JPH0712039B2 - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
- Publication number
- JPH0712039B2 JPH0712039B2 JP4147289A JP14728992A JPH0712039B2 JP H0712039 B2 JPH0712039 B2 JP H0712039B2 JP 4147289 A JP4147289 A JP 4147289A JP 14728992 A JP14728992 A JP 14728992A JP H0712039 B2 JPH0712039 B2 JP H0712039B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- flow pipe
- resistant flow
- heat treatment
- combustion chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体ウェハ
の表面に酸化膜を形成する熱処理装置に関する。
の表面に酸化膜を形成する熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハの表面に酸化膜を形成する
熱処理装置には、水素ガスと酸素ガスを炉芯管内部の処
理室（治具整列の半導体ウェハを酸化処理する炉芯室）
に供給し、この処理室の内部で水素ガスを燃焼して水蒸
気を含んだウェット酸素を発生させる内部燃焼式と、炉
芯管の外部に燃焼室を設け、この燃焼室で水素ガスを燃
焼して水蒸気を含んだウェット酸素を発生させ、この高
温のウェット酸素を前記処理室に供給する外部燃焼式と
がある。
熱処理装置には、水素ガスと酸素ガスを炉芯管内部の処
理室（治具整列の半導体ウェハを酸化処理する炉芯室）
に供給し、この処理室の内部で水素ガスを燃焼して水蒸
気を含んだウェット酸素を発生させる内部燃焼式と、炉
芯管の外部に燃焼室を設け、この燃焼室で水素ガスを燃
焼して水蒸気を含んだウェット酸素を発生させ、この高
温のウェット酸素を前記処理室に供給する外部燃焼式と
がある。
【０００３】この外部燃焼式の熱処理装置は、炉芯管外
部の燃焼室で発生させた高温のウェット酸素を炉芯管処
理室に供給する耐熱流送管を備えている。耐熱流送管は
１００℃以下になると燃焼室で発生したウェット酸素が
凝結してしまうため、この耐熱流送管にリボンヒータや
マントルヒータを巻き付け、ヒータによって耐熱流送管
を加熱することにより、水蒸気の凝結を防止している。
部の燃焼室で発生させた高温のウェット酸素を炉芯管処
理室に供給する耐熱流送管を備えている。耐熱流送管は
１００℃以下になると燃焼室で発生したウェット酸素が
凝結してしまうため、この耐熱流送管にリボンヒータや
マントルヒータを巻き付け、ヒータによって耐熱流送管
を加熱することにより、水蒸気の凝結を防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したように従来の
耐熱流送管の保温構造では、耐熱流送管内での水蒸気の
凝結を防ぐために、耐熱流送管の外周にリボンヒータや
マントルヒータを巻き付けているが、このヒータを包ん
でいる断熱材から、微細なゴミを発生しこれが飛散して
半導体の製造に悪影響をおよぼしていた。
耐熱流送管の保温構造では、耐熱流送管内での水蒸気の
凝結を防ぐために、耐熱流送管の外周にリボンヒータや
マントルヒータを巻き付けているが、このヒータを包ん
でいる断熱材から、微細なゴミを発生しこれが飛散して
半導体の製造に悪影響をおよぼしていた。
【０００５】本発明は前記事情に着目してなされたもの
で、その目的とするところは、ゴミが発生することがな
く、半導体製造に悪影響を及ぼすことがない熱処理装置
を提供することにある。
で、その目的とするところは、ゴミが発生することがな
く、半導体製造に悪影響を及ぼすことがない熱処理装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の熱処理装置は、
前記目的を達成するために、燃焼室と炉芯管とを接続
し、燃焼室で発生した水蒸気を炉芯管へ導入する耐熱流
送管を有する熱処理装置において、前記耐熱流送管の外
周にこれを覆うように設けられ軸方向に複数に分割され
るとともに、内部に密閉された空洞を有する石英管と、
この石英管の空洞内に配設された電気ヒータとを備えて
構成した。
前記目的を達成するために、燃焼室と炉芯管とを接続
し、燃焼室で発生した水蒸気を炉芯管へ導入する耐熱流
送管を有する熱処理装置において、前記耐熱流送管の外
周にこれを覆うように設けられ軸方向に複数に分割され
るとともに、内部に密閉された空洞を有する石英管と、
この石英管の空洞内に配設された電気ヒータとを備えて
構成した。
【０００７】
【作用】このように構成された熱処理装置によれば、石
英管の内部の電気ヒータに通電することにより耐熱流送
管を加熱することができ、また電気ヒータは石英管に包
まれているため、ゴミが飛び散ることがない。
英管の内部の電気ヒータに通電することにより耐熱流送
管を加熱することができ、また電気ヒータは石英管に包
まれているため、ゴミが飛び散ることがない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３に基
づいて説明する。図２に示すように、外部燃焼式の熱処
理装置１０は、燃焼室１１と炉芯管１２とを備えてい
る。燃焼室１１と炉芯管１２とは耐熱流送管１３により
接続され、燃焼室１１で発生した水蒸気を炉芯管１２へ
導入するようになっている。
づいて説明する。図２に示すように、外部燃焼式の熱処
理装置１０は、燃焼室１１と炉芯管１２とを備えてい
る。燃焼室１１と炉芯管１２とは耐熱流送管１３により
接続され、燃焼室１１で発生した水蒸気を炉芯管１２へ
導入するようになっている。
【０００９】この耐熱流送管１３は石英ガラスからなる
直管で、両端部にはフランジ１３ａ，１３ｂが設けら
れ、前記燃焼室１１のフランジ１１ａと炉芯管１２のフ
ランジ１２ａとにそれぞれ接続されている。前記燃焼室
１１には水素ガスＨ2 と酸素ガスＯ2 を導入させる水素
供給管１４及び酸素供給管１５が設けられている。この
燃焼室１１内で水素ガスＨ2 を点火燃焼させて水蒸気を
含むウェット酸素を発生させ、この高温のウェット酸素
を耐熱流送管１３を介して炉芯管１２に供給するように
構成されている。
直管で、両端部にはフランジ１３ａ，１３ｂが設けら
れ、前記燃焼室１１のフランジ１１ａと炉芯管１２のフ
ランジ１２ａとにそれぞれ接続されている。前記燃焼室
１１には水素ガスＨ2 と酸素ガスＯ2 を導入させる水素
供給管１４及び酸素供給管１５が設けられている。この
燃焼室１１内で水素ガスＨ2 を点火燃焼させて水蒸気を
含むウェット酸素を発生させ、この高温のウェット酸素
を耐熱流送管１３を介して炉芯管１２に供給するように
構成されている。
【００１０】また、図３に示すように、外部燃焼式の熱
処理装置の中でも、炉芯管１２が縦型のものがあり、燃
焼室１１と炉芯管１２とは屈曲された耐熱流送管１３に
よって接続されている。
処理装置の中でも、炉芯管１２が縦型のものがあり、燃
焼室１１と炉芯管１２とは屈曲された耐熱流送管１３に
よって接続されている。
【００１１】図１は耐熱流送管の保温構造を示すもの
で、耐熱流送管１３の外周にはこれを覆うように半円形
状に軸方向に分割された複数の分割構造からなる石英管
３０が設けられている。この石英管３０の内部には断面
円弧形状の密閉された空洞３１が形成されている。この
空洞３１は耐熱流送管１３の軸方向に沿って形成されて
いる。この空洞３１には軸方向に向って蛇行状に折曲さ
れた電気ヒータとしてシースヒータ３２が設けられてい
る。前記石英管３０の外周には適当間隔を存して止め具
３３が設けられ、分割構造の石英管３０を耐熱流送管１
３に脱着可能に固定している。
で、耐熱流送管１３の外周にはこれを覆うように半円形
状に軸方向に分割された複数の分割構造からなる石英管
３０が設けられている。この石英管３０の内部には断面
円弧形状の密閉された空洞３１が形成されている。この
空洞３１は耐熱流送管１３の軸方向に沿って形成されて
いる。この空洞３１には軸方向に向って蛇行状に折曲さ
れた電気ヒータとしてシースヒータ３２が設けられてい
る。前記石英管３０の外周には適当間隔を存して止め具
３３が設けられ、分割構造の石英管３０を耐熱流送管１
３に脱着可能に固定している。
【００１２】前記耐熱流送管１３にはその全長に亘って
石英管３０が覆われている。さらに、この石英管３０の
空洞３１にはシースヒータ３２が全長に亘って均一に配
置され、この両端部には接続端子３４が設けられてい
る。この接続端子３４は石英管３０の管壁に貫通して外
部に導出されており、電源（図示しない）に電気的に接
続されている。
石英管３０が覆われている。さらに、この石英管３０の
空洞３１にはシースヒータ３２が全長に亘って均一に配
置され、この両端部には接続端子３４が設けられてい
る。この接続端子３４は石英管３０の管壁に貫通して外
部に導出されており、電源（図示しない）に電気的に接
続されている。
【００１３】このように構成された耐熱流送管の保温構
造によれば、石英管３０の内部のシースヒータ３２に通
電すると、シースヒータ３２が加熱し、このシースヒー
タ３２の熱は石英管３０を介してその内側の耐熱流送管
１３に伝動して耐熱流送管１３を１００℃以上に保つこ
とができる。耐熱流送管１３の内部は燃焼室１１内で発
生したウェット酸素が炉芯管１２に向って流通している
が、耐熱流送管１３は常時加熱されているために凝結を
防止できる。またシースヒータ３２は石英管３０に包ま
れているため、ゴミが飛び散ることがない。しかも石英
管３０は複数の分割構造であり、止め具３３により固定
されているので、耐熱流送管１３に対する脱着が簡単で
ある。
造によれば、石英管３０の内部のシースヒータ３２に通
電すると、シースヒータ３２が加熱し、このシースヒー
タ３２の熱は石英管３０を介してその内側の耐熱流送管
１３に伝動して耐熱流送管１３を１００℃以上に保つこ
とができる。耐熱流送管１３の内部は燃焼室１１内で発
生したウェット酸素が炉芯管１２に向って流通している
が、耐熱流送管１３は常時加熱されているために凝結を
防止できる。またシースヒータ３２は石英管３０に包ま
れているため、ゴミが飛び散ることがない。しかも石英
管３０は複数の分割構造であり、止め具３３により固定
されているので、耐熱流送管１３に対する脱着が簡単で
ある。
【００１４】なお、本実施例では２つの半円状の石英管
３０で耐熱流送管２０を覆い保温構造を構成したが、３
つ以上の複数の分割構造の石英管３０で耐熱流送管１３
を覆うように構成しても前述と同様な作用・効果が得ら
れる。
３０で耐熱流送管２０を覆い保温構造を構成したが、３
つ以上の複数の分割構造の石英管３０で耐熱流送管１３
を覆うように構成しても前述と同様な作用・効果が得ら
れる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の耐熱流送管の保温構造は、前述
の如く構成したから、電気ヒータを石英管によって包ん
だ構成であるために、従来のように断熱材等のゴミが飛
び散ることがなく、半導体製造に悪影響を及ぼすことが
なく、また石英管は分割構造であるため耐熱流送管に対
する脱着が簡単であるという効果がある。
の如く構成したから、電気ヒータを石英管によって包ん
だ構成であるために、従来のように断熱材等のゴミが飛
び散ることがなく、半導体製造に悪影響を及ぼすことが
なく、また石英管は分割構造であるため耐熱流送管に対
する脱着が簡単であるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例の熱処理装置の耐熱流送管の
一部断面した斜視図。
一部断面した斜視図。
【図２】同実施例の熱処理装置の一部断面した側面図。
【図３】本発明の他の実施例の熱処理装置の一部断面し
た側面図。
た側面図。
１１…燃焼室、１２…炉芯管、１３，２１…耐熱流送
管、３０…石英管、３１…空洞、３２…シースヒータ。
管、３０…石英管、３１…空洞、３２…シースヒータ。
Claims (1)
- 【請求項１】 燃焼室と炉芯管とを接続し、燃焼室で発
生した水蒸気を炉芯管へ導入する耐熱流送管を有する熱
処理装置において、前記耐熱流送管の外周にこれを覆う
ように設けられ軸方向に複数に分割されるとともに、内
部に密閉された空洞を有する石英管と、この石英管の空
洞内に配設された電気ヒータとを具備したことを特徴と
する熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4147289A JPH0712039B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4147289A JPH0712039B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05343388A JPH05343388A (ja) | 1993-12-24 |
| JPH0712039B2 true JPH0712039B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=15426842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4147289A Expired - Lifetime JPH0712039B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712039B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101016064B1 (ko) * | 2008-11-10 | 2011-02-23 | 주식회사 테라세미콘 | 히터 |
| KR101016058B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2011-02-23 | 주식회사 테라세미콘 | 열처리 장치용 히터 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105114748A (zh) * | 2015-09-15 | 2015-12-02 | 成都来宝石油设备有限公司 | 避免石油管道冻结的保温装置 |
| CN107701846B (zh) * | 2017-10-20 | 2019-03-22 | 常州大学 | 一种铝粉抑爆通风管道 |
-
1992
- 1992-06-08 JP JP4147289A patent/JPH0712039B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101016058B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2011-02-23 | 주식회사 테라세미콘 | 열처리 장치용 히터 |
| KR101016064B1 (ko) * | 2008-11-10 | 2011-02-23 | 주식회사 테라세미콘 | 히터 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05343388A (ja) | 1993-12-24 |
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