JPH0550729U - 石英炉芯管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 拡散炉の石英炉芯管内で水素と酸素を混合し
て燃焼させる場合の放熱対策を講じた石英炉芯管に関す
る。 【構成】 石英炉芯管２の燃焼部分に、冷却用ガス導入
管４より導入する窒素等で冷却できる冷却部３を設けた
ものである。 【効果】 石英炉芯管に冷却部を取り付けたことによ
り、燃焼時に室内に放熱させる等の手段を用いずに石英
炉芯管に沿って長い均熱帯を確保できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体製造装置の拡散炉で使用する石英炉芯管の改良した構造に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の拡散炉に使用する石英炉芯管は、図２（ａ）に示すように、水 素と酸素を導入する枝管５，５があり、ヒータ１により囲繞された石英炉芯管２ 内で水素と酸素とを混合して燃焼させ、発生したスチーム状の水分とウェーハを 反応させて、ウェーハ上に酸化膜を形成している。

【０００３】 また、石英炉芯管２内の温度分布は、図２（ｂ）に示すように、非燃焼時には 石英炉芯管２に沿って長い均熱帯ｌ₁ が得られている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上記の従来の石英炉芯管は、図３（ａ）に示すように、水素燃焼時 にはその熱により炉芯管２内部の温度分布が変動し、図３（ｂ）に示すように短 い均熱帯ｌ₂ となり、長い均熱帯を確保することが困難となる欠点があった。

【０００５】 また、この燃焼時の熱を放熱するため、図４（ａ）に示すように石英炉芯管２ を拡散炉のヒータ１部分より大きく突出させ、図４（ｂ）に示すように長い均熱 帯ｌ₃ を得る方法があるが、この場合にはその放熱の影響により、室温の上昇や 他の設備への影響があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

この考案は、上記問題点を解決するために、拡散炉のヒータにより囲繞される 石英炉芯管の枝管から導入される水素と酸素とによる燃焼部近傍に、例えば冷却 用ガス導入管と通じる冷却部を設けるものである。

【０００７】

【作用】

上記の構成によると、石英炉芯管内で水素と酸素とが混合して燃焼したときの 熱を、冷却部に例えば冷却用ガス導入管から窒素等のガスを流すことにより、放 熱させることができる。

【０００８】

【実施例】

以下、この考案について図面を参照して説明する。

【０００９】 図１（ａ）はこの考案の一実施例である石英炉芯管の略示断面図，（ｂ）はそ れに対応する炉芯管内部温度分布図である。図において、１は拡散炉のヒータ， ２は炉芯管，３は石英炉芯管２の冷却部、４はこの考案の特徴部分である冷却用 ガス導入管，５，５は水素と酸素とのガス導入用の枝管である。

【００１０】 上記の石英炉芯管の動作について説明する。

【００１１】 この実施例によれば、水素と酸素との混合体による燃焼時に発生する熱が、冷 却用ガス導入管４から冷却部３に導入された冷却用窒素で冷却部３が冷却される ため、図１（ｂ）に示すように均熱帯ｌ₄ が燃焼しないときの均熱帯ｌ₁ ［図２ （ｂ）］と同様長くなり、図４（ａ）に示したように炉芯管２を突出させること により長い均熱帯ｌ₃ ［図４（ｂ）］を得ることなく、そのまま長い均熱帯を確 保，すなわちｌ₁ ≒ｌ₃ ≒ｌ₄ とすることができる。

【００１２】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案は石英炉芯管の水素と酸素による燃焼部近傍に 冷却部を設けたことにより、室内に放熱する手段等を用いることなく、炉芯管に 沿って長い均熱帯を確保できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例である石英炉芯管の
（ａ）略示断面図，（ｂ）それに対応する炉芯管内部の
温度分布図

【図２】 従来の石英炉芯管で非燃焼時の（ａ）略示断
面図，（ｂ）温度分布図

【図３】 従来の石英炉芯管で燃焼時の（ａ）略示断面
図，（ｂ）温度分布図

【図４】 従来の石英炉芯管で燃焼時の放熱対策をした
ものの（ａ）略示断面図，（ｂ）温度分布図

【符号の説明】

１ ヒータ ２ 石英炉芯管 ３ 冷却部 ４ 冷却用ガス導入管 ５ 枝管

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】拡散炉のヒータにより囲繞される石英炉芯
   管の、枝管から導入される水素と酸素とによる燃焼部近
   傍に冷却部を設けたことを特徴とする石英炉芯管。
2. 【請求項２】請求項１記載の冷却部に冷却用ガス導入管
   を設けたことを特徴とする石英炉芯管。