JPH0537472Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、広いウエハー面のエツチングを行う
場合に、ウエハー面の上面の揮発性のエツチング
液の攪拌を行い良好なエツチングを行う事がで
き、耐腐蝕性の良いエツチング装置の改善に関す
るものである。

〈従来の技術〉 第２図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図である。

図において、 １は揮発性エツチング液２の収納される容器で
ある。

３は容器１に配置されウエハー４が置かれるエ
ツチング台である。

５はエツチング台３の上方に配置された攪拌子
である。

６は攪拌子５に一端が取付けられた回転軸であ
る。

７は容器１の蓋である。

８は蓋７に取付けられた回転軸６の他端が固定
されるモータである。

９は容器１が載せられたヒータである。

以上の構成において、エツチング液２は攪拌子
５により攪拌され、ウエハー４はエツチングが行
なわれる。

〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、回転
軸６は蓋７を貫通しているので、回転軸６と蓋７
との間には隙間を生じ、揮発性エツチング液２の
成分が蒸発し、揮発性エツチング液２の成分が変
化する恐れがあり、かつ、揮発性エツチング液２
によりモータ８が腐蝕される恐れがある。

また、密閉構造にすれば、気化したエツチング
液２により、容器１内の圧力が上昇して危険であ
る。

また、モータ８を容器１内に入れればよいが、
モータ８が侵されてしまう。

本考案は、この問題点を解決するものである。

本考案の目的は、広いウエハー面のエツチング
を行う場合に、ウエハー面の上面の揮発性のエツ
チング液の攪拌を行い良好なエツチングを行う事
ができ、耐腐蝕性がよく、複雑なシール構造を必
要としないので安価にできるエツチング装置を提
供するにある。

〈課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本考案は、揮発性
エツチング液の収納される容器と、該容器に配置
されウエハーが置かれるエツチング台と、該エツ
チング台の上方に配置された攪拌子と、該攪拌子
の外周に取付けられたマグネツトと、前記攪拌子
に一端が取付けられた回転軸と、前記容器と第１
室を構成し該回転軸の他端を軸支する隔壁と、該
隔壁に設けられた気体出口と、前記隔壁と第２室
を構成する蓋と、該蓋に一端が取付けられた環流
搭と、該環流搭の他端に取付けられた冷却水出口
と、前記蓋の環流搭の取付け位置の反対側に取付
けられた冷却水入口と、前記第２室に満たされた
冷却水と、前記気体出口に一端が取付けられ前記
環流搭を貫通し他端が大気開放される冷却チユー
ブと、前記容器の外周面に前記マグネツトに対向
して取付けられた複数対の電磁石とを具備してな
るエツチング装置を構成したものである。

〈作用〉 以上の構成において、容器の外側に設けられた
複数対の電磁石を順次励磁することにより攪拌子
を回転させる。エツチング液は攪拌子により攪拌
され、ウエハーはエツチングが行なわれる。

この結果、第１室は密閉構造となつているの
で、揮発性エツチング液の成分が蒸発し、揮発性
エツチング液の成分が変化する恐れがなく、良好
なエツチングが出来る。

また、気化したエツチング液は、気体出口から
冷却チユーブに流れ、環流搭で最終的に液化し第
１室に戻るので、第１室の圧力の上昇の恐れはな
く、また、揮発性エツチング液の成分が変化する
恐れもない。

また、電磁石は容器外に取付けられているの
で、腐蝕する事がなく、複雑なシール構造を必要
としないので安価にでき、攪拌子の回転速度は、
電磁石の励磁速度を変える事により、容易に制御
出来る。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図で
ある。

図において、 １１は揮発性エツチング液１にの収納される容
器である。

１３は容器１１に配置されウエハー１４が置か
れるエツチング台である。

１５はエツチング台１３の上方に配置された攪
拌子である。

１６は攪拌子１５に一端が取付けられた第１回
転軸である。

１７は攪拌子１５の外周に取付けられたマグネ
ツトである。

なお、攪拌子１５、第１回転軸１６、マグネツ
ト板１７は４ふつかエチレン等でコーテイングさ
れれば耐腐蝕性が向上したものが得られる。

２０は容器１１と第１室２１を構成する隔壁で
ある。

２０１は隔壁２０に設けられた気体出口であ
る。

３０は、隔壁２０と第２室３１を構成する蓋で
ある。

３２は蓋３０に一端が取付けられた環流搭であ
る。

３３は環流搭３２の他端に取付けられた冷却水
出口である。

３４は蓋３０の環流搭３２の取付け位置の反対
側に取付けられた冷却水入口である。

３５は第２室３１に満たされた冷却水である。

３６は気体出口３３に一端が取付けられ環流搭
３２を貫通し他端が大気開放される冷却チユーブ
である。

３７は容器１１の外周面にマグネツト１７に対
向して取付けられた複数対の電磁石である。

４０は容器１１が載せられたヒータである。

以上の構成において、容器１１の外側に設けら
れた複数対の電磁石３７を順次励磁することによ
り攪拌子１５を回転させる。エツチング液１２は
攪拌子１５により攪拌され、ウエハー１４はエツ
チングが行なわれる。

この結果、第１室２１は密閉構造となつている
ので、揮発性エツチング液１２の成分が蒸発し、
揮発性エツチング液１２の成分が変化する恐れが
なく、良好なエツチングが出来る。

また、気化したエツチング液１２は、気体出口
２０１から冷却チユーブ３６に流れ、環流搭３２
で最終的に液化し第１室２１に戻るので、第１室
２１の圧力の上昇の恐れはなく、また、揮発性エ
ツチング液１２の成分が変化する恐れもない。

また、電磁石３７は容器１１外に取付けられて
いるので、腐蝕する事がなく、複雑なシール構造
を必要としないので安価にでき、攪拌子１５の回
転速度は、電磁石３７の励磁速度を変える事によ
り、容易に制御出来る。

〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案は、揮発性エツチ
ング液の収納される容器と、該容器に配置されウ
エハーが置かれるエツチング台と、該エツチング
台の上方に配置された攪拌子と、該攪拌子の外周
に取付けられたマグネツトと、前記攪拌子に一端
が取付けられた回転軸と、前記容器と第１室を構
成し該回転軸の他端を軸支する隔壁と、該隔壁に
設けられた気体出口と、前記隔壁と第２室を構成
する蓋と、該蓋に一端が取付けられた環流搭と、
該環流搭の他端に取付けられた冷却水出口と、前
記蓋の環流搭の取付け位置の反対側に取付けられ
た冷却水入口と、前記第２室に満たされた冷却水
と、前記気体出口に一端が取付けられ前記環流搭
を貫通し他端が大気開放される冷却チユーブと、
前記容器の外周面に前記マグネツトに対向して取
付けられた複数対の電磁石とを具備してなるエツ
チング装置を構成した。

この結果、第１室は密閉構造となつているの
で、揮発性エツチング液の成分が蒸発し、揮発性
エツチング液の成分が変化する恐れがなく、良好
なエツチングが出来る。

また、気化したエツチング液は、気体出口から
冷却チユーブに流れ、環流搭で最終的に液化し第
１室に戻るので、第１室の圧力の上昇の恐れはな
く、また、揮発性エツチング液の成分が変化する
恐れもない。

また、電磁石は容器外に取付けられているの
で、腐蝕する事がなく、複雑なシール構造を必要
としないので安価にでき、攪拌子の回転速度は、
電磁石の励磁速度を変える事により、容易に制御
出来る。

従つて、本考案によれば、広いウエハー面のエ
ツチングを行う場合に、ウエハー面の上面の揮発
性のエツチング液の攪拌を行い良好なエツチング
を行う事ができ、耐腐蝕性がよく、複雑なシール
構造を必要としないので安価にできるエツチング
装置を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図である。 １１……容器、１２……エツチング液、１３…
…エツチング台、１４……ウエハー、１５……攪
拌子、１６……回転軸、１７……マグネツト、２
０……隔壁、２０１……気体出口、２１……第１
室、３０……蓋、３１……第２室、３２……環流
搭、３３……冷却水出口、３４……冷却水入口、
３５……冷却水、３６……冷却チユーブ、３７…
…電磁石、４０……ヒータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 揮発性エツチング液の収納される容器と、該容
   器に配置されウエハーが置かれるエツチング台
   と、該エツチング台の上方に配置された攪拌子
   と、該攪拌子の外周に取付けられたマグネツト
   と、前記攪拌子に一端が取付けられた回転軸と、
   前記容器と第１室を構成し該回転軸の他端を軸支
   する隔壁と、該隔壁に設けられた気体出口と、前
   記隔壁と第２室を構成する蓋と、該蓋に一端が取
   付けられた環流搭と、該環流搭の他端に取付けら
   れた冷却水出口と、前記蓋の環流搭の取付け位置
   の反対側に取付けられた冷却水入口と、前記第２
   室に満たされた冷却水と、前記気体出口に一端が
   取付けられ前記環流搭を貫通し他端が大気開放さ
   れる冷却チユーブと、前記容器の外周面に前記マ
   グネツトに対向して取付けられた複数対の電磁石
   とを具備してなるエツチング装置。