JPH0553686B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子部品における半導体チツプ等のワ
ークを横方向及び上下縦方向に動かして、所定の
供給位置から作業部へ移送するための装置に関す
るものである。

〔従来の技術とその問題点〕

電子部品、例えばトランジスタや集積回路素子
の製造に際して、供給部であるテーブルに載置し
てある半導体ペレツトや半導体チツプを、リード
フレームへのダイボンデイング等の作業位置に移
送する装置は、従来第４図及び第５図に示すよう
な構造であつた。

すなわち、半導体ペレツト２を載置するテーブ
ル１とこれから距離Ｌだけ離れてリードフレーム
３を載置する作業部４との間を往復移動するよう
に配置したコレツトヘツド５（供給部であるテー
ブル１からワークをピツクアツプし、作業部４に
ワークを載置する機能を有するもの）を、横置き
したカム軸７の外周に形成したカム溝６に係合す
る横移動ブロツク８に対して上下動自在に装着す
る一方、前記カム軸７の軸線と平行状に配設した
揺動杆９の基端を回動支点１０を有する揺動アー
ム１１に固着し、該揺動アーム１１の従動転子１
２が駆動モータ１４により回転駆動する板カム１
３に常時接当するように構成し、前記揺動杆９の
上面を前記コレツトヘツド５の支持台から突出す
るピン１５に接当させることにより、当該コレツ
トヘツド５を横移動ブロツク８に対して強制的に
上下動させる構成である。

このカム軸７の正逆回転駆動により、横移動ブ
ロツク８と共にコレツトヘツド５は、テーブル１
上の半導体ペレツト２と作業部４上のリードフレ
ーム３との間を往復移動すると同時に揺動杆９に
沿つてその回動支点１０に対して遠ざかつたり近
付いたりする。

一方、揺動杆９の上下揺動角度は板カム１３の
形状によつて決つており、回動支点１０に対する
コレツトヘツド５の距離の遠近に応じて当該コレ
ツトヘツド５の上下動距離は一義的に決定されて
しまう。

さらに、揺動杆９が水平状態でなく傾斜して静
止していると、横移動するコレツトヘツド５はそ
の傾斜に従つて下降または上昇移動することにな
るから、コレツトヘツドを水平移動させるために
は、揺動杆９を水平状に保持するように板カム１
３の回転停止位置との関係も決定しなければなら
ない。

従つて、前記の構成の移送装置においては、第
４図に示すようにテーブル１における半導体ペレ
ツト２のピツクアツプ箇所と作業部４のリードフ
レーム３への半導体ペレツトの載置箇所との横方
向の距離Ｌに対して両者の高さ位置の差Ｈは一義
的に決定されてしまうことになり、可変できない
から、半導体ペレツト２の厚さ、大きさやリード
フレーム３の厚さ、大きさ種類を変更した場合に
は、これに応じて作業位置もしくはテーブルの高
さ位置や前記距離Ｌをきつちりと決定しなければ
ならず、場合によつては一つの移送装置で多種類
のワークに適用できないという問題があつた。

この問題は、前記半導体ペレツト以外の電子部
品や他の部品（以下ワークという）の組立作業等
に際してのワークの移送装置についても同様に起
こるものである。

本発明はこの問題を解決することを目的とする
ものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのため、本発明は、電子部品等のワークの供
給部と作業部とを結ぶ線に平行に横移動自在な第
１支持台と第２支持台とを各々の駆動手段にて往
復移動可能に構成し、第１支持台にはコレツトヘ
ツドを備えた上下動ブロツクを前記横移動方向と
直角な上下方向に移動自在となるように装着し、
中途部を固定部に回動自在に枢着した連動アーム
の一端を、前記第１支持台の上方に配設した第２
支持台に取付く上下案内レールに上下動自在に案
内装着する一方、前記第１支持第の移動方向と平
行に延びる横長レールを前記上下動ブロツクに設
け、該横長レールに前記連動アームの他端を案内
自在に装着したものである。

〔発明の作用及び効果〕

このように本発明では、横移動する第２支持台
に取付く上下案内レールに一端を上下動自在に案
内装着させて上下揺動する連動アームの他端を、
上下動ブロツクに取付く横長レールを介して関連
させるのであるから、当該連動アームの揺動角度
の如何に拘わらず上下動ブロツクの横移動を独立
的に実行することができる。

従つて、上下動ブロツクを横移動させる作動
と、当該上下動ブロツクを上下動させる作動とを
互い独立させることができるから、ワークの供給
部と作業部とのＸ方向の配置位置と上下高さ位置
の両者の自由度が大幅に向上し、ワークの種類や
寸法の異なるものに対しても適用できる、いわゆ
る汎用の移送装置を提供できることになるのであ
る。

〔実施例〕

次に本発明をダイボンデイング装置に適用した
実施例について図面に従つて説明すると、第１図
〜第３図に示すダイボンデイング装置２０は、ウ
エハシート上にてウエハから切断分離して形成し
た半導体ペレツト２１を載置する供給部であるテ
ーブル２２と、該テーブル２２の側方に配置する
作業用テーブルから成る作業部２３と、テーブル
２２と作業部２３との間の上方において往復移動
する移送装置２４とから成り、作業部２３上には
薄金属板を打ち抜いて成るリードフレーム２５が
載置され、前記テーブル２２は回転軸２６を中心
に回動可能であると共に作業部２３に対して遠近
するように横移動可能に構成され、且つテーブル
２２は作業部２３の下方に潜り込み可能に段違い
状に配置されている。

移送装置２４は、半導体ペレツト２１真空吸着
移送用のコレツトヘツド２７を備えたＺ方向に上
下動自在な上下動ブロツク２８と、該上下動ブロ
ツク２８を上下動自在に装着し、且つＸ方向に横
移動自在な第１支持台２９と、該第１支持台２９
の上方に配置されてＸ方向に横移動自在な第２支
持台３０と、この第２支持台３０と上下動ブロツ
ク２８に関連する連動アーム３１とから成る。

前記第１支持台２９は、上下一対のスライドレ
ール３２，３２に摺動自在に支持され且つ該スラ
イドレール３２と平行に延びる第１ねじ軸３３が
螺合し、該第１ねじ軸３３は正逆回転駆動可能な
第１サーボモータ３４に連結されている。

第２支持台３０はＸ方向に延びる支持テーブル
３５に摺動自在に載置され、且つ第２支持台３０
に螺合する第２ねじ軸３６は支持テーブル３５な
どの固定部に固着された第２サーボモータ３７に
て正逆回転駆動するので、第２支持台３０はＸ方
向に沿つて横移動自在に構成されることになる。

前記正面視Ｌ字状の連動アーム３１の中途部は
支持テーブル３５等の移動しない固定部３５′に
ピン３８を介して回動自在に枢着され、この連動
アーム３１の一端に取付く転子３９は第２支持台
３０の正面に取付く上下長手のガイドレール４０
に対して上下動自在に嵌挿されている。

また連動アーム３１の他端は前記スライドレー
ル３２と平行に延び、上下動ブロツク２８の正面
においてスライドレール３２と平行に延びる横長
レール４１を固着して設け、該横長レール４１に
前記連動アーム３１の他端に取付く転子４２を案
内自在に装着する。

符号４３は第１及び第２のサーボモータ３４，
３７の回転速度及び正逆回転を制御するコトロー
ラであり、符号４４は移送装置２４を覆うカバー
体である。

この構成により、第１サーボモータ３４の回転
により第１ねじ軸３３を介して第１支持台２９を
Ｘ方向に沿つて第３図のＡ１方向の横移動させ、
該第１支持台２９に装着した上下動ブロツク２８
がワーク供給部であるテーブル２２の側方に位置
した状態にて、第２サーボモータ３７を駆動して
第２ねじ軸３６を介して第２支持台３０を第３図
の一点鎖線に示すようにＡ２方向に横移動させる
と、該第２支持台３０の正面に取付くガイドレー
ル４０に転子３９を介して連動アーム３１が一点
鎖線のごとく回動し、当該連動アーム３１他端の
転子４２は上下動ブロツク２８正面の横長レール
４１に嵌挿した状態にて下向き回動する。

これにより、上下動ブロツク２８は第１支持台
２９に対して下降する。この上下動ブロツク２８
の下降距離Ｈ１は連動アーム３１の寸法形状と第
２支持台３０の横移動距離により決定されるが、
横長レール４１に対して転子４２とピン３８との
距離関係は一定であるから、連動アーム３１の回
動角度が一定である限り、第１支持台２９ひいて
は上下動ブロツク２８の横移動距離により上下動
ブロツク２８の上下動距離が変動することがな
い。

この下降した上下動ブロツク２８に取付くコレ
ツトヘツド２７にてテーブル２２上の半導体ペレ
ツト２１をピツクアツプし、次いで第２サーボモ
ータ３７を前記と反対方向に回動駆動して第２ね
じ軸３６を介して第２支持台３０を第３図のＢ２
方向に横移動させ、該第２支持台３０の正面に取
付くガイドレール４０に転子３９を介して連動ア
ーム３１を上向きに回動し、当該連動アーム３１
他端の転子４２は上下動ブロツク２８正面の横長
レール４１に嵌挿した状態にて上向き回動するの
で、上下動ブロツク２８を上昇させることができ
る。

この上昇した状態に第１サーボモータ３４を回
動させ、第３図のＢ１方向に第１支持台２９を横
移動させて作業部２３に近接した位置まで上下動
ブロツク２８を移動させる。このとき、連動アー
ム３１の他端転子４２は横長レール４１に沿つて
移動するだけであるから、連動アーム３１を第２
サーボモータ３７を介して強制駆動しない限り、
上下動ブロツク図２８の上下動作動はないのであ
る。

ついで、第２サーボモータ３７を駆動して第２
ねじ軸３６を介して第２支持台３０を第３図のＡ
２方向に横移動させると、前記と同様に連動アー
ム３１の他端転子４２が下移動するように回動
し、これにより、上下動ブロツク２８は第１支持
台２９に対して下降するので、コレツトヘツド２
７に吸着された半導体ペレツト２１は作業ブロツ
ク23箇所においてリードフレーム２５上に載置す
ることができるのである。

なお、供給部でのワークのピツクアツプ時及び
作業部でのワークの載置時にはテーブルまたはリ
ードフレームに対して直角に移動するよう上下動
ブロツク２８を垂直に昇降させ、供給部と作業部
との間の往復移動時には、上下動ブロツク２８を
上昇させつつ横移動させたり、下降させつつ横移
動させる移動させるように第１および第２サーボ
モータ３４，３７を同時に駆動させるようにして
も良い。

さらに、第１図及び第３図に示すように、供給
部であるテーブル２２を作業部２３より下方位置
となるように段違い配置させ、テーブル２２を作
業部２３に近付けるに従つて、当該作業部２３の
下方に潜り込まさせることができるように構成す
ると、ワークの供給部から作業部までの距離を短
くすることができ、ワーク取扱の時間短縮による
生産性向上を図ることができる。

本発明においては、横移動する第２支持台に取
付く上下案内レールに上下動自在に案内装着させ
て上下揺動する連動アームを上下動ブロツクに取
付く横長レールを介して関連させることにより、
上下動ブロツク２９を横移動させる作動と、当該
上下動ブロツクを上下動させる作動とを互い独立
させることができるから、ワークの供給部と作業
部とのＸ方向の配置位置と上下高さ位置の両端者
の自由度が大幅に向上し、ワークの種類や寸法の
異なるものに対しても適用できる、いわゆる汎用
の移送装置を提供できることになるのである。

なお、上下動ブロツク29を横移動させる駆動手
段及び当該上下動ブロツク29を上下動させる駆動
手段は、前記実施例のサーボモータ及びねじ軸に
代えて、油圧又は空気圧のアクチエータを用いる
ことができる。

さらに、ワークを取り扱うコレツトヘツドは、
作業内容の種類に応じて、真空吸着コレツトヘツ
ドばかりでなく、機械的にワークを掴むコレツト
ヘツドであつても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図から第３図は本発明の実施例を示し、第
１図はダイボンデイング装置の正面図、第２図は
移送装置の要部斜視図、第３図は作用説明図、第
４図は従来例の正面図、第５図は平面図である。 １，２２……テーブル、２，２１……半導体ペ
レツト、３，２５……リードフレーム、４，２３
……作業部、５，２７……コレツトヘツド、２８
……上下動ブロツク、２９……第１支持台、３０
……第２支持台、３１……連動アーム、３２……
スライドレール、３３……第１ねじ軸、３６……
第２ねじ軸、３４……第１サーボモータ、３７…
…第２サーボモータ、３５……支持テーブル、３
８……ピン、３９，４２……転子、４０……ガイ
ドレール、４１……横長レール。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 電子部品等のワークの供給部と作業部とを結
   ぶ線に平行に横移動自在な第１支持台と第２支持
   台とを各々の駆動手段にて往復移動可能に構成
   し、第１支持台にはコレツトヘツドを備えた上下
   動ブロツクを前記横移動方向と直角な上下方向に
   移動自在となるように装着し、中途部を固定部に
   回動自在に枢着した連動アームと一端を、前記第
   １支持台の上方に配設した第２支持台に取付く上
   下案内レールに上下動自在に案内装着する一方、
   前記第１支持台の移動方向と平行に延びる横長レ
   ールを前記上下動ブロツクに設け、該横長レール
   に前記連動アームの他端を案内自在に装着したこ
   とを特徴とする電子部品等のワーク移送装置。