JPH11211770A - 静電気評価装置 - Google Patents
静電気評価装置Info
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- JPH11211770A JPH11211770A JP10009440A JP944098A JPH11211770A JP H11211770 A JPH11211770 A JP H11211770A JP 10009440 A JP10009440 A JP 10009440A JP 944098 A JP944098 A JP 944098A JP H11211770 A JPH11211770 A JP H11211770A
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- potential
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 絶縁性基板に蓄積した電荷の分布により表面
電位分布を正確に検出し、静電気対策を行なうことがで
きる静電気評価装置を提供する。 【解決手段】 被測定物１を接地面２に接触させず、か
つ、該被測定物１の面内全ての点で接地面２からの距離
が一定になるように保持するための、絶縁スペーサ３が
取り付けられた接地ステージ４を有する装置本体５と、
前記絶縁スペーサ３に保持された被測定物１から一定距
離隔てて保持された電界強度検出用プローブ６と、該プ
ローブ６を保持し、かつ、前記被測定物１の面内のＸ−
Ｙ方向に駆動させる駆動装置７と、該駆動装置７により
Ｘ−Ｙ方向に駆動させながらプローブ６からの電位信号
を検出し、被測定物１の表面電位の面内分布を画面上に
表示できるように構成された計算機と、容易に移動でき
るように前記装置本体５の下部に取り付けられるキャス
ター８とを備えている。
電位分布を正確に検出し、静電気対策を行なうことがで
きる静電気評価装置を提供する。 【解決手段】 被測定物１を接地面２に接触させず、か
つ、該被測定物１の面内全ての点で接地面２からの距離
が一定になるように保持するための、絶縁スペーサ３が
取り付けられた接地ステージ４を有する装置本体５と、
前記絶縁スペーサ３に保持された被測定物１から一定距
離隔てて保持された電界強度検出用プローブ６と、該プ
ローブ６を保持し、かつ、前記被測定物１の面内のＸ−
Ｙ方向に駆動させる駆動装置７と、該駆動装置７により
Ｘ−Ｙ方向に駆動させながらプローブ６からの電位信号
を検出し、被測定物１の表面電位の面内分布を画面上に
表示できるように構成された計算機と、容易に移動でき
るように前記装置本体５の下部に取り付けられるキャス
ター８とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は静電気評価装置に関
する。さらに詳しくは、液晶表示装置のガラス基板や半
導体ウエハなどの絶縁性基板である被測定物に発生した
静電気を評価するのに用いられる静電気評価装置に関す
る。
する。さらに詳しくは、液晶表示装置のガラス基板や半
導体ウエハなどの絶縁性基板である被測定物に発生した
静電気を評価するのに用いられる静電気評価装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】絶縁性基板に発生した静電気を電位とし
て測定するばあい、測定する際に絶縁性基板が接地面に
対してどういう状態になっているかが重要である。なぜ
なら、静電気の実体は電荷Ｑであり、Ｑ＝一定の状態に
おける基板の電位Ｖは、Ｑ＝ＣＶの式で表わされる。Ｃ
は基板表面と接地面とのあいだの静電容量であり、この
静電容量Ｃは、基板と接地面とのあいだの距離に応じて
決定される。したがって、この距離が変化すれば、電位
の測定値Ｖも変化する。すなわち、電位の測定値Ｖに大
小の違いが生じたばあい、これは静電容量（接地面から
の距離）の大小によるばあいと、静電気の電荷Ｑの大小
によるばあいがある。
て測定するばあい、測定する際に絶縁性基板が接地面に
対してどういう状態になっているかが重要である。なぜ
なら、静電気の実体は電荷Ｑであり、Ｑ＝一定の状態に
おける基板の電位Ｖは、Ｑ＝ＣＶの式で表わされる。Ｃ
は基板表面と接地面とのあいだの静電容量であり、この
静電容量Ｃは、基板と接地面とのあいだの距離に応じて
決定される。したがって、この距離が変化すれば、電位
の測定値Ｖも変化する。すなわち、電位の測定値Ｖに大
小の違いが生じたばあい、これは静電容量（接地面から
の距離）の大小によるばあいと、静電気の電荷Ｑの大小
によるばあいがある。
【０００３】静電気の面内分布を測定するための装置と
しては、特開平７−７２１９６号公報に示される静電位
レベル測定装置がある。この装置は、図３に示すよう
に、ベルトコンベア１０１上を移動する被測定物１０２
と、被測定物１０２の上方に配置され、被測定物１０２
の表面の多数の測定ポイントにおける静電位レベルを測
定する静電位センサアレイ１０３と、静電位センサアレ
イ１０３による測定信号を処理し、ディスプレイ１０４
上に各測定ポイント毎の静電位分布をマッピング表示す
る装置本体１０５からなっている。
しては、特開平７−７２１９６号公報に示される静電位
レベル測定装置がある。この装置は、図３に示すよう
に、ベルトコンベア１０１上を移動する被測定物１０２
と、被測定物１０２の上方に配置され、被測定物１０２
の表面の多数の測定ポイントにおける静電位レベルを測
定する静電位センサアレイ１０３と、静電位センサアレ
イ１０３による測定信号を処理し、ディスプレイ１０４
上に各測定ポイント毎の静電位分布をマッピング表示す
る装置本体１０５からなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】かかる装置では、被測
定物である絶縁性基板の下方には、基板を搬送するため
の構造物が設置されており、基板上の測定点と接地面間
の静電容量が、基板上全ての測定点において一定にはな
らない。したがって、この状態で基板面内の電位分布を
測定しても、それは静電容量の分布も含んでおり、その
まま電荷の分布と解釈することはできず、静電気対策を
行なうための指針にすことができない。
定物である絶縁性基板の下方には、基板を搬送するため
の構造物が設置されており、基板上の測定点と接地面間
の静電容量が、基板上全ての測定点において一定にはな
らない。したがって、この状態で基板面内の電位分布を
測定しても、それは静電容量の分布も含んでおり、その
まま電荷の分布と解釈することはできず、静電気対策を
行なうための指針にすことができない。
【０００５】本発明は、叙上の事情に鑑み、絶縁性基板
に蓄積した電荷の分布により表面電位分布を正確に検出
し、静電気対策を行なうことができる静電気評価装置を
提供することを目的とする。
に蓄積した電荷の分布により表面電位分布を正確に検出
し、静電気対策を行なうことができる静電気評価装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の静電気評価装置
は、被測定物を接地面に接触させず、かつ、該被測定物
の面内全ての点で接地面からの距離が一定になるように
保持するための、絶縁スペーサが取り付けられた接地ス
テージを有する装置本体と、前記絶縁スペーサに保持さ
れた被測定物から一定距離隔てて保持された電界強度検
出用プローブと、該プローブを保持し、かつ、前記被測
定物の面内のＸ−Ｙ方向に駆動させる駆動装置と、該駆
動装置によりＸ−Ｙ方向に駆動させながらプローブから
の電位信号を検出し、被測定物の表面電位の面内分布を
画面上に表示できるように構成された計算機と、容易に
移動できるように前記装置本体の下部に取り付けられる
キャスターとを備えてなることを特徴とする。
は、被測定物を接地面に接触させず、かつ、該被測定物
の面内全ての点で接地面からの距離が一定になるように
保持するための、絶縁スペーサが取り付けられた接地ス
テージを有する装置本体と、前記絶縁スペーサに保持さ
れた被測定物から一定距離隔てて保持された電界強度検
出用プローブと、該プローブを保持し、かつ、前記被測
定物の面内のＸ−Ｙ方向に駆動させる駆動装置と、該駆
動装置によりＸ−Ｙ方向に駆動させながらプローブから
の電位信号を検出し、被測定物の表面電位の面内分布を
画面上に表示できるように構成された計算機と、容易に
移動できるように前記装置本体の下部に取り付けられる
キャスターとを備えてなることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明は、被測定物である絶縁性
基板を、接地されたステージに接触させずに、かつ、一
定距離を隔てて保持するようにしているので、接地面に
対する静電容量が基板面内で均一になるため、測定され
た電位分布がそのまま静電気の分布と解釈することがで
きる。また、ステージに接触していないため、剥離帯電
などで生じた基板裏面の静電気も測定することができ
る。さらに、測定結果は電位として表示するので、電荷
量を計算するために基板両面を測定する必要がない。
基板を、接地されたステージに接触させずに、かつ、一
定距離を隔てて保持するようにしているので、接地面に
対する静電容量が基板面内で均一になるため、測定され
た電位分布がそのまま静電気の分布と解釈することがで
きる。また、ステージに接触していないため、剥離帯電
などで生じた基板裏面の静電気も測定することができ
る。さらに、測定結果は電位として表示するので、電荷
量を計算するために基板両面を測定する必要がない。
【０００８】以下、添付図面に基づいて、本発明の静電
気評価装置を説明する。
気評価装置を説明する。
【０００９】図１は本発明の静電気評価装置の一実施の
形態を示す斜視図、図２は接地ステージの側面図であ
る。
形態を示す斜視図、図２は接地ステージの側面図であ
る。
【００１０】図１〜２に示すように、本発明の一実施の
形態にかかわる静電気評価装置は、被測定物１を接地面
（ステージ表面）２に接触させず、かつ、該被測定物１
の面内全ての点で接地面２からの距離が一定になるよう
に保持するための、絶縁スペーサ３が取り付けられた接
地ステージ４を有する装置本体５と、前記絶縁スペーサ
３に保持された被測定物１から一定距離隔てて保持され
た電界強度検出用プローブ６と、該プローブ６を保持
し、かつ、前記被測定物１の面内のＸ−Ｙ方向に駆動さ
せる駆動装置７と、該駆動装置７によりＸ−Ｙ方向に駆
動させながらプローブ６からの電位信号を検出し、被測
定物１の表面電位の面内分布を画面上に表示できるよう
に構成された計算機と、容易に移動できるように前記装
置本体５の下部に取り付けられるキャスター８とを備え
ている。接地されたＳＵＳ製平板の接地ステージ４の表
面上に、接地面２から１ｍｍ突出するようにＰＴＦＥ製
の絶縁スペーサ３が設置されている。該スペーサ３のス
テージ表面に平行な面での断面は１ｍｍ×１ｍｍの正方
形である。スペーサ３は、接地ステージ４上に１００ｍ
ｍ間隔で設置されている。
形態にかかわる静電気評価装置は、被測定物１を接地面
（ステージ表面）２に接触させず、かつ、該被測定物１
の面内全ての点で接地面２からの距離が一定になるよう
に保持するための、絶縁スペーサ３が取り付けられた接
地ステージ４を有する装置本体５と、前記絶縁スペーサ
３に保持された被測定物１から一定距離隔てて保持され
た電界強度検出用プローブ６と、該プローブ６を保持
し、かつ、前記被測定物１の面内のＸ−Ｙ方向に駆動さ
せる駆動装置７と、該駆動装置７によりＸ−Ｙ方向に駆
動させながらプローブ６からの電位信号を検出し、被測
定物１の表面電位の面内分布を画面上に表示できるよう
に構成された計算機と、容易に移動できるように前記装
置本体５の下部に取り付けられるキャスター８とを備え
ている。接地されたＳＵＳ製平板の接地ステージ４の表
面上に、接地面２から１ｍｍ突出するようにＰＴＦＥ製
の絶縁スペーサ３が設置されている。該スペーサ３のス
テージ表面に平行な面での断面は１ｍｍ×１ｍｍの正方
形である。スペーサ３は、接地ステージ４上に１００ｍ
ｍ間隔で設置されている。
【００１１】前記被測定物１は、たとえば大きさ４１０
ｍｍ×５２０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板であ
る。このガラス基板の上面から１０ｍｍ上方に、すなわ
ち接地ステージ４の表面から１１．７ｍｍ上方に、電界
強度検出用のプローブ６が、矢印Ｙ方向に２０ｍｍ間隔
で２５本設置されている。このプローブ６を矢印Ｘ方向
と矢印Ｙ方向（Ｘ−Ｙ方向）に連続的に走査するための
駆動装置７により、プローブ６は、たとえばＸ方向には
５２０ｍｍ以上、Ｙ方向には１５ｍｍ以上走査できるよ
うにされている。前記駆動装置７としては、たとえば精
密ボールねじを組み込んだＸＹテーブルなどを用いるこ
とができる。
ｍｍ×５２０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板であ
る。このガラス基板の上面から１０ｍｍ上方に、すなわ
ち接地ステージ４の表面から１１．７ｍｍ上方に、電界
強度検出用のプローブ６が、矢印Ｙ方向に２０ｍｍ間隔
で２５本設置されている。このプローブ６を矢印Ｘ方向
と矢印Ｙ方向（Ｘ−Ｙ方向）に連続的に走査するための
駆動装置７により、プローブ６は、たとえばＸ方向には
５２０ｍｍ以上、Ｙ方向には１５ｍｍ以上走査できるよ
うにされている。前記駆動装置７としては、たとえば精
密ボールねじを組み込んだＸＹテーブルなどを用いるこ
とができる。
【００１２】つぎに、本実施の形態にかかわる静電気評
価装置の動作を説明する。まずプローブ６がＹ方向に固
定された状態でＸ方向に８０ｍｍ／ｓｅｃの速度で移動
しながら、５ｍｓｅｃ毎にプローブ６からの電位データ
をサンプリングし、５ｍｍ移動するまでにサンプリング
したデータ（１２〜１３個）の中のピーク値を１つ選択
し、これを最初の測定点の測定値とする。このように、
サンプリングデータのピーク値（絶対値の最大値）を選
択することにより、最も高い電位を逃さずに検出でき
る。そしてつぎの５ｍｍを移動する際も同様に測定を行
なう。このようにＸ方向に５２０ｍｍ移動するあいだ
に、５ｍｍごとの測定値がえられる。ついでプローブ６
をＹ方向に５ｍｍ移動したのち、再びＸ方向に５２０ｍ
ｍまで、同様に測定を行なう。これを合計４回繰り返す
ことにより、５２０ｍｍ×４１０ｍｍのガラス基板の全
面にわたって５ｍｍ間隔で電位分布が測定できる。これ
ら全ての測定点において、接地ステージ４からの距離が
等しいので接地面に対する静電容量は一定であり、した
がって、えられた電位分布は、そのまま静電気の分布で
ある。
価装置の動作を説明する。まずプローブ６がＹ方向に固
定された状態でＸ方向に８０ｍｍ／ｓｅｃの速度で移動
しながら、５ｍｓｅｃ毎にプローブ６からの電位データ
をサンプリングし、５ｍｍ移動するまでにサンプリング
したデータ（１２〜１３個）の中のピーク値を１つ選択
し、これを最初の測定点の測定値とする。このように、
サンプリングデータのピーク値（絶対値の最大値）を選
択することにより、最も高い電位を逃さずに検出でき
る。そしてつぎの５ｍｍを移動する際も同様に測定を行
なう。このようにＸ方向に５２０ｍｍ移動するあいだ
に、５ｍｍごとの測定値がえられる。ついでプローブ６
をＹ方向に５ｍｍ移動したのち、再びＸ方向に５２０ｍ
ｍまで、同様に測定を行なう。これを合計４回繰り返す
ことにより、５２０ｍｍ×４１０ｍｍのガラス基板の全
面にわたって５ｍｍ間隔で電位分布が測定できる。これ
ら全ての測定点において、接地ステージ４からの距離が
等しいので接地面に対する静電容量は一定であり、した
がって、えられた電位分布は、そのまま静電気の分布で
ある。
【００１３】測定された電位分布の計算機画面９への表
示方法は、つぎの３つから選択できるようにされてい
る。
示方法は、つぎの３つから選択できるようにされてい
る。
【００１４】濃淡表示モード：表面電位の測定値の高
低（大小）に応じて、濃淡で表示する。これにより、電
位の絶対的な大小が把握できる。濃淡は、電位のフルス
ケールの設定で調整できるようにされている。
低（大小）に応じて、濃淡で表示する。これにより、電
位の絶対的な大小が把握できる。濃淡は、電位のフルス
ケールの設定で調整できるようにされている。
【００１５】極性別濃淡表示モード：正極性は赤、負
極性は青で、かつ、それぞれの極性で濃淡表示される。
これにより、極性も含めた帯電の状態が把握できる。濃
淡は、電位のフルスケールの設定で調整できるようにさ
れている。
極性は青で、かつ、それぞれの極性で濃淡表示される。
これにより、極性も含めた帯電の状態が把握できる。濃
淡は、電位のフルスケールの設定で調整できるようにさ
れている。
【００１６】２値表示モード：表面電位のしきい値を
設定でき、その値をこえた領域について、正極性であれ
ば赤、負極性であれば青の表示を行なうようにされてい
る。これにより、規定値をこえた領域であるかどうか、
こえていれば基板面内のどこがこえているかが一目瞭然
でわかる。
設定でき、その値をこえた領域について、正極性であれ
ば赤、負極性であれば青の表示を行なうようにされてい
る。これにより、規定値をこえた領域であるかどうか、
こえていれば基板面内のどこがこえているかが一目瞭然
でわかる。
【００１７】いずれの表示においても、基板面内の測定
値の中の最大値と最小値は常に表示されるようになって
いるため、最も高い値は常に数値的に確認できる。
値の中の最大値と最小値は常に表示されるようになって
いるため、最も高い値は常に数値的に確認できる。
【００１８】測定された電位の値は、計算機に付属する
記憶媒体の所望の場所に保存される。
記憶媒体の所望の場所に保存される。
【００１９】プローブ６は、ガラス基板の厚さが変わっ
ても、ガラス基板上面との距離が正確に１０ｍｍ保てる
ように、マイクロメーター１０で、接地ステージ４の表
面から１０ｍｍ〜２１ｍｍの範囲で調整できるようにな
されている。これにより、０．７ｍｍ以外のガラス基
板、たとえば０．５ｍｍのガラス基板、０．７ｍｍのガ
ラス基板を２枚合わせたパネル（厚さ１．４ｍｍ）また
はバックライトなどを組み込んだのちのモジュールの形
になったものなども測定できる。
ても、ガラス基板上面との距離が正確に１０ｍｍ保てる
ように、マイクロメーター１０で、接地ステージ４の表
面から１０ｍｍ〜２１ｍｍの範囲で調整できるようにな
されている。これにより、０．７ｍｍ以外のガラス基
板、たとえば０．５ｍｍのガラス基板、０．７ｍｍのガ
ラス基板を２枚合わせたパネル（厚さ１．４ｍｍ）また
はバックライトなどを組み込んだのちのモジュールの形
になったものなども測定できる。
【００２０】本実施の形態では、５２０ｍｍ×４１０ｍ
ｍのガラス基板の例を説明したが、測定前に測定条件と
してガラス基板のサイズをＸ方向、Ｙ方向、独立して指
定し、それに合わせてプローブ６を駆動できるので、違
ったサイズのガラス基板、たとえば５２０ｍｍ×４１０
ｍｍのものを半分に切断した２６０ｍｍ×４１０ｍｍの
ハーフシートや、パネルサイズのものなども測定でき
る。
ｍのガラス基板の例を説明したが、測定前に測定条件と
してガラス基板のサイズをＸ方向、Ｙ方向、独立して指
定し、それに合わせてプローブ６を駆動できるので、違
ったサイズのガラス基板、たとえば５２０ｍｍ×４１０
ｍｍのものを半分に切断した２６０ｍｍ×４１０ｍｍの
ハーフシートや、パネルサイズのものなども測定でき
る。
【００２１】また、Ｙ方向にも５ｍｍ間隔で測定するば
あいを説明したが、条件設定により１０ｍｍ間隔、２０
ｍｍ間隔も選択でき、それぞれにおいてＸ方向の走査は
２回、１回となり、局所的な帯電がないことがわかって
いるばあいに適宜選択すれば、測定時間がそれぞれ１／
２、１／４と短縮できる。
あいを説明したが、条件設定により１０ｍｍ間隔、２０
ｍｍ間隔も選択でき、それぞれにおいてＸ方向の走査は
２回、１回となり、局所的な帯電がないことがわかって
いるばあいに適宜選択すれば、測定時間がそれぞれ１／
２、１／４と短縮できる。
【００２２】また、プローブ６のＸ方向の移動速度は８
０ｍｍ／ｓｅｃとしたが、５〜８０ｍｍ／ｓｅｃのあい
だで設定でき、必要に応じて遅くすることもできる。遅
くしたばあい、測定時間は長くなるが、サンプリング周
期を５ｍｓｅｃに固定しておくことにより、５ｍｍ毎の
サンプリングデータを増やすことができるので、より正
確な測定ができる。
０ｍｍ／ｓｅｃとしたが、５〜８０ｍｍ／ｓｅｃのあい
だで設定でき、必要に応じて遅くすることもできる。遅
くしたばあい、測定時間は長くなるが、サンプリング周
期を５ｍｓｅｃに固定しておくことにより、５ｍｍ毎の
サンプリングデータを増やすことができるので、より正
確な測定ができる。
【００２３】さらに５ｍｍ間隔の測定点の１つの値とし
て、５ｍｓｅｃ毎のサンプリングデータの中のピーク値
を選択した例について説明したが、条件設定において、
平均値を選択することもできる。
て、５ｍｓｅｃ毎のサンプリングデータの中のピーク値
を選択した例について説明したが、条件設定において、
平均値を選択することもできる。
【００２４】本装置の下部にはキャスター８が付いてお
り、容易に移動することができるため、評価したい製造
装置の近くに移動することにより、ガラス基板を接地ス
テージ４に載せるまでの時間が短縮でき、したがって、
帯電発生から測定開始までのあいだの電荷のリークを最
小限に抑えることができる。
り、容易に移動することができるため、評価したい製造
装置の近くに移動することにより、ガラス基板を接地ス
テージ４に載せるまでの時間が短縮でき、したがって、
帯電発生から測定開始までのあいだの電荷のリークを最
小限に抑えることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
被測定物の接地面に対する静電容量がすべての測定点で
一定となるため、表面電位分布を正確にうることができ
る。その結果、この表面電位分布を製造工程にフィード
バックすることにより、製造工程における静電気対策を
容易に行なうことができる。
被測定物の接地面に対する静電容量がすべての測定点で
一定となるため、表面電位分布を正確にうることができ
る。その結果、この表面電位分布を製造工程にフィード
バックすることにより、製造工程における静電気対策を
容易に行なうことができる。
【図１】本発明の静電気評価装置の一実施の形態を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】接地ステージの側面図である。
【図３】従来の静電位レベル測定装置の一例を示す平面
図である。
図である。
１ 被測定物 ２ 接地面 ３ 絶縁スペーサ ４ 接地ステージ ５ 装置本体 ６ プローブ ７ 駆動装置 ８ キャスター ９ 画面 １０ マイクロメーター
Claims (9)
- 【請求項１】 被測定物を接地面に接触させず、かつ、
該被測定物の面内全ての点で接地面からの距離が一定に
なるように保持するための、絶縁スペーサが取り付けら
れた接地ステージを有する装置本体と、前記絶縁スペー
サに保持された被測定物から一定距離隔てて保持された
電界強度検出用プローブと、該プローブを保持し、か
つ、前記被測定物の面内のＸ−Ｙ方向に駆動させる駆動
装置と、該駆動装置によりＸ−Ｙ方向に駆動させながら
プローブからの電位信号を検出し、被測定物の表面電位
の面内分布を画面上に表示できるように構成された計算
機と、容易に移動できるように前記装置本体の下部に取
り付けられるキャスターとを備えてなることを特徴とす
る静電気評価装置。 - 【請求項２】 前記プローブが複数本設置されてなる請
求項１記載の静電気評価装置。 - 【請求項３】 Ｙ方向に１列に並べられた前記プローブ
を、Ｘ方向に５〜８０ｍｍ／ｓｅｃの速度で走査させる
速度制御回路を備えてなる請求項２記載の静電気評価装
置。 - 【請求項４】 前記被測定物の面内の表面電位を５ｍｍ
間隔で測定する位置検出回路を備えてなる請求項３記載
の静電気評価装置。 - 【請求項５】 前記プローブをＸ方向に走査させなが
ら、５ｍｓｅｃ毎に全てのプローブからの電位信号をサ
ンプリングし、プローブがＸ方向に５ｍｍ進むあいだの
サンプリングデータ中のピーク値を、１つの測定点の測
定値とする請求項４記載の静電気評価装置。 - 【請求項６】 表面電位の測定値の高低に応じて、濃淡
表示される表示モードを備えてなる請求項５記載の静電
気評価装置。 - 【請求項７】 表面電位の測定値の極性に応じて色を変
え、かつ、それぞれの極性で濃淡表示される表示モード
を備えてなる請求項５記載の静電気評価装置。 - 【請求項８】 濃淡表示のフルスケールが設定できる請
求項６または７記載の静電気評価装置。 - 【請求項９】 表面電位のしきい値を設定でき、当該し
きい値をこえる領域を表示するモードを備えてなる請求
項５記載の静電気評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10009440A JPH11211770A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | 静電気評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10009440A JPH11211770A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | 静電気評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11211770A true JPH11211770A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11720375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10009440A Pending JPH11211770A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | 静電気評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11211770A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004301721A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Sharp Corp | 判断装置、判断方法、その判断方法を実現させるための判断プログラム、およびそのプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体 |
| JPWO2003007330A1 (ja) * | 2001-07-12 | 2004-11-04 | 株式会社日立製作所 | 試料帯電測定方法及び荷電粒子線装置 |
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