JP3395922B2 - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
検査方法及び検査装置Info
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Description
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。
産業上の利用分野
従来の技術（図５）
発明が解決しようとする課題（図５）
課題を解決するための手段（図１）
作用（図２）
実施例（図１〜図４）
発明の効果
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は検査方法及び検査装置に
関し、例えば製品出荷時の型番検査に用いられる検査方
法及びこれを用いた検査装置に適用して好適なものであ
る。
関し、例えば製品出荷時の型番検査に用いられる検査方
法及びこれを用いた検査装置に適用して好適なものであ
る。
【０００３】
【従来の技術】従来、パツケージの済んだ製品を出荷す
る際には製品の向きや他の型番の製品が混入するのを防
ぐため画像処理を用いた検査装置が用いられている。こ
の検査装置は製品ごとに得られる撮像画像のパターンと
予め登録されている型番の文字や数字とが一致するか否
かを判別することにより異なる型番の製品が混入しない
ように処理している。
る際には製品の向きや他の型番の製品が混入するのを防
ぐため画像処理を用いた検査装置が用いられている。こ
の検査装置は製品ごとに得られる撮像画像のパターンと
予め登録されている型番の文字や数字とが一致するか否
かを判別することにより異なる型番の製品が混入しない
ように処理している。
【０００４】ところで従来用いられているこの種の検査
装置では作業者が検査対象である製品の型番を一字づつ
入力して登録しなければならない。例えば検査対象であ
る製品の型番が図５（Ａ）に示す「ＨＩＪＫ７８９」で
ある場合、作業者は図５（Ｂ）に示す４つの文字
「Ｈ」、「Ｉ」、「Ｊ」、「Ｋ」と３つの数字「７」、
「８」、「９」を一字づつ順に登録する必要があつた。
装置では作業者が検査対象である製品の型番を一字づつ
入力して登録しなければならない。例えば検査対象であ
る製品の型番が図５（Ａ）に示す「ＨＩＪＫ７８９」で
ある場合、作業者は図５（Ｂ）に示す４つの文字
「Ｈ」、「Ｉ」、「Ｊ」、「Ｋ」と３つの数字「７」、
「８」、「９」を一字づつ順に登録する必要があつた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで登録時には文
字や数字の種類の他、文字の大小についての情報やフオ
ント等についての情報も入力しなければならない。この
ため作業者の操作が煩雑であり、入力を誤るおそれがあ
つた。また同じ検査装置を用いて多品種の製品を検査す
る場合にも検査対象である製品が交換されるごとに文字
や数字をその度入力し直さなければならなかつた。
字や数字の種類の他、文字の大小についての情報やフオ
ント等についての情報も入力しなければならない。この
ため作業者の操作が煩雑であり、入力を誤るおそれがあ
つた。また同じ検査装置を用いて多品種の製品を検査す
る場合にも検査対象である製品が交換されるごとに文字
や数字をその度入力し直さなければならなかつた。
【０００６】例えば検査対象の製品に付されている型番
が図５（Ａ）に示す「ＨＩＪＫ７８９」から図５（Ｃ）
に示す「ＨＱＲＳ７６５」に変更されると、再度作業者
は図５（Ｄ）に示す４つの文字「Ｈ」、「Ｑ」、
「Ｒ」、「Ｓ」と３つの文字「７」、「６」、「５」を
１字づつ順に登録し直さなければならなかつた。このた
め登録作業に多くの労力が必要とされる問題があつた。
が図５（Ａ）に示す「ＨＩＪＫ７８９」から図５（Ｃ）
に示す「ＨＱＲＳ７６５」に変更されると、再度作業者
は図５（Ｄ）に示す４つの文字「Ｈ」、「Ｑ」、
「Ｒ」、「Ｓ」と３つの文字「７」、「６」、「５」を
１字づつ順に登録し直さなければならなかつた。このた
め登録作業に多くの労力が必要とされる問題があつた。
【０００７】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、従来に比して登録作業を簡略化し得る検査方法及び
検査装置を提案しようとするものである。
で、従来に比して登録作業を簡略化し得る検査方法及び
検査装置を提案しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、撮像手段（５）によつて最初に撮
像された被検査対象（２）の撮像画像（Ｓ１）における
所定領域（Ｗ１）から特定パターンを検出し、当該検出
した特定パターンの位置を基準に他のパターンを抽出す
るための検査領域（Ｗ２）を設定し、当該設定した検査
領域（Ｗ２）内にあるパターンを画像認識により抽出
し、当該抽出したパターンを基準パターンとして登録
し、当該登録後に撮像手段（５）によつて撮像された被
検査対象（２）の撮像画像と基準パターンとを比較する
ことにより基準パターンの登録後に撮像された被検査対
象を順に検査するようにする。
め本発明においては、撮像手段（５）によつて最初に撮
像された被検査対象（２）の撮像画像（Ｓ１）における
所定領域（Ｗ１）から特定パターンを検出し、当該検出
した特定パターンの位置を基準に他のパターンを抽出す
るための検査領域（Ｗ２）を設定し、当該設定した検査
領域（Ｗ２）内にあるパターンを画像認識により抽出
し、当該抽出したパターンを基準パターンとして登録
し、当該登録後に撮像手段（５）によつて撮像された被
検査対象（２）の撮像画像と基準パターンとを比較する
ことにより基準パターンの登録後に撮像された被検査対
象を順に検査するようにする。
【０００９】また本発明においては、被検査対象（２）
を順に撮像し、当該被検査対象（２）の撮像画像（Ｓ
１）を得る撮像手段（５）と、撮像手段（５）によつて
撮像される被検査対象（２）の撮像画像（Ｓ１）のうち
最初に撮像された撮像画像における所定領域（Ｗ１）か
ら特定パターンを検出し、当該検出した特定パターンの
位置を基準に他のパターンを抽出するための検査領域
（Ｗ２）を設定し、当該設定した検査領域（Ｗ２）内に
あるパターンを画像認識により抽出し、当該抽出したパ
ターンを基準パターンとして登録し、当該登録後に撮像
手段（５）によつて撮像された被検査対象（２）の撮像
画像と基準パターンとを比較することにより基準パター
ンの登録後に撮像された被検査対象を順に検査する画像
処理手段（６）とを検査装置（１）に設けるようにす
る。
を順に撮像し、当該被検査対象（２）の撮像画像（Ｓ
１）を得る撮像手段（５）と、撮像手段（５）によつて
撮像される被検査対象（２）の撮像画像（Ｓ１）のうち
最初に撮像された撮像画像における所定領域（Ｗ１）か
ら特定パターンを検出し、当該検出した特定パターンの
位置を基準に他のパターンを抽出するための検査領域
（Ｗ２）を設定し、当該設定した検査領域（Ｗ２）内に
あるパターンを画像認識により抽出し、当該抽出したパ
ターンを基準パターンとして登録し、当該登録後に撮像
手段（５）によつて撮像された被検査対象（２）の撮像
画像と基準パターンとを比較することにより基準パター
ンの登録後に撮像された被検査対象を順に検査する画像
処理手段（６）とを検査装置（１）に設けるようにす
る。
【００１０】
【作用】撮像手段（５）によつて最初に撮像された被検
査対象（２）の撮像画像から１又は複数のパターンを抽
出して基準パターンとして登録する。次に登録後に撮像
された被検査対象（２）と基準パターンとを比較して検
査するようにしたことにより作業者の登録作業を従来に
比して一段と簡略化できる。
査対象（２）の撮像画像から１又は複数のパターンを抽
出して基準パターンとして登録する。次に登録後に撮像
された被検査対象（２）と基準パターンとを比較して検
査するようにしたことにより作業者の登録作業を従来に
比して一段と簡略化できる。
【００１１】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１２】図１において、１は全体として半導体チツ
プ部品の製品出荷時に用いられる画像認識検査装置を示
し、最初に検査領域に搬送された半導体チツプ部品２の
型番を自動的にマスタとして登録し（又は方向と型番を
自動的にマスタとして登録し）、２番目以降に搬送され
てくる半導体チツプ部品２の検査に用いるようにした機
能を有することを特徴としている。まずこの画像認識検
査装置１の全体構成を説明する。
プ部品の製品出荷時に用いられる画像認識検査装置を示
し、最初に検査領域に搬送された半導体チツプ部品２の
型番を自動的にマスタとして登録し（又は方向と型番を
自動的にマスタとして登録し）、２番目以降に搬送され
てくる半導体チツプ部品２の検査に用いるようにした機
能を有することを特徴としている。まずこの画像認識検
査装置１の全体構成を説明する。
【００１３】この画像認識検査装置１はマガジン３から
取り出されたマーキング済みの半導体チツプ部品２を順
に回転移動させ、検査領域に搬送する検査ステージ４
と、検査領域に搬送された半導体チツプ部品２を撮像す
る撮像カメラ５とを有している。また画像認識検査装置
１は撮像カメラ５によつて撮像された撮像画像Ｓ１に基
づいて半導体チツプ部品２の良／不良を画像処理装置６
によつて判定し、良品と判定された製品のみをエンボス
テープ７に収納するようになされている。この実施例の
機能を実現するのが画像処理装置６である。画像処理装
置６は撮像画像が最初に撮像された撮像画像であるかそ
れ以降に撮像された撮像画像であるかによつて異なる処
理をする。
取り出されたマーキング済みの半導体チツプ部品２を順
に回転移動させ、検査領域に搬送する検査ステージ４
と、検査領域に搬送された半導体チツプ部品２を撮像す
る撮像カメラ５とを有している。また画像認識検査装置
１は撮像カメラ５によつて撮像された撮像画像Ｓ１に基
づいて半導体チツプ部品２の良／不良を画像処理装置６
によつて判定し、良品と判定された製品のみをエンボス
テープ７に収納するようになされている。この実施例の
機能を実現するのが画像処理装置６である。画像処理装
置６は撮像画像が最初に撮像された撮像画像であるかそ
れ以降に撮像された撮像画像であるかによつて異なる処
理をする。
【００１４】すなわち撮像画像Ｓ１が最初に撮像された
ものである場合、画像処理装置６は予め登録されている
特定モデルを検出し、検出された位置を基準に定められ
た検査枠内にある文字や数字を型番を構成する要素とし
て自動的に登録する。これに対して撮像画像Ｓ１がそれ
以降に得られたものである場合、画像処理装置６は自動
的に登録された型番と撮像画像として撮像されているパ
ターンとが一致するか否かを判定するようになされてい
る。
ものである場合、画像処理装置６は予め登録されている
特定モデルを検出し、検出された位置を基準に定められ
た検査枠内にある文字や数字を型番を構成する要素とし
て自動的に登録する。これに対して撮像画像Ｓ１がそれ
以降に得られたものである場合、画像処理装置６は自動
的に登録された型番と撮像画像として撮像されているパ
ターンとが一致するか否かを判定するようになされてい
る。
【００１５】ところで画像処理装置６による自動的な学
習機能を実現する上で必要となる基準データは入力装置
８から入力される。画像処理装置６は基準データとして
特定モデル、特定モデルサーチエリア及び検査枠の３つ
の情報を必要とする。特定モデルは検査対象を構成する
構成要素うち部分要素についての情報である。この特定
モデルの字数は少ないほど登録時における入力の手間が
少なくて済む。
習機能を実現する上で必要となる基準データは入力装置
８から入力される。画像処理装置６は基準データとして
特定モデル、特定モデルサーチエリア及び検査枠の３つ
の情報を必要とする。特定モデルは検査対象を構成する
構成要素うち部分要素についての情報である。この特定
モデルの字数は少ないほど登録時における入力の手間が
少なくて済む。
【００１６】特定モデルサーチエリアは特定モデルが存
在すべき位置についての情報である。この実施例の場
合、特定モデルサーチエリアとしては本来特定モデルが
印字されるべき領域に対して少し広めに設定されてい
る。これにより型番が多少ずれて印刷されても特定パタ
ーンを検出できるようになされている。
在すべき位置についての情報である。この実施例の場
合、特定モデルサーチエリアとしては本来特定モデルが
印字されるべき領域に対して少し広めに設定されてい
る。これにより型番が多少ずれて印刷されても特定パタ
ーンを検出できるようになされている。
【００１７】検査枠は特定モデル以外の構成要素を自動
的にパターン認識して登録するために用いられる情報で
ある。この検査枠の広さは検査対象である型番の字数や
印字される範囲によつて定まる。画像処理装置６はこの
枠内にある非連続パターンをそれぞれ１個の構成要素と
して認識し登録する。
的にパターン認識して登録するために用いられる情報で
ある。この検査枠の広さは検査対象である型番の字数や
印字される範囲によつて定まる。画像処理装置６はこの
枠内にある非連続パターンをそれぞれ１個の構成要素と
して認識し登録する。
【００１８】因に同種の製品には型番の頭文字に共通の
文字が用いられることが多いため、作業者は型番の先頭
位置にある一文字を特定モデルとして登録し、さらに特
定モデルの印字されるおおよその位置と型番全部が印字
されるのに必要となる広さをそれぞれ特定モデルサーチ
エリア及び検査枠として設定しておけば同種の製品を検
査する限りにおいて型番をその都度入力し直さなくても
自動的に型番を登録できるようになされている。
文字が用いられることが多いため、作業者は型番の先頭
位置にある一文字を特定モデルとして登録し、さらに特
定モデルの印字されるおおよその位置と型番全部が印字
されるのに必要となる広さをそれぞれ特定モデルサーチ
エリア及び検査枠として設定しておけば同種の製品を検
査する限りにおいて型番をその都度入力し直さなくても
自動的に型番を登録できるようになされている。
【００１９】以上の構成において、画像認識検査装置１
による型番の自動学習機能及び検査動作を図２及び図３
を用いて説明する。この実施例では検査対象である製品
の型番として図２（Ａ）に示すように「ＡＢＣＤ１２
３」が印字されているものとする。ここで作業者は特定
モデルとして例えば「Ａ」を設定し、「Ａ」が印字され
るべき位置とこの「Ａ」を基準とした型番の印字範囲を
それぞれ特定モデルサーチエリアＷ１及び検査枠Ｗ２と
してそれぞれ設定する（ステツプＳＰ２）。
による型番の自動学習機能及び検査動作を図２及び図３
を用いて説明する。この実施例では検査対象である製品
の型番として図２（Ａ）に示すように「ＡＢＣＤ１２
３」が印字されているものとする。ここで作業者は特定
モデルとして例えば「Ａ」を設定し、「Ａ」が印字され
るべき位置とこの「Ａ」を基準とした型番の印字範囲を
それぞれ特定モデルサーチエリアＷ１及び検査枠Ｗ２と
してそれぞれ設定する（ステツプＳＰ２）。
【００２０】この後、ステツプＳＰ３〜ステツプＳＰ５
で与えられる自動学習処理に移る。まず１番目の半導体
チツプ部品２がマガジン３から取り出され、検査ステー
ジ４上に移し換えられる。検査ステージ４は所定の速度
で回転し、半導体チツプ部品２を撮像カメラ５の撮像領
域内に搬送する。撮像カメラ５は撮像領域内にある半導
体チツプ部品２を撮像し、この撮像画像Ｓ１を画像処理
装置６に与える。
で与えられる自動学習処理に移る。まず１番目の半導体
チツプ部品２がマガジン３から取り出され、検査ステー
ジ４上に移し換えられる。検査ステージ４は所定の速度
で回転し、半導体チツプ部品２を撮像カメラ５の撮像領
域内に搬送する。撮像カメラ５は撮像領域内にある半導
体チツプ部品２を撮像し、この撮像画像Ｓ１を画像処理
装置６に与える。
【００２１】画像処理装置６は図２（Ｂ）に示すように
撮像画像Ｓ１の中から特定モデルサーチエリアＷ１につ
いて特定モデルと一致するパターンをパターン認識処理
を用いてサーチする（ステツプＳＰ３）。続いてサーチ
された特定モデル（すなわち「Ａ」）の位置を基準に図
２（Ｃ）に示す検査枠Ｗ２を撮像画像中に設定する（ス
テツプＳＰ４）。
撮像画像Ｓ１の中から特定モデルサーチエリアＷ１につ
いて特定モデルと一致するパターンをパターン認識処理
を用いてサーチする（ステツプＳＰ３）。続いてサーチ
された特定モデル（すなわち「Ａ」）の位置を基準に図
２（Ｃ）に示す検査枠Ｗ２を撮像画像中に設定する（ス
テツプＳＰ４）。
【００２２】そして検査枠Ｗ２に含まれる文字「Ｂ」、
「Ｃ」、「Ｄ」や数字「１」、「２」、「３」をパター
ンとして認識し、これらを１字づつ登録文字として自動
的に登録する（ステツプＳＰ４）。すなわち図２（Ｄ）
に示すように登録文字として「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」、
「Ｄ」、「１」、「２」、「３」の７つの字が検査対象
である製品の型番として登録される。
「Ｃ」、「Ｄ」や数字「１」、「２」、「３」をパター
ンとして認識し、これらを１字づつ登録文字として自動
的に登録する（ステツプＳＰ４）。すなわち図２（Ｄ）
に示すように登録文字として「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」、
「Ｄ」、「１」、「２」、「３」の７つの字が検査対象
である製品の型番として登録される。
【００２３】この登録作業が終了すると、画像処理装置
６は２番目以降に搬送されてくる半導体チツプ部品２の
撮像画像が自動的に登録された登録文字と全て一致する
か否か判別し、一致する場合には判別信号Ｓ２によつて
該当する半導体チツプ部品２をエンボステープ７に収納
する。この動作を製品がなくなるまで繰り返す。このと
き各登録文字は１個づつ個別に登録されているため型番
の印字位置が多少ずれていても対応することができる。
６は２番目以降に搬送されてくる半導体チツプ部品２の
撮像画像が自動的に登録された登録文字と全て一致する
か否か判別し、一致する場合には判別信号Ｓ２によつて
該当する半導体チツプ部品２をエンボステープ７に収納
する。この動作を製品がなくなるまで繰り返す。このと
き各登録文字は１個づつ個別に登録されているため型番
の印字位置が多少ずれていても対応することができる。
【００２４】因にこの検査の終了後、引き続いて先に検
査した半導体チツプ部品２と同じカテゴリに属する他の
型番の半導体チツプ部品２を検査したいときには、作業
者は検査対象である製品が格納されているマガジン３を
所定位置に取り付けるだけで良い。このように型番を新
たに登録し直さなくても特定モデルが同じであるため今
回の型番も上述の場合と同様、自動的に学習される。こ
のように作業者は型番の異なる製品を検査する場合であ
つても同種のカテゴリに属する製品である場合には入力
の手間が必要なくなる。
査した半導体チツプ部品２と同じカテゴリに属する他の
型番の半導体チツプ部品２を検査したいときには、作業
者は検査対象である製品が格納されているマガジン３を
所定位置に取り付けるだけで良い。このように型番を新
たに登録し直さなくても特定モデルが同じであるため今
回の型番も上述の場合と同様、自動的に学習される。こ
のように作業者は型番の異なる製品を検査する場合であ
つても同種のカテゴリに属する製品である場合には入力
の手間が必要なくなる。
【００２５】以上の構成によれば、型番を構成する字の
うち１字を登録するだけで製品に付されている型番の全
て文字及び数字を自動的に登録することができ、作業者
の入力ミスのおそれを格段的に低下させることができ
る。また特定モデルとして複数種類の製品の型番に共通
する位置の字を設定することにより製品の型番が換わる
度に新たに入力をやり直さなくて良くなり、登録作業の
手間を削減することができる。加えて入力ミスのおそれ
も格段的に低下させることができる。
うち１字を登録するだけで製品に付されている型番の全
て文字及び数字を自動的に登録することができ、作業者
の入力ミスのおそれを格段的に低下させることができ
る。また特定モデルとして複数種類の製品の型番に共通
する位置の字を設定することにより製品の型番が換わる
度に新たに入力をやり直さなくて良くなり、登録作業の
手間を削減することができる。加えて入力ミスのおそれ
も格段的に低下させることができる。
【００２６】なお上述の実施例においては、特定モデル
として１字のみ設定する場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、２字以上を設定しても良い。また上述
の実施例においては、特定モデルとして型番の先頭に位
置する字を用いる場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、それ以外の位置の字を用いても良い。例えば
２番目の字や最後尾の字を用いても良い。
として１字のみ設定する場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、２字以上を設定しても良い。また上述
の実施例においては、特定モデルとして型番の先頭に位
置する字を用いる場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、それ以外の位置の字を用いても良い。例えば
２番目の字や最後尾の字を用いても良い。
【００２７】さらに上述の実施例においては、特定モデ
ルとして文字を設定する場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、数字や図形を設定しても良い。さらに
上述の実施例においては、文字や数字の組み合わせで構
成されるパターンを検査対象とする場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、図形を含むパターンを検査
対象とするものにも適用し得る。例えば図４（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように図形が印刷されている製品の検査に
も適用し得る。
ルとして文字を設定する場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、数字や図形を設定しても良い。さらに
上述の実施例においては、文字や数字の組み合わせで構
成されるパターンを検査対象とする場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、図形を含むパターンを検査
対象とするものにも適用し得る。例えば図４（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように図形が印刷されている製品の検査に
も適用し得る。
【００２８】さらに上述の実施例においては、半導体チ
ツプ部品２の型番検査に用いる画像認識検査装置につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、各種の検査に用い
得る。
ツプ部品２の型番検査に用いる画像認識検査装置につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、各種の検査に用い
得る。
【００２９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、撮像手段
によつて撮像される複数の撮像画像のうち最初に撮像さ
れた被検査対象の撮像画像から１又は複数のパターンを
抽出して基準パターンとして登録し、それ以降に得られ
る撮像画像の検査に用いるようにしたことにより作業者
の登録作業を従来に比して一段と簡略化できる検査方法
及び検査装置を実現することができる。
によつて撮像される複数の撮像画像のうち最初に撮像さ
れた被検査対象の撮像画像から１又は複数のパターンを
抽出して基準パターンとして登録し、それ以降に得られ
る撮像画像の検査に用いるようにしたことにより作業者
の登録作業を従来に比して一段と簡略化できる検査方法
及び検査装置を実現することができる。
【図１】本発明による画像認識検査装置の一実施例を示
すブロツク図である。
すブロツク図である。
【図２】自動学習処理の処理過程の説明に供する略線図
である。
である。
【図３】登録動作の説明に供するフローチヤートであ
る。
る。
【図４】他の実施例の説明に供する略線図である。
【図５】従来の登録動作の説明に供する略線図である。
１……画像認識処理装置、２……半導体チツプ部品、３
……マガジン、４……検査ステージ、５……撮像カメ
ラ、６……画像処理装置、７……エンボステープ、８…
…入力装置、Ｗ１……特定モデルサーチエリア、Ｗ２…
…検査枠。
……マガジン、４……検査ステージ、５……撮像カメ
ラ、６……画像処理装置、７……エンボステープ、８…
…入力装置、Ｗ１……特定モデルサーチエリア、Ｗ２…
…検査枠。
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フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−187842（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/24
Claims (6)
- 【請求項１】撮像手段によつて最初に撮像された被検査
対象の撮像画像における所定領域から特定パターンを検
出し、当該検出した上記特定パターンの位置を基準に他
のパターンを抽出するための検査領域を設定し、当該設
定した上記検査領域内にあるパターンを画像認識により
抽出し、当該抽出した上記パターンを基準パターンとし
て登録し、 登録後に上記撮像手段によつて撮像された被検査対象の
撮像画像と上記基準パターンとを比較することにより上
記基準パターンの登録後に撮像された上記被検査対象を
順に検査することを特徴とする検査方法。 - 【請求項２】上記基準パターンとして登録される上記パ
ターンは文字又は数字でなることを特徴とする請求項１
に記載の検査方法。 - 【請求項３】上記基準パターンとして登録される上記パ
ターンは図形でなることを特徴とする請求項１に記載の
検査方法。 - 【請求項４】被検査対象を順に撮像し、当該被検査対象
の撮像画像を得る撮像手段と、 上記撮像手段によつて撮像される被検査対象の撮像画像
のうち最初に撮像された撮像画像における所定領域から
特定パターンを検出し、当該検出した上記特定パターン
の位置を基準に他のパターンを抽出するための検査領域
を設定し、当該設定した上記検査領域内にあるパターン
を画像認識により抽出し、当該抽出した上記パターンを
基準パターンとして登録し、登録後に上記撮像手段によ
つて撮像された被検査対象の撮像画像と上記基準パター
ンとを比較することにより上記基準パターンの登録後に
撮像された上記被検査対象を順に検査する画像処理手段
とを具えることを特徴とする検査装置。 - 【請求項５】上記基準パターンとして登録される上記パ
ターンは文字又は数字でなる ことを特徴とする請求項４
に記載の検査装置。 - 【請求項６】 上記基準パターンとして登録される上記パ
ターンは図形でなる ことを特徴とする請求項４に記載の
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16596694A JP3395922B2 (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16596694A JP3395922B2 (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 検査方法及び検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814857A JPH0814857A (ja) | 1996-01-19 |
| JP3395922B2 true JP3395922B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
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