JPH0537157A - 多層プリント基板の製造方法 - Google Patents

多層プリント基板の製造方法

Info

Publication number
JPH0537157A
JPH0537157A JP19184391A JP19184391A JPH0537157A JP H0537157 A JPH0537157 A JP H0537157A JP 19184391 A JP19184391 A JP 19184391A JP 19184391 A JP19184391 A JP 19184391A JP H0537157 A JPH0537157 A JP H0537157A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
hole
substrate
gallium alloy
gallium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19184391A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazumasa Abe
一雅 阿部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP19184391A priority Critical patent/JPH0537157A/ja
Publication of JPH0537157A publication Critical patent/JPH0537157A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、めっき転写法によるプリント配線
基板において、スルーホールを設けた後においても平滑
な基板を得る方法を提供しようとするものである。 【構成】 本発明は、平滑な金属板に所要の銅箔パター
ンを形成し、所要の銅箔パターンを絶縁樹脂と一体にし
た後に、この平滑な金属板とこの銅箔パターンとを分離
して、導体層を有する基板となし、この基板にスルーホ
ールを設け、このスルーホールに、ガリウムを主体とす
る金属ペーストを充填し、この金属ペーストの露出面を
基板と面一とする方法である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は種々の電子機器等に使用
される多層プリント基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器等には多層プリント基板
が多く用いられている。
【0003】一般的なプリント基板の製法によれば、銅
張り板のエッチングを行うために、基板上の銅パターン
が凹凸となり、基板表面は平滑とはならない。これに対
して、めっき転写法により多層プリント基板を作成する
と、樹脂の内部に銅パターンが埋め込まれた形となるた
め、基板表面を平滑に維持することができる。
【0004】従来、めっき転写法による多層プリント基
板のスルーホールの導通は、図6に示すようなスルーホ
ールめっき層11を形成することにより行われていた。
図6Aに示すように樹脂層7に埋めこむ形で配線パター
ン6が樹脂層の上下の両面に設けられている。次に上下
の配線パターン6のうち導通が必要なパターンの位置に
スルーホール8を設けるとともに、スルーホールを設け
ていない配線パターン6上にはめっきレジストを被着さ
せる。この後、めっき法によりスルーホールめっき層1
1を形成し、めっき終了後はめっきレジストを除去する
(図6A参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、めっき
法によりスルーホールめっき層11を形成すると、図6
Aにも示すように、スルーホール8の端部、すなわち、
スルーホール8を設けた配線パターン6上にはめっき層
11の盛り上がりが形成されてしまう。この凸部の形成
により、折角めっき転写法による平滑な基板を作成して
も、基板表面は平滑でなくなってしまう。このため、多
層プリント基板が作り難いとか、チップ実装がやりにく
いとか、ソルダーレジストが付けにくく、図6Bに示す
ように比較的厚めのスルダーレジスト10の被着が必要
となるといった欠点が生じていた。
【0006】本発明は、斯る点に鑑みめっき転写法によ
り作成したプリント基板において、スルーホールを設け
た後においても平滑な基板を得る方法を提供しようとす
るものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の多層プリント基
板の製造方法は、例えば図1〜図5に示すように、銅箔
パターンよりなる導体層間を接続導通するスルーホール
を有する多層プリント基板の製造方法において、平滑な
金属板1に所要の銅箔パターン6を形成し、所要の銅箔
パターン6を絶縁樹脂7と一体にした後に、この平滑な
金属板とこの銅箔パターン6とを分離して、導体層6を
有する基板となし、この基板にスルーホール8を設け、
このスルーホール8に、ガリウムを主体とする金属ペー
スト9を充填し、この金属ペースト9の露出面を基板と
面一とするものである。
【0008】
【作用】本発明によれば、スルーホール8に、ガリウム
を主体とする金属ペースト9を充填して導通するように
しているので、この金属ペースト9の露出面を基板と面
一とすることができ、平滑な基板を得ることができる。
【0009】
【実施例】以下、図1〜図5を参照ながら本発明多層プ
リント基板の製造方法の実施例を説明する。図1は、本
実施例に係る多層プリント基板の製造方法を示す工程ブ
ロック図、図2〜図4はその製造工程図である。以下、
その工程を図1〜図4に基いて順次説明する。
【0010】まず、図1のステップS1及び図2Aに示
すように、所定の厚みを有するステンレス等の導体板1
を用意し、この導体板1の表面を研磨・洗浄する。
【0011】次に、図1のステップS2及び図2Bに示
すように、この導体板1に銅めっき処理を施して、導体
板1の一主面上に厚み数μm程度の薄膜の銅めっき層2
を形成する。
【0012】次に、図1のステップS3及び図2Cに示
すように、この薄膜銅めっき層2上に所定の厚みを有す
るドライフィルム3をラミネートする。
【0013】次に、図1のステップS4及び図2Dに示
すように、このドライフィルム3に対し、露光・現像処
理を行って、配線パターンの逆パターンを有するドライ
フィルムによるレジストマスク4を形成する。
【0014】次に、図1のステップS5及び図2Eに示
すように、レジストマスク4の開口4aを通して露出す
る薄膜銅めっき層2を電極として高速の銅めっき処理を
施し、このレジストマスク4の開口4a内に銅めっき層
5を選択的に形成する。
【0015】次に、図1のステップS6及び図3Aに示
すように、アルカリ溶液にてこのレジストマスク4を除
去することにより、導体板1上の薄膜銅めっき層2上
に、銅めっき層5による配線パターン6を形成する。
【0016】次に、図1のステップS7に示すように、
配線パターン6の表面処理を行う。この表面処理は、後
工程で形成される樹脂層7との密着性を向上させるため
に、配線パターン6の表面を粗化する処理であり、例え
ば、粗面めっき処理が行われる。
【0017】次に、図1のステップS8及び図3Bに示
すように、例えばガラス・エポキシ樹脂等の表と裏の面
を図3Aの2板の配線パターン6で挟み、ホットプレス
(加熱圧着)により、この配線パターン6を樹脂層7に
埋め込む。更に加熱等の方法で樹脂層7を固化して配線
パターン6と一体化させる。
【0018】次に、図1のステップS9及び図3Cに示
すように、導体板1を剥離して下層の薄膜銅めっき層2
の全面を露出させる。
【0019】次に、図1のステップS10及び図3Dに
示すように、エッチングにより薄膜銅めっき層2を除去
する。このめっき層2の除去により、基板の表と裏の面
には、樹脂層7の面の他に配線パターン6が現われ、ち
ょうど樹脂層7に配線パターン6が埋め込まれたような
形となる。なお、本例においては、ステップS8の樹脂
層形成のところで両面からの導体回路板で両面に回路を
設けたが、この他、ステップS8において樹脂層7の片
面のみに回路を設け、この基板と他の多層または単層の
基板とホットプレスで一体化し、多層基板としてもよ
い。
【0020】次に、図1のステップS11及び図4Aに
示すように、配線パターン6間を連絡するスルーホール
8を作成する。スルーホール8の孔加工はドリルマシン
を用いることにより行う。
【0021】次に、図1のステップS12及び図4Bに
示すように、このスルーホール8にガリウム合金ペース
トの充填及び余分なガリウム合金ペーストの掻き取りを
行う。この工程は基板をステンレス板にのせガリウム合
金ペースト9をスルーホール8に圧入するものである。
ガリウム合金ペースト9は例えば特許公告昭62−16
038の導電材料を用いる。
【0022】この導電材料は、保存温度においてペース
ト状を維持し、その後の加熱処理(作業温度)によって
反応を起して経時的に合金化し固化する性質を有してい
る。即ち、ガリウムを主体とした融液中の共晶金属が飽
和されているために、合金化成分の金属粉を覆う共晶金
属が溶解されず、したがってガリウム液と金属粉とが接
触せざる状態となって反応せず長期間に亘ってペースト
状態が維持される。一方、このペースト状導電材料を加
熱処理して作業温度を上昇させると、ガリウム主体の融
液中の共晶金属の溶解度が上って金属粉の表面の共晶金
属が溶解し、金属粉ガリウムとが反応して金属間化合物
を形成し、次第に固化される。ガリウムと共晶する金属
としては、インジウムIn、錫Sn、亜鉛Zn、ビスマ
スBiのうちの1種又は2種以上の組合せ金属、好まし
くはインジウムIn、錫Sn等を用い得る。ガリウムと
合金化する金属粉としては、ニッケルNi、コバルトC
o、金Au、銅Cu等の単体金属、あるいは、これらの
合金例えばNi−Cu合金、さらにはコバルト合金例え
ばCo−Sn合金、銅合金例えばCu−Sn合金(Cu
40重量%以上)、Cu−Zn合金(Cu60重量%以
上)、Cu−Be合金(Cu98重量%以上)等を用い
得る。この金属粉としては酸化皮膜が出来ないものが望
ましく、特に銅合金におけるSn、Zn、Be等はCU
の酸化を防ぐために好ましいものである。これらの金属
粉の粒径は0.5μm〜500μmの範囲、より好まし
くは1.0μm〜100μmがよい。この合金の特徴は
硬化前はペースト状でスルーホールへの充填が容易であ
り、硬化後の堆積収縮がない。抵抗値もきわめて低く、
銀ペーストのようなマイグレーションの心配もないもの
である。
【0023】本工程においては、まず多めのガリウム合
金ペースト9をスクリーンで基板上部に広げロールまた
はピストンで押し込むと同時にステンレス板に超音波を
かけてペースト9が流動してスルーホール8内部に均一
に入り込むようにする。ペースト9がスルーホール8に
入りきったらスクイジで残ったペーストを掻き取るが、
この際に注意することはスクイジ圧が、弱すぎてペース
トが盛り上がらないような充分な圧力をかけることであ
る。このあとは合金ペースト組成に応じて適温で加熱硬
化する。この結果、ガリウム合金ペースト9の露出面と
樹脂層7の面が面一となり平滑な基板がえられる。な
お、本工程ではガリウム合金ペーストを用いたが、この
他水銀合金などのアマルガムも使用できる。
【0024】次に図1のステップS13及び図4Cに示
すように、ソルダーレジスト10の塗布を行う。ソルダ
ーレジスト10の塗布する基板は平滑であるので、ソル
ダーレジスト10の厚さは従来例に比較して数μm程度
と薄いものでも充分である。
【0025】なお、固化したガリムウ合金ペースト9が
スルーホール8内でより確実に固定されるように、スル
ーホール8の形状は単に円柱状のみでなく、図5に示す
ように、スルーホール8の中央部の直径を大きくしたり
(図5A)、スルーホール8の中央部をくびらせたり
(図5B)することができる。
【0026】スルーホール8の中央部の直径を大きくす
る(図5A)ためには、内部が広がった構造となってい
ることから特殊な器具を使うことになる。片側につめの
ついた器具をスルーホール8の中央部に入れ、このつめ
を外側に押し付け、スルーホール8にそって回転させ
る。つめのあたる部分を掻き取ることにより内部を広く
することができる。
【0027】中央部がくびれたスルーホール(図5B)
を作成するためには、孔明けはドリルマシンによるドリ
ルであるが、このときに貫通孔を明けた後、孔径より大
きめのドリルでスルーホール上部を広げ、次に基板をう
らがえして同様に反対側も広げれば外側が広がった貫通
孔ができる。この場合、スルーホールのランドは大きめ
にする必要がある。
【0028】以上実施例の結果を総括すると、スルーホ
ール8にガリウムを主体とする金属ペースト9を充填
し、金属ペースト9の露出部と樹脂層7とを面一とする
ことにより、平滑な基板を作成することができた。この
ようにして得られた平滑基板には以下のような効果が現
われる。まず、多層基板を作成するのに有利な点であ
り、基板の表面には銅が凸状に飛び出していないため、
多層基板が作り易い。また、実装が容易となる。銅が基
板上に盛り上がっているとチップ実装がやりにくいが、
これはチップなどの部品が小さくなればなるほど凸状の
銅の上に安定させなければならず、影響が大きくなるか
らであり、これに比べて平滑基板はハンダが凹部に落ち
てブリッジの原因となることもなく、実装不良が少なく
なる。次に、ソルダーレジスト加工が容易となる。銅が
基板上に盛り上がっているとスルダーレジストが付けに
くく、角部などで塗り残しができたり、凹部に塗り残し
ができたりする原因となる。これに対して平滑基板は基
板と銅が平滑であるためソルダーレジストが塗易く、立
体的に付ける必要がなく薄いソルダーレジストで充分で
ある。従って、ソルダーレジストは印刷性を良くする必
要がないため高耐熱性タイプといったレジストに限定さ
れることなく選択の範囲が広がる。最後に、ショート・
腐食に強いという点である。導体が樹脂に埋め込められ
ており、この結果ショートや腐食に強い構造となってい
る。
【0029】なお、本発明は上述実施例に限ることなく
本発明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成が採
り得ることは勿論である。
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、金属ペーストの露出面
を基板と面一とすることにより、多層基板の製作が容易
になり、チップなどの小部品の実装が容易になるととも
に、凹凸による塗り残しがなくなることにより、ソルダ
ーレジストが塗り易くその厚さも薄くすることができる
という利益が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例を示す行程ブロック図である。
【図2】本実施例を示す製造工程図(その1)である。
【図3】本実施例を示す製造工程図(その2)である。
【図4】本実施例を示す製造工程図(その3)である。
【図5】本実施例におけるスルーホールの他の例を示す
断面図である。
【図6】従来のスルーホール導通法を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
1 導体板 2 薄膜銅めっき層 3 ドライフィルム 4 レジストマスク 4a 開口 5 銅めっき層 6 配線パターン 7 樹脂層 8 スルーホール 9 ガリウム合金ペースト 10 ソルダーレジスト 11 スルーホールめっき層

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 銅箔パターンよりなる導体層間を接続導
    通するスルーホールを有する多層プリント基板の製造方
    法において、 平滑な金属板に所要の銅箔パターンを形成し、該所要の
    銅箔パターンを絶縁樹脂と一体にした後に、上記平滑な
    金属板と上記銅箔パターンとを分離して、導体層を有す
    る基板となし、該基板にスルーホールを設け、該スルー
    ホールに、ガリウムを主体とする金属ペーストを充填
    し、該金属ペーストの露出面を上記基板と面一としたこ
    とを特徴とする多層プリント基板の製造方法。
JP19184391A 1991-07-31 1991-07-31 多層プリント基板の製造方法 Pending JPH0537157A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19184391A JPH0537157A (ja) 1991-07-31 1991-07-31 多層プリント基板の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19184391A JPH0537157A (ja) 1991-07-31 1991-07-31 多層プリント基板の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0537157A true JPH0537157A (ja) 1993-02-12

Family

ID=16281443

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19184391A Pending JPH0537157A (ja) 1991-07-31 1991-07-31 多層プリント基板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0537157A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005117510A1 (ja) * 2004-05-27 2005-12-08 Ibiden Co., Ltd. 多層プリント配線板
KR100693145B1 (ko) * 2005-07-18 2007-03-13 엘지전자 주식회사 인쇄회로기판의 제조방법
JP2009239066A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Kyocera Corp セラミック基板およびセラミック基板の製造方法
WO2011132463A1 (ja) 2010-04-23 2011-10-27 株式会社メイコー プリント基板の製造方法及びこれを用いたプリント基板
JP2012216583A (ja) * 2011-03-31 2012-11-08 Ngk Insulators Ltd 配線基板及びその製造方法
KR101251651B1 (ko) * 2006-07-10 2013-04-05 엘지이노텍 주식회사 인쇄 회로기판의 제조방법 및 인쇄 회로기판의 제조 방법에의해 제조된 인쇄 회로기판

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005117510A1 (ja) * 2004-05-27 2005-12-08 Ibiden Co., Ltd. 多層プリント配線板
KR100870216B1 (ko) * 2004-05-27 2008-11-24 이비덴 가부시키가이샤 다층 프린트 배선판
US7495332B2 (en) 2004-05-27 2009-02-24 Ibiden Co., Ltd. Multilayer printed wiring board
KR100693145B1 (ko) * 2005-07-18 2007-03-13 엘지전자 주식회사 인쇄회로기판의 제조방법
KR101251651B1 (ko) * 2006-07-10 2013-04-05 엘지이노텍 주식회사 인쇄 회로기판의 제조방법 및 인쇄 회로기판의 제조 방법에의해 제조된 인쇄 회로기판
JP2009239066A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Kyocera Corp セラミック基板およびセラミック基板の製造方法
WO2011132463A1 (ja) 2010-04-23 2011-10-27 株式会社メイコー プリント基板の製造方法及びこれを用いたプリント基板
US9185811B2 (en) 2010-04-23 2015-11-10 Meiko Electronics Co., Ltd. Method of producing printed circuit board, and printed board produced by the method
JP2012216583A (ja) * 2011-03-31 2012-11-08 Ngk Insulators Ltd 配線基板及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4016050A (en) Conduction system for thin film and hybrid integrated circuits
US7213329B2 (en) Method of forming a solder ball on a board and the board
US8146243B2 (en) Method of manufacturing a device incorporated substrate and method of manufacturing a printed circuit board
JP4081052B2 (ja) プリント配線基板の製造法
US20080236872A1 (en) Printed Wiring Board, Process For Producing the Same and Semiconductor Device
US4572925A (en) Printed circuit boards with solderable plating finishes and method of making the same
US6931722B2 (en) Method of fabricating printed circuit board with mixed metallurgy pads
EP0127955B1 (en) Manufacture of printed circuit boards
JPH0537157A (ja) 多層プリント基板の製造方法
KR100714774B1 (ko) 합금 솔더 범프를 구비하는 인쇄회로기판 및 그 제작방법
US5670418A (en) Method of joining an electrical contact element to a substrate
EP0042943A1 (en) Multilayer integrated circuit substrate structure and process for making such structures
JP3813497B2 (ja) バンプ形成方法および半導体装置の実装構造体
JP4520665B2 (ja) プリント配線板及びその製造方法並びに部品実装構造
KR100688697B1 (ko) 패키지 기판의 제조방법
JPS6214960B2 (ja)
JPH1074859A (ja) Qfn半導体パッケージ
JPS624878B2 (ja)
JP3560334B2 (ja) プリント回路板及びその製造方法
JPH1051094A (ja) プリント配線板及びその製造方法
JP2594075B2 (ja) 角形電子部品の製造方法
JP2001274203A (ja) 2メタル基板とbga構造
JPH11186346A (ja) 半導体装置用基板及びその製造方法
JPH03165590A (ja) セラミック配線回路板およびその製造方法
JPS58225697A (ja) 金属ベ−スプリント配線板の製造方法