JPH0279029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0279029U JPH0279029U JP15912288U JP15912288U JPH0279029U JP H0279029 U JPH0279029 U JP H0279029U JP 15912288 U JP15912288 U JP 15912288U JP 15912288 U JP15912288 U JP 15912288U JP H0279029 U JPH0279029 U JP H0279029U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- attached
- partition wall
- magnetic plate
- rotating shaft
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第３図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図である。 １１……容器、１２……エツチング液、１３…
…エツチング台、１４……ウエハー、１５……撹
拌子、１６……第１回転軸、１７……第１マグネ
ツト板、２０……隔壁、２０１……気体出口、２
１……第１室、３０……蓋、３１……第２室、３
２……環流搭、３３……冷却水出口、３４……冷
却水入口、３５……冷却水、３６……冷却チユー
ブ、３７……第２マグネツト板、３８……第２回
転板、３９……モータ、４０……ヒータ。
第２図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第３図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図である。 １１……容器、１２……エツチング液、１３…
…エツチング台、１４……ウエハー、１５……撹
拌子、１６……第１回転軸、１７……第１マグネ
ツト板、２０……隔壁、２０１……気体出口、２
１……第１室、３０……蓋、３１……第２室、３
２……環流搭、３３……冷却水出口、３４……冷
却水入口、３５……冷却水、３６……冷却チユー
ブ、３７……第２マグネツト板、３８……第２回
転板、３９……モータ、４０……ヒータ。
Claims (1)
- 揮発性エツチング液の収納される容器と、該容
器に配置されウエハーが置かれるエツチング台と
、該エツチング台の上方に配置された撹拌子と、
該撹拌子に一端が取付けられた第１回転軸と、該
第１回転軸の他端に取付けられた第１マグネツト
板と、前記容器と第１室を構成する隔壁と、該隔
壁に設けられた気体出口と、前記隔壁と第２室を
構成する蓋と、該蓋に一端が取付けられた環流搭
と、該環流搭の他端に取付けられた冷却水出口と
、前記蓋の環流搭の取付け位置の反対側に取付け
られた冷却水入口と、前記第２室に満たされた冷
却水と、前記気体出口に一端が取付けられ前記環
流搭を貫通し他端が大気開放される冷却チユーブ
と、前記隔壁を隔てて前記第１マグネツト板に対
向して前記第２室に配置され該第１マグネツト板
とマグネツトカツプリング機構を構成する第２マ
グネツト板と、該第２マグネツト板に一端が取付
けられた第２回転軸と、該第２回転軸の他端に取
付けられたモータとを具備してなるエツチング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15912288U JPH0537471Y2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15912288U JPH0537471Y2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279029U true JPH0279029U (ja) | 1990-06-18 |
| JPH0537471Y2 JPH0537471Y2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=31440056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15912288U Expired - Lifetime JPH0537471Y2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0537471Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP15912288U patent/JPH0537471Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0537471Y2 (ja) | 1993-09-22 |
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