JPH053737B2 - - Google Patents

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JPH053737B2
JPH053737B2 JP59243899A JP24389984A JPH053737B2 JP H053737 B2 JPH053737 B2 JP H053737B2 JP 59243899 A JP59243899 A JP 59243899A JP 24389984 A JP24389984 A JP 24389984A JP H053737 B2 JPH053737 B2 JP H053737B2
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film carrier
lsi
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lsi chips
lsi chip
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Kazuhide Kiuchi
Junji Watanabe
Kunio Koyabu
Masanobu Oohata
Katsuhiko Aoki
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93Batch processes
    • H01L24/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、長いフイルムの一駒ごとにリードフ
レームを形成し、フレームの端子にLSIチツプを
搭載するようなフイルムキヤリアの上を走る配線
によつて、LSIチツプ間が電気的に接続され、か
つ3次元的に配列されるようなLSIチツプの高密
度の実装構造及び実装方法に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、この種のLSIチツプの実装構造では、チ
ツプを搭載したフイルムキヤリアをくり返しS字
状にわん曲させてゆく方法(IBM Technical
Dis−closure Bulletin、Vol.17、No.10、March
1975、pp3084〜3086、by K.R.Grebe)、あるい
は、LSIチツプを搭載したフイルムキヤリアをく
り返し垂直に折り曲げて、配線用ボードへ接続す
る方法(特願昭55−27461)がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、上述においては、LSIチツプがフイ
ルムキヤリアとの接続部のみで支えられているた
め、全体をケースの中に収めることによりパツケ
ージングを行なつた場合、衝撃に弱い、あるい
は、LSIチツプで発生した熱を放散しにくく、発
熱量の大きいLSIチツプが実装できない、と言つ
た欠点があつた。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、これらの欠点を取り除くために、フ
イルムキヤリアを折りたたむと同時にフイルムキ
ヤリアに搭載されたLSIチツプの回路面と反対の
面を放熱兼支持用の支持板に取り付けるようにし
たものである。本発明の具体的構成及び作用につ
いて、以下、実施例を示して説明する。
〔実施例〕
第9図は本発明の一実施例に使用するそれ自体
既知のフイルムキヤリアでありaは平面図、bは
そのA−A′断面図である。図中11はフイルム
キヤリア、12はスプロケツトホール、13は
LSIチツプが入り込むホール、14はLSIチツプ、
15はLSIチツプとフイルムキヤリアを接続する
リード、16はフイルムキヤリアを走る配線であ
る。フイルムキヤリヤ11へのLSIチツプ14の
搭載は、通常のインナーリードボンデイング法に
て行なう。必要な個数のLSIチツプ14が搭載さ
れたフイルムキヤリア11は、第9図の左右方向
に連続してつながつており、LSIからのリードは
フイルムキヤリア11の上の配線16によつて、
全てのLSIが接続されるようになつている。
第1図がこのフイルムキヤリアを用いた本発明
の一実施例である。図はフイルムキヤリア11上
のLSIチツプ14の支持板21を接着した構造を
示す。aは断面図でありbは側面図である。支持
板21はLSIチツプ14のヒートシンクの役割と
支持の役割を合せ持つており、材質としてはアル
ミ等の金属、あるいはSi等の半導体が適当であ
る。
第2図は、フイルムキヤリア11上のLSIチツ
プ14と支持板21との接着工程の一例であり、
31はローラである。第2図の工程は、以下のよ
うである。まず、図のようにフイルムキヤリア
11のLSIチツプ14を搭載した面と反対の面が
ローラ31の最上面に接し、且つ2つのローラ3
1の中間点Aとフイルムキヤリア11上のLSIチ
ツプ14間の中間点Aが一致するようにセツトす
る。次に、LSIチツプ14が接着されるべき面
に接着剤を塗つた支持板21をA点に向つて下方
向に、その下端がBの面になるまで移動させるこ
とによつて、先に第1図で示したような支持板2
1とLSIチツプ14との接着構造が得られる。な
お、接着剤はLSIチツプ側に塗つても良い。そし
て、その後ローラ31をその上端がBの面に来
るまで下方向に移動させた後フイルムキヤリア全
体をA′点がA点に一致するまで右から左に送る。
次に、ローラ31を図の位置まで戻し、再び上
記〜の工程をくり返すことによつて第1図で
示したような支持板21とフイルムキヤリア11
上のLSIチツプ14との接着構造を連続的に作製
することが可能である。尚、本工程に於て、の
工程の際、フイルムキヤリア11とLSIチツプ1
4との接続がはがれないように、ローラ31の左
方に位置する、支持板21に接着されたLSIチツ
プ14の載つたフイルムキヤリア11と、右方に
位置する支持板21に接着される前のLSIチツプ
14が載つたフイルムキヤリア11を工程中の動
きに合せて治具等(図示せず)で支えながら行な
つていく必要がある。
第3図は、フイルムキヤリア11上のLSIチツ
プ14と支持板21との接着構造をケーシングし
た一例であり、a,c,dは断面図、b,e,
f,gは他の側面からの断面図である。なお、各
図においてフイルムキヤリアや支持板を実線で、
ケースその他を破線で示した。図a,bにおいて
41はケース、411はケースに刻まれた支持板
21をはめこむための溝、42はフタ、421は
フタに付けられた突起である。図bはaの矢印方
向を見た図であり、a,bに示すようにケース4
1に刻まれた溝411に支持板21の両側端部を
はめこみ、フタ42を、溝411に突起421が
はまりこむように、かぶせることによりケーシン
グが完了する。これによつてフイルムキヤリア1
1によつて電気的に接続されたLSIチツプ14が
支持板21によつて固定され、かつ、チツプから
の熱が支持板の端部から放熱されるような、実装
構造が得られる。
さらに、チツプの冷却効率を高めるためには、
第3図cあるいはdに示すように、支持板21の
中に冷媒を流すための液路43を設ける方法、あ
るいは、第2図eに示すように、支持板21の一
部をケース41の外に出すことにより、放熱フイ
ンの効果をもたせることが有効である。第3図f
は第3図cの矢印方向を見た断面を示しており、
支持板21とハーメチカリに接触し、液路43同
志を結ぶための液路接続体81を備える。そして
複数の支持体間において液路81A,81Bは共
通接続(直列もしくは並列)される。第3図gは
第3図dの矢印方向を見た図であり、液路接続体
82が設けられている。ただし、この場合、図示
のごとくケース41に液路接続体82を通すため
の穴83が必要になる。
第4図は、フイルムキヤリア11上のLSIチツ
プ14と支持板21との接着構造を配線用ボード
へ接続した一例であり、51は配線用ボード、5
2は電気接続部である。支持板21の直下のフイ
ルムキヤリサ上に電極バツドを設け、これに対し
て支持板21の配列のピツチに合せて電極パツド
が設けられた配線ボード51を接触させる。
電極パツドとしてハンダバンプを用いれば、加
熱することによつて電気接続部52をハンダバン
プ同士を結合させる、いわゆるCCB接続法で形
成することができる。
第5図は、フイルムキヤリア11上のLSIチツ
プ14と支持板21との接着構造を配線用ボード
51上へ接続した他の一例であり、第4図との違
いは、フイルムキヤリア11が1つの支持板21
毎に切りはなされU字状になつている点である。
このようにすれば、例えば第3図で示したケース
41の溝411に支持板21をはめこむ際1つず
つ行なうことが可能である。配線用ボード51へ
の接続は第4図と同様の方法で、行なうことによ
つて、各LSIチツプ14が、配線ボード51によ
り電気的に接続された実装構造を得ることができ
る。
第6図は、本発明の実施例に使用する、第9図
とは異なるそれ自体既知のLSIをフエイスダウン
で搭載したフイルムキヤリアであり、aは平面
図、bは断面図である。図中、71は電気接続部
である。フイルムキヤリア11へのLSIチツプ1
4のフエイスダらンでの搭載は、前述のCCB法
にて電気接続部71を形成することにより行な
う。第9図と同様に、必要な個数のLSIチツプ1
4が搭載されたフイルムキヤリア11は、図の左
右方向へ連続してつながつており、全てのLSIが
フイルムキヤリア11の上の配線16によつて電
気的に接続されるようになつている。
第7図は、第6図のフイルムキヤリアを用いた
本発明の実施例であり、第6図で示したフイルム
キヤリア11上のフエイスダウンのLSIチツプ1
4と支持板21を接着した構造の断面図である。
この構造の製作は、先に第2図で示した方法と同
様の方法にて行なうことができる。第7図の構造
の第1図との相違はフイルムキヤリア11上の配
線面が支持板21に接することである。このた
め、第7図の構造では、フイルムキヤリア11と
支持板21が接する部分で、シヨートが起きぬよ
うにフイルムキヤリア11と支持板21が接する
部分の配線の表面を絶縁化するか、あるいはフイ
ルムキヤリア11と支持板21が接する部分の支
持板21の表面を絶縁化しておく。又、第7図の
構造は第3図で示した方法と同様の方法にてケー
シングが可能である。
第8図は、フイルムキヤリア上のフエイスダウ
ンのLSIチツプと放熱板との接着構造(第7図)
を配線用ボードへ接続した一例である。第4図と
の相違は、フイルムキヤリア11上の電極パツド
を図の最上部のフイルムキヤリアの部分に設ける
点である。フイルムキヤリア上の電極パツドに向
つて配線ボード51の電極パツドを合わせ、前述
のCCB接続を行なうことによつて、電気接続部
52を形成する。又、この構造では、たとえば、
第3図に示すケース41の溝411に支持板21
をはめこんだ場合、はめこむ工程の後にS字をく
り返してたたまれているフイルムキヤリアの上に
配線ボード51をのせて、電気接続を行なうこと
が可能である。
なお、以上の各実施例において1枚の支持板に
は2枚のLSIチツプを接着した例を示したが、も
つと多数枚のLSIチツプを接着しても良いことは
もちろんである。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によればフイルム
キヤリアに搭載されたLSIチツプをその裏面を支
持板に接続し、LSIチツプを3次元的に配列する
ような構造が得られ、LSIチツプの固定が確実
であるため衝撃に強い、支持板によつてLSIチ
ツプからの熱を充分に吸収できるため、発熱量の
大きいLSIチツプが搭載できる、といつた利点を
有する高密度LSIチツプ実装構造及び実装方法が
提供される。
【図面の簡単な説明】
第1図aは本発明の第1の実施例におけるフイ
ルムキヤリアと平行な断面構造を示す図、図bは
フイルムキヤリアと直交する方向の断面構造を示
す図、第2図は本発明のLSIチツプ実装方法のフ
イルムキヤリア上のLSIチツプと支持板との接着
工程の一例を示す図、第3図aは本発明の第1の
実施例のLSI実装構造のケーシング例を示す横断
面図、及び図bはその縦断面図、図cは本発明の
第2の実施例の横断面図、図dは本発明の第3の
実施例の横断面図、図eは本発明の第4の実施例
の縦断面図、図fは本発明の第2の実施例(図
c)の縦断面図、図gは本発明の第3の実施例
(図d)の縦断面図、第4図は本発明の第1の実
施例のフイルムキヤリア上のLSIチツプと支持板
との接着構造を配線用ボードへ接続した第1例を
示す横断面図、第5図は本発明のフイルムキヤリ
ア上のLSIチツプと支持板との接着構造を配線用
ボードへ接続した第2例の横断面図、第6図a,
bはそれ自体既知の本発明の実施例に用いるLSI
をフエイスダウンで搭載したフイルムキヤリアの
それぞれ平面図、及び横断面図、第7図はLSIを
フエイスダウンで搭載したフイルムキヤリアの本
発明の適用例を示す横断面図、第8図は第7図の
構造を配線用ボードへ接続した例の横断面図、第
9図a,bはそれ自体既知の本発明の実施例に用
いるLSIを搭載したフイルムキヤリアのそれぞれ
平面図及び横断面図。 11……フイルムキヤリア、12……スプロケ
ツトホール、13……ホール、14……LSIチツ
プ、15……(LSIチツプとフイルムキヤリアを
接続する)リード、16……(フイルムキヤリア
上を走る)配線、21……支持板、31……ロー
ラ、41……ケース、411……(ケースに刻ま
れた支持板をはめこむための)溝、42……フ
タ、421……(フタに付けられた)突起、43
……(支持板中に冷媒を流すための)液路、51
……配線用ボード、52……電気接続部、71…
…電気接続部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数のLSIチツプをフイルムキヤリアを用い
    て1つのケースに実装する構造において、複数の
    LSIチツプが搭載されたフイルムキヤリアと、
    表・裏にLSIチツプの取り付け面を備える支持板
    とを備え、該複数のLSIチツプが搭載されたフイ
    ルムキヤリアの隣接したLSIチツプ間が折れ曲が
    りU字、S字又は繰り返したS字状に形成され、
    該LSIチツプの回路面と反対の面がそれぞれ該支
    持板の表・裏に接着されており、かつ該複数の
    LSIチツプがフイルムキヤリア上の配線によつて
    電気的に接続されていることを特徴とするLSIチ
    ツプ実装構造。 2 前記支持板の中に冷媒を流すための液路を有
    することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    のLSIチツプ実装構造。 3 複数のLSIチツプが搭載されたフイルムキヤ
    リアと、表・裏にLSIチツプの取り付け面を備え
    る支持板とを備え、該複数のLSIチツプが搭載さ
    れたフイルムキヤリアの隣接したLSIチツプ間が
    折れ曲がりU字、S字又は繰り返しS字状に形成
    され、該LSIチツプの回路面と反対の面がそれぞ
    れ該支持板の表・裏に接着されており、かつ該複
    数のLSIチツプがフイルムキヤリア上の配線によ
    つて電気的に接続されてなり、さらに配線用ボー
    ドが備えられるとともに前記フイルムキヤリアの
    曲げられた部分に電気接続端子を有し、該電気接
    続端子を介して前記フイルムキヤリアと配線用ボ
    ード間が電気的に接続されていることを特徴とす
    るLSIチツプ実装構造。 4 前記電気接続端子が支持板の下端面に接する
    前記フイルムキヤリアの折り曲げ部上に形成さ
    れ、前記配線用ボードに該電気接続端子が接続す
    ると共に、表・裏にLSIチツプを接着した前記支
    持板を配線用ボードに垂直に並べて実装したこと
    を特徴とする前記特許請求の範囲第3項記載の
    LSIチツプ実装構造。 5 前記フイルムキヤリアが交互に複数回折り曲
    げられ、支持板の下端面に接する折り曲げ部と反
    転折り曲げ部とを有する繰り返しS字状に形成さ
    れ、該反転折り曲げ部に電気接続端子が形成さ
    れ、該電気接続端子が配線用ボードに接続されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載
    のLSIチツプ実装構造。 6 多数のLSIチツプをフイルムキヤリアを用い
    て1つのケースに実装する方法において、該フイ
    ルムキヤリアのLSIチツプを搭載した面と反対の
    面に、所定の間隔を置いて配された2本のローラ
    を当接せしめ、該2本のローラの中間点とフイル
    ムキヤリア上の隣接するLSIチツプ間の中間点と
    を一致させ、支持板を該フイルムキヤリアのLSI
    チツプを搭載した面の前記中間点に当接して該フ
    イルムキヤリアと垂直方向に移動させて前記2本
    のローラ間を通過せしめ、前記LSIチツプの裏面
    または支持板の表・裏面に塗布した接着剤により
    該支持板の表・裏にLSIチツプを接着することを
    特徴とするLSIチツプの実装方法。
JP59243899A 1984-11-19 1984-11-19 Lsiチツプ実装構造及び実装方法 Granted JPS61121449A (ja)

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JPH0810192Y2 (ja) * 1991-10-22 1996-03-27 船井電機株式会社 半導体の実装構造
US5229916A (en) * 1992-03-04 1993-07-20 International Business Machines Corporation Chip edge interconnect overlay element
JP3186700B2 (ja) 1998-06-24 2001-07-11 日本電気株式会社 半導体装置及びその製造方法
DE102006013078B4 (de) * 2006-03-22 2008-01-03 Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg Kompaktes Leistungshalbleitermodul mit Verbindungseinrichtung

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JPS61121449A (ja) 1986-06-09

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