JPS587659Y2 - チツプ搬送ヘツド駆動機構 - Google Patents
チツプ搬送ヘツド駆動機構Info
- Publication number
- JPS587659Y2 JPS587659Y2 JP9311578U JP9311578U JPS587659Y2 JP S587659 Y2 JPS587659 Y2 JP S587659Y2 JP 9311578 U JP9311578 U JP 9311578U JP 9311578 U JP9311578 U JP 9311578U JP S587659 Y2 JPS587659 Y2 JP S587659Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- collet
- drive mechanism
- slider
- shaft
- head drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はハイブリット集積回路製造装置において、ダイ
ボンダー及びチップマウンタのチップ搬送ヘッド駆動機
構の改良に関する。
ボンダー及びチップマウンタのチップ搬送ヘッド駆動機
構の改良に関する。
ハイブリッド集積回路において、例えば導体及び抵抗体
を焼成したアルミナ回路基板上に搭載する半導体、抵抗
、コンデンサ等のチップは、準備したテーブル上の定位
置から真空コレットの上下動で吸着し、そのコレットを
回路基板上の定位置まで水平に搬送し、再度コレットを
上下動させて回路基板上に安置し、ダイボンディング又
は溶接している。
を焼成したアルミナ回路基板上に搭載する半導体、抵抗
、コンデンサ等のチップは、準備したテーブル上の定位
置から真空コレットの上下動で吸着し、そのコレットを
回路基板上の定位置まで水平に搬送し、再度コレットを
上下動させて回路基板上に安置し、ダイボンディング又
は溶接している。
このようにチップを拾上げ、搬送して安置するところの
ヘッド駆動機構には、従来回転する板カムによってヘッ
ドが必要とする全動作を与えるか、又はチップを拾上げ
安置する上下動をクランク機構等で行い、そのクランク
機構と同期する搬送機能をボールねし機構で行なってい
た。
ヘッド駆動機構には、従来回転する板カムによってヘッ
ドが必要とする全動作を与えるか、又はチップを拾上げ
安置する上下動をクランク機構等で行い、そのクランク
機構と同期する搬送機能をボールねし機構で行なってい
た。
しかし、これらの従来機構は構造が複雑かつ大きくなり
、その専有するスペースはダイボンダー及びチップマウ
ンタを多数配置したハイブリッド集積回路の製造自動化
装置設計上の問題点となっていた。
、その専有するスペースはダイボンダー及びチップマウ
ンタを多数配置したハイブリッド集積回路の製造自動化
装置設計上の問題点となっていた。
本考案は、上記問題点を除去して安価なヘッド駆動機構
を提供することにあり、その目的達成は2個のローラ8
,9を具備するクランク7を回動することにより、コレ
ットホルダーガイド金具18に左右動とその左右動端に
静止時間帯をもった往復運動を与え、他方、コレットホ
ルダー23にはコレットホルダーガイド金具と同期した
左右動とコレットホルダーガイド金具18の静止時間帯
において、コレットホルダーガイド金具18に案内され
た一下上動を与えることにより、コレットホルダー23
に固着したコレット22に左右動とその左右動端にて一
下上動することを特徴としたチップ搬送ヘッド駆動機構
によって得られる。
を提供することにあり、その目的達成は2個のローラ8
,9を具備するクランク7を回動することにより、コレ
ットホルダーガイド金具18に左右動とその左右動端に
静止時間帯をもった往復運動を与え、他方、コレットホ
ルダー23にはコレットホルダーガイド金具と同期した
左右動とコレットホルダーガイド金具18の静止時間帯
において、コレットホルダーガイド金具18に案内され
た一下上動を与えることにより、コレットホルダー23
に固着したコレット22に左右動とその左右動端にて一
下上動することを特徴としたチップ搬送ヘッド駆動機構
によって得られる。
以下、図面に従って説明する。
第1図aは本考案によるヘッド駆動機構の側面図であり
、第1図すは第1図aのI−I′断面図、第2図aは第
1図の部分側面図、第2図すは第2図aの■■−■1′
断面図、第3図は第1図の部分側面図を示す。
、第1図すは第1図aのI−I′断面図、第2図aは第
1図の部分側面図、第2図すは第2図aの■■−■1′
断面図、第3図は第1図の部分側面図を示す。
はぼコの字を横倒しにした形のフレーム1は、下部にガ
イド軸2と、上にガイド軸2と平行な軸心をもって保持
する2個のガイド軸受3,3′を具備し、左右の壁には
駆動軸6と同じ高さで内側を向き、コイルばね4,4′
によって張力を与えられた抑え金具5,5′を装着しで
ある。
イド軸2と、上にガイド軸2と平行な軸心をもって保持
する2個のガイド軸受3,3′を具備し、左右の壁には
駆動軸6と同じ高さで内側を向き、コイルばね4,4′
によって張力を与えられた抑え金具5,5′を装着しで
ある。
モーターの回転を適宜減速して回転される駆動軸6は軸
受によって支持し、その一端にクランク7が固着される
。
受によって支持し、その一端にクランク7が固着される
。
そしてクランク70回動先端近傍には、2個のローラ8
,9を転勤自在に定着した軸10が固着しである。
,9を転勤自在に定着した軸10が固着しである。
ローラ8は、スライダ12の中ふくらみ溝、即ち上部と
下部とにローラ8が緩みなく転勤できる幅の直線部と中
央部にはローラ8の回動半径プラスローラ8の半径を曲
率としたふくらみを上下対称にもった縦溝11に嵌入し
て転動する。
下部とにローラ8が緩みなく転勤できる幅の直線部と中
央部にはローラ8の回動半径プラスローラ8の半径を曲
率としたふくらみを上下対称にもった縦溝11に嵌入し
て転動する。
そしてクランク7を回動することによりローラ8が溝1
1の上部又は下部白線部から中央部のふくらみ部に到達
するやや以前に、スライダ12の側辺部13又は13′
はフレーム1の抑え金具5又は5′に接し、抑え金具5
又は5′はコイルばね4又は4′の圧縮によって、ロー
ラ8が溝11のふくらみ部分の右又は左壁面に押し当て
られながら転動する。
1の上部又は下部白線部から中央部のふくらみ部に到達
するやや以前に、スライダ12の側辺部13又は13′
はフレーム1の抑え金具5又は5′に接し、抑え金具5
又は5′はコイルばね4又は4′の圧縮によって、ロー
ラ8が溝11のふくらみ部分の右又は左壁面に押し当て
られながら転動する。
このようなローラ8と溝11の接触関係は、ローラ8が
溝11の上下直線部を転動するときにスライダ12は右
又は左へ移動し、ローラ8が溝11のふくらみ部を転動
するときには、スライダ12に静止時間帯を与える。
溝11の上下直線部を転動するときにスライダ12は右
又は左へ移動し、ローラ8が溝11のふくらみ部を転動
するときには、スライダ12に静止時間帯を与える。
なお、スライダ12の下部に取付けた2個のガイド軸周
ローラ14,14’がガイド軸2を挾持し、スライダ1
2の上部に固着したやや長い軸15がガイド軸受3,3
′に嵌合して、スライダ12と軸15との直線移動を保
証している。
ローラ14,14’がガイド軸2を挾持し、スライダ1
2の上部に固着したやや長い軸15がガイド軸受3,3
′に嵌合して、スライダ12と軸15との直線移動を保
証している。
軸15の一端、ガイド駆軸3′の外側には、軸16のた
めの2個のガイド軸受17.17’とコレットホルダー
ガイド金具18が固着しである。
めの2個のガイド軸受17.17’とコレットホルダー
ガイド金具18が固着しである。
ただし、ガイド軸受17.17’は軸16の長さを可能
な限り短くするためと、後述するように軸16の山形カ
ム26に掛る力をなるべく近い位置で受けるように配慮
した結果、軸15の一端に固着したのであって、上記フ
レーム1に設けることもできる。
な限り短くするためと、後述するように軸16の山形カ
ム26に掛る力をなるべく近い位置で受けるように配慮
した結果、軸15の一端に固着したのであって、上記フ
レーム1に設けることもできる。
ローラ9はスライダ20の直線縦溝19に嵌入して転動
することによって、スライダ20とスライダ20の上方
に固定した軸16に左右往復運動を与え、そのガイドと
なるのがガイド軸受17.17’及びスライダ12の下
部張出し部上面に設けたところのガイド軸2と平行な直
線溝21である。
することによって、スライダ20とスライダ20の上方
に固定した軸16に左右往復運動を与え、そのガイドと
なるのがガイド軸受17.17’及びスライダ12の下
部張出し部上面に設けたところのガイド軸2と平行な直
線溝21である。
コレット22を固着しであるコレットホルダー23は、
その摺動面がコレットホルダーガイド金具18のガイド
面24と緩みなく、しかも上下動のみを拘束されずに嵌
合し、上部に取付けたローラ25が軸16の左端近く上
部に形成した山形カム26の上に接している。
その摺動面がコレットホルダーガイド金具18のガイド
面24と緩みなく、しかも上下動のみを拘束されずに嵌
合し、上部に取付けたローラ25が軸16の左端近く上
部に形成した山形カム26の上に接している。
そして、コレットホルダーガイド金具18が左又は右移
動するとき、山形カム26の山頂部にローラ25が接し
ており、コレットホルダーガイド金具18の静止時間帯
では軸16がさらに移動を継続するため、ローラ25は
山形カム26の山頂部から右又は左側にコレットホルダ
ー23の自重によって落ち込み、ついで軸16の移動方
向変換が起るため、今度は山形カム26によって引上げ
られて山頂部に戻る。
動するとき、山形カム26の山頂部にローラ25が接し
ており、コレットホルダーガイド金具18の静止時間帯
では軸16がさらに移動を継続するため、ローラ25は
山形カム26の山頂部から右又は左側にコレットホルダ
ー23の自重によって落ち込み、ついで軸16の移動方
向変換が起るため、今度は山形カム26によって引上げ
られて山頂部に戻る。
このようなコレットホルダーガイド金具18とコレット
ホルダー23の動きは、コレットに左右動とその左右動
両端にて一下上動を与えることになる。
ホルダー23の動きは、コレットに左右動とその左右動
両端にて一下上動を与えることになる。
以上説明したように、従来板カムによっである運動を得
るためには、板カムの基礎円直径プラス運動量の大きさ
をもった板カムを必要としたが、本考案においては板カ
ムの基礎円直径に相当する大きさを不要とするとともに
、NC工作機械及びカム製作治具等の特殊な工作設備を
用いずに製作できる。
るためには、板カムの基礎円直径プラス運動量の大きさ
をもった板カムを必要としたが、本考案においては板カ
ムの基礎円直径に相当する大きさを不要とするとともに
、NC工作機械及びカム製作治具等の特殊な工作設備を
用いずに製作できる。
又、使用部品にはボールねじのような高価なものを使用
する必要がなく、全体的に安価かつ小形化を実現できた
ことはボンダー及びチップマウンタの多ヘツド化に極め
て有利であり、その利点は極めて大きい。
する必要がなく、全体的に安価かつ小形化を実現できた
ことはボンダー及びチップマウンタの多ヘツド化に極め
て有利であり、その利点は極めて大きい。
図面は本考案の一実施例によるヘッド駆動機構を示すも
ので、第1図aはヘッド駆動機構側面図、第1図すは第
1図aのI−I’断面図、第2図aは第1図の部分側面
図、第2図すは第2図aのIIII’断面図、第3図は
第1図の部分側面図。 1・・・・・・フレーム、2・・・・・・ガイド軸、3
.3’、17.17’・・・・・・ガイド軸受、4・・
・・・・コイルばね、5・・・・・・抑え金具、6・・
・・・・駆動軸、7・・・・・・クランク、8・・・・
・・ローラ、9・・・・・・ローラ、10・・・・・・
軸、11・・・・・・中ふくらみ溝、12・・・・・・
スライダ、14.14’・・・・・・ガイド軸周ローラ
、15・・・・・・軸、16・・・・・・軸、18・・
・・・・コレットホルダーガイド金具、19・・・・・
・直線溝、20・・・・・・スライダ、21・・・・・
・溝、22・・・・・・コレット、23・・・・・・コ
レットホルダー、24・・・・・・ガイド面、25・・
・・・・ローラ、26・・・・・・山形カム。
ので、第1図aはヘッド駆動機構側面図、第1図すは第
1図aのI−I’断面図、第2図aは第1図の部分側面
図、第2図すは第2図aのIIII’断面図、第3図は
第1図の部分側面図。 1・・・・・・フレーム、2・・・・・・ガイド軸、3
.3’、17.17’・・・・・・ガイド軸受、4・・
・・・・コイルばね、5・・・・・・抑え金具、6・・
・・・・駆動軸、7・・・・・・クランク、8・・・・
・・ローラ、9・・・・・・ローラ、10・・・・・・
軸、11・・・・・・中ふくらみ溝、12・・・・・・
スライダ、14.14’・・・・・・ガイド軸周ローラ
、15・・・・・・軸、16・・・・・・軸、18・・
・・・・コレットホルダーガイド金具、19・・・・・
・直線溝、20・・・・・・スライダ、21・・・・・
・溝、22・・・・・・コレット、23・・・・・・コ
レットホルダー、24・・・・・・ガイド面、25・・
・・・・ローラ、26・・・・・・山形カム。
Claims (1)
- 半導体、抵抗、コンデンサ等のチップを定位置がら上下
動するコレットにより拾上げ、この状態で左或いは右に
搬送した後回路基板に安置するチップ搬送ヘッド駆動機
構であって、前記コレット22をコレットホルダ23に
固定すると共にコレットホルダーガイド金具18に対し
上下動自在に装着し、駆動源のクランクが回動すると中
ふくらみ溝11を備えたスライダ12および直線溝19
を備えたスライダ20により、前記コレットホルダーガ
イド金具18が両端に静止時間帯をもって往復運動し、
且つ該コレットホルダーガイド金具18の静止時間帯に
おいて前記コレットホルダ23が上下動するように構成
したチップ搬送ヘッド駆動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9311578U JPS587659Y2 (ja) | 1978-07-06 | 1978-07-06 | チツプ搬送ヘツド駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9311578U JPS587659Y2 (ja) | 1978-07-06 | 1978-07-06 | チツプ搬送ヘツド駆動機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS559576U JPS559576U (ja) | 1980-01-22 |
JPS587659Y2 true JPS587659Y2 (ja) | 1983-02-10 |
Family
ID=29023925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9311578U Expired JPS587659Y2 (ja) | 1978-07-06 | 1978-07-06 | チツプ搬送ヘツド駆動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS587659Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-07-06 JP JP9311578U patent/JPS587659Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS559576U (ja) | 1980-01-22 |
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