JPH05343484A - 回路パターン検査装置 - Google Patents
回路パターン検査装置Info
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- JPH05343484A JPH05343484A JP4144195A JP14419592A JPH05343484A JP H05343484 A JPH05343484 A JP H05343484A JP 4144195 A JP4144195 A JP 4144195A JP 14419592 A JP14419592 A JP 14419592A JP H05343484 A JPH05343484 A JP H05343484A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 最適なタイミングで動作して、パターンの適
否及び短絡位置を判定する回路パターン検査装置を提供
する。 【構成】 隣接する導電パターンの両端に同時に接触し
うるよう設置される第１〜第４の測定子Ｎ1 〜Ｎ4 と、
各測定子が導電パターンに接触しうる状態のままで両者
の相対位置を導体パターンと直交する方向に移動させる
移動テーブル１及びモータ２と、移動テーブル１の移動
を検知して導電パターンのパターン間隔に対応したタイ
ミング信号を発生する手段３〜５と、タイミング信号に
同期して第１の測定子Ｎ1 に電圧を供給する電源部７
と、この状態における他の測定子Ｎ2〜Ｎ4 の出力信号
を検出する検出部８と、測定子からの出力信号に基づい
て当該導体パターンの適否及び短絡位置を判定する判定
部９を備える。
否及び短絡位置を判定する回路パターン検査装置を提供
する。 【構成】 隣接する導電パターンの両端に同時に接触し
うるよう設置される第１〜第４の測定子Ｎ1 〜Ｎ4 と、
各測定子が導電パターンに接触しうる状態のままで両者
の相対位置を導体パターンと直交する方向に移動させる
移動テーブル１及びモータ２と、移動テーブル１の移動
を検知して導電パターンのパターン間隔に対応したタイ
ミング信号を発生する手段３〜５と、タイミング信号に
同期して第１の測定子Ｎ1 に電圧を供給する電源部７
と、この状態における他の測定子Ｎ2〜Ｎ4 の出力信号
を検出する検出部８と、測定子からの出力信号に基づい
て当該導体パターンの適否及び短絡位置を判定する判定
部９を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、回路パターンにおけ
るパターン断線、パターンリークなどを検査する装置に
関し、特に、複数の測定子で導電膜パターンをなぞりな
がら最適のタイミングで上記の検査を行うことができ、
しかもパターンの短絡位置を特定することのできる回路
パターン検査装置に関する。
るパターン断線、パターンリークなどを検査する装置に
関し、特に、複数の測定子で導電膜パターンをなぞりな
がら最適のタイミングで上記の検査を行うことができ、
しかもパターンの短絡位置を特定することのできる回路
パターン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】回路パターン、例えば液晶素子（Liquid
Crystal Devive)の液晶部を挟む透明電極の導電膜パタ
ーンを検査する場合、この導電膜パターンに複数の測定
子を接触させて導電膜パターンをなぞってゆき、この測
定子間の導通／非導通によって回路パターンの適否を検
査する装置は存在する。
Crystal Devive)の液晶部を挟む透明電極の導電膜パタ
ーンを検査する場合、この導電膜パターンに複数の測定
子を接触させて導電膜パターンをなぞってゆき、この測
定子間の導通／非導通によって回路パターンの適否を検
査する装置は存在する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、測定子の先端
部が導電膜パターンのピッチ間隔に比べて太い場合に
は、測定子で導電膜パターンを単になぞるだけでは、測
定子によって導電膜パターンが短絡されることがあり、
適切な検査ができないという問題点がある。また、測定
子によって隣接する導電膜パターン間の短絡状態を検知
できても、そのショート位置が正確に特定できなけれ
ば、ショート箇所を修復する上などにおいて非常に不便
であり、実用的価値に欠けるという問題点もある。
部が導電膜パターンのピッチ間隔に比べて太い場合に
は、測定子で導電膜パターンを単になぞるだけでは、測
定子によって導電膜パターンが短絡されることがあり、
適切な検査ができないという問題点がある。また、測定
子によって隣接する導電膜パターン間の短絡状態を検知
できても、そのショート位置が正確に特定できなけれ
ば、ショート箇所を修復する上などにおいて非常に不便
であり、実用的価値に欠けるという問題点もある。
【０００４】この発明は、この問題点に着目してなされ
たものであって、回路パターンのパターンピッチとの関
係で最適なタイミングでパターン検査をすることがで
き、しかも回路パターンがショートしている場合にはそ
の位置を正確に特定することのできる回路パターン検査
装置を提供することを目的とする。
たものであって、回路パターンのパターンピッチとの関
係で最適なタイミングでパターン検査をすることがで
き、しかも回路パターンがショートしている場合にはそ
の位置を正確に特定することのできる回路パターン検査
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する
為、請求項１に係る回路パターン検査装置は、複数の導
電パターンが一定間隔ごとに互いに平行に設けられてい
る回路パターンにおいて、複数個の測定子が前記導電パ
ターンをなぞってゆくことによって導電パターン各々の
適否を検査する回路パターン検査装置であって、前記
導電パターンの両端に同時に接触しうるよう設置される
第１と第２の測定子、及び、この２つの測定子が特定の
導電パターンに接触している状態でこれと隣接する導電
パターンに接触する第３の測定子とからなる測定子群
と、この測定子群が前記導電パターンに接触しうる状
態のままで、両者の相対位置関係を前記複数の導電パタ
ーンと直交する方向に移動させる搬送手段と、この移
動速度を検知して前記複数の導電パターンのパターン間
隔に対応したタイミング信号を発生するタイミング信号
発生手段と、このタイミング信号に同期して前記第１
の測定子に検査信号を供給し、この状態における前記第
２及び第３の測定子の出力信号を検出することによっ
て、各導電パターンの適否を順次に判定してゆく検査手
段とを特徴的に備えている。
為、請求項１に係る回路パターン検査装置は、複数の導
電パターンが一定間隔ごとに互いに平行に設けられてい
る回路パターンにおいて、複数個の測定子が前記導電パ
ターンをなぞってゆくことによって導電パターン各々の
適否を検査する回路パターン検査装置であって、前記
導電パターンの両端に同時に接触しうるよう設置される
第１と第２の測定子、及び、この２つの測定子が特定の
導電パターンに接触している状態でこれと隣接する導電
パターンに接触する第３の測定子とからなる測定子群
と、この測定子群が前記導電パターンに接触しうる状
態のままで、両者の相対位置関係を前記複数の導電パタ
ーンと直交する方向に移動させる搬送手段と、この移
動速度を検知して前記複数の導電パターンのパターン間
隔に対応したタイミング信号を発生するタイミング信号
発生手段と、このタイミング信号に同期して前記第１
の測定子に検査信号を供給し、この状態における前記第
２及び第３の測定子の出力信号を検出することによっ
て、各導電パターンの適否を順次に判定してゆく検査手
段とを特徴的に備えている。
【０００６】また、請求項２に係る回路パターン検査装
置は、複数の導電パターンが一定間隔ごとに互いに平行
に設けられている回路パターンにおいて、複数個の測定
子が前記導電パターンをなぞってゆくことによって導電
パターン各々の適否を順次に検査する回路パターン検査
装置であって、前記導電パターンの両端に同時に接触
しうるよう設置される第１と第２の測定子、及び、この
２つの測定子が特定の導電パターンに接触している状態
でこれと隣接する導電パターンの両端に接触するよう設
置される第３と第４の測定子とからなる測定子群と、
この測定子群が前記導電パターンに接触しうる状態のま
まで、両者の相対位置関係を前記複数の導電パターンと
直交する方向に移動させる搬送手段と、この移動速度
を検知して前記複数の導電パターンのパターン間隔に対
応したタイミング信号を発生するタイミング信号発生手
段と、このタイミング信号に同期して前記第１の測定
子に検査信号を供給し、この状態における前記第２から
第４の測定子の出力信号を検出する信号検出手段と、
前記第２の測定子からの出力信号に基づいて当該導電パ
ターンの適否を判定すると共に、前記第３と第４の測定
子からの出力信号に基づいて隣接する両導電パターン間
の短絡の有無及び短絡箇所を特定する検査手段とを特徴
的に備えている。
置は、複数の導電パターンが一定間隔ごとに互いに平行
に設けられている回路パターンにおいて、複数個の測定
子が前記導電パターンをなぞってゆくことによって導電
パターン各々の適否を順次に検査する回路パターン検査
装置であって、前記導電パターンの両端に同時に接触
しうるよう設置される第１と第２の測定子、及び、この
２つの測定子が特定の導電パターンに接触している状態
でこれと隣接する導電パターンの両端に接触するよう設
置される第３と第４の測定子とからなる測定子群と、
この測定子群が前記導電パターンに接触しうる状態のま
まで、両者の相対位置関係を前記複数の導電パターンと
直交する方向に移動させる搬送手段と、この移動速度
を検知して前記複数の導電パターンのパターン間隔に対
応したタイミング信号を発生するタイミング信号発生手
段と、このタイミング信号に同期して前記第１の測定
子に検査信号を供給し、この状態における前記第２から
第４の測定子の出力信号を検出する信号検出手段と、
前記第２の測定子からの出力信号に基づいて当該導電パ
ターンの適否を判定すると共に、前記第３と第４の測定
子からの出力信号に基づいて隣接する両導電パターン間
の短絡の有無及び短絡箇所を特定する検査手段とを特徴
的に備えている。
【０００７】
【作用】〔請求項１の回路パターン検査装置〕 測定子群は、少なくとも３個の測定子からなり、第１
と第２の測定子は、検査対象となる導電パターンの両端
に同時に接触しうるよう設置されている。また、第３の
測定子は、前記第１と第２の測定子が特定の導電パター
ンに接触している状態において、これと隣接する導電パ
ターンに接触するよう設置されている。なお、この第３
の測定子は、必ずしも１個である必要はなく、例えば、
隣接する両隣の導電パターンに複数個の測定子を設けて
もよい。
と第２の測定子は、検査対象となる導電パターンの両端
に同時に接触しうるよう設置されている。また、第３の
測定子は、前記第１と第２の測定子が特定の導電パター
ンに接触している状態において、これと隣接する導電パ
ターンに接触するよう設置されている。なお、この第３
の測定子は、必ずしも１個である必要はなく、例えば、
隣接する両隣の導電パターンに複数個の測定子を設けて
もよい。
【０００８】搬送手段は、この測定子群が前記導電パ
ターンに接触しうる状態のままで、両者の相対位置関係
を前記複数の導電パターンと直交する方向に移動させ
る。 タイミング信号発生手段は、搬送手段による前記相対
位置の移動速度を検知して、複数の導電パターンのパタ
ーン間隔に対応したタイミング信号を発生する。具体的
には、測定子群が導電パターンに完全に接触したことを
示すタイミング信号を発生する。
ターンに接触しうる状態のままで、両者の相対位置関係
を前記複数の導電パターンと直交する方向に移動させ
る。 タイミング信号発生手段は、搬送手段による前記相対
位置の移動速度を検知して、複数の導電パターンのパタ
ーン間隔に対応したタイミング信号を発生する。具体的
には、測定子群が導電パターンに完全に接触したことを
示すタイミング信号を発生する。
【０００９】検査手段は、このタイミング信号に同期
して前記第１の測定子に検査信号を供給し、この状態に
おける前記第２及び第３の測定子の出力信号を検出する
ことによって、当該導電パターンの適否を判定する。具
体的には、第２の測定子から本来の出力信号が得られな
い場合には、当該導電パターンがいずれかの箇所で断線
していると判定され、第３の測定子から前記検査信号が
漏れている場合には、隣接する導電パターン間でパター
ンショートが発生していると判定される。尚、第３の測
定子を２個以上備える場合には、隣接する両隣の導電パ
ターン間の検査が可能となる。
して前記第１の測定子に検査信号を供給し、この状態に
おける前記第２及び第３の測定子の出力信号を検出する
ことによって、当該導電パターンの適否を判定する。具
体的には、第２の測定子から本来の出力信号が得られな
い場合には、当該導電パターンがいずれかの箇所で断線
していると判定され、第３の測定子から前記検査信号が
漏れている場合には、隣接する導電パターン間でパター
ンショートが発生していると判定される。尚、第３の測
定子を２個以上備える場合には、隣接する両隣の導電パ
ターン間の検査が可能となる。
【００１０】このように、タイミング信号に同期して各
導電パターンを検査しているので、各測定子の先端部が
導電パターンのピッチに比べて太くても、最適のタイミ
ングで導電パターンの適否が判定され、検査を誤る恐れ
がない。 〔請求項２の回路パターン検査装置〕 請求項２の回路パターン検査装置には、少なくとも４
個の測定子（測定子群）が備えられている。そして、第
１と第２の測定子は、検査対象となる導電パターンの両
端に同時に接触しうるよう設置されている。また、第３
と第４の測定子は、第１と第２の測定子が特定の導電パ
ターンに接触している状態で、これと隣接する導電パタ
ーンの両端に同時に接触するよう設置されている。
導電パターンを検査しているので、各測定子の先端部が
導電パターンのピッチに比べて太くても、最適のタイミ
ングで導電パターンの適否が判定され、検査を誤る恐れ
がない。 〔請求項２の回路パターン検査装置〕 請求項２の回路パターン検査装置には、少なくとも４
個の測定子（測定子群）が備えられている。そして、第
１と第２の測定子は、検査対象となる導電パターンの両
端に同時に接触しうるよう設置されている。また、第３
と第４の測定子は、第１と第２の測定子が特定の導電パ
ターンに接触している状態で、これと隣接する導電パタ
ーンの両端に同時に接触するよう設置されている。
【００１１】搬送手段は、この測定子群が前記導電パ
ターンに接触しうる状態のままで、両者の相対位置関係
を前記複数の導電パターンと直交する方向に移動させ
る。 タイミング信号発生手段は、この移動速度を検知して
前記複数の導電パターンのパターン間隔に対応したタイ
ミング信号を発生する。 信号検出手段は、タイミング信号に同期して前記第１
の測定子に検査信号を供給し、この状態における前記第
２から第４の測定子の出力信号を検出する。
ターンに接触しうる状態のままで、両者の相対位置関係
を前記複数の導電パターンと直交する方向に移動させ
る。 タイミング信号発生手段は、この移動速度を検知して
前記複数の導電パターンのパターン間隔に対応したタイ
ミング信号を発生する。 信号検出手段は、タイミング信号に同期して前記第１
の測定子に検査信号を供給し、この状態における前記第
２から第４の測定子の出力信号を検出する。
【００１２】検査手段は、前記第２の測定子からの出
力信号に基づいて当該導電パターンの適否を判定すると
共に、前記第３と第４の測定子からの出力信号に基づい
て隣接する両導電パターン間の短絡の有無及び短絡箇所
を特定する。 具体的には、第２の測定子から本来の出力信号が得られ
ない場合には、当該導電パターンがいずれかの箇所で断
線していると判定される。また、第３または第４の測定
子から前記検査信号が漏れている場合には、隣接する導
電パターン間でパターンショートが発生していると判定
される。さらに、第３と第４の測定子から得られる出力
電流の比率からパターンショート箇所が特定される。
力信号に基づいて当該導電パターンの適否を判定すると
共に、前記第３と第４の測定子からの出力信号に基づい
て隣接する両導電パターン間の短絡の有無及び短絡箇所
を特定する。 具体的には、第２の測定子から本来の出力信号が得られ
ない場合には、当該導電パターンがいずれかの箇所で断
線していると判定される。また、第３または第４の測定
子から前記検査信号が漏れている場合には、隣接する導
電パターン間でパターンショートが発生していると判定
される。さらに、第３と第４の測定子から得られる出力
電流の比率からパターンショート箇所が特定される。
【００１３】
【実施例】以下、実施例に基づいて、この発明を更に詳
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である回路
パターン検査装置のブロック図を図示したものである。
この装置は、検査対象となる基板を載置する移動テーブ
ル１と、移動テーブル１を移動させる為のモーター２
と、移動テーブル１上に載置された基板の導電パターン
に接触するように設置される測定子Ｎ1 〜Ｎ5 と、移動
テーブル１の移動速度を検知するロータリーエンコーダ
３と、ロータリーエンコーダ３が出力する信号パルスを
カウントする計数部４と、この計数結果に応じて測定動
作を指令するタイミングパルス発生部５と、測定タイミ
ングパルスを受けて動作して検査対象基板の導電パター
ンの適否を判定する装置本体部６とで構成されている。
ここで、装置本体部６は、電源部７と検査部８と判定部
９とで構成されており、電源部７は、測定タイミングパ
ルスに同期して測定子Ｎ1 に対して所定電圧を印加し、
検出部８は、この電圧印加状態において測定子Ｎ2 〜Ｎ
5 の電流ｉ2 〜ｉ5 を検出する。そして、判定部９は、
この検出電流ｉ2 〜ｉ5 に基づいて当該導電パターンの
適否を判定する。
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である回路
パターン検査装置のブロック図を図示したものである。
この装置は、検査対象となる基板を載置する移動テーブ
ル１と、移動テーブル１を移動させる為のモーター２
と、移動テーブル１上に載置された基板の導電パターン
に接触するように設置される測定子Ｎ1 〜Ｎ5 と、移動
テーブル１の移動速度を検知するロータリーエンコーダ
３と、ロータリーエンコーダ３が出力する信号パルスを
カウントする計数部４と、この計数結果に応じて測定動
作を指令するタイミングパルス発生部５と、測定タイミ
ングパルスを受けて動作して検査対象基板の導電パター
ンの適否を判定する装置本体部６とで構成されている。
ここで、装置本体部６は、電源部７と検査部８と判定部
９とで構成されており、電源部７は、測定タイミングパ
ルスに同期して測定子Ｎ1 に対して所定電圧を印加し、
検出部８は、この電圧印加状態において測定子Ｎ2 〜Ｎ
5 の電流ｉ2 〜ｉ5 を検出する。そして、判定部９は、
この検出電流ｉ2 〜ｉ5 に基づいて当該導電パターンの
適否を判定する。
【００１４】なお、図１の場合、ロータリエンコーダ３
は、モーター２に合わせて回転する駆動ネジ９に取り付
けられているが、リニアエンコーダ３’を移動テーブル
１に取り付けるようにしてもよい。また、図１では、測
定子Ｎ1 〜Ｎ5 を固定させ、検査対象となる基板を移動
させる場合を示しているが、基板を固定させて測定子Ｎ
1 〜Ｎ5 を移動させてもよい。
は、モーター２に合わせて回転する駆動ネジ９に取り付
けられているが、リニアエンコーダ３’を移動テーブル
１に取り付けるようにしてもよい。また、図１では、測
定子Ｎ1 〜Ｎ5 を固定させ、検査対象となる基板を移動
させる場合を示しているが、基板を固定させて測定子Ｎ
1 〜Ｎ5 を移動させてもよい。
【００１５】図２は、測定子Ｎ1 〜Ｎ5 と基板上の導電
パターン１１-1〜１１-nとの位置関係を図示したもので
あり、測定子Ｎ1 と測定子Ｎ2 が導電パターン１１-2の
両端に接触している状態で、測定子Ｎ3 は導電パターン
１１-1に接触し、測定子Ｎ4，Ｎ5 は導電パターン１１
-3の両端に接触することを示している。そして、各測定
子Ｎ1 〜Ｎ5 は、基板に接触した状態のまま、導電パタ
ーンを直交方向になぞってゆく。なお、この導電パター
ン１１-2には２箇所の短絡箇所Ｓ1 ，Ｓ2 があり、短絡
箇所Ｓ1 は測定子Ｎ4 からｘの位置にあるものとする。
パターン１１-1〜１１-nとの位置関係を図示したもので
あり、測定子Ｎ1 と測定子Ｎ2 が導電パターン１１-2の
両端に接触している状態で、測定子Ｎ3 は導電パターン
１１-1に接触し、測定子Ｎ4，Ｎ5 は導電パターン１１
-3の両端に接触することを示している。そして、各測定
子Ｎ1 〜Ｎ5 は、基板に接触した状態のまま、導電パタ
ーンを直交方向になぞってゆく。なお、この導電パター
ン１１-2には２箇所の短絡箇所Ｓ1 ，Ｓ2 があり、短絡
箇所Ｓ1 は測定子Ｎ4 からｘの位置にあるものとする。
【００１６】図３は、測定子群Ｎ1 〜Ｎ5 と導電パター
ン１１との関係を側面から図示したものであり、矢印で
示す基板の移動方向に対して、各測定子を少し傾けて接
触させている。図４は図３の状態を更に詳細に図示した
ものであり、基板の導電膜パターン部１１の長さをＡと
し、絶縁部分の長さをＢとする。なお、この基板は特に
限定されるものではないが、例えば、液晶素子（ＬＣ
Ｄ）における透明電極部が該当する。
ン１１との関係を側面から図示したものであり、矢印で
示す基板の移動方向に対して、各測定子を少し傾けて接
触させている。図４は図３の状態を更に詳細に図示した
ものであり、基板の導電膜パターン部１１の長さをＡと
し、絶縁部分の長さをＢとする。なお、この基板は特に
限定されるものではないが、例えば、液晶素子（ＬＣ
Ｄ）における透明電極部が該当する。
【００１７】次に、図１の回路パターン検査装置の動作
内容を説明する。モータ２は、一定速度で移動テーブル
１を移動させるが、ロータリーエンコーダ３は、モータ
２の回転に応じた信号パルスを出力する。この信号パル
スは、計数部４に供給され、計数部４が所定数の信号パ
ルスをカウントする毎に、タイミングパルス発生部５が
測定タイミングパルスを出力する。ここで、測定タイミ
ングパルスの周期Ｔは、導電パターンのパターンピッチ
に対応した時間になっており、移動テーブル１が図４に
示すＡ＋Ｂの距離を移動をする毎に測定パルスが１つ出
力されるようになっている（図５参照）。尚、図５の
（ａ）は測定タイミングパルス、図５の（ｂ）は導電パ
ターンを示している。
内容を説明する。モータ２は、一定速度で移動テーブル
１を移動させるが、ロータリーエンコーダ３は、モータ
２の回転に応じた信号パルスを出力する。この信号パル
スは、計数部４に供給され、計数部４が所定数の信号パ
ルスをカウントする毎に、タイミングパルス発生部５が
測定タイミングパルスを出力する。ここで、測定タイミ
ングパルスの周期Ｔは、導電パターンのパターンピッチ
に対応した時間になっており、移動テーブル１が図４に
示すＡ＋Ｂの距離を移動をする毎に測定パルスが１つ出
力されるようになっている（図５参照）。尚、図５の
（ａ）は測定タイミングパルス、図５の（ｂ）は導電パ
ターンを示している。
【００１８】装置本体部６は、タイミングパルス発生部
５からの測定タイミングパルスに同期して動作する。即
ち、装置本体部６には、測定子Ｎ1 ，Ｎ2 が特定の導電
パターンに接触した時に測定タイミングパルスが加わる
ので、電源部７は、これに呼応して測定子Ｎ1 に所定電
圧を供給する。一方、検出部８は、この時の測定子Ｎ 2
〜Ｎ5 の電流を検出して判定部９に加える。このよう
に、検出部８は、測定タイミングパルスに同期して動作
するので、図４に示すＢの範囲で検査処理がされること
がなく、従って、測定子Ｎの先端部が導電パターンの絶
縁部分（距離Ｂ）に比べて太い場合であっても測定を誤
る恐れがない。
５からの測定タイミングパルスに同期して動作する。即
ち、装置本体部６には、測定子Ｎ1 ，Ｎ2 が特定の導電
パターンに接触した時に測定タイミングパルスが加わる
ので、電源部７は、これに呼応して測定子Ｎ1 に所定電
圧を供給する。一方、検出部８は、この時の測定子Ｎ 2
〜Ｎ5 の電流を検出して判定部９に加える。このよう
に、検出部８は、測定タイミングパルスに同期して動作
するので、図４に示すＢの範囲で検査処理がされること
がなく、従って、測定子Ｎの先端部が導電パターンの絶
縁部分（距離Ｂ）に比べて太い場合であっても測定を誤
る恐れがない。
【００１９】装置本体部６の動作状態を図２に則して更
に説明すると、測定子Ｎ2 は、導電パターン１１-2のパ
ターン断線を検査するものであり、測定子Ｎ3 は、導電
パターン１１-1，１１-2間のパターンリークを検査する
ものである。また、測定子Ｎ 4 ，Ｎ5 は導電パターン１
１-2，１１-3間のパターンリークの検査とショート位置
の特定をする為の測定子である。
に説明すると、測定子Ｎ2 は、導電パターン１１-2のパ
ターン断線を検査するものであり、測定子Ｎ3 は、導電
パターン１１-1，１１-2間のパターンリークを検査する
ものである。また、測定子Ｎ 4 ，Ｎ5 は導電パターン１
１-2，１１-3間のパターンリークの検査とショート位置
の特定をする為の測定子である。
【００２０】そして、導電パターン１１-2に破損箇所が
あれば、測定子Ｎ2 からの検出電流ｉ2 は０又は所定値
より小さい値となるので、そのことからパターン断線が
判定される。また、測定子Ｎ3 からの検出電流ｉ3 は、
本来０の筈であるが、図２のように短絡箇所Ｓ2 が存在
すると検出電流ｉ3 が０以外の値となることからパター
ンリークが検出される。また、導電パターン１１-2と１
１-3の間のショート位置は、測定子Ｎ4 とＮ5 の検出電
流ｉ4 ，ｉ5 から特定される。
あれば、測定子Ｎ2 からの検出電流ｉ2 は０又は所定値
より小さい値となるので、そのことからパターン断線が
判定される。また、測定子Ｎ3 からの検出電流ｉ3 は、
本来０の筈であるが、図２のように短絡箇所Ｓ2 が存在
すると検出電流ｉ3 が０以外の値となることからパター
ンリークが検出される。また、導電パターン１１-2と１
１-3の間のショート位置は、測定子Ｎ4 とＮ5 の検出電
流ｉ4 ，ｉ5 から特定される。
【００２１】図６の（ｂ）は、検出電流ｉ4 ，ｉ5 によ
ってパターンショート位置を特定できることを説明する
為の等価回路であり、図６の（ａ）は、測定子Ｎ1 から
距離ｘの位置Ｓ1 において導電パターン１１-2と導電パ
ターン１１-3とが短絡された状態を示している。短絡箇
所Ｓ1 から測定子Ｎ4 までの抵抗値をＲx とし、短絡箇
所Ｓ1 から測定子Ｎ5 までの抵抗値をＲL-x とすると、
各抵抗値Ｒx ，ＲL-xは、それぞれ距離ｘ，Ｌ−ｘに比
例すると考えられる。つまり、Ｒx ∝ｘであり、ＲL-x
∝Ｌ−ｘである。従って、短絡箇所Ｓ1 の相対位置ｘ／
Ｌは、ｘ／Ｌ＝Ｒx ／（Ｒx ＋ＲL-x ）となり、また、
各抵抗値と検出電流ｉ4 ，ｉ5 には、Ｒ x ｉ4 ＝ＲL-x
ｉ5 の関係があるので、整理するとｘ／Ｌ＝ｉ5 ／（ｉ
4 ＋ｉ5）の関係が求まる。
ってパターンショート位置を特定できることを説明する
為の等価回路であり、図６の（ａ）は、測定子Ｎ1 から
距離ｘの位置Ｓ1 において導電パターン１１-2と導電パ
ターン１１-3とが短絡された状態を示している。短絡箇
所Ｓ1 から測定子Ｎ4 までの抵抗値をＲx とし、短絡箇
所Ｓ1 から測定子Ｎ5 までの抵抗値をＲL-x とすると、
各抵抗値Ｒx ，ＲL-xは、それぞれ距離ｘ，Ｌ−ｘに比
例すると考えられる。つまり、Ｒx ∝ｘであり、ＲL-x
∝Ｌ−ｘである。従って、短絡箇所Ｓ1 の相対位置ｘ／
Ｌは、ｘ／Ｌ＝Ｒx ／（Ｒx ＋ＲL-x ）となり、また、
各抵抗値と検出電流ｉ4 ，ｉ5 には、Ｒ x ｉ4 ＝ＲL-x
ｉ5 の関係があるので、整理するとｘ／Ｌ＝ｉ5 ／（ｉ
4 ＋ｉ5）の関係が求まる。
【００２２】判定部９は、この関係を利用して短絡箇所
Ｓ1 を特定するのであり、すなわち、測定子Ｎ5 からの
検出電流ｉ5 と、両測定子からの検出電流の和ｉ4 ＋ｉ
5 との比率より、短絡箇所Ｓ1 の測定子Ｎ4 からの相対
位置ｘ／Ｌを特定する。以上説明した判定部９の動作を
まとめると、測定子Ｎ2 からの検出電流ｉ2 によりパタ
ーン断線を検出し、測定子Ｎ3 からの検出電流ｉ3 によ
りパターンリークを検出し、測定子Ｎ4 Ｎ5 からの検出
電流ｉ4 ｉ5 によりパターンショート位置をｉ5 ／（ｉ
4 ＋ｉ5 ）として特定している。
Ｓ1 を特定するのであり、すなわち、測定子Ｎ5 からの
検出電流ｉ5 と、両測定子からの検出電流の和ｉ4 ＋ｉ
5 との比率より、短絡箇所Ｓ1 の測定子Ｎ4 からの相対
位置ｘ／Ｌを特定する。以上説明した判定部９の動作を
まとめると、測定子Ｎ2 からの検出電流ｉ2 によりパタ
ーン断線を検出し、測定子Ｎ3 からの検出電流ｉ3 によ
りパターンリークを検出し、測定子Ｎ4 Ｎ5 からの検出
電流ｉ4 ｉ5 によりパターンショート位置をｉ5 ／（ｉ
4 ＋ｉ5 ）として特定している。
【００２３】そして、この動作は、導電パターンをパタ
ーンに直交する方向に、一定時間毎に（パターンピッチ
に合わせて）行われるので、パターンピッチが測定子の
先端部の太さに比べて狭い場合でも回路パターンの適否
を正確に検査することができる。また、導電パターン間
が短絡している場合には、その短絡箇所が具体的に特定
できるので、その短絡箇所をレーザ光でカットする場合
などにおいて非常に便利である。更にまた、測定子Ｎ3
は図２に示す位置に設置されるので、短絡箇所Ｓ2 のよ
うに（図２参照）、パターンの平行部以外の短絡箇所も
検出することができる。
ーンに直交する方向に、一定時間毎に（パターンピッチ
に合わせて）行われるので、パターンピッチが測定子の
先端部の太さに比べて狭い場合でも回路パターンの適否
を正確に検査することができる。また、導電パターン間
が短絡している場合には、その短絡箇所が具体的に特定
できるので、その短絡箇所をレーザ光でカットする場合
などにおいて非常に便利である。更にまた、測定子Ｎ3
は図２に示す位置に設置されるので、短絡箇所Ｓ2 のよ
うに（図２参照）、パターンの平行部以外の短絡箇所も
検出することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るパ
ターン検査装置では、複数個の測定子を用いて導電パタ
ーンをなぞってゆき、各測定子をタイミング信号に同期
して動作させている。従って、導電パターンのパターン
ピッチの広狭に関係なく、各導電パターンの断線状態や
隣接する導電パターン間の短絡状態を、正確に且つ連続
的に検査することができる。
ターン検査装置では、複数個の測定子を用いて導電パタ
ーンをなぞってゆき、各測定子をタイミング信号に同期
して動作させている。従って、導電パターンのパターン
ピッチの広狭に関係なく、各導電パターンの断線状態や
隣接する導電パターン間の短絡状態を、正確に且つ連続
的に検査することができる。
【００２５】また、測定子から検出される出力信号に基
づいて、短絡箇所を具体的に数値データをもって特定す
ることができるので、その短絡箇所を修復する場合など
において非常に有効である。
づいて、短絡箇所を具体的に数値データをもって特定す
ることができるので、その短絡箇所を修復する場合など
において非常に有効である。
【図１】この発明の一実施例である回路パターン検査装
置のブロック図である。
置のブロック図である。
【図２】図１の装置の一部を更に詳細に示す図面であ
る。
る。
【図３】図２における測定子と導電パターンとの位置関
係を図示したものである。
係を図示したものである。
【図４】図３の一部を更に詳細に図示したものである。
【図５】タイミング信号と導電パターンピッチとの関係
を図示したものである。
を図示したものである。
【図６】導電パターン間が短絡している状態における等
価回路である。
価回路である。
１ 移動テーブル ２ モータ（搬送手段） ３ ロータリエンコーダ ４ 計数部 ５ タイミングパルス発生部 ６ 装置本体部 ７ 電源部 ８ 検出部 ９ 判定部 １０ 駆動ネジ Ｎ1 〜Ｎ5 測定子群
Claims (2)
- 【請求項１】複数の導電パターンが一定間隔ごとに互い
に平行に設けられている回路パターンにおいて、複数個
の測定子が前記導電パターンをなぞってゆくことによっ
て導電パターン各々の適否を検査する回路パターン検査
装置であって、 前記導電パターンの両端に同時に接触しうるよう設置さ
れる第１と第２の測定子、及び、この２つの測定子が特
定の導電パターンに接触している状態でこれと隣接する
導電パターンに接触する第３の測定子とからなる測定子
群と、 この測定子群が前記導電パターンに接触しうる状態のま
まで、両者の相対位置関係を前記複数の導電パターンと
直交する方向に移動させる搬送手段と、 この移動速度を検知して前記複数の導電パターンのパタ
ーン間隔に対応したタイミング信号を発生するタイミン
グ信号発生手段と、 このタイミング信号に同期して前記第１の測定子に検査
信号を供給し、この状態における前記第２及び第３の測
定子の出力信号を検出することによって、各導電パター
ンの適否を順次に判定してゆく検査手段とを備えること
を特徴とする回路パターン検査装置。 - 【請求項２】複数の導電パターンが一定間隔ごとに互い
に平行に設けられている回路パターンにおいて、複数個
の測定子が前記導電パターンをなぞってゆくことによっ
て導電パターン各々の適否を検査する回路パターン検査
装置であって、 前記導電パターンの両端に同時に接触しうるよう設置さ
れる第１と第２の測定子、及び、この２つの測定子が特
定の導電パターンに接触している状態でこれと隣接する
導電パターンの両端に接触するよう設置される第３と第
４の測定子とからなる測定子群と、 この測定子群が前記導電パターンに接触しうる状態のま
まで、両者の相対位置関係を前記複数の導電パターンと
直交する方向に移動させる搬送手段と、 この移動速度を検知して前記複数の導電パターンのパタ
ーン間隔に対応したタイミング信号を発生するタイミン
グ信号発生手段と、 このタイミング信号に同期して前記第１の測定子に検査
信号を供給し、この状態における前記第２から第４の測
定子の出力信号を検出する信号検出手段と、 前記第２の測定子からの出力信号に基づいて当該導電パ
ターンの適否を判定すると共に、前記第３と第４の測定
子からの出力信号に基づいて隣接する両導電パターン間
の短絡の有無及び短絡箇所を特定する検査手段とを備え
ることを特徴とする回路パターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4144195A JPH05343484A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 回路パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4144195A JPH05343484A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 回路パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05343484A true JPH05343484A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15356427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4144195A Pending JPH05343484A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 回路パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05343484A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346894A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-12-15 | Fujitsu Ltd | 配線板の検査装置および検査方法 |
| US6429670B2 (en) * | 1995-07-18 | 2002-08-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of examining posture of an electronic part |
| JP2006234401A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Hioki Ee Corp | 回路配線検査方法および回路配線検査装置 |
| JP2008051727A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Adtec Engineeng Co Ltd | なぞり式回路基板検査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS635377A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | 株式会社 日本マイクロニクス | 表示パネル用プロ−バ |
| JPS63172973A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 配線導体検査方法 |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP4144195A patent/JPH05343484A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS635377A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | 株式会社 日本マイクロニクス | 表示パネル用プロ−バ |
| JPS63172973A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 配線導体検査方法 |
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| JP2006234401A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Hioki Ee Corp | 回路配線検査方法および回路配線検査装置 |
| JP4676218B2 (ja) * | 2005-02-22 | 2011-04-27 | 日置電機株式会社 | 回路配線検査方法および回路配線検査装置 |
| JP2008051727A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Adtec Engineeng Co Ltd | なぞり式回路基板検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |