石英管
を斜めに設置したが、垂直にセットすることも可能であ
る。石英管の長さが５０ｃｍ以内の短い管の場合は、垂
直方式が洗浄内に多数本の石英管を同時にセットできる
点で有利である。

【００２１】

【発明の効果】本発明の石英管洗浄方法及び装置によ
り、(1) 石英管外周部が汚染されている石英管におい
て、石英管内部に外周部の汚れを取り込まないため、清
浄効果の高い洗浄が可能である。それによって信頼性の
高い高品質な半導体製品を作製できる。

【００２２】(2) 石英管を回転させながら洗浄するこ
とによって、洗浄液による効率的な洗浄が可能となり、
それによって、洗浄時間の短縮及び洗浄液の効率的利用
が可能となりコストの低減及び生産性の向上を得ること
が出来た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明は石英管洗浄方法及び装置の一実施例を
示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ 洗浄槽 ２ 洗浄液 ３ 石英管 ４ 回転ローラ ５ 石英管ストッパー ６ 傾斜台 ７ 排水管 ８ 給水管

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄槽内に洗浄液を満たし、該洗浄液に石
   英管を浸漬して洗浄する石英管洗浄方法において、当初
   石英管の外面のみを石英管を回転させながら洗浄し、そ
   の後洗浄液を排出して新たな洗浄液を洗浄槽内及び石英
   管の内面に洗浄液を入れて、石英管を回転させながら内
   外面共に洗浄することを特徴とする石英管洗浄方法。
2. 【請求項２】洗浄液を入れる洗浄槽の洗浄液内に石英管
   を浸漬させて洗浄する石英管洗浄装置において、前記洗
   浄槽内に前記石英管の周りを支持する台を設けるととも
   に前記台に石英管を回転させるローラを上下に配置し、
   液面レベルコントローラを有することを特徴とする石英
   管洗浄装置。