JPH0535767B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0535767B2 JPH0535767B2 JP62141110A JP14111087A JPH0535767B2 JP H0535767 B2 JPH0535767 B2 JP H0535767B2 JP 62141110 A JP62141110 A JP 62141110A JP 14111087 A JP14111087 A JP 14111087A JP H0535767 B2 JPH0535767 B2 JP H0535767B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner member
- outer member
- protrusion
- bearing
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 14
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 3
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はセラミツクスからなる滑り軸に関す
る。
る。
（従来の技術）
セラミツクスは他の軸受材料と比べ、耐薬品
性、耐酸性、耐水性、耐熱性及び耐摩耗性に優れ
ているため、科学プラント、潤滑油が使用できな
い高温雰囲気に設置される機器及びIC製造を行
うクリーンルーム内で使用する機器に用いる乾式
軸受の材料として利用されている。
性、耐酸性、耐水性、耐熱性及び耐摩耗性に優れ
ているため、科学プラント、潤滑油が使用できな
い高温雰囲気に設置される機器及びIC製造を行
うクリーンルーム内で使用する機器に用いる乾式
軸受の材料として利用されている。
ところでセラミツクスによつて真球度の高いポ
ールを製作するのは困難であるため、セラミツク
ス製軸受は第５図に示すように内側部材１０１と
外側部材１０２とからなる滑り軸受が一般的であ
る。
ールを製作するのは困難であるため、セラミツク
ス製軸受は第５図に示すように内側部材１０１と
外側部材１０２とからなる滑り軸受が一般的であ
る。
（発明が解決しようとする問題点）
斯かる滑り軸受は内側部材１０１と外側部材１
０２を互いに回転自在に嵌合せしめたものである
が、内側部材１０１の外周面１０１ａと外側部材
１０２の内周面１０２ａとの接触の状態は、第５
図Ａに示すように点ａと点ｂで接触する状態、第
５図Ｂに示すように点ｂと点ｄで接触する状態、
第５図Ｃに示すように点ａと点ｄで接触する状態
の３通りに分けられ、いずれの場合も２点支持に
なつているため、外側部材１０２内で内側部材１
０１が回転する際に半径方向への振れが生じる。
０２を互いに回転自在に嵌合せしめたものである
が、内側部材１０１の外周面１０１ａと外側部材
１０２の内周面１０２ａとの接触の状態は、第５
図Ａに示すように点ａと点ｂで接触する状態、第
５図Ｂに示すように点ｂと点ｄで接触する状態、
第５図Ｃに示すように点ａと点ｄで接触する状態
の３通りに分けられ、いずれの場合も２点支持に
なつているため、外側部材１０２内で内側部材１
０１が回転する際に半径方向への振れが生じる。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決すべく本発明は、セラミツク
ス製滑り軸受を構成する内側部材の外周部又は外
側部材の内周部に相手方の周面に当接する突起を
形成した。
ス製滑り軸受を構成する内側部材の外周部又は外
側部材の内周部に相手方の周面に当接する突起を
形成した。
（作用）
内側部材の外周部又は外側部材の内周部に突起
を形成して相手方部材の周面に当接せしめるよう
にしたので、内側部材と外側部材とは少くとも３
点で接触し、回転する際に半径方向への振れが生
じにくくなる。
を形成して相手方部材の周面に当接せしめるよう
にしたので、内側部材と外側部材とは少くとも３
点で接触し、回転する際に半径方向への振れが生
じにくくなる。
（実施例）
以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説
明する。
明する。
第１図は本発明に係る滑り軸受の断面図であ
り、滑り軸受はセラミツクス製の筒状内側部材１
と、この内側部材１の外周部に回転自在に外嵌さ
れるセラミツクス製の環状外側部材２とから構成
され、内側部材１の最大外径寸法Ｄ１は外側部材
２の最小内径寸法Ｄ２よりも大きく設定され、軸
方向に抜けないようになつている。
り、滑り軸受はセラミツクス製の筒状内側部材１
と、この内側部材１の外周部に回転自在に外嵌さ
れるセラミツクス製の環状外側部材２とから構成
され、内側部材１の最大外径寸法Ｄ１は外側部材
２の最小内径寸法Ｄ２よりも大きく設定され、軸
方向に抜けないようになつている。
ここで、内側部材１には中心部にシヤフト等の
挿通孔３が形成され、外側部には周方向に沿つて
凹部４が形成され、この凹部４の中央に周方向の
リング状突起５が一体的に形成されている。また
外側部材２には径方向内方に向つて凸部６が形成
され、この凸部６のテーパ状側面６ａに前記凹部
４のテーパ状側面４ａを接触させ、軸方向にずれ
が生じないようにし、また凸部６の内周面に前記
突起５の外周面を接触させ、径方向にずれが生じ
ないようにしている。
挿通孔３が形成され、外側部には周方向に沿つて
凹部４が形成され、この凹部４の中央に周方向の
リング状突起５が一体的に形成されている。また
外側部材２には径方向内方に向つて凸部６が形成
され、この凸部６のテーパ状側面６ａに前記凹部
４のテーパ状側面４ａを接触させ、軸方向にずれ
が生じないようにし、また凸部６の内周面に前記
突起５の外周面を接触させ、径方向にずれが生じ
ないようにしている。
更に凹部４の外周面と凸部６の内周面との間に
は100μｍ程度の隙間Ｓが形成され、外側部材２
には半径方向に貫通する注油孔７が穿設されてい
る。
は100μｍ程度の隙間Ｓが形成され、外側部材２
には半径方向に貫通する注油孔７が穿設されてい
る。
尚、図示例においては内側部材１と外側部材２
が点ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆの全てにおいて接触
している状態を示したが、全ての点において接触
するものを製作するのは困難であり、実際には３
点以上において接触することとなる。
が点ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆの全てにおいて接触
している状態を示したが、全ての点において接触
するものを製作するのは困難であり、実際には３
点以上において接触することとなる。
次に以上の如き構成の軸受の製造方法を述べ
る。
る。
先ず第２図Ａ及びＢに示すように焼結すること
で前記内側部材１となる成形品１′及び焼結する
ことで前記外側部材２となる成形品２′を用意す
る。これら成形１′，２′は窒化ケイ素、アルミ
ナ、ジルコニア等のセラミツクス粉末を所望の形
状にて成形したものであり、後工程で行う焼結バ
メの際の収縮分を見込んで大きく成形している。
で前記内側部材１となる成形品１′及び焼結する
ことで前記外側部材２となる成形品２′を用意す
る。これら成形１′，２′は窒化ケイ素、アルミ
ナ、ジルコニア等のセラミツクス粉末を所望の形
状にて成形したものであり、後工程で行う焼結バ
メの際の収縮分を見込んで大きく成形している。
そして、上記の成形品１′，２′のうち先ず内側
部材１となる成形品１′を焼結する。焼結の条件
としては例えば窒化ケイ素の場合窒素雰囲気中に
おいて1700℃で１時間保持する。
部材１となる成形品１′を焼結する。焼結の条件
としては例えば窒化ケイ素の場合窒素雰囲気中に
おいて1700℃で１時間保持する。
斯かる焼結により成形品１′は収縮して内側部
材１となり、この状態で内側部材１の最大外径寸
法Ｄ１は焼結前の成形２′の最小内径寸法Ｄ３よ
りも小さくなつている。
材１となり、この状態で内側部材１の最大外径寸
法Ｄ１は焼結前の成形２′の最小内径寸法Ｄ３よ
りも小さくなつている。
そこで、第３図に示すように内側部材１を成形
品２′内にセツトし、前記と同様の条件で成形品
２′を焼結し、成形品２′を収縮せしめて外側部材
２とする。すると、第１図で示したように、外側
部材２の最小径寸法Ｄ２内側部材１の最大外径寸
法Ｄ１よりも小さくなり、内側部材１に外側部材
２が外嵌する。
品２′内にセツトし、前記と同様の条件で成形品
２′を焼結し、成形品２′を収縮せしめて外側部材
２とする。すると、第１図で示したように、外側
部材２の最小径寸法Ｄ２内側部材１の最大外径寸
法Ｄ１よりも小さくなり、内側部材１に外側部材
２が外嵌する。
ここで、成形品１′，２′の焼結の度合いは、内
側部材１の突起５外周面と外側部材２の内周面の
が接触する程度とする。
側部材１の突起５外周面と外側部材２の内周面の
が接触する程度とする。
以上の如くして内側部材１と外側部材２を回転
可能に嵌合せしめたならば、外側部材２に穿設し
た注油孔７を介して内側部材１と外側部材２との
間のダイヤモンド粉或いは低粘度の油を注入し、
内側部材１又は外側部材２を回転させ共摺り研磨
を行う。このようにすることで、部材同士の摺接
面が平滑になるのは勿論であるが、内側部材１と
外側部材２の芯出しを行うことができる。
可能に嵌合せしめたならば、外側部材２に穿設し
た注油孔７を介して内側部材１と外側部材２との
間のダイヤモンド粉或いは低粘度の油を注入し、
内側部材１又は外側部材２を回転させ共摺り研磨
を行う。このようにすることで、部材同士の摺接
面が平滑になるのは勿論であるが、内側部材１と
外側部材２の芯出しを行うことができる。
第４図は別実施例を示す第１図と同様の断面図
であり、この実施例にあつては突起５を内側部材
１の設けず、外側部材２の内周部に一体的に設
け、この突起５の内周面を内側部材１の凹部４外
周面に接触せしめるようにしている。また、図示
例にあつては、内側部材１に凹部４を、外側部材
２に凸部６を設けたが、内側部材に凸部、外側部
材に凹部を設けてもよい。また図示例にあつては
突起５を１本とし且つ断面角状としたが突起５の
本数は２本以上設けてもよく、突起５の形状は丸
味を持たせたものでもよい。
であり、この実施例にあつては突起５を内側部材
１の設けず、外側部材２の内周部に一体的に設
け、この突起５の内周面を内側部材１の凹部４外
周面に接触せしめるようにしている。また、図示
例にあつては、内側部材１に凹部４を、外側部材
２に凸部６を設けたが、内側部材に凸部、外側部
材に凹部を設けてもよい。また図示例にあつては
突起５を１本とし且つ断面角状としたが突起５の
本数は２本以上設けてもよく、突起５の形状は丸
味を持たせたものでもよい。
更に、本発明に係る軸受はセラミツクス製であ
るため、一般的には注油不要であるため注油孔７
を省略してもよい。
るため、一般的には注油不要であるため注油孔７
を省略してもよい。
（発明の効果）
以上に説明した如く本発明によれば、内側部材
と外側部材とからなるセラミツクス製滑り軸受に
おいて、前記部材のいずれか一方に相手方に摺接
する突起を設けたため、内側部材と外側部材とが
少なくとも３点で接触するので、回転した際に半
径方向に振れが生じない軸受が得られる。
と外側部材とからなるセラミツクス製滑り軸受に
おいて、前記部材のいずれか一方に相手方に摺接
する突起を設けたため、内側部材と外側部材とが
少なくとも３点で接触するので、回転した際に半
径方向に振れが生じない軸受が得られる。
また、内側部材の外側部材とを嵌合せしめた後
に共摺り研磨を行うようにすれば、研磨の同時に
芯出しも行うことができる。
に共摺り研磨を行うようにすれば、研磨の同時に
芯出しも行うことができる。
第１図は本発明に係る軸受の断面図、第２図Ａ
及びＢは焼成前の内側部材及び外側部材を示す
図、第３図は製造途中を示す図、第４図は別実施
例の断面図、第５図Ａ，Ｂ，Ｃは従来の軸受の断
面図である。 尚、図面中１は内側部材、２は外側部材、４は
凹部、５は突起、６は凸部、７は注油孔である。
及びＢは焼成前の内側部材及び外側部材を示す
図、第３図は製造途中を示す図、第４図は別実施
例の断面図、第５図Ａ，Ｂ，Ｃは従来の軸受の断
面図である。 尚、図面中１は内側部材、２は外側部材、４は
凹部、５は突起、６は凸部、７は注油孔である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 互いに回転自在に凹凸嵌合するセラミツクス
製内側部材１と外側部材２からなり、外側部材の
最小内径寸法Ｄ２を内側部材の最大外径寸法Ｄ１
より小さくした軸受おいて、前記内側部材の外周
に形成した凹部４又は凸部には前記外側部材の内
周に形成した凸部６又は凹部に当接する突起５が
形成されていることを特徴とするセラミツクス製
軸受。 ２ 互いに回転自在に凹凸嵌合するセラミツクス
製内側部材１と外側部材２からなり、外側部材の
最小内径寸法Ｄ２を内側部材の最大外径寸法Ｄ１
より小さくした軸受において、前記外側部材の内
周に形成した凸部６又は凹部には前記内側部材の
外周に形成した凹部４又は凸部に当接する突起５
が形成されていることを特徴とするセラミツクス
製軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14111087A JPS63308217A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | セラミックス軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14111087A JPS63308217A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | セラミックス軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308217A JPS63308217A (ja) | 1988-12-15 |
| JPH0535767B2 true JPH0535767B2 (ja) | 1993-05-27 |
Family
ID=15284401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14111087A Granted JPS63308217A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | セラミックス軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308217A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0810013B2 (ja) * | 1988-12-26 | 1996-01-31 | 株式会社ウイング・ハイセラ | セラミックス製軸受 |
| JPH02173415A (ja) * | 1988-12-26 | 1990-07-04 | Uingu Haisera:Kk | セラミックス製軸受及び該軸受の製造方法 |
| KR960000986B1 (ko) * | 1989-10-02 | 1996-01-15 | 가부시끼가이샤 윙· 하이세라 | 세라믹제 축받이 |
| JPH0386214U (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-30 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62266216A (ja) * | 1986-05-12 | 1987-11-19 | Toshio Kobayashi | セラミツクス軸受およびその製造方法 |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP14111087A patent/JPS63308217A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62266216A (ja) * | 1986-05-12 | 1987-11-19 | Toshio Kobayashi | セラミツクス軸受およびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63308217A (ja) | 1988-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7306374B2 (en) | Special type bearing device | |
| KR950011538B1 (ko) | 세라믹제 축받이 및 그의 제조방법 | |
| EP0381336B1 (en) | Ceramic bearing | |
| EP0940592A1 (en) | Combined ball bearing and sliding bearing | |
| JPS63254225A (ja) | セラミツク軸受 | |
| CN103026081A (zh) | 轻型混合式轴承组件及其制造方法 | |
| GB2178113A (en) | Spherical plain bearing | |
| JPH0535767B2 (ja) | ||
| JPH03149415A (ja) | セラミックス製軸受 | |
| JPS62266216A (ja) | セラミツクス軸受およびその製造方法 | |
| JP2002310167A (ja) | ローラベアリング | |
| JPH0320115A (ja) | セラミックス製ベアリング | |
| JPS60566B2 (ja) | ヒンジ継手の摺動軸受 | |
| JPS60230905A (ja) | 粉末合金軸受の製造方法 | |
| JPH04305411A (ja) | セラミックス製球面すべり軸受の製造方法 | |
| JPH02173414A (ja) | セラミックス製軸受 | |
| JP2565321Y2 (ja) | セラミックス製球面すべり軸受 | |
| JP3285269B2 (ja) | 高速回転体 | |
| KR960040518A (ko) | 소결베어링 및 그 제조방법 | |
| JPS6332418Y2 (ja) | ||
| JPH03157517A (ja) | セラミックス製軸受 | |
| JPH01242824A (ja) | オフセット継手 | |
| JPS63111315A (ja) | セラミツクス製ボ−ルベアリング | |
| JPH02173415A (ja) | セラミックス製軸受及び該軸受の製造方法 | |
| JP2553673Y2 (ja) | セラミックス製球面すべり軸受 |