JPH0537771U - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】浮上体の降下時における磨耗粉の発生を防止す
ることを目的とする。 【構成】電磁石列１の上方に電磁石列１に沿って設けら
れた管状通路４の床面に凹部５を形成し、この凹部５に
ダンピングの良い材料により構成されるベローズ形状の
ダンパ６を設け、管状通路４内を電磁石列１に沿って浮
上走行する浮上体２を降下させる際に、浮上体２がダン
パ６の上部の一部分に先ず当たり、衝突エネルギを減衰
させながら、ゆっくりと管状通路４の床面に軟着陸する
構造とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、発塵を嫌う半導体製造装置におけるウエハ搬送機器、その他、非接 触で物体を搬送することが要求される分野に用いて好適な搬送装置に係り、特に 被搬送物体を浮上体の上に載置し、この浮上体を磁石列上で浮上走行させる磁気 浮上搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

近年、この種の磁気浮上搬送装置が各種研究・開発されている。従来の磁気浮 上搬送装置の構成を図５に示す。同図において、１は電磁石列、２は電磁石列１ 上を浮上して移動走行（搬送）する浮上体であり、アルミニウムなどの軽くて導 電性の高い非磁性金属材料を用いて構成される。この浮上体２上には移送の対象 となる半導体ウエハなどの被搬送物体３が載置される。

【０００３】 また、電磁石列１の上方には、外部からの塵の影響を防ぐために、外部と空間 的に遮断される管状の通路（管状通路）４が電磁石列１に沿って設置されており 、この管状通路４内を浮上体２が浮上走行する構造となっている。

【０００４】 このような図５の構造の磁気浮上搬送装置において、浮上体２の浮上走行を停 止する場合には、同浮上体２の浮上力を消失させればよい。浮上体２の浮上力が 消失すると、同浮上体２は管状通路４内床面に向けて降下し、この床面に直接着 陸する。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上記したように、図５に示す如き従来の磁気浮上搬送装置では、浮上体を浮上 状態からその浮上力を消失させて管状通路内床面に向けて降下させ、この床面に 直接着陸させるようにしていたため、浮上体が管状通路内床面に衝突し、磨耗粉 の発生を招くという問題があった。特に高集積化半導体を製造する装置では、磨 耗粉の許容寸法は百万分の数ミクロン（６４メガビットメモリの例で０．０２ミ クロン）以下といわれており、上記のように磨耗粉が発生すると、半導体の製造 歩留まり低下に大きな影響を及ぼしていた。

【０００６】 また、浮上体が管状通路内床面に衝突（直接着陸）する際の衝突エネルギを軽 減させるために、浮上体の降下時に、電磁石列の電流を徐々に減少させて、浮上 体の着地（着陸）直前まで浮上力を与えておく方式も考えられる。そこで、本方 式について本考案者らも種々実験した。しかし、本方式では、着地直前には浮上 力が比較的弱くなっていることもあって、浮上体が傾いて管状通路４内床面と局 部接触し、続いて他の局部が接触することを繰返し、管状通路内床面を叩きなが ら降下着地するチャタリング現象を招くため、やはり磨耗粉の発生を招いていた 。

【０００７】 以上の問題は、管状通路を持たない磁気浮上搬送装置、例えばクリーンルーム 等に設置される磁気浮上搬送装置においても、浮上体が衝突するのが磁石列の上 面に変わるだけで、基本的に同様であった。 本考案は上記事情に鑑みてなされたものでその目的は、浮上体の降下時におけ る磨耗粉の発生が防止できる磁気浮上搬送装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記課題を解決するために、浮上体と磁石列との間に同浮上体を軟 着陸させるためのダンパを設けたことを特徴とする。

【０００９】

【作用】

上記の構成において、例えば磁石列の上方に磁石列に沿って管状通路が設置さ れる磁気浮上搬送装置では、管状通路内の床面に軟着陸用のダンパが設けられる 。したがって、管状通路内を磁石列に沿って浮上走行する浮上体の浮上力を例え ば徐々に消失させて同浮上体を降下させる際、浮上体はダンパの上部の一部分に 先ず当たり、衝突エネルギを減衰させながら、最終的にダンパの上面全部と接触 し、管状通路床面に軟着陸する。 これにより、浮上体が管状通路床面との局部衝突を繰返して叩くようなことが なく、浮上体の降下着地時の発塵を防ぐことができる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図１および図２を参照して説明する。 図１は同実施例に係る磁気浮上搬送装置の構成を示す図、図２は図１のＡ−Ａ 線矢視図である。なお、図５と同一部分には同一符号を付してある。

【００１１】 図において、１は電磁石列、２は電磁石列１上を浮上走行する浮上体である。 浮上体２は、アルミニウム合金等の導電性の高い非磁性材料を用いて構成されて おり、電磁石列１（の電磁石）に交流を通電することで浮上する。浮上体２上に は、半導体ウエハ等の被搬送物体３が載置される。

【００１２】 電磁石列１の上方には、外部からの塵の影響を防ぐために、外部と空間的に遮 断される管状通路４が電磁石列１に沿って設置されている。この管状通路４は、 非磁性で電気抵抗の大きい（例えばＳＵＳ３０４）ステンレス鋼等を用いて構成 されている。管状通路４内は、ダストや不純ガスを排除するため、真空あるいは Ｎ2 等の不活性ガス雰囲気としてあり、この管状通路４内を浮上体２が浮上走行 する。

【００１３】 管状通路４の床面には、円柱状に形成される複数の凹部５が設けられている。 この凹部５には、ゴム、樹脂等のダンピングの良い材料により構成されるベロー ズ形状のダンパ６が装着されている。

【００１４】 上記した図１および図２に示す構成の磁気浮上搬送装置において、管状通路４ 内を電磁石列１に沿って浮上走行する浮上体２の浮上力を例えば徐々に消失させ て同浮上体２を降下させる際には、浮上体２はダンパ６の上部の一部分に先ず当 たり、そのダンピング特性により、衝突エネルギを減衰させながら、ゆっくりと 管状通路４の床面に軟着陸する。

【００１５】 次に、図３および図４を参照して、本考案の他の実施例を説明する。 図３は磁気浮上搬送装置の構成を示す図、図４は図３のＢ−Ｂ線矢視図である 。なお、図１と同一部分には同一符号を付してある。

【００１６】 本実施例が前記実施例と異なる点についてのみ説明すると、まず管状通路４の 床面には、環状に形成される溝をなす凹部１５が設けられている。この凹部１５ には、断面がほぼＣ形のリング形状のダンパ１６が装着されている。

【００１７】 このようなダンパ１６が設けられた図３および図４に示す構成の磁気浮上搬送 装置においても、浮上体２を降下させる際には、浮上体２はダンパ１６の上部の 一部分に先ず当たり、そのダンピング特性により、衝突エネルギを減衰させなが ら、ゆっくりと管状通路４の床面に軟着陸する。

【００１８】 なお、前記実施例では、管状通路４を持つ磁気浮上搬送装置を対象に、管状通 路４の床面にダンパ６（または１６）を設けることにより、浮上体２の降下時に 、同浮上体２を軟着陸させる場合について説明したが、これに限るものではない 。例えば、クリーンルーム等の清浄雰囲気中に設置されるため管状通路４を持た ない磁気浮上搬送装置においても、同様な手段により、浮上体２を軟着陸させて 、浮上体降下時の発塵の問題を解決することができる。即ち管状通路４を持たな い磁気浮上搬送装置においては、電磁石列１の上面に直接ダンパを載置しても良 いし、管状通路４の床面をなす下部板に相当する板を設けて、それにダンパを載 置しても良い。

【００１９】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案によれば、浮上体と磁石列との間に同浮上体を軟着 陸させるためのダンパを設けた構成としたので、浮上体を降下させる際、同浮上 体はダンパの上部の一部分に先ず当たり、衝突エネルギを減衰させながら、ゆっ くりと管状通路の床面等に軟着陸することができる。

【００２０】 即ち本考案によれば、浮上体と磁石列との間に設けたダンパにより、浮上体が 管状通路の床面等に直接衝突することを防止できるため、この衝突による磨耗粉 の発生（発塵）を低コストで防ぐことができる。

【００２１】 したがって、本考案による磁気浮上搬送装置を例えば高集積化半導体の製造ラ インに適用すれば、発塵のないクリーンな環境が得られるため、浮上体降下時の 発塵に起因する高集積化半導体の製造歩留まりの低下を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る磁気浮上搬送装置の構
成を示す図。

【図２】図１のＡ−Ａ線矢視図。

【図３】本考案の他の実施例に係る磁気浮上搬送装置の
構成を示す図。

【図４】図３のＢ−Ｂ線矢視図。

【図５】従来の磁気浮上搬送装置の構成を示す図。

【符号の説明】

１…電磁石列、２…浮上体、３…被搬送物体、４…管状
通路、５，１５…凹部、６，１６…ダンパ。

フロントページの続き (72)考案者 中島 元巳 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 浮上体を磁石列上で浮上走行させる磁気
   浮上搬送装置において、上記浮上体と磁石列との間に同
   浮上体を軟着陸させるためのダンパを設けたことを特徴
   とする磁気浮上搬送装置。