CN104802325B - 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置 - Google Patents

用于线锯切割的超声振动弹性加载装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104802325B
CN104802325B CN201510246596.8A CN201510246596A CN104802325B CN 104802325 B CN104802325 B CN 104802325B CN 201510246596 A CN201510246596 A CN 201510246596A CN 104802325 B CN104802325 B CN 104802325B
Authority
CN
China
Prior art keywords
vibration
supersonic vibration
elastic
supersonic
platform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201510246596.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104802325A (zh
Inventor
王肖烨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Baoji University of Arts and Sciences
Original Assignee
Baoji University of Arts and Sciences
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Baoji University of Arts and Sciences filed Critical Baoji University of Arts and Sciences
Priority to CN201510246596.8A priority Critical patent/CN104802325B/zh
Publication of CN104802325A publication Critical patent/CN104802325A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104802325B publication Critical patent/CN104802325B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/047—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by ultrasonic cutting

Abstract

提供一种用于线锯切割的超声振动弹性加载装置，弹性超声振动台安装在切割机工作台上(进给拖板)，其与工作台连接处设计有开口相反的槽口以减弱振动台屈服力，从而提高横振或纵振换能器传振效率，有利于换能器小型化，电力消耗降低；同时采用双超声波换能器对弹性超声振动台加载纵振或者横振，使弹性超声振动台做强迫超声振动，带动工件与固结电镀金刚石砂线相对振动，从而达到高效率高精密超声加工目的。

Description

用于线锯切割的超声振动弹性加载装置
技术领域
本发明属硬脆材料切割装置技术领域，具体涉及一种用于线锯切割的超声振动弹性加载装置。
背景技术
单晶SiC、宝石、硅晶体等硬脆材料因具有优良稳定的物理、化学性能而被广泛用于航空航天、电子、化工等领域。但是，硬脆材料由于其硬而脆的特性使其切片加工非常困难，并且加工精度低、成本高。固结磨料金刚石线锯切片技术由于具有切缝窄、材料去除率高、切片质量好和切割环境清洁等优点而受到越来越广泛地关注。但其加工过程的难度是众所周知的，中国专利ZL03133682.5和中国专利CN201010565214均是在线锯上附加了超声波，尽管切割效率及晶片精度较加超声波之前有所提高，但是专利ZL03133682.5线锯行程太短，切割过程中需不停更换线锯，有效切割时间少，不能用于实际生产当中，专利CN201010565214超声波头与线锯直接接触，金刚石线锯切割工件的同时，对超声波头也进行了切割，一方面造成线锯寿命缩短，另一方面造成超声能量很快衰减直至消失。以上两种加工方式使得加工成本增加、效率降低。中国专利ZL200610044360.7和中国专利CN103158204A分别在工作台或者工件上加载超声波以产生谐振从而实现超声线锯复合切割，这两种加载方式可以有效解决上述两种加载方式带来的缺陷，但是专利ZL200610044360.7将工件固定在工作台上，超声波驱动工作台，使工作台带动工件在切割时超声振动以实现超声线锯复合切割的目的，其缺点一是由于超声波要带动工作台、卡具及工件一起谐振，超声负载过重，超声换能器难以与之达到良好的声学匹配；二是在切割过程中，工件质量或形状持续发生改变，切割系统的固有频率也跟着改变，自身频率已超出换能器谐振频率范围，甚至难已使换能器起振，所以使换能器与工作台达到谐振状态在实际应用中很难实现。而专利CN103158204A由存在以下弊端：一是直接将超声波加载在工件上，这对SiC单晶等硬脆材料来说在晶片表面和次表面会产生更多的裂纹，造成后续研磨余量加大、材料浪费严重且成品率低；二是要求与工件接触表面直接贴合的接触表面且超声波发射表面具有与待切物相同的长度，这就使得针对不同形状的工件制作特殊的超声波头，通用性降低；三是要求超声波频率始终保持在切割系统的共振频率或者接近共振频率上，这就需要在切割过程中切割频率持续调整以保证切割顺利进行，工作太繁琐。上述缺陷，制约了此切片技术在切割硬脆材料方面的应用，因此，有必要提出改进。
发明内容
本发明解决的技术问题：提供一种用于线锯切割的超声振动弹性加载装置，弹性超声振动台安装在切割机工作台上(进给拖板)，其与工作台连接处设计有一体化弹性叠层以减弱振动台屈服力，从而提高横振或纵振换能器传振效率，有利于换能器小型化，电力消耗降低；同时采用双超声波换能器对弹性超声振动台加载纵振或者横振，使弹性超声振动台做强迫超声振动，带动工件与电镀金刚石砂线相对振动，从而达到超声加工目的。
本发明采用的技术方案：用于线锯切割的超声振动弹性加载装置，具有弹性超声振动台，所述弹性超声振动台固定在进给拖板一侧，横振超声换能器通过横振调整手柄与弹性超声振动台侧部接触，纵振超声换能器穿过进给拖板并通过纵振调整手柄与弹性超声振动台底端部接触，所述弹性超声振动台上端面设有固定工件的安装夹具，电镀金刚石线锯绕过上导线轮和下导线轮并与工件紧密接触。
进一步地，所述弹性超声振动台由支撑面、弹性支撑腿和安装部构成，所述弹性支撑腿一端置于支撑面下部且与进给拖板之间形成空腔，所述安弹性支撑腿另一端与安装部一端连接，安装部另一端与进给拖板通过螺栓固定连接。
进一步地，所述支撑面、弹性支撑腿和安装部为一体式结构且三者构成形状。
进一步地，所述弹性支撑腿靠近安装部处制有开口相反的槽口形成一体化弹性叠层。
本发明与现有技术相比的优点：
1、弹性超声振动台实现超声波换能器与振动台的弹性连接，有效减少了超声能量向进给拖板及工作台的传递、提高超声能量的利用率；
2、本结构为强迫振动而非现有技术所采用的谐振，超声换能器采用弹性耦合传振方式，即超声换能器变幅杆与振动台不是刚性连接，而是在一定弹性压力下传振，此时振动台处于強迫振动状态，其工作频率始终与换能器频率保持一致，在切割过程中切割线张力，工件的形状、质量大小都不会影响超声换能器工作频率及振幅；
3、可根据加工需要任意改变振动方向，纵振、横振或者纵振、横振按一定振幅强度比例混合加载，可形成复杂振动模式(如椭圆振动)，通用性提高。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图1描述本发明的一种实施例。
用于线锯切割的超声振动弹性加载装置，具有弹性超声振动台7，所述述弹性超声振动台7由支撑面11、弹性支撑腿12和安装部13构成，所述弹性支撑腿12一端置于支撑面11下部且与进给拖板8之间形成空腔14，所述安弹性支撑腿12另一端与安装部13一端连接，安装部13另一端与进给拖板8通过螺栓固定连接。所述支撑面11、弹性支撑腿12和安装部13为一体式结构且三者构成形状。所述弹性支撑腿12靠近安装部13处制有开口相反的槽口形成一体化弹性叠层15。一体化弹性叠层15的设置，使超声振动台与进给拖板8形成弹性连接，从而使固定在进给拖板8上的横振超声换能器6和纵振超声换能器9均以弹性方式连接。
上述弹性超声振动台7固定在进给拖板8一侧，横振超声换能器6通过横振调整手柄5与弹性超声振动台7的弹性支撑腿12接触，纵振超声换能器9穿过进给拖板8置于空腔14内并通过纵振调整手柄10与弹性超声振动台7底端部接触，所述弹性超声振动台7上端面设有固定工件3的安装夹具，电镀金刚石线锯2绕过上导线轮1和下导线轮4并与工件3紧密接触。
工作时，电镀金刚石线锯2绕过上导线轮1和下导线轮4上下往复运动或单向运动，工件3与电镀金刚石线锯2紧密接触；横振超声换能器6、弹性超声振动台7及纵振超声换能器9固定在进给拖板8上，通过横振调整手柄5和纵振调整手柄10分别调整横振超声换能器6及横振超声换能器9，以实现超声波的横向施加或纵向施加，或者按加工要求实现任意方向的超声振动施加，工件3粘贴在弹性超声振动台7上端面的安装夹具上，超声通过弹性超声振动台7施加给工件3，从而实现超声线锯复合切割，提高生产效率。
本发明中，超声换能器采用弹性耦合传振方式，即超声换能器变幅杆与振动台(进给拖板8)不是刚性连接，而是在一定弹性压力下传振，此时振动台处于強迫振动状态，其工作频率始终与超声换能器频率保持一致，在切割过程中切割线张力，工件的几何形状、质量大小都不会影响超声换能器工作频率及振幅，实践告诉我们在加工行进中频率一旦变化必将导致切割表面出现微观接刀痕迹，本发明不需调整频率或频率自动跟踪即可提高超声能量的利用率和切割效率，具有很高的实用价值。为保证双换能器工作频率相位一致或可控，以利合成不同振模如椭圆振动等等，驱动功率源采用数字DSP输出两路同相位或可任意精确控制相位信号，分别推动两路功率放大器驱动超声换能器工作，使两个超声换能器振幅分别调整。
本发明适用于切割红(蓝)宝石、SiC单晶等贵重硬脆材料，也适合切割一般硬脆材料。这种装置可用于游离磨料线锯切割也可用于固结金刚石磨料线锯切割，既可以用于单线切割也可用于多线切割。
上述实施例，只是本发明的较佳实施例，并非用来限制本发明实施范围，故凡以本发明权利要求所述内容所做的等效变化，均应包括在本发明权利要求范围之内。

Claims (3)

1.用于线锯切割的超声振动弹性加载装置，其特征在于：具有弹性超声振动台(7)，所述弹性超声振动台(7)固定在进给拖板(8)一侧，横振超声换能器(6)通过横振调整手柄(5)与弹性超声振动台(7)侧部接触，纵振超声换能器(9)穿过进给拖板(8)并通过纵振调整手柄(10)与弹性超声振动台(7)底端部接触，所述弹性超声振动台(7)上端面设有固定工件(3)的安装夹具，电镀金刚石线锯(2)绕过上导线轮(1)和下导线轮(4)并与工件(3)紧密接触；所述弹性超声振动台(7)由支撑面(11)、弹性支撑腿(12)和安装部(13)构成，所述弹性支撑腿(12)一端置于支撑面(11)下部且与进给拖板(8)之间形成空腔(14)，所述弹性支撑腿(12)另一端与安装部(13)一端连接，安装部(13)另一端与进给拖板(8)通过螺栓固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于线锯切割的超声振动弹性加载装置，其特征在于：所述支撑面(11)、弹性支撑腿(12)和安装部(13)为一体式结构且三者构成形状。
3.根据权利要求1或2所述的用于线锯切割的超声振动弹性加载装置，其特征在于：所述弹性支撑腿(12)靠近安装部(13)处制有开口相反的槽口形成一体化弹性叠层(15)。
CN201510246596.8A 2015-05-14 2015-05-14 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置 Active CN104802325B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510246596.8A CN104802325B (zh) 2015-05-14 2015-05-14 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510246596.8A CN104802325B (zh) 2015-05-14 2015-05-14 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104802325A CN104802325A (zh) 2015-07-29
CN104802325B true CN104802325B (zh) 2016-06-08

Family

ID=53687716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510246596.8A Active CN104802325B (zh) 2015-05-14 2015-05-14 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104802325B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105437389A (zh) * 2015-11-06 2016-03-30 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 一种晶棒的截断方法和一种带锯机
CN106042201A (zh) * 2016-06-08 2016-10-26 上海理工大学 一种环式固结金刚石线锯切割装置及工件切割方法
CN107009531A (zh) * 2017-06-06 2017-08-04 山东大学 一种提高线锯切割加工表面质量的工件加载装置
CN108284530B (zh) * 2017-12-30 2024-01-19 王金生 一种线锯振动切割装置
CN117133632B (zh) * 2023-10-26 2024-02-20 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) 双频超声裂纹扩展及剥离单晶SiC装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH687301A5 (fr) * 1992-01-22 1996-11-15 W S Technologies Ltd Dispositif de sciage par fil.
CN101069953A (zh) * 2006-05-08 2007-11-14 上海伟钊光学科技有限公司 光学镜片超声波加工装置
CN100443271C (zh) * 2006-05-31 2008-12-17 山东大学 非导电硬脆材料超声振动复合线锯切割方法
CN103085179A (zh) * 2011-11-06 2013-05-08 赵钧永 超声波线切割方法及专用设备
CN103158204A (zh) * 2011-12-11 2013-06-19 赵钧永 改进的超声波多线切割方法及专用设备
CN204585587U (zh) * 2015-05-14 2015-08-26 宝鸡文理学院 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104802325A (zh) 2015-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104802325B (zh) 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置
CN100443271C (zh) 非导电硬脆材料超声振动复合线锯切割方法
CN102120302A (zh) 一种单激励椭圆超声振动修整装置
CN101344468A (zh) 纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备
CN206998465U (zh) 一种用于磨削硬脆材料二维超声振动砂带磨削装置
CN108177261A (zh) 斜向超声振动辅助金刚石线锯切割装置及方法
CN103962642B (zh) 一种金属带锯超声锯切加工方法
CN106042201A (zh) 一种环式固结金刚石线锯切割装置及工件切割方法
CN102514109A (zh) 碳化硅晶体的定型定向的切割方法
CN110480427A (zh) 一种超声波振动辅助磁流变超精密抛光装置
CN103158204A (zh) 改进的超声波多线切割方法及专用设备
CN102975025A (zh) 一种加工细长活塞杆的车床专用切削装置
CN109732411A (zh) 采用横向超声振动辅助切割单晶硅的装置及其使用方法
CN204585587U (zh) 用于线锯切割的超声振动弹性加载装置
US7115027B2 (en) Grinding tool for sharpening work pieces
KR100647199B1 (ko) 초음파 절단 가공장치 및 그 방법
CN108247877B (zh) 多线切割机摇摆接触式工作台
CN103101120A (zh) 超声波自由磨料多丝锯切方法及专用设备
CN101386192A (zh) 一种超硬晶体的切割方法
JP2011183510A (ja) 超音波振動援用研削法及びその装置
CN202805445U (zh) 改进的超声波多线切割专用设备
JP2007216372A (ja) 超音波加振ユニット・超音波加振テーブルユニット・超音波加振水槽ユニット・超音波加振ホーンユニット
CN205343490U (zh) 一种蓝宝石的曲面多线切割装置
RU2004129025A (ru) Способ шлифования
CN208231453U (zh) 木工封边机用边面抛磨装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
EXSB Decision made by sipo to initiate substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant