JPS587659Y2 - チツプ搬送ヘツド駆動機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はハイブリット集積回路製造装置において、ダイ
ボンダー及びチップマウンタのチップ搬送ヘッド駆動機
構の改良に関する。

ハイブリッド集積回路において、例えば導体及び抵抗体
を焼成したアルミナ回路基板上に搭載する半導体、抵抗
、コンデンサ等のチップは、準備したテーブル上の定位
置から真空コレットの上下動で吸着し、そのコレットを
回路基板上の定位置まで水平に搬送し、再度コレットを
上下動させて回路基板上に安置し、ダイボンディング又
は溶接している。

このようにチップを拾上げ、搬送して安置するところの
ヘッド駆動機構には、従来回転する板カムによってヘッ
ドが必要とする全動作を与えるか、又はチップを拾上げ
安置する上下動をクランク機構等で行い、そのクランク
機構と同期する搬送機能をボールねし機構で行なってい
た。

しかし、これらの従来機構は構造が複雑かつ大きくなり
、その専有するスペースはダイボンダー及びチップマウ
ンタを多数配置したハイブリッド集積回路の製造自動化
装置設計上の問題点となっていた。

本考案は、上記問題点を除去して安価なヘッド駆動機構
を提供することにあり、その目的達成は２個のローラ８
，９を具備するクランク７を回動することにより、コレ
ットホルダーガイド金具１８に左右動とその左右動端に
静止時間帯をもった往復運動を与え、他方、コレットホ
ルダー２３にはコレットホルダーガイド金具と同期した
左右動とコレットホルダーガイド金具１８の静止時間帯
において、コレットホルダーガイド金具１８に案内され
た一下上動を与えることにより、コレットホルダー２３
に固着したコレット２２に左右動とその左右動端にて一
下上動することを特徴としたチップ搬送ヘッド駆動機構
によって得られる。

以下、図面に従って説明する。

第１図ａは本考案によるヘッド駆動機構の側面図であり
、第１図すは第１図ａのＩ−Ｉ′断面図、第２図ａは第
１図の部分側面図、第２図すは第２図ａの■■−■１′
断面図、第３図は第１図の部分側面図を示す。

はぼコの字を横倒しにした形のフレーム１は、下部にガ
イド軸２と、上にガイド軸２と平行な軸心をもって保持
する２個のガイド軸受３，３′を具備し、左右の壁には
駆動軸６と同じ高さで内側を向き、コイルばね４，４′
によって張力を与えられた抑え金具５，５′を装着しで
ある。

モーターの回転を適宜減速して回転される駆動軸６は軸
受によって支持し、その一端にクランク７が固着される
。

そしてクランク７０回動先端近傍には、２個のローラ８
，９を転勤自在に定着した軸１０が固着しである。

ローラ８は、スライダ１２の中ふくらみ溝、即ち上部と
下部とにローラ８が緩みなく転勤できる幅の直線部と中
央部にはローラ８の回動半径プラスローラ８の半径を曲
率としたふくらみを上下対称にもった縦溝１１に嵌入し
て転動する。

そしてクランク７を回動することによりローラ８が溝１
１の上部又は下部白線部から中央部のふくらみ部に到達
するやや以前に、スライダ１２の側辺部１３又は１３′
はフレーム１の抑え金具５又は５′に接し、抑え金具５
又は５′はコイルばね４又は４′の圧縮によって、ロー
ラ８が溝１１のふくらみ部分の右又は左壁面に押し当て
られながら転動する。

このようなローラ８と溝１１の接触関係は、ローラ８が
溝１１の上下直線部を転動するときにスライダ１２は右
又は左へ移動し、ローラ８が溝１１のふくらみ部を転動
するときには、スライダ１２に静止時間帯を与える。

なお、スライダ１２の下部に取付けた２個のガイド軸周
ローラ１４，１４’がガイド軸２を挾持し、スライダ１
２の上部に固着したやや長い軸１５がガイド軸受３，３
′に嵌合して、スライダ１２と軸１５との直線移動を保
証している。

軸１５の一端、ガイド駆軸３′の外側には、軸１６のた
めの２個のガイド軸受１７．１７’とコレットホルダー
ガイド金具１８が固着しである。

ただし、ガイド軸受１７．１７’は軸１６の長さを可能
な限り短くするためと、後述するように軸１６の山形カ
ム２６に掛る力をなるべく近い位置で受けるように配慮
した結果、軸１５の一端に固着したのであって、上記フ
レーム１に設けることもできる。

ローラ９はスライダ２０の直線縦溝１９に嵌入して転動
することによって、スライダ２０とスライダ２０の上方
に固定した軸１６に左右往復運動を与え、そのガイドと
なるのがガイド軸受１７．１７’及びスライダ１２の下
部張出し部上面に設けたところのガイド軸２と平行な直
線溝２１である。

コレット２２を固着しであるコレットホルダー２３は、
その摺動面がコレットホルダーガイド金具１８のガイド
面２４と緩みなく、しかも上下動のみを拘束されずに嵌
合し、上部に取付けたローラ２５が軸１６の左端近く上
部に形成した山形カム２６の上に接している。

そして、コレットホルダーガイド金具１８が左又は右移
動するとき、山形カム２６の山頂部にローラ２５が接し
ており、コレットホルダーガイド金具１８の静止時間帯
では軸１６がさらに移動を継続するため、ローラ２５は
山形カム２６の山頂部から右又は左側にコレットホルダ
ー２３の自重によって落ち込み、ついで軸１６の移動方
向変換が起るため、今度は山形カム２６によって引上げ
られて山頂部に戻る。

このようなコレットホルダーガイド金具１８とコレット
ホルダー２３の動きは、コレットに左右動とその左右動
両端にて一下上動を与えることになる。

以上説明したように、従来板カムによっである運動を得
るためには、板カムの基礎円直径プラス運動量の大きさ
をもった板カムを必要としたが、本考案においては板カ
ムの基礎円直径に相当する大きさを不要とするとともに
、ＮＣ工作機械及びカム製作治具等の特殊な工作設備を
用いずに製作できる。

又、使用部品にはボールねじのような高価なものを使用
する必要がなく、全体的に安価かつ小形化を実現できた
ことはボンダー及びチップマウンタの多ヘツド化に極め
て有利であり、その利点は極めて大きい。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例によるヘッド駆動機構を示すも
ので、第１図ａはヘッド駆動機構側面図、第１図すは第
１図ａのＩ−Ｉ’断面図、第２図ａは第１図の部分側面
図、第２図すは第２図ａのＩＩＩＩ’断面図、第３図は
第１図の部分側面図。 １・・・・・・フレーム、２・・・・・・ガイド軸、３
．３’、１７．１７’・・・・・・ガイド軸受、４・・
・・・・コイルばね、５・・・・・・抑え金具、６・・
・・・・駆動軸、７・・・・・・クランク、８・・・・
・・ローラ、９・・・・・・ローラ、１０・・・・・・
軸、１１・・・・・・中ふくらみ溝、１２・・・・・・
スライダ、１４．１４’・・・・・・ガイド軸周ローラ
、１５・・・・・・軸、１６・・・・・・軸、１８・・
・・・・コレットホルダーガイド金具、１９・・・・・
・直線溝、２０・・・・・・スライダ、２１・・・・・
・溝、２２・・・・・・コレット、２３・・・・・・コ
レットホルダー、２４・・・・・・ガイド面、２５・・
・・・・ローラ、２６・・・・・・山形カム。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体、抵抗、コンデンサ等のチップを定位置がら上下
   動するコレットにより拾上げ、この状態で左或いは右に
   搬送した後回路基板に安置するチップ搬送ヘッド駆動機
   構であって、前記コレット２２をコレットホルダ２３に
   固定すると共にコレットホルダーガイド金具１８に対し
   上下動自在に装着し、駆動源のクランクが回動すると中
   ふくらみ溝１１を備えたスライダ１２および直線溝１９
   を備えたスライダ２０により、前記コレットホルダーガ
   イド金具１８が両端に静止時間帯をもって往復運動し、
   且つ該コレットホルダーガイド金具１８の静止時間帯に
   おいて前記コレットホルダ２３が上下動するように構成
   したチップ搬送ヘッド駆動機構。