JPH0543349Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体基板の表面にエツチング、薄
膜堆積等の処理を行なう真空処理装置等で使用さ
れる回転真空継手の構造に関する。

（従来の技術） 従来の真空継手の構造を第３図ａ（平面図）、ｂ
（正面断面図）に示す。この真空継手１４はステ
ンレス等の金属で一体構造に成形されていて、真
空容器の壁部１に、Ｏリング２を介して、取り付
けネジ２０で気密に固定されている。

第４図にはこの真空継手１４の使用状況を示
す。

排気本管１００から枝別れした複数の排気支管
１３０のそれぞれは、ベローズ１５を介して、真
空継手１４の各排気口１３に接続されている。こ
れら真空継手１４は真空容器１０，１２，…の壁
部に取り付けられているものである。

この第４図で、真空容器１０，１２を、わざわ
ざ真空継手１４およびベローズ１５を介して、排
気本管１００に接続するのには理由がある。これ
らの真空容器１０，１２は、保守、点検等のため
に、時々、第４図の真空容器１０に示すように、
排気本管１００に対してかなり傾いた角度をとら
せる必要があるのである。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来の構造では、 第１に、真空継手１４が一体構造に成形された
ものであるため、例えば第４図のように、真空容
器１０を蝶番ヒンジ１１の端部で回転させた場
合、多回数回動させるうちには、接続に使われて
いるベローズ１５が破損しリークを生じる欠点が
あつた。また、 第２に、真空継手１４の本体部分に対して排気
口１３が固定され、従つて、その向きも固定され
ているため、真空容器１０を十分に大きい角度だ
け回動させようとすると、ベローズに無理を生じ
るという欠点がある。

さりとて、大きい回動角度が必要な場合に、ベ
ローズ１５を一時取り外し、回動後に再び取り付
けるというのでは、作業に手間がかかる上、高真
空の排気に手間をとり、ベローズの繰り返しの取
り付け取り外しではゴミによるリークの危険もあ
る。

（考案の目的） 本考案は、上記した従来の技術の問題を解決
し、真空容器を排気しながら自由に回動させるこ
との出来る回転真空継手の提供を目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、真空容器を外部の排気管に対してそ
の真空容器が回動可能な状態で接続して内部空間
を連通させる回転真空継手であつて、真空容器の
壁部に気密状態で接続される円筒状の排気筒と、
円筒状の内面を有して排気筒のまわりに気密且つ
回転自在に軸支された大気遮断ケースの二者を含
んでなり、該大気遮断ケースは、その内面の所定
の高さの位置に周状に溝を設けるようにして形成
された環状空間部を有し、該排気筒は、その筒内
空間を大気遮断ケースの環状空間部に開放する開
口窓を備え、さらに、該大気遮断ケースには、環
状空間部と前記排気管とを連通させる排気口が設
けられている構成の回転真空継手によつて前記目
的を達成したものである。

（作用） 上記の構成からなる本考案の回転真空継手にお
いては、排気筒に対して、大気遮断ケースを、内
部空間を互いに連通させたまま自由に回動させる
ことが出来るので、排気口の方向を適時自由にか
つ大きく変更することが出来る。

（実施例） 第１図ｂは本考案の実施例の正面断面図、第１
図ａは平面図である。

半導体の回路形成のための基板処理を行なう真
空容器の壁部１に、Ｏリング２を介して排気筒３
が、取り付けネジ２０等により気密に固定されて
いる。この排気筒３はステンレス等の金属で出来
ており図示のように下方を開口し、上方を閉じた
筒状に形成されている。

この排気筒３を包む大気遮断ケース４もステン
レス等の金属で両端開口の筒状に出来ており、そ
の内面の所定の高さの位置に周状に溝を設けるよ
うにして環状空間部３０が形成されている。ま
た、その大気遮断ケース４の内面には、環状空間
部３０の位置を挟んだ上下の位置にＯリング８が
配設され、更にそれを挟んだ上下両端部に軸受５
が止め環６，７ではめ込み固定されている。この
ため、大気遮断ケース４は排気筒３の周りに回転
自在であるが、排気筒３には、その筒内空間を前
記環状空間部３０に開放する複数の開口窓３１が
開けられているので、 大気遮断ケースを回動させたときも、真空容器
内は排気筒内部、開口窓３１、環状空間３０を経
て排気口１３に連通している。

第２図に回転真空継手９を使用した場合の、真
空容器１０を傾けた状況を示す。気密を保つた
まゝ排気口１３の方向が自由に変えられるので大
きい角度の回動にもベローズ等に何の障害も生じ
ないことが分かる。

（考案の効果） 本考案は以上説明した構成と作用をもつので、
真空容器を排気しながら真空容器を自由に回動さ
せることのできる簡易な回転真空継手を安価に提
供出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ（平面図）、ｂ（正面断面図）は本考案
の回転真空継手の図。第２図はこの回転真空継手
の使用状況を示す図。第３図ａ（平面図）、ｂ（正
面断面図）は従来の真空継手の図。第４図はこの
真空継手の使用状況を示す図。 １……真空容器の壁部、２，８……Ｏリング、
３……排気筒、４……大気遮断ケース、５……軸
受、６，７……止め輪、９……回転真空継手、１
０，１２……真空容器、１１……蝶番ひんじ、１
３……排気口、１４……真空継手、１５……ベロ
ーズ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 真空容器を外部の排気管に対してその真空容器
   が回動可能な状態で接続して内部空間を連通させ
   る回転真空継手であつて、真空容器の壁部に気密
   状態で接続される円筒状の排気筒と、円筒状の内
   面を有して排気筒のまわりに気密且つ回転自在に
   軸支された大気遮断ケースの二者を含んでなり、 該大気遮断ケースは、その内面の所定の高さの
   位置に周状に溝を設けるようにして形成された環
   状空間部を有し、該排気筒は、その筒内空間を大
   気遮断ケースの環状空間部に開放する開口窓を備
   え、 さらに、該大気遮断ケースには、環状空間部と
   前記排気管とを連通させる排気口が設けられてい
   ることを特徴とする回転真空継手。