JPH0532916B2 - - Google Patents
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- JPH0532916B2 JPH0532916B2 JP62197475A JP19747587A JPH0532916B2 JP H0532916 B2 JPH0532916 B2 JP H0532916B2 JP 62197475 A JP62197475 A JP 62197475A JP 19747587 A JP19747587 A JP 19747587A JP H0532916 B2 JPH0532916 B2 JP H0532916B2
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- Japan
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- electrode
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- thickness
- sheets
- conductor paste
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Description
［産業上の利用分野］
本発明は電歪効果素子の製造方法に関し、特に
積層構造を有し、積層位置により相互の電極間距
離が異なる素子の製造方法に関する。 ［従来の技術］ 従来の電歪効果素子の製造方法を第１図および
第３図によつて説明する。 圧電セラミツク粉末と有機溶剤、有機バインダ
ーを混合して泥漿を作り、テープキヤスト法によ
りグリーンシート２を成形する。このグリーンシ
ート２は一部を残してスクリーン印刷により一定
厚の導体ペースト１を被着させ、パンチングした
後積層、プレスして積層体１２を作る。積層体１
２の構造は導体ペースト１を被着したパンチング
シート（以後電極シート４と称する）と、被着し
ていないパンチングシート（以後保護シート３と
称する）の積層順序により決定されるが、典型的
な例として第３図に示すような構造を有してい
る。すなわち、電極シート４を積み重ねた均一層
５と呼ばれる部分、保護シート３を積み重ねた保
護層７と呼ばれる部分、それに電極シート４と保
護シート３を交互に積み重ねて電極間距離を大き
くした不均一層６と呼ばれる部分からなる。 この積層体１２を脱バインダー、焼結した後に
切断して電歪効果素子ができる。 ［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来の電歪効果素子の製造方法は、電
極シートが全て同一の厚さのペーストが被着され
ているが、一般に電極となる導体は焼結工程のよ
うな高温下ではセラミツクに対し一定量の拡散を
起すことが知られており、不均一層のように電極
間距離が大きくセラミツク部分の体積がより大き
な部分では、焼結時の導体成分の拡散量が増加し
て電極喰われが起り、抵抗の増大や電極切れを引
き起しやすいという欠点がある。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明の電歪効果素子の製造方法は、相互の電
極間距離に応じて、グリーンシートに被着する導
体ペーストの厚さを変える工程を含む。 ［作用］ 不均一層のように相互電極間距離の大きな部分
に用いる電極シートの、被着する導体ペーストの
厚さを均一層に用いる電極シートの導体ペースト
の厚さに対して変えることにより、素子強度の低
下を招くことなく、導体の拡散に起因する電極切
れ等の不良発生のない信頼性の高い素子を得るこ
とができる。 ［実施例］ 次に、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。 第１図は本発明の製造方法の一実施例を示す説
明図、第２図は第１図の実施例により製造された
積層体の斜視図である。 本実施例の電歪効果素子では、ペロブスカイト
結晶構造を有する多成分固溶体セラミツクスの粉
末を有機バインダーの粉末とともに有機溶媒中に
分散、混合し、得られた泥漿をシリコンコートし
たポリエチレンシート上にテープキヤスト法によ
りキヤストし、約100μmのグリーンシート２を作
つた。第１図に示すように、このグリーンシート
２上に銀−パラジウムよりなる導体ペースト１を
10、15、20、30μmの厚さにそれぞれ印刷し、乾
燥した後所望の大きさに切断した。これらのシー
トは第２図に示す構造になるように積層構造に応
じて電極シート４、保護シート３、保護層７を順
次組み合せ、金型中に積層したが（通常約100
枚）、このとき均一層５には全て導体ペースト１
厚10μmの電極シート４を用い、相互の電極間距
離が大きくなる不均一層６には厚い導体ペースト
１ａを被着した導体ペースト厚が15、20、30μm
の電極シート４ａを用いて４種の積層体を作製し
た。このようにセツトされた積層体を入れた金型
を熱板に載せて約100℃に加熱し、圧力270Kg／
cm2、時間40分の条件でプレスして積層体１１を作
つた。この積層体を約400℃まで徐々に加熱して
有機バインダを熱分解させた後約1100℃で２時間
焼成し、焼結体を得た。この焼結体を所望の大き
さに切断し電歪効果素子が得られた。 表１は得られた電歪効果素子の縦方向の側面に
露出した内部電極の両端間の抵抗値を測定した結
果を示している。 表中不良発生率とは抵抗値が10KΩを越えた素
子の割合である。電極の抵抗値が10KΩを越える
と、セラミツクに充分な電圧がかからず、容量抜
け等の不良を起すことになる。
積層構造を有し、積層位置により相互の電極間距
離が異なる素子の製造方法に関する。 ［従来の技術］ 従来の電歪効果素子の製造方法を第１図および
第３図によつて説明する。 圧電セラミツク粉末と有機溶剤、有機バインダ
ーを混合して泥漿を作り、テープキヤスト法によ
りグリーンシート２を成形する。このグリーンシ
ート２は一部を残してスクリーン印刷により一定
厚の導体ペースト１を被着させ、パンチングした
後積層、プレスして積層体１２を作る。積層体１
２の構造は導体ペースト１を被着したパンチング
シート（以後電極シート４と称する）と、被着し
ていないパンチングシート（以後保護シート３と
称する）の積層順序により決定されるが、典型的
な例として第３図に示すような構造を有してい
る。すなわち、電極シート４を積み重ねた均一層
５と呼ばれる部分、保護シート３を積み重ねた保
護層７と呼ばれる部分、それに電極シート４と保
護シート３を交互に積み重ねて電極間距離を大き
くした不均一層６と呼ばれる部分からなる。 この積層体１２を脱バインダー、焼結した後に
切断して電歪効果素子ができる。 ［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来の電歪効果素子の製造方法は、電
極シートが全て同一の厚さのペーストが被着され
ているが、一般に電極となる導体は焼結工程のよ
うな高温下ではセラミツクに対し一定量の拡散を
起すことが知られており、不均一層のように電極
間距離が大きくセラミツク部分の体積がより大き
な部分では、焼結時の導体成分の拡散量が増加し
て電極喰われが起り、抵抗の増大や電極切れを引
き起しやすいという欠点がある。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明の電歪効果素子の製造方法は、相互の電
極間距離に応じて、グリーンシートに被着する導
体ペーストの厚さを変える工程を含む。 ［作用］ 不均一層のように相互電極間距離の大きな部分
に用いる電極シートの、被着する導体ペーストの
厚さを均一層に用いる電極シートの導体ペースト
の厚さに対して変えることにより、素子強度の低
下を招くことなく、導体の拡散に起因する電極切
れ等の不良発生のない信頼性の高い素子を得るこ
とができる。 ［実施例］ 次に、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。 第１図は本発明の製造方法の一実施例を示す説
明図、第２図は第１図の実施例により製造された
積層体の斜視図である。 本実施例の電歪効果素子では、ペロブスカイト
結晶構造を有する多成分固溶体セラミツクスの粉
末を有機バインダーの粉末とともに有機溶媒中に
分散、混合し、得られた泥漿をシリコンコートし
たポリエチレンシート上にテープキヤスト法によ
りキヤストし、約100μmのグリーンシート２を作
つた。第１図に示すように、このグリーンシート
２上に銀−パラジウムよりなる導体ペースト１を
10、15、20、30μmの厚さにそれぞれ印刷し、乾
燥した後所望の大きさに切断した。これらのシー
トは第２図に示す構造になるように積層構造に応
じて電極シート４、保護シート３、保護層７を順
次組み合せ、金型中に積層したが（通常約100
枚）、このとき均一層５には全て導体ペースト１
厚10μmの電極シート４を用い、相互の電極間距
離が大きくなる不均一層６には厚い導体ペースト
１ａを被着した導体ペースト厚が15、20、30μm
の電極シート４ａを用いて４種の積層体を作製し
た。このようにセツトされた積層体を入れた金型
を熱板に載せて約100℃に加熱し、圧力270Kg／
cm2、時間40分の条件でプレスして積層体１１を作
つた。この積層体を約400℃まで徐々に加熱して
有機バインダを熱分解させた後約1100℃で２時間
焼成し、焼結体を得た。この焼結体を所望の大き
さに切断し電歪効果素子が得られた。 表１は得られた電歪効果素子の縦方向の側面に
露出した内部電極の両端間の抵抗値を測定した結
果を示している。 表中不良発生率とは抵抗値が10KΩを越えた素
子の割合である。電極の抵抗値が10KΩを越える
と、セラミツクに充分な電圧がかからず、容量抜
け等の不良を起すことになる。
【表】
は不均一層
このように、不均一層に用いる電極シートの導
体ペースト厚を大きくすることにより抵抗値の増
大を防ぎ、不良発生率を０％に抑えることができ
る。 表２はこの電歪効果素子の引張り強度の測定値
を示している。
このように、不均一層に用いる電極シートの導
体ペースト厚を大きくすることにより抵抗値の増
大を防ぎ、不良発生率を０％に抑えることができ
る。 表２はこの電歪効果素子の引張り強度の測定値
を示している。
【表】
表２によれば、電極シートのペースト厚を大き
くするに従い、電歪効果素子の引張り強度が低下
することがわかる。本実施例では、ペースト厚を
15μmに設定することにより、引張り強度の低下
を招かずに不良発生率を０％に抑えることができ
ることがわかる。したがつて、不均一層に用いる
厚い導体ペースト１ａの厚さは15〜20μmにする
のが好ましい。 ［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、電歪効果素子の
製造において不均一層に用いる電極シートの導体
ペーストの厚さを、均一層に用いる電極シートの
導体ペーストの厚さに対して変えることにより、
素子強度の低下を招くことなく、導体の拡散に起
因する電極切れ等の不良発生のない信頼性の高い
素子を得る効果がある。
くするに従い、電歪効果素子の引張り強度が低下
することがわかる。本実施例では、ペースト厚を
15μmに設定することにより、引張り強度の低下
を招かずに不良発生率を０％に抑えることができ
ることがわかる。したがつて、不均一層に用いる
厚い導体ペースト１ａの厚さは15〜20μmにする
のが好ましい。 ［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、電歪効果素子の
製造において不均一層に用いる電極シートの導体
ペーストの厚さを、均一層に用いる電極シートの
導体ペーストの厚さに対して変えることにより、
素子強度の低下を招くことなく、導体の拡散に起
因する電極切れ等の不良発生のない信頼性の高い
素子を得る効果がある。
第１図は本発明の電歪効果素子の製造方法の一
実施例の説明図、第２図は第１図の製造方法で製
造された積層体の斜視図、第３図は従来の製造方
法で製造された積層体の斜視図である。 １……導体ペースト、１ａ……厚い導体ペース
ト、２……グリーンシート、３……保護シート、
４……電極シート、４ａ……厚い導体ペーストの
電極シート、５……均一層、６……不均一層、７
……保護層、１１，１２……積層体。
実施例の説明図、第２図は第１図の製造方法で製
造された積層体の斜視図、第３図は従来の製造方
法で製造された積層体の斜視図である。 １……導体ペースト、１ａ……厚い導体ペース
ト、２……グリーンシート、３……保護シート、
４……電極シート、４ａ……厚い導体ペーストの
電極シート、５……均一層、６……不均一層、７
……保護層、１１，１２……積層体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電セラミツク粉末と有機バインダからなる
セラミツクグリーンシート上に導体ペーストを被
着する工程と、前記グリーンシートを積層加圧し
て積層体を形成する工程を含む電歪効果素子の製
造方法において、 相互の電極間距離に応じて、前記グリーンシー
トに被着する導体ペーストの厚さを変える工程を
含むことを特徴とする電歪効果素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62197475A JPS6441284A (en) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | Manufacture of electrostriction effect device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62197475A JPS6441284A (en) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | Manufacture of electrostriction effect device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6441284A JPS6441284A (en) | 1989-02-13 |
| JPH0532916B2 true JPH0532916B2 (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=16375101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62197475A Granted JPS6441284A (en) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | Manufacture of electrostriction effect device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6441284A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6049719A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-19 | 日本精機株式会社 | エノキ茸栽培容器の自動紙巻装置 |
| JP4064884B2 (ja) | 2003-08-05 | 2008-03-19 | 信越化学工業株式会社 | 磁界発生装置及び磁界調整方法 |
-
1987
- 1987-08-06 JP JP62197475A patent/JPS6441284A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6441284A (en) | 1989-02-13 |
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