JP2009239066A - セラミック基板およびセラミック基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミック基板1は、ビア導体2が設けられており、ビア導体2は、セラミック基板1に設けられた穴1aに、貫通導体2が形成されたセラミック焼結体4が嵌着されて形成されている。焼成後のセラミック基板1にビア導体2が設けられたセラミック焼結体4を嵌着するので、ビア導体2のピッチ寸法を高精度にできる。また、ビア導体2がセラミック焼結体4から脱落し難い。
【選択図】 図1
Description
セラミック基板1とビア導体2とを含むセラミック焼結体4の位置合せの精度を高めるために、セラミック焼結体4が所定の位置に配置できる組立治具6を準備するのがよい。図5にセラミック基板1の組立治具6による組立方法を説明する断面図を示す。
2:ビア導体
3:導体パターン
4:セラミック焼結体
5:接着剤
6:組み立て治具
Claims (7)
- ビア導体が設けられたセラミック基板であって、前記ビア導体は、前記セラミック基板に設けられた穴に、貫通導体が形成されたセラミック焼結体が嵌着されて形成されていることを特徴とするセラミック基板。
- 前記セラミック焼結体は太さが異なる形状を有し、前記セラミック基板の穴は、前記セラミック焼結体の外周面と同じ形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のセラミック基板。
- 前記セラミック基板の穴は内寸法が大きい部位と小さい部位とから成ることを特徴とする請求項2記載のセラミック基板。
- 前記セラミック基板の穴の前記セラミック焼結体の外周面と嵌合する内周面は開口に向けて次第に広くなるように形成されていることを特徴とする請求項2または3記載のセラミック基板。
- 前記セラミック基板の穴は内周面の中央部において広く形成されていることを特徴とする請求項2または3記載のセラミック基板。
- セラミック生成形体に貫通孔を加工する工程と、
該貫通孔に導体ペーストを注入する工程と、
前記セラミック生成形体と前記導体ペーストとを同時焼成して前記セラミック焼結体を得る工程と、
該セラミック焼結体を所定の形状に加工する工程と、
焼成されたセラミック基板に前記セラミック焼結体を嵌着する所定形状の穴を加工する工程と、
該穴に前記セラミック焼結体を嵌着する工程とを
有するセラミック基板の製造方法。 - セラミック生成形体に貫通孔を加工する工程と、
該貫通孔に導体ペーストを注入する工程と、
前記セラミック生成形体と前記導体ペーストとを同時焼成して前記セラミック焼結体を得る工程と、
該セラミック焼結体の外周中央部を太く加工する工程と
焼成された複数のセラミック基板に前記セラミック焼結体の外周面と嵌合する穴を加工する工程と、
前記セラミック焼結体の中央部を前記複数のセラミック基板で挟んで前記セラミック基板同士を接着剤で固定する工程とを
有するセラミック基板の製造方法。
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