JPH05337901A - 糸鋸装置 - Google Patents

糸鋸装置

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JPH05337901A
JPH05337901A JP5024956A JP2495693A JPH05337901A JP H05337901 A JPH05337901 A JP H05337901A JP 5024956 A JP5024956 A JP 5024956A JP 2495693 A JP2495693 A JP 2495693A JP H05337901 A JPH05337901 A JP H05337901A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 補償装置に接続されて、糸鋸案内を固定位置
に維持する検出装置によりこの位置を連続して測定する
ことにより糸案内の位置の制御を許容する装置を上述し
た型の糸鋸装置に付与することにより上述した欠点を救
済することにある。 【構成】 本発明による部材を繊細な薄片に鋸引きする
ための装置はそれら自体を交互のまたは連続運動におい
て移動する平行な糸鋸フレーム（１５）からなりかつ少
なくとも２つの部材から形成され、該部材の一方が糸鋸
の管理をしかつ他方が前記部材との糸鋸フレームの相対
的な位置の測定により切断するために前記位置の制御を
行いかつ熱的、機械的、油圧的、空気的等であつても良
い保証装置に作用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は糸鋸切断により得られる
繊細な薄片の切断ジオメトリを制御すべくなされた糸鋸
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】糸鋸装置はこの方法で鋸引き領域を画成
する鋸引きされるべき部材に対して載置する連続または
交互の運動においてそれ自体動き易い糸鋸フレーム（１
５）からなる。鋸引き領域は１組の平行に配置されたシ
リンダから構成される。
【０００３】糸鋸案内と呼ばれるこれらのシリンダはフ
レームの糸鋸間に間隔を画成する溝が刻み込まれ、溝は
鋸引きされるべき部材の厚さを意味する。糸鋸案内の位
置検出器はそれらの空間的位置を鋸引きされるべき部材
に対して一定に維持する補償装置を制御する。
【０００４】機械的要素の回転の間中、該要素の作動温
度は一定でなくとも良くしかも要求される作動に依存す
る時間の間中かつベアリングまたは周囲の部材に発生さ
れる摩擦および熱のため変化する場合がある。この要素
の位置が要求される作動に関して重要であるならば、要
素の適切な温度が重要であるだけでなく、枠組の変化が
またその空間的な位置に影響を及ぼす。これらの温度変
化はかくして幾つかの場合に、実施されねばならない作
動の結果に影響を及ぼすかも知れない熱膨張を引き起こ
す。その場合に熱的、機械的、油圧的、空気的等であつ
ても良い補償装置により達成されるその位置の制御を介
してこの膨張を補償する必要がある。
【０００５】それにも拘わらず、周囲装置の複雑さのた
め、重要な要素の温度の正確な制御は十分でないかも知
れず、要素の位置の制御がその場合に必要である。この
型の制御は位置決めの精度が高いときまたは要素の寸法
が重要であるときとくに必要である。
【０００６】温度制御装置はとくにシヤワーまたは内部
循環を使用する自動装置において位置決めするとき高い
精度で加工片を機械加工することにおいてすでに知られ
ている。しかしながら、これらの使用された冷却装置は
流体の温度制御に基礎を置いておりかつ温度を調整すべ
き位置の測定を使用する装置に基礎を置いていない。か
かる装置は、少なくとも１つの固定点、例えばベアリン
グを有する、案内要素、回転シリンダに適用され得る。
【０００７】上記した型のかかる糸鋸装置は、シリコン
（多または単結晶）のごとき材料またはＧａＡｓ，Ｉｎ
Ｐ，ＧＧＧまたは石英、合成サフアイアまたはセラミツ
クのごとき新規な材料の繊細な薄片を得るためにとくに
電子部品、フエライト、石英およびシリカの分野におい
てすでに知られている。高いこれらの材料のコストはダ
イヤモンドを備えた円板による鋸引きのような他の技術
に比してより魅力的な糸鋸を使用する鋸引きをする。
【０００８】電子用途に関して非常に重要な、鋸引きさ
れるべき部材の精度は鋸引きの間中の糸鋸の位置に、し
たがつて鋸引きされるべき部材に向かう糸鋸案内の位置
に依存する。この位置は糸鋸案内およびその周囲の温度
の関数である。
【０００９】この鋸引き技術はかくして鋸引きされるべ
き部材に対する糸鋸案内の位置の完全な制御を要求す
る。事実、同様に遅い運動は鋸引きすべき薄片の波動ま
たは反りを誘起する。
【００１０】
【発明が解決すべき課題】電子用途の要件は、例えばイ
ンゴツトの成長寸法により拘束される要件は非常に小さ
な変化が回避されねばならないことを要求する。かくし
て結果として生じる冷却液体の温度を制御するだけでな
く糸鋸案内の位置をそれ自体またはそれらの温度を制御
することは十分でない。そのうえ、過酷に負荷された糸
鋸案内を支持するローラベアリングは鋸引きの間中発生
されかつ周囲部材に拡散するエネルギに加えて、切断の
不正確さに寄与する熱を発生する。
【００１１】本発明の目途は、補償装置に接続されて、
糸鋸案内を固定位置に維持する検出装置によりこの位置
を連続して測定することにより糸案内の位置の制御を許
容する装置を上述した型の糸鋸装置に付与することによ
り上述した欠点を救済することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、鋸引き
されるべき部材に対して載置しかつ複数の糸鋸案内シリ
ンダにより支持される連続または交互の運動においてそ
れ自体動き易い糸鋸フレームからな糸鋸装置において、
前記鋸引きされるべき部材に向かう前記糸鋸案内シリン
ダの相対的な位置が該位置を測定するる検出要素により
制御される補償装置によつて一定に保持されることを特
徴とする糸鋸装置が提供される。
【００１３】糸鋸装置、本発明の目的は、鋸引き領域を
備えた糸鋸の制御に向けられるユニツトおよび糸鋸案内
または鋸引きされるべき部材の位置に作用する制御およ
び補償装置である、少なくとも２つの部材からなる。
【００１４】以下に、本発明による装置を添付図面を参
照して例として説明する。
【００１５】
【実施例】図１は本発明の適用原理を示す斜視図であ
る。鋸引きされるべき部材１４は枠組テーブル１３によ
り糸鋸フレーム１５に対して置かれる。位置検出器５は
この図面では、例として、鋸引きされるべき部材１４に
対してまたは糸鋸案内の自由表面に対して設置されてい
る。
【００１６】図２はその位置が固定ベアリング２および
自由ベアリングにより維持される糸鋸シリンダ１を略示
する断面図である。位置の測定は位置検出器５によつ
て、自由表面４上で、自由ベアリング３の側でなされ
る。装置は入口６および出口７を有する温度調整流体の
内部循環を備えている。位置検出器５はかくして温度調
整流体のの流れまたは温度に作用する。
【００１７】図３は回路を実現するための他の方法を示
すブロツク図である。この場合において、位置決めすべ
き部材はインゴツト１３のフレーム支持体である。テー
ブルはそれ自体垂直に動くことができる埋め込み２およ
び位置検出器が接触なしにそれに対して垂直に測定して
いる自由な表面４を備えた自由側を有する。この検出器
は加熱器８または冷却器９上に調整流体を案内する電動
化された三方弁１１にに作用する。循環はポンプ１０に
より行われる。タンク１２は容量バツフアとして作用す
る。
【００１８】糸鋸案内により締め付けられるフレームを
形成する糸鋸は、一般には、硬いまたは新種の材料（シ
リコン、セラミツク、ＩＩＩ−ＶＩ族元素、ＧＧＧ、サ
フアイア等のような）のブロツクを約０．１ないし５ｍ
ｍの厚さを有する薄片を鋸引きするために０．１ないし
０．２ｍｍの間の直径を有するバネ鋼から構成される。
本発明において開示される装置は、記載されたような制
御装置を付加することにより、使用者により要求される
確度での前記材料の薄片の切断を許容する。
【００１９】もちろん、他の型の装置が本発明の範囲内
で考えられても良い。事実、測定装置に追従される装置
によつて要素の位置、膨張または温度を制御する態様が
確度の増大を得るための方法として思い起こされるべき
である。したがつて、例えば、容量または誘導作用によ
る近似の測定に基礎を置いた検出装置を想起することが
できる。また、超音波または光学検出または感知装置に
ついても考えることができる。
【００２０】調整それ自体に関して、流体の循環は十分
にすることができ、パラメータはその流体の温度または
その流量にしても良い。装置は加熱または冷却により、
または事実上両者の組合せにより作用し得る。他の可能
性は機械的、油圧的、空気的または他の装置による鋸引
きされるようなブロツクの位置の補償による調整にする
こともできる。
【００２１】
【発明の効果】叙上のごとく、本発明は、鋸引きされる
べき部材に対して載置しかつ複数の糸鋸案内シリンダに
より支持される連続または交互の運動においてそれ自体
動き易い糸鋸フレームからな糸鋸装置において、前記鋸
引きされるべき部材に向かう前記糸鋸案内シリンダの相
対的な位置が該位置を測定するる検出要素により制御さ
れる補償装置によつて一定に保持される構成としたの
で、鋸引きされるべき部材の精度を保証して前述した従
来技術の欠点を救済することが可能な糸鋸装置を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の適用原理を示す斜視図である。
【図２】糸鋸案内シリンダを略示する断面図である。
【図３】回路を実現するための他の方法を示すブロツク
図である。
【符号の説明】
１ 糸鋸案内シリンダ １４ 鋸引きされるべき部材 １５ 糸鋸フレーム

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 鋸引きされるべき部材（１４）に対して
    載置しかつ複数の糸鋸案内シリンダ（１）により支持さ
    れる連続または交互の運動においてそれ自体動き易い糸
    鋸フレーム（１５）からなる糸鋸装置において、前記鋸
    引きされるべき部材に向かう前記糸鋸案内シリンダの相
    対的な位置が該位置を測定する検出要素により制御され
    る補償装置によつて一定に保持されることを特徴とする
    糸鋸装置。
  2. 【請求項２】 前記補償装置として作用する位置検出要
    素が測定すべき部材と物理的に接触しないことを特徴と
    する請求項１に記載の糸鋸装置。
  3. 【請求項３】 前記位置検出要素が幾つかの補償装置に
    作用することを特徴とする請求項１および／または２に
    記載の糸鋸装置。
  4. 【請求項４】 前記補償装置が位置決めされるべき要素
    に熱的に作用することを特徴とする請求項１および／ま
    たは２または３に記載の糸鋸装置。
  5. 【請求項５】 前記補償装置が前記位置決めされるべき
    要素に油圧的に作用することを特徴とする請求項１およ
    び／または２または３に記載の糸鋸装置。
  6. 【請求項６】 前記補償装置は切断されるべき部材の位
    置に作用することを特徴とする請求項１および／または
    ２または３または４または５に記載の糸鋸装置。
  7. 【請求項７】 前記位置測定要素は誘導原理で作動する
    ことを特徴とする請求項１ないし６に記載の糸鋸装置。
  8. 【請求項８】 前記位置測定要素は容量原理で作動する
    ことを特徴とする請求項１ないし６に記載の糸鋸装置。
  9. 【請求項９】 前記位置測定要素は機械的センサによつ
    て作動することを特徴とする請求項１ないし６に記載の
    糸鋸装置。
  10. 【請求項１０】 前記位置測定要素は超音波原理で作動
    することを特徴とする請求項１ないし６に記載の糸鋸装
    置。
  11. 【請求項１１】 前記位置測定要素は光学原理で作動す
    ることを特徴とする請求項１ないし６に記載の糸鋸装
    置。
JP02495693A 1992-01-22 1993-01-21 糸鋸装置 Expired - Lifetime JP3284141B2 (ja)

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