JP3335600B2 - コリオリ質量流量計 - Google Patents

コリオリ質量流量計

Info

Publication number
JP3335600B2
JP3335600B2 JP28759899A JP28759899A JP3335600B2 JP 3335600 B2 JP3335600 B2 JP 3335600B2 JP 28759899 A JP28759899 A JP 28759899A JP 28759899 A JP28759899 A JP 28759899A JP 3335600 B2 JP3335600 B2 JP 3335600B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase difference
pair
signal
comparators
trigger
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP28759899A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001108502A (ja
Inventor
孝 広瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oval Corp
Original Assignee
Oval Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oval Corp filed Critical Oval Corp
Priority to JP28759899A priority Critical patent/JP3335600B2/ja
Publication of JP2001108502A publication Critical patent/JP2001108502A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3335600B2 publication Critical patent/JP3335600B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、コリオリ質量流量
計に関し、特に、流量停止又は流量ゼロ近辺でも正確に
流量を測定することができると共に、流量の正方向/逆
方向を判別することのできる位相差検出回路を備えるコ
リオリ質量流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】被測定流体の流通する流管の両端を支持
し、該支持点回りに流管を該流管の流れ方向と垂直な方
向に振動したとき、流管に作用するコリオリの力が質量
流量に比例することを利用した質量流量計(コリオリ質
量流量計)は周知である。このコリオリ質量流量計は、
支持された流管の中央部を管軸に垂直な方向に交番駆動
しているとき、流体が移動すると、流管の中央部を中心
として、流管の流入側と流出側との間に位相差が生じ
る。この位相差は、コリオリの力に基づくもので、質量
流量に比例した値であり、この位相差を検知することに
より質量流量を計測することができる。そして、この位
相差は、流管が静止しているとき、流管の管軸を通る面
を基準として、流管に定められた2つの検出位置が基準
面を通過するときの検出位置間の時間差から測定され
る。
【0003】図4は、従来の時間差の測定を説明するた
めの図である。流管の流入側と流出側の対称位置に取り
付けられた流管の変位検出器の信号(信号Aと信号B)
を各々ゼロレベルでトリガして方形波に波形整形し(ト
リガ波形Aとトリガ波形B)、トリガ波形Aとトリガ波
形Bの各々の立ち上がりと立ち下がりの両方において、
両波形の排他的論理和を取ることにより出力パルス幅
(Δt1とΔt2)として求められる。そして、この出力パ
ルス幅、Δt1及びΔt2は、カウンタにゲートパルスとし
て印加する一方、その間にカウンタに供給される一定周
波数のクロックを計数することにより求めることができ
る。時間差は、立ち上がりと立ち下がりのどちらか一方
のみからも求めることができるが、両者の平均をとるこ
とにより、より正確な値を求めることができる。即ち、
時間差は、(Δt1+Δt2)/2として求められる。
【0004】このように、充分な流量があり、それ故、
左右の信号(信号Aと信号B)の間に充分な位相差があ
るときには、排他的論理和回路を用いる簡単な回路構成
により、充分正確な測定をすることが可能である。しか
し、このような回路構成は、流量停止時或いは流量ゼロ
近辺で正確な測定をすることができず、また、流量の正
方向/逆方向を判別することができない。
【0005】図5は、流量停止時(即ち流量ゼロ)、又
は流量ゼロ近辺の状態にある場合を説明するための図で
ある。流量ゼロのとき、左右の検出信号の間に位相差が
無いのが理想である。しかし、実際には、検出構成及び
検出回路等のハードウエアのバラツキにより通常、位相
差はぴったりゼロにはならない。図示したように、信号
立ち上がり時には、信号Aが信号Bより進む一方、信号
立ち下がり時には、逆に信号Bの方が信号Aよりも進む
場合があり得る。これは、例えば、信号Bのトリガする
位置が、正方向にずれた場合であって、低周波のゆらぎ
や増幅器のオフセット成分により起こりうる。このよう
な場合に、いずれの信号が進んでいるかを考慮すること
なく、排他的論理和回路を用いるような簡単な回路構成
では、その位相差を正確に測定することはできない。言
い換えると、このような回路構成は、信号Bは信号Aに
対して必ず遅れている必要がある。また、正方向/逆方
向の判別をするためには、位相差検出回路とは別に、左
右の信号のいずれの位相が進んでいるのかを判別する別
の回路が必要となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、か
かる問題点を解決して、簡単な回路構成にして、流量ゼ
ロ又はゼロ近辺でも正確に流量を測定すると共に、別途
の回路を付加することなく流量の正方向/逆方向を判別
することのできる位相差検出回路を備えるコリオリ質量
流量計を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のコリオリ質量流
量計は、流管の中央部において共振駆動させると共に、
その駆動位置の左右両側の対称位置に設置されてコリオ
リの力に比例した位相差を検出する一対の振動検出セン
サ及び位相差検出回路を備えている。位相差検出回路
は、一対の振動検出センサからの正弦波状の信号が、そ
れぞれ導かれて、所定のトリガレベル以上又は以下の時
にトリガ波形をそれぞれ出力する一対のコンパレータ
A、Bと、該一対のコンパレータのうちの一方のみのト
リガ波形を遅延させる手段とを備えている。位相差検出
回路は、コンパレータAと遅延させたコンパレータBの
出力を比較して求めた位相差より質量流量と共に流れの
方向を判断する。
【0008】このコンパレータBの出力の遅延は、トリ
ガーレベルを変更することにより行うことができる。即
ち、一方のコンパレータAについては、一方の振動検出
センサAからの信号をゼロレベルと比較して、ゼロレベ
ル以上又は以下の時出力するが、他方のコンパレータB
は、他方の振動検出センサBからの信号を、上昇してい
るときには正の所定電圧レベル+VT と、かつ下降して
いるときは負の所定電圧レベル−VT と比較する。これ
によって、他方のコンパレータBは、正の所定電圧レベ
ル+VT を超えて負の所定電圧レベル−VT 以下に降下
するまで出力し、或いは負の所定電圧レベル−VT 以下
に降下してから正の所定電圧レベル+VT を超えるまで
出力する。このようにして、コンパレータBのみのトリ
ガ波形を遅延させることができる。
【0009】また、本発明のコンパレータBは、ヒステ
リシスを有するトリガ回路を備えて、正及び負の所定電
圧レベルを設定することができる。
【0010】また、本発明のコンパレータAとコンパレ
ータBの出力比較は、排他的論理和回路によって行うこ
とができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明を例示に基づき説明
する。図1は、本発明の位相差検出回路を例示する図で
ある。コリオリ質量流量計は、直管、湾曲管等の種々の
流管形状、或いは1本管、2本並列管、内外2重管のよ
うな種々の流管構成のものが知られているが、いずれの
コリオリ質量流量計であっても、流管は、その中央部に
設けられた駆動装置によって共振駆動される。そして、
一対の振動検出センサが、駆動装置の取付位置に対して
左右両側の対称位置に設置されて、コリオリの力に比例
した位相差を検知する。
【0012】図1に示したセンサA及びセンサBは、上
述した一対の振動検出センサを示している。そして、こ
のセンサA及びセンサBで検出され、必要に応じて増幅
された信号A、及び信号Bは、図2に図示されたように
正弦波形状を有している。信号Aと、信号Bは、いずれ
もコンパレータに入力されるが、コンパレータAと、コ
ンパレータBは、トリガレベルが異なるものとなってい
る。
【0013】コンパレータAの一方の端子(反転端子)
に入力された信号Aは、アースされている他方の端子
(非反転端子)のゼロレベルと比較され、図2に示すよ
うに、信号Aがゼロレベル以下に降下する期間のみ出力
するトリガ波形Aとなる。このコンパレータAで行われ
る波形整形自体は、従来技術と同様のものである。ま
た、必要に応じて、ゼロレベル以上の時出力するような
構成に変更することが可能である。
【0014】一方、コンパレータBは、そのトリガ回路
がヒステリシスを有するように構成されている。即ち、
コンパレータBの出力を従属接続の抵抗を通してアース
すると共に、その従属接続抵抗の分割点における電圧を
コンパレータBの非反転端子にフィードバックしてい
る。これによって、信号Bをゼロレベルでトリガするの
ではなく、信号Bが+VT を超えるときに、出力をオフ
にし、かつ信号Bが−VT 以下に降下するとき出力をオ
ンにするヒステリシスを有するように設定したものであ
る。即ち、信号Bが、ゼロレベルを超えて上昇している
とき、或いは下降しているときのいずれにおいても、ゼ
ロレベルでトリガするよりも、時間的に強制的に遅らせ
てトリガさせたものである。
【0015】このようなコンパレータBの反転端子に信
号Bが入力されるとき、図2にトリガ波形Bとして示す
ように、信号Bが−VT 以下に降下するとき立ち上が
り、+VT を超えるとき立ち下がるトリガ波形Bが得ら
れる。なお、トリガ回路を変更することにより、逆に、
信号Bが+VT 以上に上昇するとき立ち上がり、−VT
以下に降下する時立ち下がるようなトリガ波形を得て、
同様に用いることができる。
【0016】このようなトリガ波形Bを強制的に遅らせ
る回路として、図1に例示の回路以外にも種々の回路を
利用することができる。例えば、トリガ波形Aとトリガ
波形Bの両方を、ゼロレベルをトリガレベルとして通常
に得た後、一方のトリガ波形Bのみをデジタル或いはア
ナログの遅延回路に通して遅らせることができる。例え
ば、水晶発振子等の高速のクロックを用いてそのクロッ
クn個分だけ、立ち上がり/立ち下がり時間を遅らせ
る。これにより、立ち上がり/立ち下がりを正確に一定
時間遅らせることができる。
【0017】図3は、トリガ波形Aに対してトリガ波形
Bを強制的に遅らせたことの作用を説明するための図で
ある。流量停止時において、トリガ波形Bのトリガ波形
Aに対する位相差は、本来ゼロであるべきところ、本発
明の位相差検出回路は、前述のようにして強制的に位相
差Δt0 を持たせられる。それ故、トリガ波形Aとトリ
ガ波形Bの間の位相差が、Δt0 であるとき、流量ゼロ
と判断される。この関係は、図3において、「トリガ波
形A」に対してΔt0 だけ遅らせた「停止時のトリガ波
形B」として示している。
【0018】正方向に流量が流れるとき、トリガ波形B
は、上記停止時を基準としてさらにその位相は遅れる。
即ち、図3に「正方向時のトリガ波形B」として示すよ
うに、トリガ波形Bのトリガ波形Aに対する位相差は、
Δt0 +Δtとなるが、流量に比例した値は、Δtであ
る。同様に、逆方向に流量が流れるとき、トリガ波形B
は、上記停止時を基準とすればその位相は進むが、トリ
ガ波形Aよりは位相が依然として遅れている。即ち、
「逆方向時のトリガ波形B」として示すように、トリガ
波形Bのトリガ波形Aに対する位相差は、Δt0 −Δt
となるが、流量に比例した値は、−Δtである。
【0019】このようにして、流量最大時の位相差をΔ
tmax としたときに、Δt0 −Δtmax >0、となるよ
うにΔt0 を設定することにより、以下に示すように、
逆方向最大流量から、正方向最大流量まで、全て正の値
の範囲内でリニアに変化する位相差を得ることが可能に
なる。
【0020】 逆方向流量最大 −−> 流量停止 −−> 正方向流量最大 Δt0 −Δtmax >0 Δt0 Δt0 +Δtmax これによって、位相差のみの計測によって、流量だけで
なく、流れの方向も判別することができる。即ち、位相
差がΔt0 を基準として、それよりも大きいときはその
変位値+Δtが正方向の流量を表し、逆に小さいときは
その変位値−Δtが逆方向の流量を表していると判断す
ることができる。
【0021】図6は、流量停止時又は流量ゼロ近辺の状
態にある場合の本発明の動作を説明するための図であ
る。従来技術に関して図5において説明したのと同じ
く、信号A及び信号Bは、同一信号ではあるが、信号B
が下方向にずれたものを想定している。トリガ波形A
は、ゼロレベルでトリガされ、かつ信号Aが正の時正の
出力をするものを想定している。これに対して、トリガ
波形Bは、前述したように信号Bを、+VT 、−VT で
トリガしたものである。これら両信号を、図1に例示し
た排他的論理和回路に入力すると、その出力XORは、
立ち上がり時と立ち下がり時で、パルス幅の異なるもの
(Δt1、Δt2)とはなるが、信号Aと信号Bの位相差
は、単にこれらパルスの平均を取ることにより求めるこ
とができる。このように、単なる平均を取ることにより
求めることができるのは、トリガ波形Bを強制的に遅ら
せて、常に、トリガ波形Aよりもトリガ波形Bが遅れる
ようにしたためである。
【0022】
【発明の効果】本発明は、一対の振動検出センサからの
正弦波状の信号A、信号Bがそれぞれ導かれる一対のコ
ンパレータのうちの一方のみのトリガ波形を遅延させる
手段を備えて、両コンパレータの出力を比較して求めた
位相差より質量流量と共に流れの方向を判断するもので
あるから、逆方向最大流量から、正方向最大流量まで、
全て正の値の範囲内でリニアに変化する位相差を得るこ
とができる。本発明は、これによって、簡単な回路構成
にして、流量ゼロ又はゼロ近辺でも正確に流量を測定す
ると共に、別途の回路を付加することなく流量の正方向
/逆方向を判別することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の位相差検出回路を例示する図である。
【図2】図1に示した位相差検出回路の各段階における
信号波形を示す図である。
【図3】トリガ波形Aに対してトリガ波形Bを強制的に
遅らせたことの作用を説明するための図である。
【図4】従来の時間差の測定を説明するための図であ
る。
【図5】従来技術の流量停止時又は流量ゼロ近辺の状態
にある場合を説明するための図である。
【図6】流量停止時又は流量ゼロ近辺の状態にある場合
の本発明の動作を説明するための図である。

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】流管の中央部において共振駆動させると共
    に、その駆動位置の左右両側の対称位置に設置される一
    対の振動検出センサを有して、コリオリの力に比例した
    位相差を検出する位相差検出回路を備えるコリオリ質量
    流量計において、 前記位相差検出回路は、前記一対の振動検出センサから
    の正弦波状の信号が、それぞれ導かれて、所定のトリガ
    レベル以上又は以下の時にトリガ波形をそれぞれ出力す
    る一対のコンパレータと、該一対のコンパレータのうち
    の一方のみのトリガ波形を遅延させる手段とを備え、 前記位相差検出回路は、前記一対のコンパレータの出力
    を比較して求めた位相差より質量流量と共に流れの方向
    を判断することを特徴とするコリオリ質量流量計。
  2. 【請求項2】流管の中央部において共振駆動させると共
    に、その駆動位置の左右両側の対称位置に設置される一
    対の振動検出センサを有して、コリオリの力に比例した
    位相差を検出する位相差検出回路を備えるコリオリ質量
    流量計において、 前記位相差検出回路は、前記一対の振動検出センサから
    の正弦波状の信号が、それぞれ導かれる一対のコンパレ
    ータを備え、 前記一対のコンパレータのうちの一方は、一方の振動検
    出センサからの信号をゼロレベルと比較して、ゼロレベ
    ル以上又は以下の時出力し、 他方のコンパレータは、他方の振動検出センサからの信
    号を、上昇しているときには正の所定電圧レベルと、か
    つ下降しているときは負の所定電圧レベルと比較して、
    正の所定電圧レベルを超えて負の所定電圧レベル以下に
    降下するまで出力し、或いは負の所定電圧レベル以下に
    降下してから正の所定電圧レベルを超えるまで出力し、 前記位相差検出回路は、前記一方及び他方のコンパレー
    タの出力を比較して求めた位相差より質量流量と共に流
    れの方向を判断することを特徴とするコリオリ質量流量
    計。
  3. 【請求項3】前記他方のコンパレータは、ヒステリシス
    を有するトリガ回路を備えて、前記正及び負の所定電圧
    レベルを設定した請求項2に記載のコリオリ質量流量
    計。
  4. 【請求項4】前記一方及び他方のコンパレータの出力比
    較は、排他的論理和回路によって行う請求項1〜3のい
    ずれかに記載のコリオリ質量流量計。
JP28759899A 1999-10-08 1999-10-08 コリオリ質量流量計 Expired - Fee Related JP3335600B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28759899A JP3335600B2 (ja) 1999-10-08 1999-10-08 コリオリ質量流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28759899A JP3335600B2 (ja) 1999-10-08 1999-10-08 コリオリ質量流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001108502A JP2001108502A (ja) 2001-04-20
JP3335600B2 true JP3335600B2 (ja) 2002-10-21

Family

ID=17719367

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28759899A Expired - Fee Related JP3335600B2 (ja) 1999-10-08 1999-10-08 コリオリ質量流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3335600B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102388592B1 (ko) * 2021-03-12 2022-04-21 주식회사 서진인스텍 코리올리스 질량유량계 유량 측정 시스템 및 방법
KR102388598B1 (ko) * 2021-03-02 2022-04-21 주식회사 서진인스텍 코리올리스 질량 유량계, 이에 포함된 유로관 및 이를 이용한 유량 측정 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102388598B1 (ko) * 2021-03-02 2022-04-21 주식회사 서진인스텍 코리올리스 질량 유량계, 이에 포함된 유로관 및 이를 이용한 유량 측정 방법
KR102388592B1 (ko) * 2021-03-12 2022-04-21 주식회사 서진인스텍 코리올리스 질량유량계 유량 측정 시스템 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001108502A (ja) 2001-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101269284B1 (ko) 초음파 유량 측정 방법 및 초음파 유량계
US5347873A (en) Double wing vortex flowmeter with strouhal number corrector
JP4976287B2 (ja) パルス波形検出による超音波信号の受信点検出
US6289746B1 (en) Thermal pulsed micro flow sensor
EP0097041B1 (en) Correlation of noise signals
JP3335600B2 (ja) コリオリ質量流量計
US4611496A (en) Ultrasonic flow meter
US4026150A (en) Mass flow meter
JPH07104248B2 (ja) 振動式密度計に於ける振動周期検出方法
JPH0410011B2 (ja)
KR102388592B1 (ko) 코리올리스 질량유량계 유량 측정 시스템 및 방법
JP2001116602A (ja) コリオリ質量流量計
EP1913342B1 (en) Low power ultrasonic flow measurement
EP0759541B1 (en) Mass flowmeter converter
JPS58156813A (ja) 質量流量計
JP2786813B2 (ja) 質量流量計変換器
JPS58120119A (ja) 超音波流量計
JPS6346821Y2 (ja)
JP2942140B2 (ja) コリオリ流量計
JP3051681B2 (ja) コリオリ流量計
JP2004354280A (ja) 導圧管詰まり検出器およびそれを内蔵した差圧・圧力伝送器
JP2786815B2 (ja) 質量流量計変換器
JPH08338750A (ja) 質量流量計変換器
JPH06323885A (ja) コリオリ式質量流量計
JP2000121402A (ja) 超音波流速計

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080802

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090802

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090802

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110802

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120802

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130802

Year of fee payment: 11

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees