JPH02204220A - 移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ１Ｍ業上０利用分野 本発明は、工作物移送装置に関し、より詳しくは、集積
回路電子デバイスを第１位置から、電子デバイスを導電
性要素にボンディングする装置で使用するための第２位
置に移送するための装置に関する。

Ｂ、従来技術 自動組み立て機械で部品やワークピースを移送するには
、一般に、部品をホッパやマガジンなどの貯蔵装置から
出して持ち上げる垂直な上方運動、部品を機械上の別の
位置に移動させる水平運動、部品を組立ステーションま
たは部品に対する次の操作を実施する機械上の別のステ
ーシロンに入れるもう一つの垂直な下方運動という、３
種の運動が必要である。垂直運動と水平運動という２つ
の独立した運動方向がある。これら２つの運動には、自
動化機械で２つの独立した運動を制御し、それらを適切
に順序付ける制御装置が必要である。順序付は動作には
、移送中に、３１１の運動のうちの１つが、次の運動が
開始する前に起こって完了することを保証するため、検
知装置を必要とすることが非常に多い。本明細書所載の
装置は、１つの運動だけを使って、こうした移送を実現
する。３種の運動の必要性は、上方、次いで水平方向、
次いで下方への運動を近似する単一の曲線運動を使用す
ることによってなくなる。この曲線運動は、すべり機構
と１組の歯車を用いて、運動学的に生成される。従来技
術の機械の、垂直方向と本平方向の２種の独立した運動
のうち１つをなくすと、工作物を第１位置から第２位置
に移送する時間が短縮され、したがって、作業速度が増
加する。さらに、た−ｆ！１つの運動しか必要でないの
で、移送用のコンピュータ制御動作も減少する。これら
があいまって、工作物の移送動作のコストと複雑さが減
少する。加えて、しかも非常に重要なことに、単一の運
動による移送のため、従来技術の装置での２つの独立し
た、水平方向及び垂直方向の運動を同期させる複雑さが
すべてなくなる。

Ｃ１発明が解決しようとする問題点 本発明は、特に、集積回路電子部品の高速製造にとって
有用なことが判明している。具体的には、本発明の装置
を使って、半導体チップを保管位置からつまみ上げ、こ
れをボンディング・ヘッドまで、移送することができる
。ボンディング・ヘッドは、半導体上の接点位置を複数
のビーム・リードにボンディングして、半導体チップを
電子実装基板に電気的に接続するために使用される。

本発明の目的は、工作物を第１位置から第２位置までほ
ぼなめらかな曲線運動に沿って移送する装置を提供する
ことにある。

本発明のもう１つの目的は、１つの運動を用いて、工作
物を垂直につまみ上げ、水平に移送し、垂直に下ろす装
置を提供することにある。

本発明のもう１つの目的は、工作物を下ろす位置で垂直
速度がほぼゼロになるように下ろす装置を提供すること
にある。

本発明のもう１つの目的は、工作物を第１位置から第２
位置までトロコイド状曲線に沿って移送することにある
。

本発明のもう１つの目的は、円筒形表面に平行な方向に
突き出した工作物取上げアームを備えた円筒形部材を、
表面に沿って転動させることにより、トロコイド移送運
動を実現することにある。

Ｄ１問題点を解決するための手段 本発明は、その最も広い態様で゛は、工作物を第１の所
定位置から第２の所定位置まで、第１位置から第２位置
へとほぼ連続的に曲がった弧を描いて、移送する装置で
ある。

本発明のより具体的な態様では、この装置は、フレーム
、フレーム上の表面、表面に沿って転動するように適合
されたほぼ円筒形表面を有する部材を備えている。

工作物つまみ手段が部材に取り付けられている円筒形表
面を、フレーム上の表面に沿って転動させる手段がある
。これは、取上げ手段を第１位置から第２位置へと曲が
った弧に沿って移動させるものである。

本発明の別のより具体的な態様では、はぼ円筒形の表面
を有する部材がピニオンの歯であり、それがフレーム上
を転動する表面はラックである。

本発明の別のより具体的な態様では、工作物取上げ手段
は、平歯車の面から外側に突き出したアームであり、ア
ーム上の取上げ点は、平歯車の軸から平歯車の半径にほ
ぼ等しい距離だけ離れた所にある。

本発明の別のより具体的な態様では、工作物取上げ手段
の先端に真空ピックアップ手段がある。

本発明の別のより具体的な態様では、工作物取上げ手段
の先端の１縁部が、平歯車の半径と平歯車のピッチ直径
によって画定される表面との交点にある。

Ｅ、実施例 第２図は、本発明の基礎となる幾何学的概念を示してい
る。円６が平坦な表面８に沿って転動すると、円周上の
点１０は、空間中でトロコイドの特殊な形であるサイク
ロイドと呼ばれる弧１２を描く。点１０は、円６が位置
１４のとき表面８と接触する。円６の中心１６が１８の
方向に動くにつれて、円６は反時計回りに回転する。点
１０は、円θが位置２０のとき表面８の上で最大の高さ
に達する弧１２を描く。位置２０のとき、円６の中心１
６は、位１１１４のときから円周の半分に等しい距離だ
け移動している。円６が１８の方向に動き続けると、点
１０は円６が位置２２のとき表面８と接触する位置に戻
る。位置２２のとき、円６の中心１６が、位置１４のと
きから円周に等しい距離だけ移動している。円８が位置
１４及び２２のときの点１０の移動方向は、垂直方向、
すなわちまっすぐ上方及び下方である。円６が位置１４
．２０．２２のときの点１０の垂直速度はゼロである。

点１０は、位置１４及び２２のとき、力をかけずに表面
８に接触する。点１０は、円θが位置２０のとき弧１２
に沿った最大の加速度を有する。

円６上の点２６は、点１０と同じ半径に沿っているが、
円６の円周上にはなく、位置１４から位置２２まで移動
するとき、弧２８を描く。弧２８は、短縮トロコイドと
呼ばれる。点２Ｂは、点１０と違って、円６が位置１４
及び２２のとき垂直に上方及び下方に運動することはな
い。しかし、点２６は、円６が位置１４．２０．２２の
とき垂直速度がゼロである。円６の点３０は、円６の中
心１６から円周上の点１０に向かう半径の延長線上にあ
り、延長トロフィト弧３２と呼ばれる曲線を描く。円６
が位置１４．２０．２２のときの弧３２は、垂直速度が
ゼロであるが、位置１４及び２２のときに点１０が移動
する場合とは違って、まっすぐ上方及び下方に移動する
ことはない。位（ｉ！１４及び２２のとき、点３０は、
第２図に示すように、前後にループを描く。点３０の弧
３２に沿った加速度が最大になるのは、円θが位置２０
にあるときである。本出願では、弧または曲線１２．２
８．３２をトロコイドと呼ぶ。円が位置１４及び２２の
ときの点１０，２６．３０の位置は極小である。円θが
位置２０のときのそれらの点の位置は極大である。極大
及び極小の位置を極値と呼ぶ。

本発明の好ましい実施例では、円板状の構造が、第２図
の８のような平坦な表面に沿って転動する。

ただし、本発明はこのような運動に限定されるものでは
ない。円板状構造は、曲面に沿って転動することができ
る。この場合、点１０．２６．３０は、本出願ではトロ
コイドという用語に含まれる連続したなめらかな曲線を
描く。後で好ましい実施例で説明するが、工作物取上げ
手段は、円板または円筒形構造の周囲に沿って位置決め
されている。ただし、工作物取上げ手段は、第２図の円
６の半径に沿った任意の点にあってよい。−般的な表面
８の場合、第１図の弧３２及び２８は、円６の運動を通
じて連続な１次導関数と連続な２次導関数を有する。弧
１２は、点１０が表面８と接触する位置１４及び２２に
円６があるときを除いて、連続な１次と２次の導関数を
有する。これらの位置にあるとき弧１２は連続な２次導
関数を有するか不連続な１次導関数を有する。点１０が
表面８に接する点の右側の１次導関数は、正の無限大で
あり、点１０が表面８に接する点のすぐ左側の１次導関
数は、負の無限大である。これは、点ＩＯが表面８に接
する点で点１０が垂直に上方及び下方へ向かっているの
に対応している。

第１図は、本発明による装置の基本概念を示している。

部材４０は、表面４４に沿って転動する、はぼ円筒形の
表面４２を有する。取上げアーム４７は部材４８と部材
５４から形成されている。部材４６は、部材４０の表面
４８に取り付けられている。部材４６が、円筒形表面４
２の軸５０に沿って平坦な表面４８から垂直に延びてい
る。後で説明する好ましい実施例では、取上げアームが
部材４０にこのように取り付けられている。ただし、取
上げアームは、表面４０上のどの点で、部材４０の表面
４８に取り付けることもできる。さらに、部材４０が平
坦な表面４８を有する必要はなく、取上げアームがこの
ような表面に対して垂直である必要もない。

好ましい実施例では、部材４６の表面４８に取り付けら
れない方の端部５２に、部材４６の端部５２から垂直に
延びる部材５４が存在する。この好ましい実施例の部材
５４の端部５θは、円筒形表面４２の軸５０から円筒形
表面４２の半径５８に等しい距離のところにある。部材
４０が位置６２にあるとき、取上げアームの先端５６が
、たとえば、当技術分野で通常使用されている真空ピッ
クアップにより、工作物（物品）６０をつまみ上げる。

円筒形表面４２の軸５０は、方向６４に動いて、部材４
０を位置６８へと転動させる。取上げアームの先端５６
は、空間で弧６８を描き、部材４０は、円筒形表面４２
の周の１７２に等しい距ｆｆ１Ｌだけ動く。取上げアー
ム部材５４は、部材４０が位置６６にあるとき、部材４
０が位置６２にあるときの位置に対して１８０度回転し
ている。

部材４０が位置θ６にあるとき、ワークピース６０は上
方に向き、この位置のとき、第２図に示していない取付
は具によって取上げアーム５４につまみ上げることがで
きる。真空ピックアップが表面５８から解放され、工作
物６０を取付は具に移送する。部材４０は、位置６６か
ら、円筒形表面４２の周に等しい距離Ｌ′にある位置７
０まで転動することができる。部材４０が位置７０にあ
るとき、取上げアーム部材５４は、部材４０が位置６２
にあるときの位置に比べて３ｅＯ度回転している。部材
４０が位置７０にあるとき、工作物６０は、取上げアー
ム５０中の真空ピックアップを解放することによって、
第１図には示していない取付は具に下ろすことができる
。真空ピックアップは、取上げ手段として好ましい実施
例であるが、本発明の装置はそれに限定されるものでは
ない。

部材４０が位ｆｉＩｅｅから位［７０まで転動するとき
、工作物６０は空間中でトロコイド弧を描いて移動する
。取上げアームは、弧６８に沿ったどの点で工作物をつ
まみ上げて離すこともできる。

第３図は、第２図の部材４０と表面４４の好ましい実施
例を示している。第１図の部材４０は、第３図では平歯
車すなわちピニオン７０となっている。第１図の表面４
４は、第３図では、ラック７２となっている。ピニオン
７０の周辺に沿った破線７４は、第１図の表面４２、す
なわち転動する円筒形表面に対応している。表面７４は
、ピニオン７０の歯先と歯元のほぼ中点にある。表面７
４は、当技術分野でピッチ円直径と呼ばれる。表面７６
は、ラック７２の歯先と歯元のほぼ真中にある。ピニオ
ン７０の歯７８は、ラック７２の歯８０と噛み合ってい
る。最も理想的な状況でも、ピニオンとラックの歯の間
に、ある量の自由な遊び、すなわちスロップがある。後
で説明するように、このスロップについては、本発明の
好ましい実施例で説明する。

第４図ないし第９図は、本発明の装置の好ましい実施例
を示している。第４図ないし第９図に共通した番号は、
すべて同じものを表す。

第４図は、本発明による装置の斜視図である。

第５図は、本発明による装置の上面図である。

第６図は、指示した方向から見た第４図のＡ面に沿った
本発明の装置の断面図である。

第７図は、第４図に矢印Ｂで示した方向から見た本発明
による装置の側面図である。

第８図は、装置が第１位置から第２位置へ移動する間の
取上げアームの位置を順次示す第４図に矢印Ｃで示した
方向から見た第４図の装置の側面図である。

第９図は、取上げアームのピニオンに対する関係の好ま
しい実施例を示す。

第４ないし第９図に示すように、本発明による装置の好
ましい実施例は、ベース・プレート９０を備え、その上
にたとえばＴＨＫ社製のＮ５Ｒ２０ＴＢＡＩＵＵ−３４
０型など、静止トラック９２と可動キャリッジ９４を有
する市販の往復形スライドが取り付けられる。当業者な
ら容易に製造できる適当なベアリング・ブロック９６が
、キャリッジ９４にボルト締めされている。ベアリング
・ブロック９６の両面に、ベアリングθ８及び１００が
取り付けられている。回転軸１０２が、ベアリング・ブ
ロック９ｅに関して回転できるように、ベアリング・ブ
ロック９６とベアリングθ８及び１００を貫通して取り
付けられている。軸１０２の１端に平歯車またはピニオ
ン１０４があり、静止ラック１０８と噛み合っている。

ラック及びピニオンは、たとえばＰＩＣＤＥＳＩＧＮ社
製の部品番号ＡＧ３１とＤＧ８０Ｔ６０など、市販のも
のでよい。回転軸１０２の他端には、アーム１０６が取
り付けられている。アーム１０６を形成する第１の部材
１０８は、その１端１０９が、回転軸１０２に関して垂
直な構成で取り付けられている。アーム１０６の第２の
部材１１０は、アーム１０８の他端１１１から、ベアリ
ング・ブロック９ｅと遠ざかる垂直方向に突き出してい
る。アーム１０６の第３の部材１１２は、アーム部材１
０８の回転軸１０２への接続点付近でアーム部材１０日
にその１端が取り付けられている。アーム部材１１２の
他端は、アーム部材１０８に接続されているアーム部材
１１０の端部付近で、アーム部材１１０に接続されてい
る。アーム部材１１２は、アーム部材１０８をアーム部
材１１０に取り付けるための構造的支持体となっている
。アーム部材１０８に接続されているアーム部材１１０
の端部１１４に、取上げ先端１１６がある。好ましい実
施例では、取上げ先端１１６は、取上げアーム１０６及
び１１４から垂直方向に延びている。取上げ先端１１６
は、取上げ面１２０に延びる空洞をその中に有する。空
洞１１８の他端には、取付は具１２２があり、それに取
上げ先端１工６に真空をかけるためのホースが取り付け
られる。ホース（図示せず）が、取付は具１２２を取付
は具１２４と接続する。取付は具１２４は、取上げアー
ム１０６のアーム部材１０８を貫通して突き出した回転
軸１０２の端部にある。取付は具１２６は、平歯車１０
４を貫通して突き出した軸１０２の末端にある。取付は
具１２８に真空ホースをはめる。

そうすると、中空回転軸１０２から取付は具１２４を経
て取付は具１２４と１２２をつなぐホースに真空がかか
る。次いで、空洞１１８を経て、工作物をつまみ上げる
のに使用される表面１２０上の開口に真空がかかる。表
面１２０に印加される真空は、通常使用されるソレノイ
ド弁、たとえばＣ１１ｐｐａｒｄ　Ｍｒｇ、社製の部品
番号Ｒ４８１などを使って、オンオフされる。

可動キャリッジ９４は、空気圧シリンダ１３０により、
スライド・トラック８２に沿って第１位置から第２位置
まで移動される。当技術分野では、たとえばＢｉｍｂａ
　Ｍｆｇ、社製の部品番号ＭＲ８−０４８−ＤＸＰなど
の空気圧シリンダが一般に使用される。好ましい実施例
では、つまみ上げられる工作物は、集積回路チップであ
る。空気圧シリンダ１３０は、キャリッジ９４を、取上
げ用先端１１６がＩＣチップをつまみ上げる第１位置か
らキャリッジ９４を、取上げ用先端１１６が表面１２０
で真空圧を解除することによってチップをおろす第２位
置へと移動させる。キャリッジ９４が第１位置から第２
位置まで移動するとき、平歯車またはピニオン１０４は
、静止ラック１０６と噛み合っているので、回転する。

平歯車１０４に取り付けた軸１０２が、軸１０２に取り
付けられたアーム１０６を回転させる。つまみ上げられ
たチップは、上記のようなトロコイド弧線を描いて空中
を移動する。空気圧シリンダ１３０は、空気圧シリンダ
に出入りする空気などの気体の流れを制御してその運動
を制御する、第２のソレノイド弁によって制御される。

このソレノイド弁は、空気圧シリンダ１３０の運動を制
御し、取上げアーム先端工１６にある真空ピックアップ
を制御するが、コンピュータまたは他の装置により、当
技術分野で周知のやり方で、同期し制御することができ
る。

第７図に示すように、空気圧シリンダ１３０は、キャリ
ッジ９４を、第１位置１４０から、第７図に点線で示し
た第２位置１４２へと移動させる。

キャリッジ９４が位置１４０及び１４２に近づくと、そ
の運動は１位置１４０にある緩衝器１４４及び位置１４
２にある緩衝器１４６によって速度をおとす。緩衝器１
４４及び１４θは、たとえばＥＮＩＤＩＮＥ社製の部品
番号ＯＥＭ５Ｂなど、市販のものでよい。キャリッジ８
４が位置１４０にあるとき、緩衝器１４４の先端１４７
が、キャリッジ９４に取り付けられた部材１８０を押し
つける。キャリッジ８４が位置１４２にあるときは、部
材１６２が緩衝器１４ＥＩの先端１４５に押しつけられ
る。

キャリッジ９４の運動は、平歯車１０４の側面１５０に
ある開口にプレスばめされたビン１４８によって停止さ
れる。ビン１４８は、平歯車１０４の表面１５０に垂直
に延びて、取上げアーム１０ｅの方に向かっている。キ
ャリッジ９４が位置１４０にあるとき、ビン１４８は調
節式ストップ１５２に当たる。キャリッジ９４が位置１
４２にあるときは、ビン１４８は調節式ストップ１５４
に当たる。調節式ストップ１５２及び１５４は、それぞ
れベース・プレート９０に取り付けられた部材１５Ｂ及
び１５８にねじ込まれる調節ねじであ墨。

空気圧シリンダ１３０の末端１６４は、キャリッジ９４
に取り付けられ、空気圧シリンダの末端１６６は、ベー
ス・プレート９０に取り付けられたピボット・ブラケッ
ト１６８に取り付けられている。

第７図は、第４図の装置の、第４図に矢印Ｂで示した方
向から見た側面図である。第７図は、ピニオン１０４が
、第１位置１４０及び第２位置１４２にあるところを示
す。位置１４２は、点線で示しである。わかりやすいよ
うに、第４図に示した緩衝器１４８．１４４などすべて
の要素は、第７図には示してない。ピニオン１０４及び
ラックエ０６は、１車の歯を示してない。ビン１４８が
ストップ１５２または１５４に押しつけられると、平歯
車の歯がラック１０６の歯に押しつけられ、これにより
、平歯車の歯とラックの歯の間のスロップによる平歯車
の位置の不確定さが避けられる。

第８図は、第４図の装置の矢印Ｃで示した方向から見た
側面図である。わかりやすいように、第４図に示したす
べての要素は、第８図には示してない。キャリッジ９４
が位置１４０にあるとき、取上げアームの先端１１６は
下向きになる。取上げアームの先端１１６にある開口１
１８から真空をかけると、電子デバイス１８０がつまみ
上げられる。真空は、ソレノイド弁（図示せず）によっ
て活動化される。別のソレノイド弁が、空気圧シリンダ
１３０を活動化させて、キャリッジ９４をトラック９２
に沿って位ｉｉ！１４２まで押していく。

第８図には、位置１８２，１８４．１８６．１８８．１
８９．１９０，１９２にあるときの取上げアーム１０θ
の位置が、点線で示しである。これは、取上げアームが
空間で回転して、電子デバイス１８０の向きを変える様
子を示している。取上げアーム１０６が位置１８８にあ
るとき、電子デバイスは、面を上にした位置にひつくり
返える。

電子デバイスは、位置１９２のとき、再度ひつくり返え
る。電子デバイスまたはその他のワークピースは、取上
げアームの走行径路に沿ったどの点ででもつまみ上げる
ことができる。また、電子デバイスは、取上げアームの
走行径路に沿ったどの点ででも、おろすことができる。

通常、電子デバイスは、チップを上に向けて保持する保
管位置からつまみ上げられる。取上げアームは、チップ
をつまみ上げ、通常、１８０などの位置で停止し、チッ
プをボンディング装置のボンディング・ヘッドなど別の
装置上におろす。ボンディング・ヘッドのティップ１１
６の真空が解除され、真空ピックアップが、チップをつ
まみ上げるボンディング・ヘッド中で活動化される。チ
ップが移送されるもう一つの典型的な位置は、位置１９
４であり、チップは下向きにしてたとえば、ボンディン
グ・ヘッド上におろされる。

第９図は、円筒形表面２０４を有する部材２０２の中心
２００に対する、取上げアーム１０８の好ましい向きを
示したものである。第４図の装置で、円筒形表面を有す
る部材は、ピニオンまたは平歯車１０４であり、円筒形
表面は平歯車のピッチ円半径である。工作物２０８を表
面２１０からつまみ上げる取上げアーム１０８の表面２
０８は、前縁２１２が表面２１０に接触する点まで円筒
形表面２０４の半径に沿っている前縁２１２を有する。

部材２０２が中心２００のまわりで回転するとき、まず
表面２０６の後縁２１４が離れる表面２１０から持ち上
げられて、ワークピース２０８は、瞬間的に、前縁２１
２が表面２１０と接触する点である点２１３のまわりで
回転する。この構成により、工作物２０８を表面２１０
から引き剥がすことができる。前縁２１２が円筒形表面
２０２の中心２００からの半径に沿っていない場合は、
部材２０２が回転し始めるとき、前縁が表面２１０中に
押し込まれてしまう。破線１１１はこの状況を図示した
もので、半径１１５上の点１１３で円２０４に外接する
。破線１１１は、円の半径上にない前縁１１７を有する
。線１１１は、端部１１７が表面２１０より下にくる回
転した位置で示されている。これは、ワークピース２０
Ｂを、たとえば真空ピックアップにより、取上げアーム
１０６でつまみ上げ、次いで、表面２１０を下に移動さ
せて、前縁が表面２１０に触れずに回転できる隙間を設
けることによって避けることができる。

あるいは、第９図に示した構成を使って、表面２１０を
下に移動させることもできる。本体２０２が丸２回転し
た後、工作物２０８が表面２１０上に再びおろされる。

工作物２０８が表面２１０に押し込まれることなり、縫
部２１４がまず表面２１０に接触し、次いで縁部２０８
が表面２１０に接触する。第５図に示した本発明の好ま
しい実施例の上面図を見ると、取上げアーム１０６の縁
部１２５が回転軸１０２の軸に沿っていることがわかる
。

第１０図は、電子デバイス・ボンディング装置に使用さ
れる本発明の装置を示したものである。

取上げアーム１０８が、第４図に示した装置の大部分の
要素を収容するハウジング２２０から外へ延びている。

第４図と第１０図で共通する番号は、同じものを表して
いる。取上げアームの先端１１６が、電子デバイス２２
２をＸ方向及びＹ方向に移動できるテーブル２２４上の
デバイスのアレイから取り上げる。コンピュータの制御
で、テーブル２２４が、取上げアームの先端２１６の下
方で、チップ２２２の１個を適切な向きにする。ソレノ
イド弁によって取上げアームの先端１１６で真空が活動
化され、空気圧シリンダ１３０中でガス圧が活動化され
る。取上げアーム１０６がピニオン１０４のピッチ円半
径の半周分進むと、チップは、上向きになり、ボンディ
ング・ヘッド２２８中の点線で示した真空ピックアップ
・ポート２２６によってつまみ上げることができるよう
になる。取上げアーム２０６が平歯車１０４のピッチ円
直径の周に等しい距離だけ進むと、チップをボンディン
グ・ヘッド２３２の表面２３０上へおろすことができる
ようになる。第４図に示した複数の装置を使用すること
により、複数のチップを配置することも実施できる。電
子デバイスの位置を反転させるだけでよい場合、あるい
は平歯車がピッチ円直径の半分だけ進む場合には、半円
形の平歯車１０４を使用すればよい。半円形平歯車を使
用する場合、第４図に示したビン１４８は使用する必要
がない。その代わり、半円形平歯車の直径に沿った縁部
を、調節可能式ストップ１５４及び１５２に対して押し
つけることができる。

Ｆ１発明の効果 工作物を垂直に持ち上げ、次に水平に移送し、更に垂直
に下ろすと言う一連の動作を、単一の運動機構で実現で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による装置の基本概念の説明図である
。 第２図は、本発明の基礎となる幾何学的概念の説明図で
ある。 第３図は、ラックに沿って転動するように取り付けられ
た平窮車すなわちピニオンの概略図である。 第４図は、本発明の好ましい実施例の斜視図である。 第５図は、第４図の装置の上面図である。 第６図は、第４図の装置の、第４図にＡで示した方向か
ら見た背面図である。 第７図は、第４図の装置の、第４図にＢで示した方向か
ら見た側面図である。 第８は、第４図の装置の取上げ手段の、第１位置から第
２位置へ移動中の様々な位置を示す、第４図の装置の、
第４図にＣで示した方向から見た側面図である。 第９図は、第４図の好ましい実施例の平歯車に対して好
ましい向きをとった、取上げアームの先端表面の概略図
である。 第１０図は、半導体チップ・ボンディング装置の一部と
しての第４図の装置の概略図である。 ４０・・・・部材、４２・・・・円筒形の表面、４４・
・・・表面、４７・・・・取上げアーム、６０・・・・
工作物（物品）。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）物品を第１の所定位置から第２の所定位置に移送
   するための装置であって、 フレームと、 上記フレーム上の表面に沿って転動するように適合され
   た、実質的に円筒形の表面を有する部材と、 上記部材に取り付けられた物品取上げ手段と、上記円筒
   形表面を上記表面に沿って転動させて、上記取止げ手段
   を曲がった弧に沿って上記第１位置から上記第２位置に
   移動させる手段と、 を含む移送装置。
2. （２）物品を第１の所定位置から第２の所定位置に移送
   するための装置であって、 フレームと、 ラックに移動可能に取り付けられたピニオン歯車と、 物品取上げ先端を有する、上記ピニオン歯車に取り付け
   られた物品取上げ手段と、 上記ピニオン歯車を上記ラックに沿って移動させて、上
   記物品取上げ先端をトロコイド弧に沿って上記第１の所
   定位置から第２の所定位置に移動させる手段と、 を含む移送装置。
3. （３）物品を第１の所定位置から第２の所定位置に移送
   するための装置であって、 フレームと、 上記フレーム上の表面と、 上記表面に移動可能に取り付けられた部材と、上記部材
   に取り付けられた物品取上げ手段と、上記表面上で上記
   部材を移動させて、上記取上げ手段を実質的に連続的に
   曲がった弧を描いて上記第１の所定位置から上記第２の
   所定位置に移動させる手段と、 を含む移送装置。
4. （４）第１の運動を実質的にトロコイド運動に変換する
   ための装置であって、 フレームと、 上記フレーム上の表面に沿って転動するように適合され
   た、実質的に円筒形の表面を有する部材と、 上記第１の運動を引き起こし、上記円筒形表面を上記表
   面に沿って転動させて、上記部材に取り付けられた所定
   の位置を実質的にトロコイドの弧に沿って移動させる手
   段と、 を含む装置。
5. （５）フレームと、 上記フレームに移動可能に取り付けられた実質的に円筒
   形の表面を有する部材と、 上記円筒形表面を上記円筒形表面の軸のまわりに回転さ
   せて、上記部材に取り付けられた所定位置を実質的にト
   ロコイドの弧に沿って移動させる手段と、 を含む移送装置。
6. （６）部材を表面に向かって移動させ、上記部材が上記
   表面に接触した時、速度がほぼゼロになるようにする移
   送装置であって、 フレームと、 上記部材をトロコイド弧の極大にある上記表面に向かっ
   てトロコイド弧を描いて移動させる手段と、 を含む移送装置。