JPH0537471Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、広いウエハー面のエツチングを行う
場合に、ウエハー面の上面の揮発性のエツチング
液の攪拌を行い良好なエツチングを行う事がで
き、耐腐蝕性の良いエツチング装置の改善に関す
るものである。

〈従来の技術〉 第３図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図である。

図において、 １は揮発性エツチング液２の収納される容器で
ある。

３は容器１に配置されウエハー４が置かれるエ
ツチング台である。

５はエツチング台３の上方に配置された攪拌子
である。

６は攪拌子５に一端が取付けられた回転軸であ
る。

７は容器１の蓋である。

８は蓋７に取付けられ回転軸６の他端が固定さ
れるモータである。

９は容器１が載せられたヒータである。

以上の構成において、エツチング液２は攪拌子
５により攪拌され、ウエハー４はエツチングが行
なわれる。

〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、回転
軸６は蓋７を貫通しているので、回転軸６と蓋７
との間には隙間を生じ、揮発性エツチング液２の
成分が蒸発し、揮発性エツチング液２の成分が変
化する恐れがあり、かつ、揮発性エツチング液２
によりモータ８が腐蝕される恐れがある。

また、密閉構造にすれば、気化したエツチング
液２により、容器１内の圧力が上昇して危険であ
る。

また、モータ８を容器１内に入れればよいが、
モータ８が侵されてしまう。

本考案は、この問題点を解決するものである。

本考案の目的は、広いウエハー面のエツチング
を行う場合に、ウエハー面の上面の揮発性のエツ
チング液の攪拌を行い良好なエツチングを行う事
ができ、耐腐蝕性の良いエツチング装置を提供す
るにある。

〈課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本考案は揮発性エ
ツチング液の収納される容器と、該容器に配置さ
れウエハーが置かれるエツチング台と、該エツチ
ング台の上方に配置された攪拌子と、該攪拌子に
一端が取付けられた第１回転軸と、該第１回転軸
の他端に取付けられた第１マグネツト板と、前記
容器と第１室を構成する隔壁と、該隔壁に設けら
れた気体出口と、前記隔壁と第２室を構成する蓋
と、該蓋に一端が取付けられた環流搭と、該環流
搭の他端に取付けられた冷却水出口と、前記蓋の
環流搭の取付け位置の反対側に取付けられた冷却
水入口と、前記第２室に満たされた冷却水と、前
記気体出口に一端が取付けられ前記環流搭を貫通
し他端が大気開放される冷却チユーブと、前記隔
壁を隔てて前記第１マグネツト板に対向して前記
第２室に配置され該第１マグネツト板とマグネツ
トカツプリング機構を構成する第２マグネツト板
と、該第２マグネツト板に一端が取付けられた第
２回転軸と、該第２回転軸の他端に取付けられた
モータとを具備してなるエツチング装置を構成し
たものである。

〈作用〉 以上の構成において、エツチング液は攪拌子に
より攪拌され、ウエハーはエツチングが行なわれ
る。

この結果、第１室は密閉構造となつているの
で、揮発性エツチング液の成分が蒸発し、揮発性
エツチング液の成分が変化する恐れがなく、良好
なエツチングが出来る。

また、気化したエツチング液は、気体出口から
冷却チユーブに流れ、環流搭で最終的に液化した
第１室に戻るので、第１室の圧力の上昇の恐れは
なく、また、揮発性エツチング液の成分が変化す
る恐れもない。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図で
ある。

図において、 １１は揮発性エツチング液１２の収納される容
器である。

１３は容器１１に配置されウエハー１４が置か
れるエツチング台である。

１５はエツチング台１３の上方に配置された攪
拌子である。

１６は攪拌子１５に一端が取付けられた第１回
転軸である。

１７は第１回転軸の他端に取付けられた第１マ
グネツト板である。

なお、攪拌子１５、第１回転軸１６、第１間と
板１７は４ふつかエチレン等でコーテイングされ
れば耐腐蝕性が向上したものが得られる。

２０は容器１１と第１室２１を構成する隔壁で
ある。

２０１は隔壁２０に設けられた気体出口であ
る。

３０は、隔壁２２と第２室３１を構成する蓋で
ある。

３２は蓋３０に一端が取付けられた環流搭であ
る。

３３は環流搭３３の他端に取付けられた冷却水
出口である。

３４は蓋３０の環流搭３２の取付け位置の反対
側に取付けられた冷却水入口である。

３５は第２室３１に満たされた冷却水である。

３６は気体出口３３に一端が取付けられ環流搭
３２を貫通し他端が大気開放される冷却チユーブ
である。

３７は隔壁２０を隔てて、第１マグネツト板１
７に対向して第２室３１に配置され第１マグネツ
ト板１７とマグネツトカツプリング機構を構成す
る第２マグネツト板である。

３８は第２マグネツト板３７に一端が取付けら
れた第２回転軸である。

３９は第２回転軸３８の他端に取付けられたモ
ータである。

４０は容器１１が載せられたヒータである。

以上の構成において、エツチング液１２は攪拌
子１５により攪拌され、ウエハー１４はエツチン
グが行なわれる。

この結果、第１室２１は密閉構造となつている
ので、揮発性エツチング液１２の成分が蒸発し、
揮発性エツチング液１２の成分が変化する恐れが
なく、良好なエツチングが出来る。

また、気化したエツチング液１２は、気体出口
２０１から冷却チユーブ３６に流れ、環流搭３２
で最終的に液化し第１室２１に戻るので、第１室
２１の圧力の上昇の恐れはなく、まあ、揮発性エ
ツチング液１２の成分が変化する恐れもない。

第２図は本考案の他の実施例の要部構成説明図
である。

本実施例においては、第３マグネツト板５１、
第４マグネツト板５２とを第２室３１に配置し、
モータ３９を第２室３１の外に配置したものであ
る。

モータ３９の防水が不要なものが得られる。

〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案は、揮発性エツチ
ング液の収納される容器と、該容器に配置されウ
エハーが置かれるエツチング台と、該エツチング
台の上方に配置された攪拌子と、該攪拌子に一端
が取付けられた第１回転軸と、該第１回転軸の他
端に取付けられた第１マグネツト板と、前記容器
と第１室を構成する隔壁と、該隔壁に設けられた
気体出口と、前記隔壁と第２室を構成する蓋と、
該蓋に一端が取付けられた環流搭と、該環流搭の
他端に取付けられた冷却水出口と、前記蓋の環流
搭の取付け位置の反対側に取付けられた冷却水入
口と、前記第２室に満たされた冷却水と、前記気
体出口に一端が取付けられ前記環流搭と貫通し他
端が大気開放される冷却チユーブと、前記隔壁を
隔てて前記第１マグネツト板に対向して前記第２
室に配置され該第１マグネツト板とマグネツトカ
ツプリング機構を構成する第２マグネツト板と、
該第２マグネツト板に一端が取付けられた第２回
転軸と、該第２回転軸の他端に取付けられたモー
タとを具備してなるエツチング装置を構成した。

この結果、第１室は密閉構造となつているの
で、揮発性エツチング液の成分が蒸発し、揮発性
エツチング液の成分が変化する恐れがなく、良好
なエツチングが出来る。

また、気化したエツチング液は、気体出口から
冷却チユーブに流れ、環流搭で最終的に液化し第
１室に戻るので、第１室の圧力の上昇の恐れはな
く、また、揮発性エツチング液の成分が変化する
恐れもない。

従つて、本考案によれば、広いウエハー面のエ
ツチングを行う場合に、ウエハー面の上面の揮発
性のエツチング液の攪拌を行い良好なエツチング
を行う事ができ、耐腐蝕性の良いエツチング装置
を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第３図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図である。 １１……容器、１２……エツチング液、１３…
…エツチング台、１４……ウエハー、１５……攪
拌子、１６……第１回転軸、１７……第１マグネ
ツト板、２０……隔壁、２０１……気体出口、２
１……第１室、３０……蓋、３１……第２室、３
２……環流搭、３３……冷却水出口、３４……冷
却水入口、３５……冷却水、３６……冷却チユー
ブ、３７……第２マグネツト板、３８……第２回
転板、３９……モータ、４０……ヒータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 揮発性エツチング液の収納される容器と、該容
   器に配置されウエハーが置かれるエツチング台
   と、該エツチング台の上方に配置された攪拌子
   と、該攪拌子に一端が取付けられた第１回転軸
   と、該第１回転軸の他端に取付けられた第１マグ
   ネツト板と、前記容器と第１室を構成する隔壁
   と、該隔壁に設けられた気体出口と、前記隔壁と
   第２室を構成する蓋と、該蓋に一端が取付けられ
   た環流搭と、該環流搭の他端に取付けられた冷却
   水出口と、前記蓋の環流搭の取付け位置の反対側
   に取付けられた冷却水入口と、前記第２室に満た
   された冷却水と、前記気体出口に一端が取付けら
   れた前記環流搭を貫通し他端が大気開放される冷
   却チユーブと、前記隔壁を隔てて前記第１マグネ
   ツト板に対向して前記第２室に配置され該第１マ
   グネツト板とマグネツトカツプリング機構を構成
   する第２マグネツト板と、該第２マグネツト板に
   一端が取付けられた第２回転軸と、該第２回転軸
   の他端に取付けられたモータとを具備してなるエ
   ツチング装置。