JPH0554126A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JPH0554126A JPH0554126A JP3216905A JP21690591A JPH0554126A JP H0554126 A JPH0554126 A JP H0554126A JP 3216905 A JP3216905 A JP 3216905A JP 21690591 A JP21690591 A JP 21690591A JP H0554126 A JPH0554126 A JP H0554126A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】検査データを格納する高速メモリＸ９、高速メ
モリＹ１０及び、メモリＡ１４、メモリＢ１５を設け、
検査中に、未使用のメモリに、磁気ディスク１３から、
次に検査する品名の検査データを転送する。 【効果】検査中に、検査データの転送を並行して、行う
ことにより、検査タクトを高速化できる。
モリＹ１０及び、メモリＡ１４、メモリＢ１５を設け、
検査中に、未使用のメモリに、磁気ディスク１３から、
次に検査する品名の検査データを転送する。 【効果】検査中に、検査データの転送を並行して、行う
ことにより、検査タクトを高速化できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査装置における検査
データの転送に関する。
データの転送に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の検査装置としては、ＩＥＥＥ ln
t．Ｗorkshop on Ｍachine Ｕisionand Ｍachine Ｉnte
lligence，pp346−351（1987） “Ａutomated Ｐattern Ｉnspection for Ｕnbaked Ｌa
yers of Ｍulti-ＬayerＣeramic Ｓubstrate”で記載さ
れている如く、パターンの連結関係を、設計情報（検査
データ）と検出結果とを比較照合する方法を採用してい
る例がある。
t．Ｗorkshop on Ｍachine Ｕisionand Ｍachine Ｉnte
lligence，pp346−351（1987） “Ａutomated Ｐattern Ｉnspection for Ｕnbaked Ｌa
yers of Ｍulti-ＬayerＣeramic Ｓubstrate”で記載さ
れている如く、パターンの連結関係を、設計情報（検査
データ）と検出結果とを比較照合する方法を採用してい
る例がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術は、検査デー
タの呼び出し時間については、考慮されておらず、画像
情報の如く大規模な検査データの場合は、検査データを
大容量外部記憶装置から呼び出すのに、正味の検査時間
に比べ、大くの時間がかかり、検査能力を示す検査タク
ト（被検査物１枚当りの検査作業時間）が長くなる問題
がある。
タの呼び出し時間については、考慮されておらず、画像
情報の如く大規模な検査データの場合は、検査データを
大容量外部記憶装置から呼び出すのに、正味の検査時間
に比べ、大くの時間がかかり、検査能力を示す検査タク
ト（被検査物１枚当りの検査作業時間）が長くなる問題
がある。
【０００４】本発明は、検査装置が、検査データの呼み
出し時間により、検査タクトが長くならないようにする
ことを目的とする。
出し時間により、検査タクトが長くならないようにする
ことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】１．上記目的を達成する
ために、本発明の検査装置は、被検査物の検査データを
１品名分、格納できる高速メモリを２式以上、もち、被
検査物及び検査データをあらかじめ、予約蓄積すること
により、検査実行中に、大容量外部記憶装置から、次に
検査する品名の検査データを、未使用の高速メモリに、
転送することにより、実効的に、検査タクトの高速化を
行うものである。
ために、本発明の検査装置は、被検査物の検査データを
１品名分、格納できる高速メモリを２式以上、もち、被
検査物及び検査データをあらかじめ、予約蓄積すること
により、検査実行中に、大容量外部記憶装置から、次に
検査する品名の検査データを、未使用の高速メモリに、
転送することにより、実効的に、検査タクトの高速化を
行うものである。
【０００６】２．上記目的を達成するために、本発明の
検査装置は、被検査物の検査データを、単一検査ブロッ
ク分を格納できる高速メモリを、２式以上もち、検査実
行中に、大容量外部記憶装置から、次に検査するブロッ
クの検査データを、未使用の高速メモリに転送すること
により、実効的に検査タクトの高速化を行うものであ
る。
検査装置は、被検査物の検査データを、単一検査ブロッ
ク分を格納できる高速メモリを、２式以上もち、検査実
行中に、大容量外部記憶装置から、次に検査するブロッ
クの検査データを、未使用の高速メモリに転送すること
により、実効的に検査タクトの高速化を行うものであ
る。
【０００７】
【作用】本発明は上記した手段により、検査データの呼
び出しを、検査実行中に、並列に行えるので、実効的に
検査タクトの短縮を行うことができる。
び出しを、検査実行中に、並列に行えるので、実効的に
検査タクトの短縮を行うことができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図７により
説明する。
説明する。
【０００９】図１は、グリーンシートに種々のパターン
を印刷した被検査物１の４種の例を示す図である。Ａは
品名Ａ、Ｂは品名Ｂ、Ｃは品名Ｃ、Ｄは品名Ｄを示し、
各々異なるパターンが印刷されている。
を印刷した被検査物１の４種の例を示す図である。Ａは
品名Ａ、Ｂは品名Ｂ、Ｃは品名Ｃ、Ｄは品名Ｄを示し、
各々異なるパターンが印刷されている。
【００１０】図２は、従来のパターン検査装置で、図１
で示した品名Ａ、品名Ｂ、品名Ｃ、品名Ｄのグリーンシ
ートを連続に検査した場合の検査タイミングチャートを
示す。
で示した品名Ａ、品名Ｂ、品名Ｃ、品名Ｄのグリーンシ
ートを連続に検査した場合の検査タイミングチャートを
示す。
【００１１】動作は、まず、外部磁気ディスク記憶装置
から、品名Ａの検査データを呼び出し、パターン検査装
置の高速メモリ２に転送後、品名Ａのシートの検査を開
始する。品名Ａの検査後、品名Ｂの検査データを呼び出
し、以後、同様の動作を繰り返す。従って、この場合、
グリーンシート１枚当りの所要検査タクトは、検査デー
タ転送時間ＴD＋検査時間ＴKとなる。
から、品名Ａの検査データを呼び出し、パターン検査装
置の高速メモリ２に転送後、品名Ａのシートの検査を開
始する。品名Ａの検査後、品名Ｂの検査データを呼び出
し、以後、同様の動作を繰り返す。従って、この場合、
グリーンシート１枚当りの所要検査タクトは、検査デー
タ転送時間ＴD＋検査時間ＴKとなる。
【００１２】図４は、本発明の一実施例のパターン検査
装置の構成を示す図である。
装置の構成を示す図である。
【００１３】ＸＹテーブル３上に被検査物１のグリーン
シートが置かれている。その上方には、パターン検出用
レンズ４とＣＣＤセンサ５がある。ＣＣＤセンサ５の出
力は、画像処理回路６に接続され、アナログ／デジタル
変換、シェーディング補正、２値化処理が行なわれ、２
値画像データの出力を得る。この出力は、比較回路７の
入力となる。この比較回路７のもう一方の入力には高速
メモリ出力切換回路８に接続されている。高速メモリ出
力切換回路８は、高速メモリＸ９又は高速メモリＹ１０
のいずれかの出力に、接続されている。高速メモリＸ９
及び高速メモリＹ１０の入力側は、高速メモリ入力切換
回路１１に接続され、その入力側はマイコン１２に接続
されている。
シートが置かれている。その上方には、パターン検出用
レンズ４とＣＣＤセンサ５がある。ＣＣＤセンサ５の出
力は、画像処理回路６に接続され、アナログ／デジタル
変換、シェーディング補正、２値化処理が行なわれ、２
値画像データの出力を得る。この出力は、比較回路７の
入力となる。この比較回路７のもう一方の入力には高速
メモリ出力切換回路８に接続されている。高速メモリ出
力切換回路８は、高速メモリＸ９又は高速メモリＹ１０
のいずれかの出力に、接続されている。高速メモリＸ９
及び高速メモリＹ１０の入力側は、高速メモリ入力切換
回路１１に接続され、その入力側はマイコン１２に接続
されている。
【００１４】前記比較回路７の出力は、マイコン１２に
接続されている。さらに、前記ＸＹテーブル３及び、磁
気ディスク１３、メモリＡ１４、メモリＢ１５がマイコ
ン１２に接続している。
接続されている。さらに、前記ＸＹテーブル３及び、磁
気ディスク１３、メモリＡ１４、メモリＢ１５がマイコ
ン１２に接続している。
【００１５】一方、品名読取ステージ２１上には、次に
検査するグリーンシートがあり、その上方には、品名読
取ユニット２２がある。品名読取ステージ２１とＸＹテ
ーブル３間には、被検査物１を移動させるロボット２３
がある。ロボット２３、品名読取ステージ２１、品名読
取ユニット２２は、マイコン１２に接続している。
検査するグリーンシートがあり、その上方には、品名読
取ユニット２２がある。品名読取ステージ２１とＸＹテ
ーブル３間には、被検査物１を移動させるロボット２３
がある。ロボット２３、品名読取ステージ２１、品名読
取ユニット２２は、マイコン１２に接続している。
【００１６】次に動作について説明する。
【００１７】まず、品名読取ステージ２１にセットされ
た被検査物１の品名を品名読取ユニット２２で読み取
り、マイコン１２は、品名を認識し、磁気ディスク１３
より、検査データを読み出し、検査位置データをメモリ
Ａに、検査画像データを高速メモリＸ９に転送し、格納
する。一方、被検査物１は、移動ロボット２３により、
品名読取ステージ２１から、ＸＹテーブル３に、移動さ
せられる。検査データ及び被検査物１の準備が完了した
時点で、検査を開始する。メモリＡの検査位置データに
より、ＸＹテーブル３を所定位置に移動させ、ＣＣＤセ
ンサ５により、画像検出する。検出された画像は、画像
処理回路６により、２値の画像データとなる。一方、高
速メモリＸ９にある検査画像データと検出した２値画像
データを、比較回路７により、比較し、異なる部分を欠
陥として検出する。その出力により、マイコン１２は、
欠陥を検知できる。
た被検査物１の品名を品名読取ユニット２２で読み取
り、マイコン１２は、品名を認識し、磁気ディスク１３
より、検査データを読み出し、検査位置データをメモリ
Ａに、検査画像データを高速メモリＸ９に転送し、格納
する。一方、被検査物１は、移動ロボット２３により、
品名読取ステージ２１から、ＸＹテーブル３に、移動さ
せられる。検査データ及び被検査物１の準備が完了した
時点で、検査を開始する。メモリＡの検査位置データに
より、ＸＹテーブル３を所定位置に移動させ、ＣＣＤセ
ンサ５により、画像検出する。検出された画像は、画像
処理回路６により、２値の画像データとなる。一方、高
速メモリＸ９にある検査画像データと検出した２値画像
データを、比較回路７により、比較し、異なる部分を欠
陥として検出する。その出力により、マイコン１２は、
欠陥を検知できる。
【００１８】一方、被検査物１の検査を行っている間
に、次に検査する被検査物１を、品名読取ステージ２１
にセットし、品名を読み取り、磁気ディスク１３より、
次に検査する品名の検査データを読み出し、検査位置デ
ータをメモリＢに、検査画像データを高速メモリＹ１０
に転送し格納する。次の品名を検査する場合は検査デー
タは既に、準備されているので、次の被検査物１がＸＹ
テーブル３にセットされ次第、検査が開始され、次の被
検査物の検査は、メモリＢの検査位置データと高速メモ
リＹ１０の検査画像データを用いて行う。この一連の動
作を被検査物が変わる毎にメモリを交互に切換して、く
り返す。
に、次に検査する被検査物１を、品名読取ステージ２１
にセットし、品名を読み取り、磁気ディスク１３より、
次に検査する品名の検査データを読み出し、検査位置デ
ータをメモリＢに、検査画像データを高速メモリＹ１０
に転送し格納する。次の品名を検査する場合は検査デー
タは既に、準備されているので、次の被検査物１がＸＹ
テーブル３にセットされ次第、検査が開始され、次の被
検査物の検査は、メモリＢの検査位置データと高速メモ
リＹ１０の検査画像データを用いて行う。この一連の動
作を被検査物が変わる毎にメモリを交互に切換して、く
り返す。
【００１９】この動作のタイミングチャートを第３図に
示す。
示す。
【００２０】まず、品名Ａの検査データを磁気ディスク
１３から読み出し後、品名Ａの検査を開始する。品名Ａ
の検査中に、次に検査する品名Ｂの検査データを磁気デ
ィスク１３から読み出しを行う。
１３から読み出し後、品名Ａの検査を開始する。品名Ａ
の検査中に、次に検査する品名Ｂの検査データを磁気デ
ィスク１３から読み出しを行う。
【００２１】以後、同様の処理を行うことにより、実効
的な検査タクトは検査時間ＴKとほぼ等しくなり、検査
データ転送時間を無視できる。
的な検査タクトは検査時間ＴKとほぼ等しくなり、検査
データ転送時間を無視できる。
【００２２】次に、本発明の別な実施例のパターン検査
装置を説明する。
装置を説明する。
【００２３】第５図は、被検査物１枚のパターンを、３
６のブロックに分け、検査データも、３６ブロックに分
けて、検査する場合の例を示す図である。
６のブロックに分け、検査データも、３６ブロックに分
けて、検査する場合の例を示す図である。
【００２４】図７は、本発明の別な実施例のパターン検
査装置の構成を示す図である。
査装置の構成を示す図である。
【００２５】ＸＹテーブル３上に、被検査物１のグリー
ンシートが置かれ、その上方には、パターン検出用のレ
ンズ４とＣＣＤセンサ５がある。ＣＣＤセンサ５の出力
は、画像処理回路６に接続され、アナログ／デジタル変
換、シェーディング補正、２値化処理を行なわれ、２値
画像データの出力を得る。この出力は、比較回路７の入
力となる。
ンシートが置かれ、その上方には、パターン検出用のレ
ンズ４とＣＣＤセンサ５がある。ＣＣＤセンサ５の出力
は、画像処理回路６に接続され、アナログ／デジタル変
換、シェーディング補正、２値化処理を行なわれ、２値
画像データの出力を得る。この出力は、比較回路７の入
力となる。
【００２６】この比較回路７のもう一方の入力には、高
速メモリ出力切換回路８に接続されている。高速メモリ
出力切換回路８は、高速メモリＸ９又は高速メモリＹ１
０のいずれかの出力に接続されている。高速メモリＸ９
及び高速メモリＹ１０の入力側は、高速メモリ入力切換
回路１１に接続され、その入力側は、マイコン１２に接
続されている。
速メモリ出力切換回路８に接続されている。高速メモリ
出力切換回路８は、高速メモリＸ９又は高速メモリＹ１
０のいずれかの出力に接続されている。高速メモリＸ９
及び高速メモリＹ１０の入力側は、高速メモリ入力切換
回路１１に接続され、その入力側は、マイコン１２に接
続されている。
【００２７】前記比較回路７の出力は、マイコン１２に
接続されている。さらに、前記ＸＹテーブル３もマイコ
ン１２に接続され、磁気ディスク１３もマイコン１２に
接続されている。
接続されている。さらに、前記ＸＹテーブル３もマイコ
ン１２に接続され、磁気ディスク１３もマイコン１２に
接続されている。
【００２８】又、マイコン１２には、メモリＡ１４とメ
モリＢ１５が接続されている。その動作は、まず被検査
物１の検査データの１ブロック分を磁気ディスク１３か
ら読み出し、検査位置データをメモリＡに、検査画像デ
ータを高速メモリＸ９に転送し、格納する。次にメモリ
Ａの検査位置データにより、ＸＹテーブル３を所定位置
に移動させ、ＣＣＤセンサ５により、画像を検出する。
検出された画像は、画像処理回路６により、２値の画像
データとなる。一方、高速メモリＸ９にある検査画像デ
ータと検出した２値の画像データを、比較回路７によ
り、比較し、異なる部分を欠陥として検出する。その出
力によりマイコン１２は、欠陥の有無を検知できる。
モリＢ１５が接続されている。その動作は、まず被検査
物１の検査データの１ブロック分を磁気ディスク１３か
ら読み出し、検査位置データをメモリＡに、検査画像デ
ータを高速メモリＸ９に転送し、格納する。次にメモリ
Ａの検査位置データにより、ＸＹテーブル３を所定位置
に移動させ、ＣＣＤセンサ５により、画像を検出する。
検出された画像は、画像処理回路６により、２値の画像
データとなる。一方、高速メモリＸ９にある検査画像デ
ータと検出した２値の画像データを、比較回路７によ
り、比較し、異なる部分を欠陥として検出する。その出
力によりマイコン１２は、欠陥の有無を検知できる。
【００２９】一方、被検査物１のブロック＃１の検査を
行っている間に、次に検査するブロック＃２の検査デー
タを磁気ディスク１３から、読み出し、検査位置データ
をメモリＢに、検査画像データを高速メモリＹ１０に転
送し格納する。次のブロック＃２の検査はメモリＢの検
査位置データと高速メモリＹ１０の検査画像データを用
いて、行う。この一連の動作をブロック毎に、メモリを
交互に切換して使用する。この動作のタイミングチャー
トを図６に示す。
行っている間に、次に検査するブロック＃２の検査デー
タを磁気ディスク１３から、読み出し、検査位置データ
をメモリＢに、検査画像データを高速メモリＹ１０に転
送し格納する。次のブロック＃２の検査はメモリＢの検
査位置データと高速メモリＹ１０の検査画像データを用
いて、行う。この一連の動作をブロック毎に、メモリを
交互に切換して使用する。この動作のタイミングチャー
トを図６に示す。
【００３０】まずブロック＃１の検査データを磁気ディ
スク１３から読み出し後、ブロック＃１の検査を開始す
る。ブロック＃１の検査中に、次に検査するブロック＃
２の検査データを磁気ディスク１３から読み出しを行
う。
スク１３から読み出し後、ブロック＃１の検査を開始す
る。ブロック＃１の検査中に、次に検査するブロック＃
２の検査データを磁気ディスク１３から読み出しを行
う。
【００３１】以後、同様な処理を行うことにより、実効
的な検査タクトは検査時間ＴKとほぼ等しくなり、検査
データ転送時間を無視できる。
的な検査タクトは検査時間ＴKとほぼ等しくなり、検査
データ転送時間を無視できる。
【００３２】
【発明の効果】１．本発明によれば、次に検査する品名
の検査データの転送と検査を並行して、実行できるの
で、多数の品名の被検査物の検査を行う場合、検査タク
トを早くすることができる。
の検査データの転送と検査を並行して、実行できるの
で、多数の品名の被検査物の検査を行う場合、検査タク
トを早くすることができる。
【００３３】２．本発明によれば、次に検査するブロッ
クの検査データの転送と検査を並行して、実行できるの
で、多数のブロックからなる被検査物の検査を行う場
合、検査タクトを早くすることができる。
クの検査データの転送と検査を並行して、実行できるの
で、多数のブロックからなる被検査物の検査を行う場
合、検査タクトを早くすることができる。
【図１】４種のパターンの被検査物を、上方から見た図
である。
である。
【図２】従来装置のタイミングチャート図である。
【図３】本発明の一実施例の装置のタイミングチャート
図である。
図である。
【図４】本発明の一実施例の装置の構成図である。
【図５】１枚の被検査物を上方から見た図である。
【図６】本発明の別な実施例の装置のタイミングチャー
ト図である。
ト図である。
【図７】本発明の別な実施例の装置の構成図である。
１…被検査物、 ６…画像処理回路、 ７…比較回路、 ８…高速メモリ出力切換回路、 ９…高速メモリＸ、 １０…高速メモリＹ、 １１…高速メモリ入力切換回路、 １２…マイコン、 １３…磁気ディスク、 １４…メモリＡ、 １５…メモリＢ、 ２２…品名読取ユニット、
Claims (2)
- 【請求項１】被検査物の検査データと被検査物の検出結
果を比較照合する検査装置において、被検査物の検査デ
ータを、１品名分格納できるメモリを、２式以上もち、
多量多品名の検査データを格納する外部記憶装置をも
ち、次に検査する品名を予約入力できる手段を有して、
検査実行中に、未使用のメモリに、次に検査する品名の
被検査物の検査データを格納する手段を有し、次の品名
の検査時、前記、次の検査データを格納したメモリか
ら、検査データを読み出して、検査することを特徴とし
た検査装置。 - 【請求項２】被検査物の検査データと被検査物の検出結
果を比較照合する検査装置において、被検査物の検査デ
ータを、単一検査ブロック分を格納できるメモリを、２
式以上もち、検査実行中に次に検査するブロックの検査
データを、多数の検査ブロックの検査データを格納する
外部記憶装置から、未使用のメモリに、順次格納する手
段を有し、次の検査ブロックを検査時、前記、次の検査
ブロックの検査データを格納したメモリから、検査デー
タを読み出して、検査することを特徴とした検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3216905A JP3053129B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3216905A JP3053129B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554126A true JPH0554126A (ja) | 1993-03-05 |
| JP3053129B2 JP3053129B2 (ja) | 2000-06-19 |
Family
ID=16695756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3216905A Expired - Lifetime JP3053129B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3053129B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05187842A (ja) * | 1992-01-09 | 1993-07-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 画像パターンの検査方法及びその装置 |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP3216905A patent/JP3053129B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05187842A (ja) * | 1992-01-09 | 1993-07-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 画像パターンの検査方法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3053129B2 (ja) | 2000-06-19 |
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