JPH05346182A - ロードロック室への給気・排気方法及び装置 - Google Patents
ロードロック室への給気・排気方法及び装置Info
- Publication number
- JPH05346182A JPH05346182A JP15085992A JP15085992A JPH05346182A JP H05346182 A JPH05346182 A JP H05346182A JP 15085992 A JP15085992 A JP 15085992A JP 15085992 A JP15085992 A JP 15085992A JP H05346182 A JPH05346182 A JP H05346182A
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- JP
- Japan
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- exhaust
- load lock
- lock chamber
- air supply
- opening
- Prior art date
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- Pending
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- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 処理対象物に粒子を付着させることなくロー
ドロック室内への給気，排気を行ない、給気，排気時間
を短縮する。 【構成】 ロードロック室２内に粒子計数器１４を設
け、粒子計数器１４及び排気用，給気用開閉手段１２，
２０は粒子計数器１４で検出されるデータに基づき各開
閉手段１２，２０の開口度合を制御する制御装置３２に
接続する。
ドロック室内への給気，排気を行ない、給気，排気時間
を短縮する。 【構成】 ロードロック室２内に粒子計数器１４を設
け、粒子計数器１４及び排気用，給気用開閉手段１２，
２０は粒子計数器１４で検出されるデータに基づき各開
閉手段１２，２０の開口度合を制御する制御装置３２に
接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はロードロック室内の大気
もしくはガスを排気もしくは給気するための方法と、そ
のための装置に関する。
もしくはガスを排気もしくは給気するための方法と、そ
のための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置など真空を用いる
装置で、ロードロック室内の大気又はガスを排気又は給
気する場合、ロードロック室内にウエハ等の処理対象物
を収納した後、排気もしくは給気を行なっていた。
装置で、ロードロック室内の大気又はガスを排気又は給
気する場合、ロードロック室内にウエハ等の処理対象物
を収納した後、排気もしくは給気を行なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしこのような方法
では排気もしくは給気動作によりロードロック室内の大
気もしくはガスが移動し、その移動は乱流となるため、
ロードロック室内の粒子、例えばパーティクルを巻上げ
て浮遊・移動させることになり、処理対象物であるウエ
ハの表面にパーティクルが付着して処理対象物を汚染さ
せるという課題がある。
では排気もしくは給気動作によりロードロック室内の大
気もしくはガスが移動し、その移動は乱流となるため、
ロードロック室内の粒子、例えばパーティクルを巻上げ
て浮遊・移動させることになり、処理対象物であるウエ
ハの表面にパーティクルが付着して処理対象物を汚染さ
せるという課題がある。
【０００４】例えば、従来の給気・排気方法におけるロ
ードロック室内の０．４μｍ以上のパーティクルは１２
００個／分検出され、６インチの半導体ウエハへの付着
数は平均１０２個であった。
ードロック室内の０．４μｍ以上のパーティクルは１２
００個／分検出され、６インチの半導体ウエハへの付着
数は平均１０２個であった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明方法は上記の課題
を解決するため、図１に示すようにロードロック室２に
排気用，給気用開口２ａ，２ｂを設け、この排気用，給
気用開口２ａ，２ｂにそれぞれ排気用，給気用開閉手段
１２，２０を設け、排気用開閉手段１２には排気手段１
０を設けた装置において、ロードロック室２内に粒子計
数器１４を設け、粒子計数器１４で検出されるデータに
基づき、排気用，給気用開閉手段１２，２０の開口度合
を制御することを特徴とする。
を解決するため、図１に示すようにロードロック室２に
排気用，給気用開口２ａ，２ｂを設け、この排気用，給
気用開口２ａ，２ｂにそれぞれ排気用，給気用開閉手段
１２，２０を設け、排気用開閉手段１２には排気手段１
０を設けた装置において、ロードロック室２内に粒子計
数器１４を設け、粒子計数器１４で検出されるデータに
基づき、排気用，給気用開閉手段１２，２０の開口度合
を制御することを特徴とする。
【０００６】本発明装置は同じ課題を解決するため、図
１に示すようにロードロック室２に排気用，給気用開口
２ａ，２ｂを設け、この排気用，給気用開口２ａ，２ｂ
にそれぞれ排気用，給気用開閉手段１２，２０を設け、
排気用開閉手段１２には排気手段１０を設けた装置にお
いて、ロードロック室２内に粒子計数器１４を設け、粒
子計数器１４及び排気用，給気用開閉手段１２，２０は
粒子計数器１４で検出されるデータに基づき各開閉手段
１２，２０の開口度合を制御する制御装置３２に接続し
てなる。
１に示すようにロードロック室２に排気用，給気用開口
２ａ，２ｂを設け、この排気用，給気用開口２ａ，２ｂ
にそれぞれ排気用，給気用開閉手段１２，２０を設け、
排気用開閉手段１２には排気手段１０を設けた装置にお
いて、ロードロック室２内に粒子計数器１４を設け、粒
子計数器１４及び排気用，給気用開閉手段１２，２０は
粒子計数器１４で検出されるデータに基づき各開閉手段
１２，２０の開口度合を制御する制御装置３２に接続し
てなる。
【０００７】
＜ロードロック室２を排気する場合＞先ず、ロードロッ
ク室２内に処理対象物を収納する。制御装置３２の指令
により排気開閉手段１２が開口される。この時、粒子計
数器１４によりロードロック室２内の発塵が計数され、
所定数値以上の値になると、制御装置３２により排気用
開閉手段１２の開口度合を小さくする。
ク室２内に処理対象物を収納する。制御装置３２の指令
により排気開閉手段１２が開口される。この時、粒子計
数器１４によりロードロック室２内の発塵が計数され、
所定数値以上の値になると、制御装置３２により排気用
開閉手段１２の開口度合を小さくする。
【０００８】排気用開閉手段１２の開口度合を小さくし
たことにより発塵が所定数値以下の値になると、再び排
気用開閉手段１２の開口度合を大きくする。このような
動作を順次繰返し、排気用開閉手段１２を開口し、ロー
ドロック室２内の処理対象物に粒子を付着させることな
く排気できることになる。
たことにより発塵が所定数値以下の値になると、再び排
気用開閉手段１２の開口度合を大きくする。このような
動作を順次繰返し、排気用開閉手段１２を開口し、ロー
ドロック室２内の処理対象物に粒子を付着させることな
く排気できることになる。
【０００９】＜ロードロック室２へ給気する場合＞この
場合も同様に処理対象物がロードロック室２内に収納さ
れる。制御装置３２の指令により給気用開閉手段２０が
開口される。この時、粒子計数器１４によりロードロッ
ク室２内の発塵が計数され、所定数値以上の値になる
と、制御装置３２により給気用開閉手段２０の開口度合
を小さくする。
場合も同様に処理対象物がロードロック室２内に収納さ
れる。制御装置３２の指令により給気用開閉手段２０が
開口される。この時、粒子計数器１４によりロードロッ
ク室２内の発塵が計数され、所定数値以上の値になる
と、制御装置３２により給気用開閉手段２０の開口度合
を小さくする。
【００１０】給気用開閉手段２０の開口度合を小さくし
たことにより、発塵が所定数値以下の値になると、再び
給気用開閉手段２０の開口度合を大きくする。このよう
な動作を順次繰返し、給気用開閉手段２０を開口し、ロ
ードロック室２内の処理対象物に粒子を付着させること
なく給気できることになる。
たことにより、発塵が所定数値以下の値になると、再び
給気用開閉手段２０の開口度合を大きくする。このよう
な動作を順次繰返し、給気用開閉手段２０を開口し、ロ
ードロック室２内の処理対象物に粒子を付着させること
なく給気できることになる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明方法及び装置の１実施例の構成
を示す簡略縦断面図である。本実施例は、フレーム２
２，２４上にそれぞれロードロック室２及び、真空処理
装置４が設けてある。このロードロック室２には、排気
用，給気用開口２ａ，２ｂが設けてある。この排気用開
口２ａには、排気用ゲートバルブ１２が設けられ、この
排気用ゲートバルブ１２には真空ポンプ１０が設けられ
ており、給気用開口２ｂには給気用ゲートバルブ２０が
設けられている。
を示す簡略縦断面図である。本実施例は、フレーム２
２，２４上にそれぞれロードロック室２及び、真空処理
装置４が設けてある。このロードロック室２には、排気
用，給気用開口２ａ，２ｂが設けてある。この排気用開
口２ａには、排気用ゲートバルブ１２が設けられ、この
排気用ゲートバルブ１２には真空ポンプ１０が設けられ
ており、給気用開口２ｂには給気用ゲートバルブ２０が
設けられている。
【００１２】又、ロードロック室２内には粒子計数器１
４が設けられ、粒子計数器１４及び排気用，給気用ゲー
トバルブ１２，２０は、粒子計数器１４で計数されるパ
ーティクル数に基づき各排気用，給気用ゲートバルブ１
２，２０の開口度合を制御する制御装置３２にケーブル
３４及び３６，３８により接続されている。
４が設けられ、粒子計数器１４及び排気用，給気用ゲー
トバルブ１２，２０は、粒子計数器１４で計数されるパ
ーティクル数に基づき各排気用，給気用ゲートバルブ１
２，２０の開口度合を制御する制御装置３２にケーブル
３４及び３６，３８により接続されている。
【００１３】上記構成の本実施例の作用を説明する。 ＜ロードロック室２を排気する場合＞先ず、ゲートバル
ブ１６を開けて、ウエハをロードロック室２に収納する
とゲートバルブ１６が閉められ、制御装置３２の指令に
より排気用ゲートバルブ１２が開口される。この時ロー
ドロック室２内に設けられた粒子計数器１４によりロー
ドロック室２内のパーティクル数が計測され、所定の数
値以上の値になると、排気用ゲートバルブ１２の開口度
合いを小さくする。
ブ１６を開けて、ウエハをロードロック室２に収納する
とゲートバルブ１６が閉められ、制御装置３２の指令に
より排気用ゲートバルブ１２が開口される。この時ロー
ドロック室２内に設けられた粒子計数器１４によりロー
ドロック室２内のパーティクル数が計測され、所定の数
値以上の値になると、排気用ゲートバルブ１２の開口度
合いを小さくする。
【００１４】排気用ゲートバルブ１２の開口度合いを小
さくした事により、パーティクル数が所定の数値以下の
値になると、ふたたび排気用ゲートバルブ１２の開口度
合いを大きくする。このような動作を順次繰返し、排気
用ゲートバルブ１２を開口し、ロードロック室２内のウ
エハにパーティクルを付着させることなく排気できるこ
とになる。
さくした事により、パーティクル数が所定の数値以下の
値になると、ふたたび排気用ゲートバルブ１２の開口度
合いを大きくする。このような動作を順次繰返し、排気
用ゲートバルブ１２を開口し、ロードロック室２内のウ
エハにパーティクルを付着させることなく排気できるこ
とになる。
【００１５】＜ロードロック室２へ給気する場合＞大気
もしくはガスをロードロック室２に給気する場合も同様
に、ゲートバルブ１８が開けられて、ウエハが真空処理
装置４よりロードロック室２内に収納されると、ゲート
バルブ１８が閉められ、制御装置３２の指令により給気
用ゲートバルブ２０が開口される。この時ロードロック
室２内に設けられた粒子計数器１４によりロードロック
室２内のパーティクル数が計測され、所定の数値以上の
値になると、給気用ゲートバルブ２０の開口度合いを小
さくする。
もしくはガスをロードロック室２に給気する場合も同様
に、ゲートバルブ１８が開けられて、ウエハが真空処理
装置４よりロードロック室２内に収納されると、ゲート
バルブ１８が閉められ、制御装置３２の指令により給気
用ゲートバルブ２０が開口される。この時ロードロック
室２内に設けられた粒子計数器１４によりロードロック
室２内のパーティクル数が計測され、所定の数値以上の
値になると、給気用ゲートバルブ２０の開口度合いを小
さくする。
【００１６】給気用ゲートバルブ２０の開口度合いを小
さくした事により、パーティクル数が所定の数値以下の
値になると、ふたたび給気用ゲートバルブ２０の開口度
合いを大きくする。このような動作を順次繰返し、給気
用ゲートバルブ２０を開口し、ロードロック室２内のウ
エハにパーティクルを付着させることなく給気できるこ
とになる。
さくした事により、パーティクル数が所定の数値以下の
値になると、ふたたび給気用ゲートバルブ２０の開口度
合いを大きくする。このような動作を順次繰返し、給気
用ゲートバルブ２０を開口し、ロードロック室２内のウ
エハにパーティクルを付着させることなく給気できるこ
とになる。
【００１７】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、処理対象
物が置かれたロードロック室２内は粒子計数器１４の粒
子計数値が所定数値以下の値になるように制御されるの
で、処理対象物に粒子を付着させることなく、ロードロ
ック室２内を排気もしくは給気することができる。又、
粒子の検出を行ないながら排気もしくは給気を行なうの
で、所定の圧力に達するまでの排気もしくは給気の時間
も短縮することができる。
物が置かれたロードロック室２内は粒子計数器１４の粒
子計数値が所定数値以下の値になるように制御されるの
で、処理対象物に粒子を付着させることなく、ロードロ
ック室２内を排気もしくは給気することができる。又、
粒子の検出を行ないながら排気もしくは給気を行なうの
で、所定の圧力に達するまでの排気もしくは給気の時間
も短縮することができる。
【図１】本発明方法及び装置の１実施例の構成を示す簡
略縦断面図である。
略縦断面図である。
２ ロードロック室 ２ａ 排気用開口 ２ｂ 給気用開口 ４ 真空処理装置 １０ 排気手段（真空ポンプ） １２ 排気用開閉手段（ゲートバルブ） １４ 粒子計数器 １６ ゲートバルブ １８ ゲートバルブ ２０ 給気用開閉手段（ゲートバルブ） ３２ 制御装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ロードロック室（２）に排気用，給気用
開口（２ａ，２ｂ）を設け、この排気用，給気用開口
（２ａ，２ｂ）にそれぞれ排気用，給気用開閉手段（１
２，２０）を設け、排気用開閉手段（１２）には排気手
段（１０）を設けた装置において、ロードロック室
（２）内に粒子計数器（１４）を設け、粒子計数器（１
４）で検出されるデータに基づき、排気用，給気用開閉
手段（１２，２０）の開口度合を制御することを特徴と
するロードロック室への給気・排気方法。 - 【請求項２】 ロードロック室（２）に排気用，給気用
開口（２ａ，２ｂ）を設け、この排気用，給気用開口
（２ａ，２ｂ）にそれぞれ排気用，給気用開閉手段（１
２，２０）を設け、排気用開閉手段（１２）には排気手
段（１０）を設けた装置において、ロードロック室
（２）内に粒子計数器（１４）を設け、粒子計数器（１
４）及び排気用，給気用開閉手段（１２，２０）は粒子
計数器（１４）で検出されるデータに基づき各開閉手段
（１２，２０）の開口度合を制御する制御装置（３２）
に接続してなるロードロック室への給気・排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15085992A JPH05346182A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | ロードロック室への給気・排気方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15085992A JPH05346182A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | ロードロック室への給気・排気方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05346182A true JPH05346182A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15505941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15085992A Pending JPH05346182A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | ロードロック室への給気・排気方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05346182A (ja) |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP15085992A patent/JPH05346182A/ja active Pending
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