JPH05322560A - 変位計測装置 - Google Patents
変位計測装置Info
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- JPH05322560A JPH05322560A JP12348192A JP12348192A JPH05322560A JP H05322560 A JPH05322560 A JP H05322560A JP 12348192 A JP12348192 A JP 12348192A JP 12348192 A JP12348192 A JP 12348192A JP H05322560 A JPH05322560 A JP H05322560A
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- light
- light receiving
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- lens
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被計測対象物で反射した反射光を、４分割受
光素子に導入し、４分割受光素子の出力を演算回路で処
理し、対物レンズと被計測対象物表面との相対的な変位
を計測する変位計測装置において、位置調整に伴う人為
的な誤差及び径年的な誤差を排除して精度の良い位置計
測を行うことを目的とする。 【構成】 ４分割受光素子を支持機構により光軸と直交
する平面内で変位可能に支持し、４分割受光素子の四つ
に分割された受光面うち、対向するものの出力が等しく
なるように制御回路によりアクチュエータを制御して４
分割受光素子を光軸に対して垂直な平面内で直交する二
つの方向にそれぞれ変位させるようにしたものである。
光素子に導入し、４分割受光素子の出力を演算回路で処
理し、対物レンズと被計測対象物表面との相対的な変位
を計測する変位計測装置において、位置調整に伴う人為
的な誤差及び径年的な誤差を排除して精度の良い位置計
測を行うことを目的とする。 【構成】 ４分割受光素子を支持機構により光軸と直交
する平面内で変位可能に支持し、４分割受光素子の四つ
に分割された受光面うち、対向するものの出力が等しく
なるように制御回路によりアクチュエータを制御して４
分割受光素子を光軸に対して垂直な平面内で直交する二
つの方向にそれぞれ変位させるようにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被計測対象物の変位量
を計測する変位計測装置に関し、具体的には、オートフ
ォーカス装置、変位計及び表面粗さ計等に適用されるも
のである。
を計測する変位計測装置に関し、具体的には、オートフ
ォーカス装置、変位計及び表面粗さ計等に適用されるも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来の変位計測装置の一例を図３に示
す。同図に示すように、光源２０１から出射した平行光
線束は、レンズ２０２、レンズ２０３を通過してビーム
径が拡大され、偏光ビームスプリッタ２０４に入射す
る。平行光線束の偏光方向は、偏光ビームスプリッタ２
０４の透過偏光方向に合わせられているため、殆どの平
行光線束が偏光ビームスプリッタ２０４を通過する。偏
光ビームスプリッタ２０４を通過した平行光線束は、１
／４波長板２０５に入射し、ここで、偏光特性が直線偏
光から円偏光に変化する。
す。同図に示すように、光源２０１から出射した平行光
線束は、レンズ２０２、レンズ２０３を通過してビーム
径が拡大され、偏光ビームスプリッタ２０４に入射す
る。平行光線束の偏光方向は、偏光ビームスプリッタ２
０４の透過偏光方向に合わせられているため、殆どの平
行光線束が偏光ビームスプリッタ２０４を通過する。偏
光ビームスプリッタ２０４を通過した平行光線束は、１
／４波長板２０５に入射し、ここで、偏光特性が直線偏
光から円偏光に変化する。
【０００３】円偏光に変化した平行光線束は、対物レン
ズ２０６を通過して被計測対象物２０７の表面に絞りこ
まれ、その表面で反射する。反射した平行光線束は、再
び対物レンズ２０６を通過し、１／４波長板２０５に入
射し、ここで、偏光方向が円偏光から９０°傾いた直線
偏光となり、偏光ビームスプリッタ２０４に入射する。
この直線偏光の偏光方向は、偏光ビームスプリッタ２０
４の反射偏光方向と一致するため、この直線偏光は、偏
光ビームスプリッタ２０４を通過することなく、直角に
反射する。
ズ２０６を通過して被計測対象物２０７の表面に絞りこ
まれ、その表面で反射する。反射した平行光線束は、再
び対物レンズ２０６を通過し、１／４波長板２０５に入
射し、ここで、偏光方向が円偏光から９０°傾いた直線
偏光となり、偏光ビームスプリッタ２０４に入射する。
この直線偏光の偏光方向は、偏光ビームスプリッタ２０
４の反射偏光方向と一致するため、この直線偏光は、偏
光ビームスプリッタ２０４を通過することなく、直角に
反射する。
【０００４】その後、この直線偏光は、集光レンズ２０
８、円筒面レンズ２０９を通過後、４分割受光素子２１
０に入射する。この４分割受光素子２１０は、図４に示
すように、光電面が四つの受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分割
され、各受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに入射した光量に応じた
出力電流ＩA1，ＩB1，ＩC1，ＩD1を演算回路２１１に出
力する。演算回路２１１は、出力電流ＩA1，ＩB1，
ＩC1，ＩD1に基づいて、以下に示すように出力信号Ｆ1
を演算する。 Ｆ1＝｛（ＩA1＋ＩB1）−（ＩC1＋ＩD1）｝／（ＩA1＋ＩB1＋ＩC1＋ＩD1）
８、円筒面レンズ２０９を通過後、４分割受光素子２１
０に入射する。この４分割受光素子２１０は、図４に示
すように、光電面が四つの受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分割
され、各受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに入射した光量に応じた
出力電流ＩA1，ＩB1，ＩC1，ＩD1を演算回路２１１に出
力する。演算回路２１１は、出力電流ＩA1，ＩB1，
ＩC1，ＩD1に基づいて、以下に示すように出力信号Ｆ1
を演算する。 Ｆ1＝｛（ＩA1＋ＩB1）−（ＩC1＋ＩD1）｝／（ＩA1＋ＩB1＋ＩC1＋ＩD1）
【０００５】ここで、図４に示すように、被計測対象物
２０７がδ1，δ2，δ3の各位置へ移動すると、この位
置に対して４分割受光素子２１０の各受光面Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄに入射する光線束の断面形状は、幾何光学の原理
に基づいて、横楕円から真円を経て縦楕円となる。従っ
て、被計測対象物２０７の変位量δを横軸に、出力信号
Ｆ1を縦軸にとると、その出力特性曲線は図５に示すよ
うに変化する。この為、図５に示すように、出力信号Ｆ
1に対して被計測対象物２０７の変位量δが直線的に変
化する領域αを用いることにより、高精度に変位を計測
することが可能となる。
２０７がδ1，δ2，δ3の各位置へ移動すると、この位
置に対して４分割受光素子２１０の各受光面Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄに入射する光線束の断面形状は、幾何光学の原理
に基づいて、横楕円から真円を経て縦楕円となる。従っ
て、被計測対象物２０７の変位量δを横軸に、出力信号
Ｆ1を縦軸にとると、その出力特性曲線は図５に示すよ
うに変化する。この為、図５に示すように、出力信号Ｆ
1に対して被計測対象物２０７の変位量δが直線的に変
化する領域αを用いることにより、高精度に変位を計測
することが可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法で、精度の
良い変位計測を行うためには、図３に示すように、４分
割受光素子２１０の中心線に対し、これに入射する直線
偏光である光線束の光軸を一致させる必要がある。も
し、これが一致しないと、図６に示すように、４分割受
光素子２１０の各光電面Ａ〜Ｄに入射する光線束の断面
位置が偏ってしまい、図７に示すように出力特性が異常
となり、変位計測装置としての性能が劣化してしまう。
良い変位計測を行うためには、図３に示すように、４分
割受光素子２１０の中心線に対し、これに入射する直線
偏光である光線束の光軸を一致させる必要がある。も
し、これが一致しないと、図６に示すように、４分割受
光素子２１０の各光電面Ａ〜Ｄに入射する光線束の断面
位置が偏ってしまい、図７に示すように出力特性が異常
となり、変位計測装置としての性能が劣化してしまう。
【０００７】しかし、従来では、４分割受光素子２１０
の中心線に対して光線束の光軸を一致させるための光学
系の調整は、人間の感覚で行っているため、人為的な誤
差が生じていた。また、４分割受光素子２１０の保持治
具が径年的に変化するため、一旦、正確に調整したとし
ても、４分割受光素子２１０の中心線に対し、光線束の
光軸を充分な精度で維持させることは困難であった。本
発明は、上記従来技術に鑑みてなされたものであり、４
分割受光素子２１０の中心線に対してこれに入射する光
線束の光軸を常に一致させることのできる信頼性の高い
位置計測装置を提供することを目的とする。
の中心線に対して光線束の光軸を一致させるための光学
系の調整は、人間の感覚で行っているため、人為的な誤
差が生じていた。また、４分割受光素子２１０の保持治
具が径年的に変化するため、一旦、正確に調整したとし
ても、４分割受光素子２１０の中心線に対し、光線束の
光軸を充分な精度で維持させることは困難であった。本
発明は、上記従来技術に鑑みてなされたものであり、４
分割受光素子２１０の中心線に対してこれに入射する光
線束の光軸を常に一致させることのできる信頼性の高い
位置計測装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の構成は光源と、偏光ビームスプリッタと１／４波
長板と対物レンズと集光レンズと円筒面レンズと有する
光学系と、４分割受光素子とを備え、該光源から出た光
を対物レンズに入射させた後、被計測対象物表面上へ照
射し、該表面で反射した反射光を対物レンズを介して、
１／４波長板と偏光ビームスプリッタと集光レンズと円
筒面レンズとに導き、４分割受光素子に導入し、該４分
割受光素子の出力を演算回路で処理し、対物レンズと、
被計測対象物表面との相対的な変位を計測する変位計測
装置において、上記４分割受光素子を光軸と直交する平
面内で変位可能に支持する支持機構と、該４分割受光素
子を光軸に対して垂直な平面内で直交する二つの方向に
それぞれ駆動させる二つのアクチュエータと、上記４分
割受光素子の四つに分割された受光面うち、対向するも
のの出力が等しくなるように上記アクチュエータを制御
する制御回路とを有することを特徴とする。
発明の構成は光源と、偏光ビームスプリッタと１／４波
長板と対物レンズと集光レンズと円筒面レンズと有する
光学系と、４分割受光素子とを備え、該光源から出た光
を対物レンズに入射させた後、被計測対象物表面上へ照
射し、該表面で反射した反射光を対物レンズを介して、
１／４波長板と偏光ビームスプリッタと集光レンズと円
筒面レンズとに導き、４分割受光素子に導入し、該４分
割受光素子の出力を演算回路で処理し、対物レンズと、
被計測対象物表面との相対的な変位を計測する変位計測
装置において、上記４分割受光素子を光軸と直交する平
面内で変位可能に支持する支持機構と、該４分割受光素
子を光軸に対して垂直な平面内で直交する二つの方向に
それぞれ駆動させる二つのアクチュエータと、上記４分
割受光素子の四つに分割された受光面うち、対向するも
のの出力が等しくなるように上記アクチュエータを制御
する制御回路とを有することを特徴とする。
【０００９】
【作用】４分割受光素子の中心軸と、この４分割受光素
子に入射する光線束の光軸とが一致するとき、４分割受
光素子の四つの受光面からの出力のうち、相互に向かい
合う受光面からの出力は等しくなり、その出力信号の差
は零となる。また、４分割受光素子の中心軸と、この４
分割受光素子に入射する光線束の光軸とが一致しないと
き、４分割受光素子の四つの受光面からの出力のうち、
相互に向かい合う受光面からの出力は異なり、その出力
信号の差は零とならない。従って、その出力信号の差を
採って、４分割受光素子を水平方向及び垂直方向へ駆動
するアクチュエータに制御信号として入力し、出力信号
が零となるように制御すれば、、４分割受光素子の中心
軸と、この４分割受光素子に入射する光線束の光軸とを
常に一致させることができる。
子に入射する光線束の光軸とが一致するとき、４分割受
光素子の四つの受光面からの出力のうち、相互に向かい
合う受光面からの出力は等しくなり、その出力信号の差
は零となる。また、４分割受光素子の中心軸と、この４
分割受光素子に入射する光線束の光軸とが一致しないと
き、４分割受光素子の四つの受光面からの出力のうち、
相互に向かい合う受光面からの出力は異なり、その出力
信号の差は零とならない。従って、その出力信号の差を
採って、４分割受光素子を水平方向及び垂直方向へ駆動
するアクチュエータに制御信号として入力し、出力信号
が零となるように制御すれば、、４分割受光素子の中心
軸と、この４分割受光素子に入射する光線束の光軸とを
常に一致させることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明について、図面に示す実施例を
参照して詳細に説明する。図１に本発明の一実施例を示
す。同図に示すように、光源１から出射した平行光線束
は、レンズ２、レンズ３を通過してビーム径が拡大さ
れ、偏光ビームスプリッタ４に入射する。平行光線束の
偏光方向は、偏光ビームスプリッタ４の透過偏光方向に
合わせられているため、殆どの平行光線束が偏光ビーム
スプリッタ４を通過する。偏光ビームスプリッタ４を通
過した平行光線束は、１／４波長板５に入射し、ここ
で、偏光特性が直線偏光から円偏光に変化する。
参照して詳細に説明する。図１に本発明の一実施例を示
す。同図に示すように、光源１から出射した平行光線束
は、レンズ２、レンズ３を通過してビーム径が拡大さ
れ、偏光ビームスプリッタ４に入射する。平行光線束の
偏光方向は、偏光ビームスプリッタ４の透過偏光方向に
合わせられているため、殆どの平行光線束が偏光ビーム
スプリッタ４を通過する。偏光ビームスプリッタ４を通
過した平行光線束は、１／４波長板５に入射し、ここ
で、偏光特性が直線偏光から円偏光に変化する。
【００１１】円偏光に変化した平行光線束は、対物レン
ズ６を通過して被計測対象物７の表面に絞りこまれ、そ
の表面で反射する。反射した平行光線束は、再び対物レ
ンズ６を通過し、１／４波長板５に入射し、ここで、偏
光方向が円偏光から９０°傾いた直線偏光となり、偏光
ビームスプリッタ４に入射する。この直線偏光の偏光方
向は、偏光ビームスプリッタ４の反射偏光方向と一致す
るため、この直線偏光は、偏光ビームスプリッタ４を通
過することなく、直角に反射する。
ズ６を通過して被計測対象物７の表面に絞りこまれ、そ
の表面で反射する。反射した平行光線束は、再び対物レ
ンズ６を通過し、１／４波長板５に入射し、ここで、偏
光方向が円偏光から９０°傾いた直線偏光となり、偏光
ビームスプリッタ４に入射する。この直線偏光の偏光方
向は、偏光ビームスプリッタ４の反射偏光方向と一致す
るため、この直線偏光は、偏光ビームスプリッタ４を通
過することなく、直角に反射する。
【００１２】その後、この直線偏光は、集光レンズ８、
円筒面レンズ９を通過後、４分割受光素子１０に入射す
る。この４分割受光素子１０は、光電面が四つの受光面
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分割され、各受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに
入射した光量に応じた出力電流ＩA，ＩB，ＩC，ＩDを演
算回路１１及び制御回路１２に出力する。４分割受光素
子１０は、支持機構１３により、入射する光線束の光軸
と垂直な平面内で変位可能に支持されており、更に、図
２に示すように４分割受光素子１０を垂直方向及び水平
方向に駆動させるアクチュエータ１４ａ，１４ｂが支持
機構１３に設けられている。
円筒面レンズ９を通過後、４分割受光素子１０に入射す
る。この４分割受光素子１０は、光電面が四つの受光面
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分割され、各受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに
入射した光量に応じた出力電流ＩA，ＩB，ＩC，ＩDを演
算回路１１及び制御回路１２に出力する。４分割受光素
子１０は、支持機構１３により、入射する光線束の光軸
と垂直な平面内で変位可能に支持されており、更に、図
２に示すように４分割受光素子１０を垂直方向及び水平
方向に駆動させるアクチュエータ１４ａ，１４ｂが支持
機構１３に設けられている。
【００１３】一方、演算回路１１は、出力電流ＩA，
ＩB，ＩC，ＩDに基づいて、以下に示すように出力信号
Ｆを演算する。 Ｆ＝｛（ＩA＋ＩB）−（ＩC＋ＩD）｝／（ＩA＋ＩB＋ＩC＋ＩD） また、制御回路１２は、出力電流ＩA，ＩB，ＩC，ＩDに
基づいて、以下に示すように出力信号Ｓv，Ｓhを演算
し、アクチュエータ１４ａ，１４ｂへ制御信号として入
力する。 Ｓh＝ＩA−ＩB Ｓv＝ＩC−ＩD
ＩB，ＩC，ＩDに基づいて、以下に示すように出力信号
Ｆを演算する。 Ｆ＝｛（ＩA＋ＩB）−（ＩC＋ＩD）｝／（ＩA＋ＩB＋ＩC＋ＩD） また、制御回路１２は、出力電流ＩA，ＩB，ＩC，ＩDに
基づいて、以下に示すように出力信号Ｓv，Ｓhを演算
し、アクチュエータ１４ａ，１４ｂへ制御信号として入
力する。 Ｓh＝ＩA−ＩB Ｓv＝ＩC−ＩD
【００１４】アクチュエータ１４ａ，１４ｂは、制御信
号として入力された出力信号Ｓv，Ｓhの値が０となるよ
うに、４分割受光素子１０を垂直方向及び水平方向に駆
動させる。例えば、図６に示すように、出力電流ＩAが
出力電流ＩBより大きい場合には、出力信号Ｓhは０より
大きくなるが、この出力信号Ｓhを０に近づけるために
４分割受光素子１０を図中右方へ移動させる。同様に、
出力電流ＩDが出力電流ＩCより大きい場合には、出力信
号Ｓvは０より小さくなるが、この出力信号Ｓvを０に近
づけるために４分割受光素子１０を図中下方へ移動させ
る。
号として入力された出力信号Ｓv，Ｓhの値が０となるよ
うに、４分割受光素子１０を垂直方向及び水平方向に駆
動させる。例えば、図６に示すように、出力電流ＩAが
出力電流ＩBより大きい場合には、出力信号Ｓhは０より
大きくなるが、この出力信号Ｓhを０に近づけるために
４分割受光素子１０を図中右方へ移動させる。同様に、
出力電流ＩDが出力電流ＩCより大きい場合には、出力信
号Ｓvは０より小さくなるが、この出力信号Ｓvを０に近
づけるために４分割受光素子１０を図中下方へ移動させ
る。
【００１５】この結果、出力信号Ｓv，Ｓhは０となり、
４分割受光素子１０に入射する直線偏光である光線束の
光軸と、４分割受光素子１０の中心軸とが常に一致する
こととなる。このように、本実施例では、４分割受光素
子１０と４分割受光素子１０に入射する光線束とを一致
させる位置合わせを、人間の感覚に依る従来と異なり、
制御回路１２によりアクチュエータ１４ａ，１５ｂを駆
動して機械的に行うため、人為的な誤差を排除すること
ができる。この為、図７に示すような異常な出力信号Ｆ
が得られることはない。
４分割受光素子１０に入射する直線偏光である光線束の
光軸と、４分割受光素子１０の中心軸とが常に一致する
こととなる。このように、本実施例では、４分割受光素
子１０と４分割受光素子１０に入射する光線束とを一致
させる位置合わせを、人間の感覚に依る従来と異なり、
制御回路１２によりアクチュエータ１４ａ，１５ｂを駆
動して機械的に行うため、人為的な誤差を排除すること
ができる。この為、図７に示すような異常な出力信号Ｆ
が得られることはない。
【００１６】従って、本発明によれば、図５に示すよう
に演算回路１１からの出力信号Ｆに対して被計測対象物
２０７の変位量δが直線的に変化する領域αを常時用い
ることにより、高精度に変位を計測することが可能とな
る。また、４分割受光素子１０を支持する支持機構１３
に経年的な変化が起こったとしても、制御回路１２は、
出力信号Ｓv，Ｓhは０となるように、自動的にその位置
ずれを補正できるので、信頼性の高い位置計測が可能と
なる。
に演算回路１１からの出力信号Ｆに対して被計測対象物
２０７の変位量δが直線的に変化する領域αを常時用い
ることにより、高精度に変位を計測することが可能とな
る。また、４分割受光素子１０を支持する支持機構１３
に経年的な変化が起こったとしても、制御回路１２は、
出力信号Ｓv，Ｓhは０となるように、自動的にその位置
ずれを補正できるので、信頼性の高い位置計測が可能と
なる。
【００１７】尚、上記実施例は、連続直接描画装置のオ
ートフォーカス装置として使用されるものであるが、本
発明はこれに限るものではなく、相対的な変位を計測す
るものに対して広く適用することができるものである。
ートフォーカス装置として使用されるものであるが、本
発明はこれに限るものではなく、相対的な変位を計測す
るものに対して広く適用することができるものである。
【００１８】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明は４分割受光素子を支持機構により光
軸と直交する平面内で変位可能に支持し、４分割受光素
子の四つに分割された受光面うち、対向するものの出力
が等しくなるように制御回路によりアクチュエータを制
御して４分割受光素子を光軸に対して垂直な平面内で直
交する二つの方向にそれぞれ変位させるので、人為的な
誤差を排除して、４分割受光素子に入射する光線束の光
軸と、４分割受光素子の中心軸とを常に一致させること
ができ、信頼性の高い位置計測を行うことが可能とな
る。
たように、本発明は４分割受光素子を支持機構により光
軸と直交する平面内で変位可能に支持し、４分割受光素
子の四つに分割された受光面うち、対向するものの出力
が等しくなるように制御回路によりアクチュエータを制
御して４分割受光素子を光軸に対して垂直な平面内で直
交する二つの方向にそれぞれ変位させるので、人為的な
誤差を排除して、４分割受光素子に入射する光線束の光
軸と、４分割受光素子の中心軸とを常に一致させること
ができ、信頼性の高い位置計測を行うことが可能とな
る。
【図１】本発明の一実施例に係る位置計測装置の構成図
である。
である。
【図２】４分割受光素子を変位させる機構の概念図であ
る。
る。
【図３】従来の位置計測装置の構成図である。
【図４】試料位置の変化に従って変化する４分割受光素
子の光電面上における入射光線束の断面形状を示す説明
図である。
子の光電面上における入射光線束の断面形状を示す説明
図である。
【図５】４分割受光素子の中心軸と該４分割受光素子に
入射する光線束の光軸とが一致するときの出力特性曲線
の一例を示すグラフである。
入射する光線束の光軸とが一致するときの出力特性曲線
の一例を示すグラフである。
【図６】４分割受光素子の中心軸と該４分割受光素子に
入射する光線束の光軸とが一致しないときの４分割受光
素子の光電面上における入射光線束の断面形状を示す説
明図である。
入射する光線束の光軸とが一致しないときの４分割受光
素子の光電面上における入射光線束の断面形状を示す説
明図である。
【図７】４分割受光素子の中心軸と該４分割受光素子に
入射する光線束の光軸とが一致しないときの出力特性曲
線の一例を示すグラフである。
入射する光線束の光軸とが一致しないときの出力特性曲
線の一例を示すグラフである。
１，２０１ 光源 ２，３，２０２，２０２ レンズ ４，２０４ 偏光ビームスプリッタ ５，２０５ １／４波長板 ６，２０６ 対物レンズ ７，２０７ 被計測対象物 ８，２０８ 集光レンズ ９，２０９ 非球面レンズ １０，２１０ ４分割受光素子 １１，２１１ 演算回路 １２ 制御回路 １３ 支持機構 １４ａ，１４ｂ アクチュエータ ＩA1，ＩB1，ＩC1，ＩD1 ４分割受光素子からの出力電
流 ＩA，ＩB，ＩC，ＩD ４分割受光素子からの出力電流 Ｓv，Ｓh 制御回路からの出力信号 Ｆ 演算回路からの出力信号
流 ＩA，ＩB，ＩC，ＩD ４分割受光素子からの出力電流 Ｓv，Ｓh 制御回路からの出力信号 Ｆ 演算回路からの出力信号
Claims (1)
- 【請求項１】 光源と、偏光ビームスプリッタと１／４
波長板と対物レンズと集光レンズと円筒面レンズと有す
る光学系と、４分割受光素子とを備え、該光源から出た
光を対物レンズに入射させた後、被計測対象物表面上へ
照射し、該表面で反射した反射光を対物レンズを介し
て、１／４波長板と偏光ビームスプリッタと集光レンズ
と円筒面レンズとに導き、４分割受光素子に導入し、該
４分割受光素子の出力を演算回路で処理し、対物レンズ
と、被計測対象物表面との相対的な変位を計測する変位
計測装置において、上記４分割受光素子を光軸と直交す
る平面内で変位可能に支持する支持機構と、該４分割受
光素子を光軸に対して垂直な平面内で直交する二つの方
向にそれぞれ駆動させる二つのアクチュエータと、上記
４分割受光素子の四つに分割された受光面うち、対向す
るものの出力が等しくなるように上記アクチュエータを
制御する制御回路とを有することを特徴とする変位計測
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12348192A JPH05322560A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 変位計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12348192A JPH05322560A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 変位計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322560A true JPH05322560A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=14861704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12348192A Withdrawn JPH05322560A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 変位計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322560A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012002703A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Mori Seiki Co Ltd | 変位検出装置 |
-
1992
- 1992-05-15 JP JP12348192A patent/JPH05322560A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012002703A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Mori Seiki Co Ltd | 変位検出装置 |
| US8810807B2 (en) | 2010-06-17 | 2014-08-19 | Mori Seiki Co., Ltd. | Displacement detecting device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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