RU2146355C1 - Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2146355C1
RU2146355C1 RU98101184/28A RU98101184A RU2146355C1 RU 2146355 C1 RU2146355 C1 RU 2146355C1 RU 98101184/28 A RU98101184/28 A RU 98101184/28A RU 98101184 A RU98101184 A RU 98101184A RU 2146355 C1 RU2146355 C1 RU 2146355C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
glass
thickness
light
plane
rings
Prior art date
Application number
RU98101184/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU98101184A (ru
Inventor
Е.В. Артюх
Ю.К. Буреев
А.И. Карпов
нцев В.Н. Рум
В.Н. Румянцев
Original Assignee
Государственный научно-исследовательский испытательный лазерный центр РФ "Радуга"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственный научно-исследовательский испытательный лазерный центр РФ "Радуга" filed Critical Государственный научно-исследовательский испытательный лазерный центр РФ "Радуга"
Priority to RU98101184/28A priority Critical patent/RU2146355C1/ru
Publication of RU98101184A publication Critical patent/RU98101184A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2146355C1 publication Critical patent/RU2146355C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе. Способ измерения толщины стекла заключается в том, что на стекло направляют два соосных сходящихся гомоцентрических пучка света, сформированных в виде конических поверхностей с разными углами схождения. По диаметрам световых колец в плоскости регистрации, расположенной в точке схождения пучков, рассчитывают коэффициент преломления стекла и его толщину. По смещению центра световых колец относительно оптической оси определяют клиновидность стеклянной пластины, а по локальным отклонениям колец от окружности судят об отклонениях поверхности стекла от плоскости. Устройство содержит расположенные на одной оптической оси формирователь излучения, выполненный таким образом, что позволяет преобразовывать излучение в два соосных сходящихся гомоцентрических пучка света, и фотоприемник, выполненный в виде многоканального двухкоординатного фотоприемного устройства, связанного с регистратором. Изобретение позволяет повысить точность измерений за счет одновременного измерения коэффициента преломления стекла, а также дополнительно контролировать клиновидность стекла и локальные отклонения поверхности стекла от плоскости. 2 с. п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе.
Известен способ измерения толщины листового стекла, заключающийся в том, что через исследуемое стекло пропускают монохроматический пучок лучей и измеряют геометрическое смещение луча после прохождения стекла, по которому затем судят о контролируемой величине (Авторское свидетельство N 357464, кл. G 01 B 11/06, опубл. 31.10.72 г. Бюл. N 33).
Устройство для осуществления данного способа содержит осветитель со щелевой диафрагмой и фотоприемник с измерительной схемой.
Недостатком известного способа и устройства является дополнительная погрешность при наличии клиновидности и полосности поверхности стекла и при изменении коэффициента преломления стекла.
Наиболее близкими техническими решениями к предлагаемому, принятыми за прототип, являются способ измерения толщины тянутого листового стекла и устройство для его осуществления (Авторское свидетельство N 1522037, кл. G 01 В 21/08, опубл. 15.11.89 г. Бюл. N 42). Способ заключается в том, что на стекло под заданным углом к его плоскости направляют пучок света так, что его проекция на плоскость стекла совпадает с направлением полосности стекла, многократно последовательно пропускают этот пучок через стекло, осуществляют сканирование стекла пропущеным через него пучком света, измеряют смещение многократно прошедшего через стекло пучка света в те моменты времени, когда его угловое отклонение в направлении, перпендикулярном смещению, равно нулю и по смещению прошедшего через стекло пучка света судят о толщине стекла.
Устройство для осуществления данного способа содержит формирователь пучка света, установленный под заданным углом к плоскости траспортирования стекла, систему отражателей, установленных по обе стороны стекла и последовательно оптически связанных между собой, однокоординатный позиционно-чувствительный фотоприемник, установленный по ходу пучка света на выходе системы отражателей и ориентированный так, что ось симметрии его светочувствительной линейки расположена в плоскости траектории пучка света, и соединенный с фотоприемником регистрирующий прибор.
Преимуществом прототипа по сравнению с аналогом является уменьшение погрешности, обусловленной наличием полосности и клиновидности листа.
Недостатком прототипа являются необходимость предварительного измерения коэффициента преломления стекла и наличие погрешности, обусловленной его изменением в процессе производства, так как от значения коэффициента преломления стекла зависит величина смещения луча, прошедшего через стекло.
Предлагаемое техническое решение ставит своей задачей повысить точность измерения толщины стекла за счет одновременного измерения коэффициента преломления стекла, а также дополнительно контролировать клиновидность стекла и локальные отклонения поверхности стекла от плоскости.
Задача решается следующим образом: в способе измерения толщины листового стекла, заключающемся в том, что на стекло направляют пучок света и по смещению прошедшего через стекло пучка света определяют толщину стекла, пучок формируют в виде конической поверхности, а также дополнительно направляют на стекло второй аналогичный пучок, соосно с первым, с углом схождения, отличным от первого и образующим с первым сходящиеся гомоцентрические пучки. По диаметрам световых колец, образовавшихся в плоскости регистрации, расположенной в точке схождения пучков перпендикулярно их оси, рассчитывают коэффициент преломления стекла и его толщину. По смещению центра световых колец с оптической оси определяют клиновидность стеклянной пластины. По локальным отклонениям световых колец от окружности судят об отклонениях поверхности стекла от плоскости.
Для достижения ожидаемого технического результата в устройстве для измерения толщины листового стекла, содержащем расположенные на одной оптической оси формирователь излучения и фотоприемник, связанный с регистратором, формирователь преобразует излучение в два соосных сходящихся гомоцентрических пучка в виде конических поверхностей с равными вершинными углами, а фотоприемник выполнен в виде многоканального двухкоординатного фотоприемного устройства, установленного в точке схождения гомоцентрических пучков. Использование для измерений двух соосных сходящихся гомоцентрических пучков позволяет определить одновременно и коэффициент преломления стекла, и толщину листа, тем самым скомпенсировать погрешность, обусловленную изменением коэффициента преломления стекла (от образца к образцу) в технологическом процессе производства, а также измерить клиновидность и оценить локальные искажения поверхности стекла, например полосность.
На фиг. 1 приведена принципиальная оптическая схема для осуществления предложенного способа; на фиг. 2 - пример регистрируемых световых колец при клиновидности измеряемой стеклянной пластины в горизонтальном направлении.
Измерение толщины листового отекла производят при помощи устройства (см. фиг. 1), состоящего из расположенных на одной оптической оси формирователя 1 излучения, преобразующего излучение в два соосных сходящихся гомоцентрических пучка в виде конических поверхностей с разными вершинными углами, фотоприемника 2, выполненного в виде многоканального двухкоординатного фотоприемного устройства, установленного в точке схождения гомоцентрических пучков, и регистратора 3, связанного с фотоприемником 2.
Измерение толщины листового стекла осуществляется при помощи предлагаемого устройства следующим образом. Коллимированный лазерный пучок, преобразованный формирователем 1, направляют на исследуемую стеклянную пластину, в результате чего в плоскости регистрации получают картину световых колец, геометрические размеры, форма и расположение которых характеризуют параметры исследуемого плоского стекла. Фотоприемник 2 преобразует распределение плотности энергии лазерного излучения в плоскости регистрации (световые кольца) в электрические сигналы, которые затем поступают в регистратор 3 для последующей обработки и расчета параметров исследуемого стекла. По диаметрам световых колец, образовавшихся в плоскости регистрации, рассчитывают коэффициент преломления стекла и его толщину по формулам
Figure 00000002

Figure 00000003

где d1, d2 - диаметры первого и второго световых колец,
t - толщина стекла,
u1, u2 - углы схождения первого и второго световых пучков (вершинные углы),
n - коэффициент преломления стекла.
По смещению центра световых колец с оптической оси определяют клиновидность стеклянной пластины:
k = s/l(n-1),
где s - смещение центра световых колец,
l - расстояние от стеклянной пластины до плоскости регистрации.
Формирователь 1 излучения может быть выполнен, например, в виде соосно расположенных концентрических кольцевых диафрагм разного диаметра и линзового объектива. Фотоприемник 2 может быть выполнен на базе матричного преобразователя с самосканированием на принципе переноса заряда, например полупроводниковая матрица 1200ЦМ, регистратор 3 - на базе ПЭВМ.
Таким образом, предлагаемое техническое решение позволяет повысить точность измерения толщины стекла, дополнительно измерять коэффициент преломления стекла, а также такие параметры, как клиновидность и локальные отклонения поверхности стекла от плоскости.

Claims (2)

1. Способ измерения толщины листового стекла, заключающийся в том, что на стекло направляют пучок света и по смещению прошедшего через стекло пучка света определяют толщину стекла, отличающийся тем, что пучок света формируют в виде конической поверхности, дополнительно направляют на стекло второй аналогичный пучок света, соосный с первым, с углом схождения, отличным от первого, образующий с первым сходящийся гомоцентрический пучок света, по диаметрам световых колец, образующихся в плоскости регистрации, расположенной в точке схождения пучков перпендикулярно их оси, определяют толщину и коэффициент преломления стекла, по смещению оси пучков определяют клиновидность стекла, по локальным искажениям регистрируемых колец оценивают отклонения поверхности стекла от плоскости.
2. Устройство для измерения толщины листового стекла, содержащее расположенные на одной оптической оси формирователь излучения и фотоприемник, связанный с регистратором, отличающееся тем, что формирователь выполнен таким образом, что позволяет преобразовать излучение в два соосных, сходящихся гомоцентрических пучка в виде конических поверхностей с разными углами схождения, а фотоприемник выполнен в виде многоканального двухкоординатного фотоприемного устройства, установленного в точке схождения гомоцентрических пучков.
RU98101184/28A 1998-01-09 1998-01-09 Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления RU2146355C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98101184/28A RU2146355C1 (ru) 1998-01-09 1998-01-09 Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98101184/28A RU2146355C1 (ru) 1998-01-09 1998-01-09 Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98101184A RU98101184A (ru) 1999-10-27
RU2146355C1 true RU2146355C1 (ru) 2000-03-10

Family

ID=20201476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98101184/28A RU2146355C1 (ru) 1998-01-09 1998-01-09 Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2146355C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107121095B (zh) 一种精确测量超大曲率半径的方法及装置
US4991971A (en) Fiber optic scatterometer for measuring optical surface roughness
CN101210806B (zh) 基于辅助光源的激光发射轴与机械基准面法线沿方位轴方向角度偏差及俯仰角度偏差的测量方法
CN204831220U (zh) 氟化钙平晶两面平行度高精度测试装置
CN102759332A (zh) 散射计量装置及其计量方法
CN109238659A (zh) 一种基于实验光线追迹原理的透镜焦距测量技术与装置
CN106052585A (zh) 一种面形检测装置与检测方法
CN102087483A (zh) 一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统
CN110736721B (zh) 基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法
CN103344416A (zh) 一种体全息透射光栅衍射效率测试仪
CN112485805A (zh) 一种激光三角位移传感器及其测量方法
CN103226240B (zh) 一种多通道正入射成像系统及其装调方法
CN103245488B (zh) 一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪
RU2146355C1 (ru) Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления
CN216770672U (zh) 一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统
CN108572160B (zh) 一种折射率分布测量的折光计
CN106325000B (zh) 一种位置测量系统
KR102008253B1 (ko) 간섭계 기반의 다채널 광 계측기
JPH0233089B2 (ru)
JPS62144014A (ja) 光電式位置検出装置
JP7289780B2 (ja) 偏芯計測方法および偏芯計測装置
JPS60247133A (ja) モアレ縞によるレンズの焦点距離測定法
JPS57199909A (en) Distance measuring device
JP2523156B2 (ja) 屈折角測定方法及び屈折率分布測定装置
SU1543308A1 (ru) Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов зеркального отражени

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20060110