JPH0536318U - 流量計 - Google Patents
流量計Info
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- JPH0536318U JPH0536318U JP8514091U JP8514091U JPH0536318U JP H0536318 U JPH0536318 U JP H0536318U JP 8514091 U JP8514091 U JP 8514091U JP 8514091 U JP8514091 U JP 8514091U JP H0536318 U JPH0536318 U JP H0536318U
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本考案は高温環境下での流量計測あるいは高
温流体の流量計測を行えるとともに回転子の回転方向を
判別できる構成とした流量計を提供することを目的とす
る。 【構成】 回転子4,5の回転は一対の磁気センサ1
4,16により検出される。磁気センサ14,16は耐
熱性を有するアモルファスセンサよりなり、センサ1
4,16からのパルスa,bに基づいてコンパレータ1
7は立上りトリガ、立下りトリガをパルス発生器18へ
出力する。パルス発生器18は所定パルス幅としたパル
スc,dをパルス監視回路19,演算回路21に出力
し、演算回路21はパルスを積算して流量を算出する。
パルス監視回路19はA相とB相のパルスを比較して、
回転子の回転方向を判別する。
温流体の流量計測を行えるとともに回転子の回転方向を
判別できる構成とした流量計を提供することを目的とす
る。 【構成】 回転子4,5の回転は一対の磁気センサ1
4,16により検出される。磁気センサ14,16は耐
熱性を有するアモルファスセンサよりなり、センサ1
4,16からのパルスa,bに基づいてコンパレータ1
7は立上りトリガ、立下りトリガをパルス発生器18へ
出力する。パルス発生器18は所定パルス幅としたパル
スc,dをパルス監視回路19,演算回路21に出力
し、演算回路21はパルスを積算して流量を算出する。
パルス監視回路19はA相とB相のパルスを比較して、
回転子の回転方向を判別する。
Description
【0001】
本考案は流量計に係り、特に流量計測精度を高めるよう構成した流量計に関す る。
【0002】
例えば従来の流量計の一つとして容積式流量計がある。従来の容積式流量計で は、ケーシングの計量室内に楕円歯車状の一対の回転子(回転体)を回転自在に 設け、計量室内に流入した流量に応じた回転数で回転する回転子の回転を検出す ることにより流量を計測していた。このように回転子の回転を検出する回転検出 手段としては、一方の回転子の端面に磁石を埋設し、この端面に対向するケーシ ング側に磁気抵抗素子よりなる磁気センサを設けてなる回転検出手段がある。
【0003】 ところが、上記容積式流量計においては、被測流体が逆流した場合、一対の回 転子が逆回転してしまうことになるが、磁気センサから出力された信号だけでは 回転子が逆回転していることが判別できず、演算回路は逆流した流量を積算して しまい実流量よりも多い流量積算値を表示してしまう。
【0004】 そのため、例えば特開平2−190714号公報にみられるように取付位置を ずらせた一対の磁気抵抗素子を有し、一対の磁気抵抗素子から出力された出力信 号をシュミットトリガ回路により波形成形して矩形状の流量パルスを生成する構 成とされた流量計がある。この流量計では、上記一対の磁気抵抗素子からの流量 パルスを比較して回転子の回転方向を判別し、逆流による逆回転時の流量パルス を積算して元の積算値から逆流分の流量を減算するようになっている。
【0005】
上記のように従来は、磁気抵抗素子のように回転子に埋設された磁石からの磁 束密度の変化に比例した出力電圧を出力する磁気センサを使用することにより、 一対のセンサ出力の位相差を検出して回転子の回転方向を判別することが可能で あった。しかるに、上記磁気抵抗素子を使用した場合、磁気抵抗素子が微細なパ ターン形成される構造であり、そのパターンの抵抗値の変化を検出するため、例 えば180〜200℃程度の高温環境下では微細なパターンが膨張して抵抗値が 変動してしまい回転検出が不可能となってしまう。
【0006】 そのため、従来は高温流体(180℃以上)の流量計測ができないといった課 題がある。
【0007】 そこで、本考案は上記課題を解決した流量計を提供することを目的とする。
【0008】
本考案の請求項1は、被測流体の流量に応じた回転数で回転する回転体と、 該回転体の軸方向の端面に設けられた複数の磁石と、 前記回転体の回転とともに通過する複数の磁石の磁極に応じて正又は負のパル スを出力する第1のセンサと、 該第1のセンサより前記回転体の回転方向にずらした位置に設けられ、前記回 転体の回転とともに通過する複数の磁石の磁極に応じて正又は負のパルスを出力 する第2のセンサと、 前記各センサより出力された第1のパルスと第2のパルスとの一部が重複する ようパルス幅を整形するパルス幅整形手段と、 該パルス幅整形手段より出力された第1のパルスと第2のパルスとを比較して 前記回転体の正逆回転方向を判別する正逆回転判別手段と、 よりなる。
【0009】 又、本考案の請求項2は、被測流体の流量に応じた回転数で回転する回転体と 、 該回転体の軸方向の端面に設けられた複数の磁石と、 前記回転体の回転とともに通過する複数の磁石の磁極に応じて正又は負のパル スを出力する第1のセンサと、 該第1のセンサより前記回転体の回転方向にずらした位置に設けられ、前記回 転体の回転とともに通過する複数の磁石の磁極に応じて正又は負のパルスを出力 する第2のセンサと、 前記第1のセンサから出力されたパルスと前記第2のセンサから出力されたパ ルスとの位相差を検出する位相差検出手段と、 該位相差検出手段により得られた位相差に基づいて前記回転体の正逆回転方向 を判別する正逆回転判別手段と、 よりなる。
【0010】
請求項1によれば、耐熱性を有する第1のセンサと第2のセンサとから出力さ れたパルスを所定のパルス幅に整形して比較することより回転子の回転方向を判 別することができ、且つ高温流体の流量計測が可能になる。
【0011】 又、請求項2によれば、耐熱性を有する第1のパルスと第2のセンサとから出 力されたパルスの位相差に基づいて回転子の回転方向を判別することができ、且 つ高温流体の流量計測が可能になる。
【0012】
図1及び図3に本考案になる流量計の第1実施例を示す。
【0013】 各図中、容積式流量計1はケーシング2の計量室3内に一対の回転子(回転体 )4,5を設けてなる。ケーシング2は計量室3より上流側に位置する流入路6 と、計量室3より下流側に位置する流出路7とを有する。この流入路6及び流出 路7は夫々上、下流側より計量室3に開口しており、計量室3を介して連通して いる。
【0014】 回転子4,5は楕円歯車で互いに噛合しており、ケーシング2の底部に起立す る回転軸8,9により支承されている。流入路6より被測流体が計量室3内に供 給されると、流体の圧力により一対の回転子4,5が回転軸8,9を中心として 回転する。流入路6からの流体は回転子4,5の回転と共に回転子4,5と計量 室3の内壁10との間の空間11内に導入され、空間11の容積分の流体が流出 路7へ排出される。
【0015】 一方の回転子4の軸方向の端面4aにはN極の磁石121 とS極の磁石122 が楕円の長径側に位置するように180度間隔で埋設されている。又、他方の回 転子5の軸方向の端面5aにもN極の磁石131 とS極の磁石132 が楕円の長 径側に位置するように180度間隔で埋設されている。
【0016】 14はA相の磁気センサ(第1のセンサ)で、回転子4に埋設された磁石12 1 ,122 に近接するように計量室3を閉塞する蓋15に取付けられている。
【0017】 16はB相の磁気センサ(第2のセンサ)で、回転子5に埋設された磁石13 1 ,132 に近接するように蓋15に取付けられている。
【0018】 磁気センサ14,16は夫々耐熱性(200℃程度の高温で使用できる)を有 したアモルファスセンサよりなる。このアモルファスセンサよりなる磁気センサ 14は図3に示すように外筒チューブ14aの内部に棒状のアモルファス材より なるコア14bが挿入され、このコア14bにコイル14cを巻回した構成であ り、コイル14cの両端にはリード線14d,14eが接続されている。従って 、磁石121 ,122 からの磁界によりコイル14cには正又は負電圧のパルス が発生する。
【0019】 尚、他方の磁気センサ16も上記磁気センサ14と同一構成である。
【0020】 上記アモルファスセンサは200℃程度の高温特性を有するため、容積式流量 計1では高温流体であっても正確に流量計測することができる。又、アモルファ スセンサは磁束変化に拘わらず磁界の変化によってパルスを出力するため、回転 子4,5を小形化して小さな磁石を使用することが可能となり、磁束変化が小さ い場合でもパルスを出力できる。従って、容量の小さい小形化された流量計でも 流量計測及び回転子4,5の回転方向を判別することができる。
【0021】 しかも、アモルファスセンサは磁界の変化に応じてパルスを出力するため、駆 動電源を必要とせず低消費電力形であるので長時間使用することができる。
【0022】 又、磁気センサ14,16はアモルファスセンサ以外のセンサ、例えば磁界の 変化に応じてパルスを出力するホール素子等を使用しても良い。
【0023】 又、両センサ14,16は回転子4,5の回転に伴って発生する磁界の変化に 応じた正又は負のワンショットパルス(第1のパルス、第2のパルス)a,bを 出力する特性を有しており、図4に示す如く例えばN極からS極へ磁界が交番す るとき正の電圧EA (V)パルスを出力し、S極からN極へ磁界が交番するとき 負の電圧−EA (V)のパルスを出力する。
【0024】 磁気センサ14,16から出力されたパルスはパルス幅が小さいため、磁気セ ンサ14から出力されたA相のパルスa(P1 〜P4 )と磁気センサ16から出 力されたB相のパルスb(P5 〜P8 )とは互いに1/2周期ずれて出力され互 いに重なることがない。そのため、両相のパルスa,bを直接比較しても回転子 4,5の回転方向を判別することができない。
【0025】 図1中、17はコンパレータで、両センサ14,16からのパルスa,bが入 力されるとパルスが正の電圧か負の電圧かを判別し、パルス発生器18に立上げ トリガtr1,tr2又は立下げトリガtr3,tr4を出力する。このコンパレータ1 7とパルス発生器18によりパルス幅整形手段が構成される。
【0026】 図5に示す如く、コンパレータ17には第1の閾値(スレショルド電圧)EA /2,EB /2が設定された第1の比較部17aと、第2の閾値(スレショルド 電圧)−EA /2,−EB /2が設定された第2の比較部17bとを有する。
【0027】 又、パルス発生器18はA相の立上げトリガtr1,立下げトリガtr3が入力さ れるA相パルス発生器18aと、B相の立上げトリガtr2,立下げトリガtr4が 入力されるB相パルス発生器18bとを有する。
【0028】 例えば、図4に示す磁気センサ14,16からA相、B相のパルスa,bがコ ンパレータ17に入力されると、第1の比較部17aはA相のパルスaの電圧が EA /2以上になったときA相パルス発生器18aへA相立上げトリガtr1を出 力し、B相のパルスbの電圧が−EA /2以上になったとき、B相パルス発生器 18bへB相立上げトリガtr2を出力する。又、第2の比較部17bはA相のパ ルスaの電圧が−EA /2以下になったときA相パルス発生器18aにA相立下 げトリガtr3を出力し、B相のパルスbの電圧が−EB /2以下になったときB 相パルス発生器18bにB相立下げトリガtr4を出力する。
【0029】 A相パルス発生器18aでは上記A相立上げトリガtr1により出力信号をHレ ベルに立上げ、A相立下げトリガtr3により出力信号をLレベルに立下げる。即 ち、A相パルス発生器18aは図6に示すように正のパルスP1 が出力されてか ら負のパルスP2 が出力される間にパルス幅がワンショットパルスのパルス幅L 1 よりも幅広なパルス幅L2 に波形整形されたパルスPa を出力する。そして、 次の正のパルスP3 が出力されてから負のパルスP4 が出力される間に2番目の パルスPb を出力する。従って、回転子4が1回転すると2個のパルスが生成さ れる。
【0030】 又、B相パルス発生器18bでも上記と同様に正のパルスP5 が出力されてか ら負のパルスP6 が出力される間にパルス幅L2 とされたパルスPC を出力し、 次の正のパルスP7 が出力されてから負のパルスP8 が出力される間に2番目の パルスPd を出力する。
【0031】 磁気センサ14,16はA相のパルスaに対してB相のパルスbを時間差t1 分遅れて出力するため上記パルス発生器18により生成されたA相のパルスcに 対しB相のパルスdは時間差t1 分遅れて出力され、その一部が互いに重複する 。
【0032】 19はパルス監視回路(正逆回転判別回路)で、パルス発生器18により生成 されたA相、B相のパルスc,dを監視し、回転子4,5の回転方向を判別する 。即ち、図7のA相の正転の欄に示す如くA相のパルスcがHレベルに立上がる とき、図7のB相の正転の欄に示す如くB相のパルスdの出力レベルがLレベル であれば回転子4,5が正回転であると判断する。しかし、図7のA相の逆転の 欄に示す如くA相のパルスcがHレベルに立上がるとき、図7のB相の逆転の欄 に示す如くB相のパルスdの出力レベルがHレベルであるときは回転子4,5が 逆回転であると判断し、警報装置20に逆回転検出信号eを出力する。これによ り、警報装置20は警報を発し、被測流体が逆流して回転子4,5が回転してい ることを報知する。
【0033】 あるいはパルス監視回路19において、A相のパルスcがLレベルに立下がる ときを基準として回転子4,5の回転方向を判別しても良い。即ち、A相のパル スcがLレベルに立下がるとき、B相の出力レベルがHレベルであれば、回転子 4,5が正回転であると判断し、逆にB相のパルスdの出力レベルがLレベルで あれば回転子4,5が逆回転であると判断しても良い。
【0034】 又、パルス発生器18からのパルスc,dは演算回路21に出力されており、 演算回路21ではA相又はB相のパルスを積算して流量を算出する。
【0035】 又、演算回路21ではパルス監視回路19より逆回転検出信号eが出力される と、その間に積算されたパルス数を減算して逆流した流量を計測しない。そして 、演算回路21で算出された流量値fは表示部22で表示される。
【0036】 このように、磁気センサ14,16から出力されたパルスa,bがスレショル ド電圧を通過する度に流量パルスをHレベルからLレベル、又はLレベルからH レベルに切換えているため、パルス発生器18から出力されたパルスc,dのパ ルス幅は回転子4,5の回転周期に比例することになる。従って、上記のように パルス数をカウントしなくても上記パルスc,dパルス幅を検出することにより 回転子4,5の回転速度、換言すれば流量を計測できる。
【0037】 又、磁気センサ14,16に耐熱性を有するアモルファスセンサ等を使用する ことにより、200℃程度の高温流体の流量を回転子4,5の正逆回転判別を行 いながら計測することができ、より正確な流量計測が可能になる。
【0038】 尚、上記第1実施例では一対の磁気センサ14,16が夫々独立に設けられて 各回転子4,5の回転を検出する構成としたが、一対の磁気センサ14,16を 近接配置して一方の回転子の回転を検出する構成としても良い。
【0039】 又、例えば1つの回転子4の端面4aに同極(S極同志又はN極同志)の磁石 を設けて回転検出するようにしても良い。その場合、1つのコンパレータにより 磁気センサの出力がスレショルド電圧を越える都度パルス発生器の出力のHレベ ルとLレベルとを切替えるようにする。
【0040】 図8乃至図11に本考案の第2実施例を示す。尚、図8において上記第1実施 例と同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。
【0041】 各図中、23は波形整形回路(パルス幅整形手段)で、例えばA相用、B相用 の2つの単安定マルチバイブレータを有し、磁気センサ14,16から出力され た正又は負のパルスa,b(図9参照)を夫々所定パルス幅L2 のパルスc,d (図10参照)に整形する。
【0042】 波形整形回路23より生成されたパルスc,dはA相のパルスcに対してB相 のパルスdがt1 遅れて出力され、各A相のパルスP1 ’〜P3 ’とB相のパル スP5 ’〜P7 ’とが互いに一部重複するようになる。
【0043】 尚、上記パルス幅L2 は次に出力されるパルスと重ならないように各パルス間 隔(ピッチ)よりも小さくなるようにする。
【0044】 パルス監視回路19は、図11のA相の正転の欄に示すように例えばA相の正 のパルスP1 ’が出力されたとき、つまりパルスP1 ’がLレベルからHレベル に立上がるとき、図11のB相の正転の欄に示す如くB相のパルスP5 ’の出力 レベルがLレベルであれば回転子4,5が正回転であると判断する。しかし、図 11の逆転の欄に示すようにA相の正のパルスP1 ’がHレベルに立上がるとき 、B相のパルスP5 ’の出力レベルがHレベルであるときは、回転子4,5が逆 回転であると判断し、警報装置20に逆回転検出信号を出力する。
【0045】 あるいは、パルス監視回路19においてA相の正のパルスP1 ’がHレベルか らLレベルに立下がるときを基準としてB相の出力レベルがLレベル又はHレベ ルであるかによって回転子4,5の回転方向を判別するようにしても良い。
【0046】 図12乃至図15に本考案の第3実施例を示す。尚各図中、上記第1実施例と 同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。
【0047】 図11,図12において、回転子4,5は軸受8a,9aを介して回転軸8, 9により支承されており、一方の回転子4の端面4aには長径部側に1個の磁石 25が埋設されている。
【0048】 回転子4,5が設けられた計量室3を閉塞する蓋15には、磁石25の通過位 置上方で磁石25と近接するように一対の磁気センサ14,16が隣接して取付 けられている。一対の磁気センサ14,16は例えば耐熱性を有するアモルファ スセンサよりなり、互いに近接しているが回転子4の回転方向にずらして設けら れている。
【0049】 従って、一対の磁気センサ14,16は夫々回転子4が1回転する度に1個の パルスa,bを出力する。そして、A相のパルス(第1のパルス)aとB相のパ ルス(第2のパルス)bとの位相差は、磁気センサ14と16との間隔及び回転 子4の回転速度によって決まる。
【0050】 回転子4が正回転しているときは、図14に示すようにA相のパルスaに対し てB相のパルスbがt1 遅れて出力される。磁気センサ14,16は図13に示 すように近接しているため、A相のパルスaとB相のパルスbとの間隔は短く、 例えばA相のパルスP1 が出力されてから次のパルスP2 が出力されるまでの時 間Tに比べてかなり小さい時間である。従って、B相のパルスbが出力されてか ら次のA相のパルスaが出力されるまでの時間をt2 とすると次式が成り立つ。
【0051】 t1 /T<t2 /T …… しかし、回転子4が逆回転したときは、図14に示すように、A相のパルスa が出力されてからB相のパルスbが出力されるまでの時間t1 が長くなり、逆に B相のパルスbが出力されてからA相のパルスaが出力されるまでの時間t2 が 短くなる。従って、回転子4の逆回転時には次式が成り立つ。
【0052】 t1 /T>t2 /T …… つまり、A相のパルスaとB相のパルスbとの時間差をチェックすることによ り回転子4の回転方向を判別することができる。
【0053】 図12に示す位相差検出回路(位相差検出手段)26では、磁気センサ14, 16から出力されたパルスa,bが入力される度にパルスa,bの位相差t1 , t2 及び各パルスの周期を検出しており、その位相差検出信号t1 ,t2 をパル ス監視回路(正逆回転判別手段)27に出力する。パルス監視回路27では上記 位相差t1 ,t2 を比較してt1 >t2 であるときは回転子4が逆回転している と判断し、逆回転検出信号eを出力する。
【0054】 従って、演算回路21では磁気センサ14又は16からのパルスを積算して流 量を算出し、パルス監視回路27より逆回転検出信号eが出力されると、その間 にカウントしたパルスa又はbの流量値を減算する。これで、逆流した流量を加 算して計測誤差を生ずることが防止される。
【0055】 上記第3実施例では一方の回転子4のみに磁石25を設けたが、回転子5にも 磁石を設けても良いし、又複数の磁石を設けるようにしても良い。
【0056】 尚、上記実施例では容積式流量計の回転子の回転方向を判別する構成を例に挙 げて説明したが、これに限らず、他の形式の流量計、例えばタービン式流量計等 の回転検出にも適用できるのは言うまでもない。
【0057】
上述の如く、本考案になる流量計は、請求項1によれば例えば耐熱性を有する 第1,第2のセンサからの出力により回転子の回転数に応じたパルスが得られる ので、高温環境下での流量計測あるいは高温流体の流量を正確に計測できる。又 、第1のパルスと第2のパルスを所定パルス幅に整形し、第1のパルスと第2の パルスの一部が重複するようにした後、両パルスを比較して回転子の回転方向を 判別することができ、逆流による計測誤差を無くすことができる。
【0058】 又、請求項2によれば、高温環境下での流量計測あるいは高温流体を正確に計 測できるとともに、第1のパルスと第2のパルスとの時間差に基づいて回転子の 回転方向を判別でき、回転子の逆回転が正回転として計測されることを防止でき 、正確な流量計測を行うことができる等の特長を有する。
【図1】本考案になる流量計の一実施例の概略構成図で
ある。
ある。
【図2】図1に示す流量計の横断面図である。
【図3】アモルファスセンサを説明するための一部切截
した斜視図である。
した斜視図である。
【図4】磁気センサより出力されたA相、B相の波形図
である。
である。
【図5】A相、B相のパルスを所定パルス幅に波形整形
する回路のブロック図である。
する回路のブロック図である。
【図6】パルス発生器より出力されたパルスの波形図で
ある。
ある。
【図7】回転子の正逆回転を判別する際の判別条件を示
す図である。
す図である。
【図8】本考案の第2実施例の構成図である。
【図9】磁気センサから出力されたパルスの波形図であ
る。
る。
【図10】波形整形回路により所定パルス幅に整形され
たパルスの波形図である。
たパルスの波形図である。
【図11】回転子の正逆回転を判別する際の判別条件を
示す図である。
示す図である。
【図12】本考案の第3実施例の構成図である。
【図13】図12に示す流量計の横断面図である。
【図14】回転子正回転時に磁気センサから出力された
パルスの波形図である。
パルスの波形図である。
【図15】回転子逆回転時に磁気センサから出力された
パルスの波形図である。
パルスの波形図である。
1 容積式流量計 2 ケーシング 3 計量室 4,5 回転子 121 ,122 ,131 ,132 ,25 磁石 14,16 磁気センサ 17 コンパレータ 18 パルス発生器 19 パルス監視回路 21,27 演算回路 23 波形整形回路 26 位相差検出回路
Claims (2)
- 【請求項1】 被測流体の流量に応じた回転数で回転す
る回転体と、 該回転体の軸方向の端面に設けられた複数の磁石と、 前記回転体の回転とともに通過する複数の磁石の磁極に
応じて正又は負のパルスを出力する第1のセンサと、 該第1のセンサより前記回転体の回転方向にずらした位
置に設けられ、前記回転体の回転とともに通過する複数
の磁石の磁極に応じて正又は負のパルスを出力する第2
のセンサと、 前記各センサより出力された第1のパルスと第2のパル
スとの一部が重複するようパルス幅を整形するパルス幅
整形手段と、 該パルス幅整形手段より出力された第1のパルスと第2
のパルスとを比較して前記回転体の正逆回転方向を判別
する正逆回転判別手段と、 よりなる流量計。 - 【請求項2】 被測流体の流量に応じた回転数で回転す
る回転体と、 該回転体の軸方向の端面に設けられた複数の磁石と、 前記回転体の回転とともに通過する複数の磁石の磁極に
応じて正又は負のパルスを出力する第1のセンサと、 該第1のセンサより前記回転体の回転方向にずらした位
置に設けられ、前記回転体の回転とともに通過する複数
の磁石の磁極に応じて正又は負のパルスを出力する第2
のセンサと、 前記第1のセンサから出力されたパルスと前記第2のセ
ンサから出力されたパルスとの位相差を検出する位相差
検出手段と、 該位相差検出手段により得られた位相差に基づいて前記
回転体の正逆回転方向を判別する正逆回転判別手段と、 よりなる流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8514091U JPH0536318U (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8514091U JPH0536318U (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 流量計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0536318U true JPH0536318U (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=13850356
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8514091U Pending JPH0536318U (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0536318U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11514739A (ja) * | 1995-10-30 | 1999-12-14 | タンカンラーゲン ザルツコッテン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 流量計 |
JP2007071558A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガス遮断装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6157816A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-24 | Oval Eng Co Ltd | 流量計発信器 |
JPH02247527A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-03 | Tokico Ltd | 容積式流量計 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP8514091U patent/JPH0536318U/ja active Pending
Patent Citations (2)
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