JPH0547895A - 半導体ウエハ移載装置 - Google Patents
半導体ウエハ移載装置Info
- Publication number
- JPH0547895A JPH0547895A JP20418991A JP20418991A JPH0547895A JP H0547895 A JPH0547895 A JP H0547895A JP 20418991 A JP20418991 A JP 20418991A JP 20418991 A JP20418991 A JP 20418991A JP H0547895 A JPH0547895 A JP H0547895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- wafer
- semiconductor
- recognition
- wafer transfer
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウエハを移載しながら、そのＩＤ番号
を認識することにより一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に
費やす時間を短縮することができるＩＤ認識装置を備え
た半導体ウエハ移載装置を提供する。 【構成】 半導体ウエハ１１を移載するウエハ移載ロボ
ット１２にウエハＩＤ番号１３を認識するための小型の
ＩＤ認識装置１４と半導体ウエハ１１のウエハＩＤ番号
１３の印字されたオリフラ部が確実にＩＤ認識装置１４
の認識部に送られるためのウエハ位置決めガイド１６を
備え、ウエハＩＤ番号１３を認識しながら半導体ウエハ
１１を移載する半導体ウエハ移載装置。
を認識することにより一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に
費やす時間を短縮することができるＩＤ認識装置を備え
た半導体ウエハ移載装置を提供する。 【構成】 半導体ウエハ１１を移載するウエハ移載ロボ
ット１２にウエハＩＤ番号１３を認識するための小型の
ＩＤ認識装置１４と半導体ウエハ１１のウエハＩＤ番号
１３の印字されたオリフラ部が確実にＩＤ認識装置１４
の認識部に送られるためのウエハ位置決めガイド１６を
備え、ウエハＩＤ番号１３を認識しながら半導体ウエハ
１１を移載する半導体ウエハ移載装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の半導体製造装置
間または半導体製造装置とウエハ保管期間の半導体ウエ
ハ移載に使用される半導体ウエハ移載装置に関するもの
である。
間または半導体製造装置とウエハ保管期間の半導体ウエ
ハ移載に使用される半導体ウエハ移載装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置の普及に伴う消費者の
多彩な要求に応じるために、半導体製造工程においても
ウエハカセット単位から一枚一枚の半導体ウエハ単位の
製品管理が主流になってきている。
多彩な要求に応じるために、半導体製造工程においても
ウエハカセット単位から一枚一枚の半導体ウエハ単位の
製品管理が主流になってきている。
【０００３】以下に従来の半導体ウエハのＩＤ認識装置
と半導体ウエハの移載装置について説明する。
と半導体ウエハの移載装置について説明する。
【０００４】図４は従来の半導体ウエハのＩＤ認識装置
と半導体ウエハの移載装置の構成を示すものである。図
４において、ＩＤ番号を印字された半導体ウエハ１は、
半導体製造装置または半導体ウエハ保管棚の取り出し部
２に設置されたウエハカセット３よりウエハ移載ロボッ
ト４によって一旦別のユニットのウエハＩＤ認識装置５
５に移載され、ウエハＩＤを読みとった後の別の半導体
製造装置または半導体ウエハ保管棚の内部にあるウエハ
バッファ６へ移載される。
と半導体ウエハの移載装置の構成を示すものである。図
４において、ＩＤ番号を印字された半導体ウエハ１は、
半導体製造装置または半導体ウエハ保管棚の取り出し部
２に設置されたウエハカセット３よりウエハ移載ロボッ
ト４によって一旦別のユニットのウエハＩＤ認識装置５
５に移載され、ウエハＩＤを読みとった後の別の半導体
製造装置または半導体ウエハ保管棚の内部にあるウエハ
バッファ６へ移載される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、ウエハＩＤ認識装置は別ユニットとして存
在するためにウエハカセットから取り出した半導体ウエ
ハを前記別ユニットに一旦移載して位置決めを行い、Ｉ
Ｄ番号を認識してから半導体ウエハを半導体製造装置ま
たは半導体ウエハ保管棚の内部にあるウエハバッファへ
移載しなければならなかった。そのあために一枚の半導
体ウエハのＩＤ認識にかなりの時間を費やすという問題
があった。本発明は上記従来の問題を解決するもので、
ウエハカセットから取り出した半導体ウエハを前記別ユ
ニットに移載することなく、ウエハ移載ロボットにて半
導体製造装置または半導体ウエハ保管棚の内部にあるウ
エハバッファへ半導体ウエハのＩＤを認識しながら直接
に移載することを可能としたＩＤ認識装置を備えた半導
体ウエハ移載装置を提供することを目的とする。
の構成では、ウエハＩＤ認識装置は別ユニットとして存
在するためにウエハカセットから取り出した半導体ウエ
ハを前記別ユニットに一旦移載して位置決めを行い、Ｉ
Ｄ番号を認識してから半導体ウエハを半導体製造装置ま
たは半導体ウエハ保管棚の内部にあるウエハバッファへ
移載しなければならなかった。そのあために一枚の半導
体ウエハのＩＤ認識にかなりの時間を費やすという問題
があった。本発明は上記従来の問題を解決するもので、
ウエハカセットから取り出した半導体ウエハを前記別ユ
ニットに移載することなく、ウエハ移載ロボットにて半
導体製造装置または半導体ウエハ保管棚の内部にあるウ
エハバッファへ半導体ウエハのＩＤを認識しながら直接
に移載することを可能としたＩＤ認識装置を備えた半導
体ウエハ移載装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の半導体ウエハ移載装置は半導体ウエハを移載
するロボットに半導体ウエハに印字されたＩＤ番号を認
識する小型のＩＤ認識装置と、半導体ウエハのＩＤ番号
の印字されたオリフラ部が確実にＩＤ認識装置の認識部
に送られるためのウエハ位置決めガイドとを備えたもの
である。
に本発明の半導体ウエハ移載装置は半導体ウエハを移載
するロボットに半導体ウエハに印字されたＩＤ番号を認
識する小型のＩＤ認識装置と、半導体ウエハのＩＤ番号
の印字されたオリフラ部が確実にＩＤ認識装置の認識部
に送られるためのウエハ位置決めガイドとを備えたもの
である。
【０００７】
【作用】本発明は上記の構成により、ウエハカセットか
ら取り出した半導体ウエハを別ユニットであるＩＤ認識
装置に移載することなく、ウエハ移載ロボット上にて半
導体ウエハのＩＤを認識しながら半導体製造装置及び半
導体ウエハ保管棚の内部にあるウエハバッファへ直接に
移載することができ、一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に
費やす時間を短縮することを可能としている。
ら取り出した半導体ウエハを別ユニットであるＩＤ認識
装置に移載することなく、ウエハ移載ロボット上にて半
導体ウエハのＩＤを認識しながら半導体製造装置及び半
導体ウエハ保管棚の内部にあるウエハバッファへ直接に
移載することができ、一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に
費やす時間を短縮することを可能としている。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００９】図１は本発明の一実施例におけるＩＤ認識
装置を備えた半導体ウエハ移載装置の斜視図を示すもの
である。図１において、半導体ウエハ１１を移載するウ
エハ移載ロボット１２には、半導体ウエハ１１のオリフ
ラ部に印字されたウエハＩＤ番号１３を認識するための
小型のＩＤ認識装置１４が備え付けられており、更に、
真空チャック部１５で半導体ウエハ１１を固定する際に
半導体ウエハ１１のウエハＩＤ番号１３の印字されたオ
リフラ部が確実にＩＤ認識装置１４の認識部に送られる
ためのウエハ位置決めガイド１６が備え付けられている
構成を有している。なお、図２は本実施例におけるＩＤ
認識装置を備えた半導体ウエハ移載装置に半導体ウエハ
が設置された時の斜視図を示すものである。
装置を備えた半導体ウエハ移載装置の斜視図を示すもの
である。図１において、半導体ウエハ１１を移載するウ
エハ移載ロボット１２には、半導体ウエハ１１のオリフ
ラ部に印字されたウエハＩＤ番号１３を認識するための
小型のＩＤ認識装置１４が備え付けられており、更に、
真空チャック部１５で半導体ウエハ１１を固定する際に
半導体ウエハ１１のウエハＩＤ番号１３の印字されたオ
リフラ部が確実にＩＤ認識装置１４の認識部に送られる
ためのウエハ位置決めガイド１６が備え付けられている
構成を有している。なお、図２は本実施例におけるＩＤ
認識装置を備えた半導体ウエハ移載装置に半導体ウエハ
が設置された時の斜視図を示すものである。
【００１０】以上のように構成された本実施例のＩＤ認
識装置を備えた半導体ウエハ移載装置について、図３よ
りその動作を説明する。図３において、ＩＤ番号を印字
された半導体ウエハ１は、半導体製造装置または半導体
ウエハ保管棚の取り出し部２に設置されたウエハカセッ
ト３よりＩＤ認識装置を備えた半導体ウエハ移載装置７
によって別の半導体製造装置または半導体ウエハ保管棚
の内部にあるウエハバッファ６へ半導体ウエハを直接移
載しながら、同時に半導体ウエハのＩＤ番号を認識する
ことができる。
識装置を備えた半導体ウエハ移載装置について、図３よ
りその動作を説明する。図３において、ＩＤ番号を印字
された半導体ウエハ１は、半導体製造装置または半導体
ウエハ保管棚の取り出し部２に設置されたウエハカセッ
ト３よりＩＤ認識装置を備えた半導体ウエハ移載装置７
によって別の半導体製造装置または半導体ウエハ保管棚
の内部にあるウエハバッファ６へ半導体ウエハを直接移
載しながら、同時に半導体ウエハのＩＤ番号を認識する
ことができる。
【００１１】このように本実施例によれば、半導体ウエ
ハを移載するロボットに小型のＩＤ認識装置と半導体ウ
エハのＩＤ番号の印字されたオリフラ部が確実にＩＤ認
識装置の認識部に送られるためのウエハ位置決めガイド
を設けることにより、一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に
費やす時間を短縮することができる。
ハを移載するロボットに小型のＩＤ認識装置と半導体ウ
エハのＩＤ番号の印字されたオリフラ部が確実にＩＤ認
識装置の認識部に送られるためのウエハ位置決めガイド
を設けることにより、一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に
費やす時間を短縮することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明は半導体ウエハを移
載するロボットに半導体ウエハに印字されたＩＤ番号を
認識する小型のＩＤ認識装置と半導体ウエハのＩＤ番号
の印字されたオリフラ部が確実に前記ＩＤ認識装置の認
識部に送られるためのウエハ位置決めガイドを設けるこ
とにより、ウエハカセットから取り出した半導体ウエハ
を別ユニットであるＩＤ認識装置に移載することなく、
ウエハ移載ロボット上にて半導体ウエハのＩＤを認識し
ながら半導体製造装置及び半導体ウエハ保管棚の内部に
あるウエハバッファへ直接に移載することができるため
に、一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に費やす時間を大幅
に短縮することを実現できるものである。
載するロボットに半導体ウエハに印字されたＩＤ番号を
認識する小型のＩＤ認識装置と半導体ウエハのＩＤ番号
の印字されたオリフラ部が確実に前記ＩＤ認識装置の認
識部に送られるためのウエハ位置決めガイドを設けるこ
とにより、ウエハカセットから取り出した半導体ウエハ
を別ユニットであるＩＤ認識装置に移載することなく、
ウエハ移載ロボット上にて半導体ウエハのＩＤを認識し
ながら半導体製造装置及び半導体ウエハ保管棚の内部に
あるウエハバッファへ直接に移載することができるため
に、一枚の半導体ウエハのＩＤ認識に費やす時間を大幅
に短縮することを実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例のＩＤ認識装置を備えた半導
体ウエハ移載装置の斜視図
体ウエハ移載装置の斜視図
【図２】同半導体ウエハ移載装置に半導体ウエハが設置
された時の斜視図
された時の斜視図
【図３】同半導体ウエハ移載装置が半導体製造装置及び
半導体ウエハ保管棚に設置された構成図
半導体ウエハ保管棚に設置された構成図
【図４】従来の半導体ウエハのＩＤ認識装置と半導体ウ
エハの移載装置の構成図
エハの移載装置の構成図
【符号の説明】 １ 半導体ウエハ ２ 取り出し部 ３ ウエハカセット ４ ウエハ移載ロボット ５ ウエハＩＤ認識装置 ６ ウエハバッファ ７ 半導体ウエハ移載装置 １２ ウエハ移載ロボット １３ ウエハＩＤ番号 １４ ＩＤ認識装置 １５ 真空チャック部 １６ ウエハ位置決めガイド
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハ上に印字されたＩＤ番号を
認識するＩＤ認識装置と半導体ウエハの位置決めガイド
とを備えてなることを特徴とする半導体ウエハ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20418991A JPH0547895A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 半導体ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20418991A JPH0547895A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 半導体ウエハ移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547895A true JPH0547895A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16486312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20418991A Pending JPH0547895A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 半導体ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547895A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5572495A (en) * | 1993-12-31 | 1996-11-05 | Nippon Conlux Co., Ltd. | Optical recording and reproducing system using servo control, switches and control circuitry |
-
1991
- 1991-08-14 JP JP20418991A patent/JPH0547895A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5572495A (en) * | 1993-12-31 | 1996-11-05 | Nippon Conlux Co., Ltd. | Optical recording and reproducing system using servo control, switches and control circuitry |
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