JPH05337867A - 携帯用真空ピンセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空ピンセットを持ち運び自由な小型ポンプ
に連結し、場所を問わずに使用することができる携帯用
真空ピンセットを提供する。 【構成】 半導体装置の製造工程において、真空吸引に
より被吸着物である半導体ウェハを吸着可能な真空ピン
セットであって、この真空ピンセット１１は、駆動スイ
ッチ１２のＯＮ／ＯＦＦにより駆動され、この駆動スイ
ッチ１２がＯＮの場合に真空ピンセット１１の吸着部１
３に半導体ウェハ１４が吸着されるようになっている。
そして、真空ピンセット１１は、屈曲自在な所定の長さ
のチューブ１５を介して、フィルタ１６を内蔵した持ち
運び自由で携帯可能な小型ポンプ１７に連結され、さら
にこの小型ポンプ１７には小型で充電可能なバッテリー
１８が交換可能に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被吸着物を真空吸着可
能な真空ピンセットに関し、特に半導体装置の製造工程
において、場所を問わずに半導体ウェハの取り扱いが可
能とされる携帯用真空ピンセットに適用して有効な技術
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体装置の製造工程において、
たとえば半導体ウェハを枚葉処理する場合には、図５に
示すような真空吸着可能な真空ピンセット１が用いら
れ、この真空ピンセット１は駆動スイッチ２のＯＮ／Ｏ
ＦＦにより駆動され、この駆動スイッチ２がＯＮの場合
に真空ピンセット１の吸着部３に半導体ウェハ４が吸着
されるようになっている。

【０００３】この場合に、真空ピンセット１は、作業場
所までの長さのチューブ５を介して、作業場所の所定の
位置に設置される集中真空配管６に接続されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な従来技術においては、真空配管のない場所では真空ピ
ンセットを使用することができず、真空ピンセットを使
用する場所が限られるという問題点がある。

【０００５】このような場合には、半導体ウェハをチャ
ージすることができないので、通常、半導体ウェハを挟
むピンセットを使用していた。このピンセットを使用す
ると、半導体ウェハの表面に傷が付くことや、半導体ウ
ェハのチッピングなどの不具合が発生し易いという問題
がある。

【０００６】そこで、本発明の目的は、真空ピンセット
を持ち運び自由な小型ポンプに連結し、場所を問わずに
使用することができる携帯用真空ピンセットを提供する
ことにある。

【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【０００９】すなわち、本発明の携帯用真空ピンセット
は、真空吸引により被吸着物を吸着可能な真空ピンセッ
トであって、真空ピンセットを、屈曲自在な所定の長さ
のチューブを介して持ち運び自由で携帯可能な小型ポン
プに連結するものである。

【００１０】この場合に、前記小型ポンプの駆動電源
を、駆動電力が調整可能で充電可能な小型のバッテリー
とするようにしたものである。

【００１１】また、前記真空ピンセットの吸着部を、被
吸着物の大きさまたは重さに対応した種類のものに取り
替えできるようにしたものである。

【００１２】さらに、前記真空ピンセットと前記小型ポ
ンプとを電気的に接続し、真空ピンセットの駆動スイッ
チのＯＮ／ＯＦＦに対応させて、小型ポンプの駆動電源
をＯＮ／ＯＦＦさせるようにしたものである。

【００１３】また、前記小型ポンプを逆転させ、かつ前
記真空ピンセットの吸着部をエアー排出機構に取り替え
てエアーガンとして共用できるようにしたものである。

【００１４】さらに、前記真空ピンセットをエアーガン
として使用する場合に、小型ポンプに除去フィルタを内
蔵するようにしたものである。

【００１５】また、前記被吸着物を半導体ウェハとする
ものである。

【００１６】

【作用】前記した携帯用真空ピンセットによれば、真空
ピンセットが携帯可能な小型ポンプに連結されることに
より、真空ピンセットおよび小型ポンプを持ち運び自由
とすることができる。これにより、場所を問わずに真空
ピンセットを使用することができる。

【００１７】この場合に、小型ポンプの駆動電力が調整
可能とされることにより、被吸着物に対応した適正な吸
引力を得ることができ、またバッテリーの充電切れに対
しても容易に対応することができる。

【００１８】また、真空ピンセットの吸着部が取り替え
られることにより、被吸着物の大きさまたは重さ、たと
えば半導体ウェハの口径に対応した大きさまたは種類の
吸着部による最適な吸着を行うことができる。

【００１９】さらに、小型ポンプの駆動が真空ピンセッ
トの駆動スイッチに対応されることにより、真空ピンセ
ットの駆動スイッチを入れると小型ポンプの電源が入
り、逆に駆動スイッチを切ると小型ポンプの電源が切れ
るので、駆動スイッチを入れたときにのみ小型ポンプが
駆動されることによって消費電力を節約することができ
る。

【００２０】また、真空ピンセットがエアーガンとして
共用されることにより、たとえばパーティクルの除去に
使用することができ、また除去フィルタが内蔵されるこ
とによってクリーンなエアーを吹き出すことができる。

【００２１】

【実施例１】図１は本発明の一実施例である携帯用真空
ピンセットを示す構成図である。

【００２２】まず、図１により本実施例の携帯用真空ピ
ンセットの構成を説明する。

【００２３】本実施例の真空ピンセットは、たとえば半
導体装置の製造工程において、真空吸引により被吸着物
である半導体ウェハを吸着可能な真空ピンセットとさ
れ、この真空ピンセット１１は、駆動スイッチ１２のＯ
Ｎ／ＯＦＦにより駆動され、この駆動スイッチ１２がＯ
Ｎの場合に真空ピンセット１１の吸着部１３に半導体ウ
ェハ（被吸着物）１４が吸着されるようになっている。

【００２４】また、真空ピンセット１１は、屈曲自在な
所定の長さのチューブ１５を介して、フィルタ１６を内
蔵した持ち運び自由で携帯可能な小型ポンプ１７に連結
され、さらにこの小型ポンプ１７には小型で充電可能な
バッテリー１８が交換可能に接続されている。

【００２５】次に、本実施例の作用について説明する。

【００２６】以上にように構成される真空ピンセット１
１は、たとえば半導体装置の製造工程において、半導体
ウェハ１４を枚葉処理する場合などに使用される。

【００２７】すなわち、半導体ウェハ１４を真空吸着す
る場合に、まず真空ピンセット１１および小型ポンプ１
７などの器具一式を作業場所まで自由に持ち運び、作業
場所において携帯しながら小型ポンプ１７の電源を入れ
て駆動させる。

【００２８】さらに、真空ピンセット１１の駆動スイッ
チ１２をＯＮにし、駆動状態の真空ピンセット１１の吸
着部１３を近づけることによって半導体ウェハ１４を真
空吸着し、この状態において半導体ウェハ１４を自由に
所定の場所に搬送することができる。

【００２９】そして、半導体ウェハ１４を所定の場所に
置く場合には、真空ピンセット１１の駆動スイッチ１２
をＯＦＦにし、真空ピンセット１１の駆動を停止して吸
着を解除することにより可能となる。このような動作を
繰り返すことにより、半導体ウェハ１４の枚葉処理が可
能となる。

【００３０】従って、本実施例の真空ピンセット１１に
よれば、真空ピンセット１１が持ち運び自由な小型ポン
プ１７に連結されることにより、真空ピンセット１１お
よび小型ポンプ１７などが携帯可能となるので、作業場
所を問わずに真空ピンセット１１を使用することができ
る。

【００３１】また、万一、バッテリー切れが生じた時で
も、充電済みのバッテリーに取り替えることにより継続
して使用が可能となる。

【００３２】

【実施例２】図２は本発明の他の実施例である携帯用真
空ピンセットにおいて、被吸着物に対応した吸着部の変
更方法を示す説明図である。

【００３３】本実施例の真空ピンセットは、実施例１と
同様に半導体装置の製造工程において、真空吸引により
半導体ウェハを吸着可能な真空ピンセット１１ａとさ
れ、実施例１との相違点は、真空ピンセット１１ａの吸
着部１３が被吸着物の大きさまたは重さなどに対応して
取り替え可能とされ、かつ小型ポンプ１７ａの駆動電力
が調整される点である。

【００３４】すなわち、本実施例の真空ピンセット１１
ａの吸着部１３は、図２に示すように大口径、たとえば
８インチの半導体ウェハ１４に対応した大きさまたは種
類の大口径用吸着部１９に取り替えられ、その上小型ポ
ンプ１７ａのパワーをパワー調整つまみ２０によって調
整することにより、半導体ウェハ１４の口径に対応した
適正な吸引力を得ることができる。

【００３５】従って、本実施例の真空ピンセット１１ａ
によれば、真空ピンセット１１ａが大口径用吸着部１９
に取り替えられ、かつ小型ポンプ１７ａがパワー調整つ
まみ２０により調整されることにより、実施例１の真空
ピンセット１１ａおよび小型ポンプ１７ａなどの携帯が
可能とされる点に加えて、半導体ウェハ１４の口径に対
応した最適な吸着が可能となる。

【００３６】

【実施例３】図３は本発明の他の実施例である携帯用真
空ピンセットの駆動スイッチと小型ポンプを電気的に接
続した場合を示す説明図である。

【００３７】本実施例の真空ピンセットは、実施例１お
よび２と同様に半導体装置の製造工程において、真空吸
引により被吸着物である半導体ウェハを吸着可能な真空
ピンセット１１ｂとされ、実施例１および２との相違点
は、真空ピンセット１１ｂと小型ポンプ１７ｂとが電気
的に接続され、小型ポンプ１７ｂの駆動が真空ピンセッ
ト１１ｂの駆動に対応される点である。

【００３８】すなわち、本実施例の真空ピンセット１１
ｂは、図３に示すように導体線２１を通じて小型ポンプ
１７ｂに接続され、真空ピンセット１１ｂの駆動スイッ
チ１２ｂを入れると小型ポンプ１７ｂの電源が入り、逆
に駆動スイッチ１２ｂを切ると小型ポンプ１７ｂの電源
が切れることにより、真空ピンセット１１ｂの駆動スイ
ッチ１２ｂのＯＮ／ＯＦＦに対応させて小型ポンプ１７
ｂの電源をＯＮ／ＯＦＦさせることができる。

【００３９】従って、本実施例の真空ピンセット１１ｂ
によれば、真空ピンセット１１ｂと小型ポンプ１７ｂと
が導体線２１を通じて電気的に接続されることにより、
実施例１の真空ピンセット１１ｂおよび小型ポンプ１７
ｂなどの携帯が可能とされる点に加えて、真空ピンセッ
ト１１ｂの駆動スイッチ１２ｂを入れたときのみ小型ポ
ンプ１７ｂを駆動させることができるので、消費電力の
節約が可能となる。

【００４０】

【実施例４】図４は本発明の他の実施例である携帯用真
空ピンセットをエアーガンとして使用する場合を示す説
明図である。

【００４１】本実施例の真空ピンセットは、実施例１〜
３と同様に半導体装置の製造工程において、真空吸引に
より半導体ウェハを吸着可能な真空ピンセット１１ｃと
され、実施例１〜３との相違点は、小型ポンプ１７ｃを
逆転させ、かつ真空ピンセット１１ｃの吸着部１３をエ
アー排出機構に取り替えてエアーガンとして共用される
点である。

【００４２】すなわち、本実施例の真空ピンセット１１
ｃの吸着部は、図４に示すようにエアーガン用の排出部
２２に取り替えられ、小型ポンプ１７ｃを逆回転させる
ことにより、たとえばパーティクルの除去に使用するこ
とができ、またフィルタ１６が内蔵されることによって
クリーンなエアーを吹き出すことができる。

【００４３】従って、本実施例の真空ピンセット１１ｃ
によれば、小型ポンプ１７ｃが逆転され、かつ真空ピン
セット１１ｃの吸着部１３がエアーガン用の排出部２２
に取り替えられることにより、実施例１の真空ピンセッ
ト１１ｃおよび小型ポンプ１７ｃなどの携帯が可能とさ
れる点に加えて、クリーンなエアーによるパーティクル
除去などのエアーガンとして使用することが可能とな
る。

【００４４】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例１〜４に基づき具体的に説明したが、本発明は前記
実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４５】たとえば、前記実施例の携帯用真空ピンセ
ットについては、真空ピンセット１１，１１ａ，１１
ｂ，１１ｃおよび小型ポンプ１７，１７ａ，１７ｂ，１
７ｃなどの一式を携帯する場合について説明したが、本
発明は前記実施例に限定されるものではなく、一式を作
業場所まで持ち運んだ後に小型ポンプを作業台などに固
定し、長いチューブを使用して真空ピンセットのみを携
帯して作業する場合などについても適用可能である。

【００４６】また、実施例２の真空ピンセット１１ａの
吸着部は、８インチの大口径の半導体ウェハ１４に対応
した場合について説明したが、逆に３インチの小口径へ
の対応など、製造可能な種々の口径の半導体ウェハに適
用できることは言うまでもない。

【００４７】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野である半導体装置の製造
工程に用いられる半導体ウェハの真空ピンセットに適用
した場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、ソフトな取り扱いが必要とされる他の被吸着物
についても広く適用可能である。

【００４８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００４９】(1).真空ピンセットを、屈曲自在な所定の
長さのチューブを介して持ち運び自由な小型ポンプに連
結することにより、真空ピンセットおよび小型ポンプを
携帯することができるので、場所を問わずに真空ピンセ
ットの使用が可能となる。

【００５０】(2).小型ポンプの駆動電源を、駆動電力が
調整可能で充電可能な小型のバッテリーとすることによ
り、被吸着物に対応した適正な吸引力を得ることがで
き、またバッテリー切れに対しても、充電済みのバッテ
リーへの取り替えまたは取り外しによる充電が容易に可
能となる。

【００５１】(3).真空ピンセットの吸着部を、被吸着物
の大きさまたは重さに対応した種類のものに取り替え可
能とすることにより、被吸着物に対応した吸着部による
最適な吸着が可能となる。

【００５２】(4).真空ピンセットと小型ポンプとを電気
的に接続し、真空ピンセットの駆動スイッチのＯＮ／Ｏ
ＦＦに対応させて小型ポンプの駆動電源をＯＮ／ＯＦＦ
することにより、真空ピンセットの駆動スイッチを入れ
たときにのみ小型ポンプを駆動させることができるの
で、消費電力の節約が可能となる。

【００５３】(5).小型ポンプを逆転させ、かつ真空ピン
セットの吸着部をエアー排出機構に取り替え可能とする
ことにより、たとえばパーティクル除去などのエアーガ
ンとしての共用が可能となる。

【００５４】(6).真空ピンセットをエアーガンとして使
用する場合に、小型ポンプに除去フィルタを内蔵するこ
とにより、クリーンなエアーを吹き出すことができるの
で、高清浄度への対応が可能となる。

【００５５】(7).特に、被吸着物を半導体ウェハとした
場合には、半導体ウェハの口径に対応した最適な真空吸
着が可能となり、かつ汚染および損傷防止による枚葉処
理に良好な真空ピンセットを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１である携帯用真空ピンセット
を示す構成図である。

【図２】本発明の実施例２である携帯用真空ピンセット
において、被吸着物に対応した吸着部の変更方法を示す
説明図である。

【図３】本発明の実施例３である携帯用真空ピンセット
の駆動スイッチと小型ポンプを電気的に接続した場合を
示す説明図である。

【図４】本発明の実施例４である携帯用真空ピンセット
をエアーガンとして使用する場合を示す説明図である。

【図５】従来技術の一例である真空ピンセットを示す構
成図である。

【符号の説明】

１ 真空ピンセット ２ 駆動スイッチ ３ 吸着部 ４ 半導体ウェハ ５ チューブ ６ 集中真空配管 １１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ 真空ピンセット １２，１２ｂ 駆動スイッチ １３ 吸着部 １４ 半導体ウェハ（被吸着物） １５ チューブ １６ フィルタ １７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ 小型ポンプ １８ バッテリー １９ 大口径用吸着部 ２０ パワー調整つまみ ２１ 導体線 ２２ 排出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小柳津 明雄 山梨県中巨摩郡竜王町西八幡（番地なし) 株式会社日立製作所甲府工場内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空吸引により被吸着物を吸着可能な真
   空ピンセットであって、前記真空ピンセットを、屈曲自
   在な所定の長さのチューブを介して、持ち運び自由で携
   帯可能な小型ポンプに連結することを特徴とする携帯用
   真空ピンセット。
2. 【請求項２】 前記小型ポンプの駆動電源を、駆動電力
   が調整可能で充電可能な小型のバッテリーとすることを
   特徴とする請求項１記載の携帯用真空ピンセット。
3. 【請求項３】 前記真空ピンセットの吸着部を、前記被
   吸着物の大きさまたは重さに対応した種類のものに取り
   替え可能とすることを特徴とする請求項１または２記載
   の携帯用真空ピンセット。
4. 【請求項４】 前記真空ピンセットと前記小型ポンプと
   を電気的に接続し、前記真空ピンセットの駆動スイッチ
   のＯＮ／ＯＦＦに対応させて、前記小型ポンプの駆動電
   源をＯＮ／ＯＦＦすることを特徴とする請求項１、２ま
   たは３記載の携帯用真空ピンセット。
5. 【請求項５】 前記小型ポンプを逆転させ、かつ前記真
   空ピンセットの吸着部をエアー排出機構に取り替えてエ
   アーガンとして共用可能とすることを特徴とする請求項
   １、２、３または４記載の携帯用真空ピンセット。
6. 【請求項６】 前記真空ピンセットをエアーガンとして
   使用する場合に、前記小型ポンプに除去フィルタを内蔵
   することを特徴とする請求項５記載の携帯用真空ピンセ
   ット。
7. 【請求項７】 前記被吸着物を半導体ウェハとすること
   を特徴とする請求項１、２、３、４、５または６記載の
   携帯用真空ピンセット。