JPH0596260A - 石英チユーブ洗浄機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】洗浄槽内に反応生成物が残存しないようにし
て、パーティクルの発生を防止する。 【構成】洗浄槽１１と、該洗浄槽１１に取り付けられて
石英チューブを回転するための回転機構１６と、前記洗
浄槽１１に純水を供給する第１注水管１３ａ及び第２注
水管１３ｂとを備えている。そして、前記洗浄槽１１の
底面１２には排水口１５が設けられている。更に、前記
洗浄槽１１内の底部１２には反応生成物の逆流を防止す
るための逆流防止板１４が設けられている。加えて、該
逆流防止板１４上に沿って純水の流れを生成するように
該純水を洗浄槽１１に供給するための第３注水管１３ｃ
が設けられている。この結果、清い純水の流れを洗浄槽
１１内全体で生じさせることができ、反応生成物の残留
を防止する。また、前記逆流防止板１４上に清い純水の
流れを作り反応生成物の再付着を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造に用いら
れる石英チューブ洗浄機に関し、特に、反応生成物の除
去対策に係るものするものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の石英チューブ洗浄機は、図３に示
すように、材質が塩化ビニルである直方体の洗浄槽１が
設けられると共に、該洗浄槽１に純水を供給するための
２本の第１注水管２ａと第２注水管２ｂとが設けられて
いる。そして、該第１注水管２ａは、塩化ビニルのパイ
プであって、洗浄槽１の上部に取り付けられており、水
面に対して純水を水平に供給し、該純水が洗浄槽１をオ
ーバーフローするようにしている。一方、残りの１本の
第２注水管２ｂは、洗浄槽１の上方に取り付けられ、洗
浄時に用いるのではなく、予め洗浄前に純水を洗浄槽１
に張っておくために用いるものである。

【０００３】また、前記洗浄槽１内の底面４には、石英
チューブを回転洗浄させる一対の回転機構３が設けられ
ている。該各回転機構３は、モーターと、該モータの動
力を伝えるための組み合わせギアと、材質が塩化ビニル
の回転軸、材質が塩化ビニルの回転板と、材質が塩化ビ
ニルの軸受けとから構成されている。そして、前記１本
の回転軸は、両側部に回転板がそれぞれ１枚ずつ固定さ
れると共に、軸受けで支えられている。

【０００４】また、前記洗浄槽１の底面４においては、
図４に示すように、排水口は形成されていない。

【０００５】次に、前記石英チューブ洗浄機の洗浄動作
について説明する。

【０００６】先ず、薬液で洗浄された石英チューブをエ
レベーターで洗浄槽１に収納する。その際、石英チュー
ブを洗浄槽１に収納する前に石英チューブが上部まで浸
漬するように純水を第２注水管２ｂより洗浄槽１に供給
しておく。

【０００７】続いて、前記石英チューブ全体を洗浄槽１
に収納し終わると、第１注水管２ａにより注水を行う。

【０００８】そして、該第１注水管２ａの注水によるオ
ーバーフローのみで純水が入れ替わると共に、回転機構
３により石英チューブを回転させて該石英チューブを洗
浄している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の石英チューブ洗浄機では、洗浄槽１に排水口が
設けられておらず、オーバーフローのみで純水を入れ替
えているため、洗浄槽１内における主な純水の流れは水
面近くでのみ行われるという問題があった。従って、Ｃ
ＶＤなどの堆積膜をエッチングした後、洗浄槽１で石英
チューブを洗浄した場合、反応生成物が排出されず、洗
浄槽１の底面４に溜ることなる。

【００１０】この結果、一旦洗浄した反応生成物が再度
石英チューブに付着することになり、この反応生成物が
再付着した石英チューブを製品処理に使用すると、この
付着していた残存反応生成物が製品処理中に石英チュー
ブから剥がれて、パーティクル発生の原因となる。つま
り、製品処理への妨げとなるという問題があった。

【００１１】本発明は、斯かる点に鑑みてなされたもの
で、洗浄槽内の底面等に反応生成物が残存しないように
して、パーティクルの発生を防止することを目的とする
ものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明が講じた手段は、反応生成物が逆流するこ
となく洗浄槽の底部より排出されるようにしたものであ
る。

【００１３】具体的に、本発明が講じた手段は、先ず、
石英チューブを洗浄するための洗浄槽と、該洗浄槽に取
り付けられて石英チューブを回転するための回転機構
と、前記洗浄槽に純水を供給する第１注水管及び第２注
水管とを備えた石英チューブ洗浄機を前提としている。

【００１４】そして、前記洗浄槽の底面には排水口が設
けられている。更に、前記洗浄槽内の底部には反応生成
物の逆流を防止するための逆流防止板が設けられてい
る。加えて、該逆流防止板上に沿って純水の流れを生成
するように該純水を洗浄槽に供給するための第３注水管
が設けられた構成としている。

【００１５】

【作用】前記の構成により、本発明の石英チューブ洗浄
機では、純水が貯溜された洗浄槽内に石英チューブを収
納した後、第１注水管より純水を供給すると共に、第３
注水管より純水を供給して逆流防止板上に純水の流れを
生成している。そして、前記洗浄槽内の純水は底面の排
水口より排出される。

【００１６】この状態において、回転機構を駆動して石
英チューブを回転し、該石英チューブを洗浄することに
より、石英チューブより除去された反応生成物が逆流す
ることなく、前記排水口より排出される。

【００１７】この結果、ＣＶＤなどでエッチングされた
反応生成物が洗浄槽の底部に堆積することがなく、一度
洗浄した反応生成物が再度石英チューブに付着する二次
的汚染を防止することができる。これにより石英チュー
ブに付着していた残存反応生成物が製品処理中にはがれ
ることによるパーティクルの発生を確実に防ぐことがで
きる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１９】図１は、本発明の石英チューブ洗浄機にお
ける側面視の概略構成を示し、図２は、石英チューブ洗
浄機の底面の概略構成を示している。

【００２０】この図１に示すように、石英チューブ洗浄
機は、洗浄槽１１と、３つの第１注水管１３ａ、第２注
水管１３ｂ及び第３注水管１３ｃと、逆流防止板１４
と、排水口１５と、回転機構１６とを備えて構成されて
いる。

【００２１】該洗浄槽１１は、石英チューブを洗浄する
純水を貯溜するものであって、奥行きが400mm に、幅が
3450mmに、深さが500mm に形成されており、材質が塩化
ビニルで構成されている。そして、石英チューブは洗浄
槽１１の上部から収納されるようになっている。

【００２２】また、逆流防止板１４は、洗浄槽１１内の
底部に設けれて反応生成物の逆流を防止するものであっ
て、奥行きが340mm に、幅が3450mmに形成されている。
そして、該逆流防止板１４は、洗浄槽１１の両側端に亘
って取り付けられると共に、長辺の一辺が洗浄槽１１の
側壁に連接された連接端になり、一方、長辺の他辺が自
由端になっており、この自由端と洗浄槽１１の側壁との
間に100mm の間隔が形成されている。更に、逆流防止板
１４は、自由端が連接端より300mm 下に位置して連接端
から自由端に向って下向きの勾配に形成されている。

【００２３】また、前記３本の注水管１３ａ，１３ｂ，
１３ｃは、洗浄槽１１に純水を供給するためのものであ
って、第１注水管１３ａは、直径が30mm、長さが3300mm
の塩化ビニル管で構成されており、側面に直径が２mmの
注水孔が20mmの間隔で開設されている。更に、第１注水
管１３ａは、洗浄槽１１の上部であって逆流防止板１４
の連接端の上方に位置して取り付けられ、水面に対して
水平に純水を供給するように構成されている。そして、
該第１注水管１３ａを洗浄槽１１の上部に取り付けた理
由は、除去された反応生成物を純水がオーバーフローす
ることにより洗浄槽１１外に排出して、反応生成物を含
んだ純水から石英チューブが汚染するのを防止するため
である。

【００２４】また、第２注水管１３ｂは、洗浄槽１１の
上方に取り付けられ、洗浄時に用いるのではなく、予め
洗浄前に純水を洗浄槽１１に張っておくために用いるも
のである。

【００２５】また、第３注水管１３ｃは、第１注水管１
３ａの下方に位置し、且つ石英チューブと平行に位置す
るように前記逆流防止板１４における連接端に沿って取
り付けられている。該第３注水管１３ｃは、逆流防止板
１４に沿って流れる純水の流れを生成し、逆流防止板１
４上に溜まった反応生成物を洗浄槽１１の底面の排水口
１５に排水する為の流れを生成するようになっている。
そして、該第３注水管１３ｃを逆流防止板１４の連接端
に沿って設けた理由は、洗浄水が万が一洗浄槽１１の側
壁にあたり、反応生成物を含む汚染された洗浄水が水面
上に巻き上げられても、オーバーフローの流れにより除
去される為である。

【００２６】また、回転機構１６は、逆流防止板１４上
に一対設けられて、石英チューブを回転洗浄させるもの
であって、該各回転機構１６は、モーターと、該モータ
の動力を伝えるための組み合わせギアと、材質が塩化ビ
ニルの回転軸、材質が塩化ビニルの回転板と、材質が塩
化ビニルの軸受けとから構成されている。そして、前記
１本の回転軸は、両側部に回転板がそれぞれ１枚ずつ固
定されると共に、軸受けで支えられている。更に、石英
チューブを安定して支えるために、石英チューブと回転
板の接触する高さが同じになるよう一方の回転機構１６
における軸受けの長さが長く形成されている。

【００２７】また、前記排水口１５は、図２に示すよう
に、洗浄槽１１の底面１２に形成されており、直径が30
mmの大径排水口１５ａと、直径が20mmの小径排水口１５
ｂとより構成されている。

【００２８】該大径排水口１５ａは、洗浄槽底面１２に
おける奥行き方向の短辺と幅方向の長辺とに接するよう
に開設された隅角部の大径排水口１５ａを基準とし、両
長辺に沿って60mmの中心間隔を存して開設されている。
そして、該大径排水口１５ａを洗浄槽底面１２の全ての
辺に接するように開設した理由は、洗浄槽１１内の全内
周端部に純水の流れを生成するためである。これは、洗
浄槽１１内において、単に、排水口を洗浄槽底面１２の
中央部に開設したのでは、中央部から内周端部にいくに
したがって、純水の流れが少なく、反応生成物が溜りや
すくなるからである。

【００２９】一方、前記小径排水口１５ｂは、奥行き方
向に対する垂直２等分線上に位置し、奥行き方向の短辺
に接するように開設された両側端の小径排水口１５ｂを
基準とし、垂直２等分線上に40mmの中心間隔を存して86
個開設されている。ただし、中央部に位置する43番目と
44番目との小径排水口１５ｂの中心間隔距離Ｌのみが50
mmに設定されている。

【００３０】換言すると、前記各排水口１５ａ，１５ｂ
は、洗浄槽底部１２の中心（奥行き方向と幅方向との中
心）を通る奥行き方向の線を中心線とした線対称形に形
成されている。

【００３１】また、２種類の各排水口１５ａ，１５ｂは
必要に応じて開閉可能に構成されており、また、前記第
１注水管１３ａ及び第３注水管１３ｃは、各排水口１５
ａ，１５ｂからの排水量よりも多い純水を洗浄槽１１に
供給するように構成されている。

【００３２】一方また、前記大径排水口１５ａを両長辺
に沿って開設した理由は、単に、同径の排水口を複数開
設したのでは、洗浄槽１１の中央部から内周端部にいく
にしたがって純水の流れが鈍くなり、純水中に反応生成
物が浮遊しやすくなる。そこで、大径排水口１５ａを両
長辺に沿って開設することにより、洗浄槽１１の内周端
部に純水の流れがおこり、反応生成物の浮遊を防いでい
る。

【００３３】以上のように、本発明の特徴とする従来技
術との構成上の相違点は、形状の異なる大径排水口１５
ａと小径排水口１５ｂとを洗浄槽底部１２に多数開設し
ている点、反応生成物の逆流を防止するための逆流防止
板１４を備えている点、逆流防止板１４上に反応生成物
を含んでいない清い純水の流れを生成するための第３注
水管１３ｃを備えている点である。

【００３４】次に、本発明の石英チューブ洗浄機の洗浄
動作について説明する。

【００３５】先ず、薬液で洗浄された石英チューブをエ
レベーターで洗浄槽１１に収納する。その際、石英チュ
ーブを洗浄槽１１に収納する前に石英チューブが上部ま
で浸漬するように純水を第２注水管１３ｂより洗浄槽１
１に供給しておく。

【００３６】続いて、前記石英チューブ全体を洗浄槽１
１に収納し終わると、第１注水管１３ａにより注水を行
うと共に、第３注水管１３ｃより注水を行う一方、洗浄
槽１１内の純水はオーバーフローすると同時に、底面１
２の各排水口１５ａ，１５ｂより排出されている。ただ
し、注水量のほうが排水量より多くしている。

【００３７】そして、回転機構１６により石英チューブ
を回転させて該石英チューブを洗浄している。

【００３８】このように、従来の石英チューブ洗浄機で
は洗浄槽１の水面でのみ純水の流れが生成されていた
が、本実施例の石英チューブ洗浄機では洗浄槽１１内の
上部から下部に流れる純水の流れが生じ、洗浄槽１１内
全体に純水の流れが生じることになる。また、従来で
は、洗浄槽底部４に反応生成物が堆積したが、本実施例
のでは、反応生成物が堆積することなく各排出口１５
ａ，１５ｂより排出されることになる。

【００３９】従って、従来においては洗浄槽１内の純水
をオーバーフローさせることにより水面上部の反応生成
物を取り除くことしかできなかったのに対して、洗浄槽
１１の底部１２に大径排水口１５ａ及び小径排水口１５
ｂを開設する一方、洗浄のための純水を第１注水管１３
ａから供給することによって、洗浄槽底部１２に残存し
た反応生成物を確実に除去することができる。

【００４０】また、逆流防止板１４と逆流防止板１４上
に清い純水の流れを作るための第３注水管１３ｃを設け
ることにより、石英チューブから除去された反応生成物
が再度付着するという２次的汚染を確実に防止すること
ができる。

【００４１】更に、洗浄槽底部１２に残存した反応生成
物を除去するだけでなく、従来では生じなかった洗浄槽
１１内における上部から下部に流れる清い純水の流れを
生じさせることができ、且つ洗浄槽１１内全体に純水の
流れを生じさせることができることから、純水中に浮遊
していた反応生成物を除去できることができる。この結
果、エレベーターで石英チューブを洗浄槽１１より引き
上げた際に、再度反応生成物が石英チューブに付着する
ことがないので、製品を処理したときにパーティクルの
発生を確実に防止することができる。

【００４２】その上、各排水口１５ａ，１５ｂより排水
することにより、常に新しい清い純水で石英チューブを
洗浄することができので、短時間で洗浄を終了すること
ができる。このことにより、メンテナンスに要する時間
を短縮することができる。

【００４３】

【発明の効果】本発明では、洗浄槽の底部に排水口を開
設したために、第１注水管から純水を供給することによ
って、洗浄槽底部に残存した反応生成物を排水口より確
実に除去することができる。

【００４４】また、逆流防止板と該逆流防止板上に純水
の流れを作るための第３注水管とを設けたために、石英
チューブから除去された反応生成物が再度付着するとい
う２次的汚染を確実に防止することができる。

【００４５】更に、洗浄槽内の上部から下部に流れる清
い純水の流れを生じさせることができ、且つ洗浄槽内全
体に純水の流れを生じさせることができることから、純
水中に浮遊していた反応生成物を除去できることができ
る。この結果、石英チューブを洗浄槽より引き上げた際
に、再度反応生成物が石英チューブに付着することがな
いので、製品を処理したときにパーティクルの発生を確
実に防止することができる。

【００４６】その上、オーバーフローの他に排水口より
排水するので、常に新しい清い純水で石英チューブを洗
浄することができることから、短時間で洗浄を終了する
ことができ、メンテナンスに要する時間を短縮すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の石英チューブ洗浄機の側面断面図であ
る。

【図２】本発明の洗浄槽底部の平面断面図である。

【図３】従来の石英チューブ洗浄機の側面断面図であ
る。

【図４】従来の洗浄槽底部の平面断面図である。

【符号の説明】

１１ 洗浄槽 １２ 底面 １３ａ 第１注水管 １３ｂ 第２注水管 １３ｃ 第３注水管 １４ 逆流防止板 １５ 排水口 １５ａ 大径排水口 １５ｂ 小径排水口 １６ 回転機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 石英チューブを洗浄するための洗浄槽
   と、 該洗浄槽に取り付けられて石英チューブを回転するため
   の回転機構と、 前記洗浄槽に純水を供給する第１注水管及び第２注水管
   とを備えた石英チューブ洗浄機において、 前記洗浄槽の底面に設けられた排水口と、 前記洗浄槽内の底部に設けられて反応生成物の逆流を防
   止するための逆流防止板と、 該逆流防止板上に沿って純水の流れを生成するように該
   純水を洗浄槽に供給するための第３注水管とを備えてい
   ることを特徴とする石英チューブ洗浄機。