JPH0532232Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案はダイボンダーにおいてペーストを滴下
するデイスペンサー部に用いるデイスペンサー用
ノズルに関する。

［従来の技術］ 半導体装置の製造工程には、リードフレーム、
基板等（以下リードフレームで総称する）にペレ
ツトを固着させるダイボンデイング工程がある。
このダイボンデイング工程は次のようにして行わ
れる。まずリードフレーム上にデイスペンサー用
ノズルでペーストを滴下する。次にペーストが滴
下されたリードフレーム上にペレツトをダイボン
ダーで圧着する。これにより、ペーストは伸ばさ
れて広がり、ペレツトはぺーストを介してリード
フレームに固着される。このようにペレツトをペ
ーストに押付けてペーストを伸ばした場合、この
伸ばされたペーストはペレツトの側面の全周に均
等に盛り上るのが最も好ましい。

ところで、従来のデイスペンサー用ノズルは単
にペーストを吐出させる丸又は四角のノズル孔が
中央に設けられた注射針のような構造よりなる。
従つて、リードフレーム上にペーストを一定量滴
下すると、ダンゴ状態に滴下される。

［考案が解決しようとする問題点］ 従来のデイスペンサー用ノズルによつて滴下さ
れたペーストはダンゴ状態に滴下されるので、ペ
レツトをボンデイングする時、ペーストが万遍に
広がらない状態がある。これにより、ダイボンデ
イング時にボンデイング不着という問題が起る。
またノズル先端と滴下した位置との間に納豆のよ
うに糸引き現象が生じ、一定量以上滴下された
り、次の滴下部分へ引きずり、製品価値を劣化さ
せるとか、ペレツトの上面にはみ出すなどの悪影
響を及ぼす。

本考案の目的は、ペーストがペレツトの下面に
万遍なく広がるようにペースト滴下を行うことが
できると共に、ペーストの糸引き現象の生じない
デイスペンサー用ノズルを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、ダイボンダーにおい
てリードフレーム等に下面を接触させてペースト
を滴下するデイスペンサー部に用いるデイスペン
サー用ノズルにおいて、弾性部材よりなり、下面
を円弧状に突出して形成し、かつ下面にノズル孔
を中心として十字状の溝を形成したことにより解
決される。

［作用］ ノズルの下面をリードフレームに接触させ、ノ
ズル孔よりペーストを吐出させると、ペーストは
十字状の溝に沿つて広がるので、ノズルをリード
フレームより離すと、リードフレーム上にはペー
ストが十字状に、かつ中央が盛り上つて滴下され
る。この場合、リードフレームのペレツト固着部
分のペレツト対角線方向に十字状にペーストが滴
下されるようにする。これにより、ペレツトをペ
ーストに押付けた場合、ペーストの中央部分がペ
レツトの側面の中央部分に伸ばされると共に、十
字状のペーストの先端部分もペレツトのコーナ部
に伸ばされるので、ペーストはペレツトの側面の
全周にほぼ均一に盛り上る。またノズルは弾性部
材よりなるので、ノズルをリードフレームより持
ち上げた時、ノズルの下面の弾性復帰による反発
力によりペーストの糸が切りちぎられ、ペースト
の糸引き現象が防止される。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例を第１図により説明す
る。ノズル１の中央にはテーパ状で下端側がスト
レート状をしたノズル孔２が形成されている。ノ
ズル１の下面３は円弧状に突出して形成され、か
つ下面３にはノズル孔２を中心として十字状の溝
４が形成されている。また十字状の溝４の両側よ
り一定幅残して逃げ溝５が形成されている。

このような形状よりなるノズル１は、第２図及
び第３図に示すように、デイスペンサー部１０に
設けられた図示しない上下駆動機構で上下駆動さ
れるペースト滴下アーム１１の先端に取付けて用
いられる。ダイボンデイングヘツド部１２はデイ
スペンサー部１０に隣接して設けられており、先
端に吸着ノズル１３を保持したボンデイングアー
ム１４を上下及びXY方向に駆動する上下駆動機
構及びXY駆動機構を備えている。リードフレー
ム１５はローダ部１６から案内レール１７に供給
され、図示しない送り手段で案内レール１７に沿
つてノズル１によるペースト滴下ポジシヨン、吸
着ノズル１３によるダイボンデイングポジシヨン
に順次間欠的に送られ、アンローダ部１８に収納
される。

次に第４図を参照しながらペースト滴下及びダ
イボンデイングの作用について説明する。リード
フレーム１５が送られてペースト滴下ポジシヨン
に位置決めされると、ペースト滴下アーム１１に
よつてノズル１が下降してその下面３をリードフ
レーム１５に接触させ、ペーストを吐出させる。
これによりペーストは十字状の溝４に沿つて広が
る。そこで、ノズル１を上昇させると、第４図ａ
に示すようにリードフレーム１５上にはペースト
２０が十字状に、かつ中央が若干盛り上つて滴下
される。この場合、十字状のペースト２０は固着
されるペレツト２１の対角線に向くように滴下さ
せる。

次にペースト２０が滴下されたリードフレーム
１５はダイボンデイングポジションに送られて位
置決めされる。ここで、吸着ノズル１３はリード
フレーム１５が送られてくる前に、ダイボンデイ
ングヘツド部１２の上下駆動機構及びXY駆動機
構により駆動され、図示しないペレツト載置部よ
りペレツト２１を吸着保持してダイボンデイング
ポジシヨンの真上で待機している。そこで、前記
のようにリードフレーム１５が送られてくると、
ボンデイングアーム１４によつて吸着ノズル１３
が下降し、ペレツト２１をペースト２０上に圧着
させる。この場合、第４図ａのようにペレツト２
１のコーナ部の近くにペースト２０の十字状部分
の先端が伸びているので、ペースト２０の中央部
分がペレツト２１の側面の中央部分に伸ばされた
時には、十字状の先端部分もペレツト２１のコー
ナ部分に伸ばされることになり、第４図ｂに示す
ようにペレツト２１の下面に万遍にペースト２０
は広がり、リードフレーム１５とペレツト２１と
の間に隙間がなくなる。従つてペレツト２１の側
面の全周に亘つて均一にペースト２０が盛り上
る。またこの場合、１箇所の滴下であるので、空
気を巻き込むことがない。

第５図は本考案になるノズル１の他の実施例を
示す。本実施例は、十字状の溝４の幅が先端で広
がつた形状に形成されている。第６図は本考案に
なるノズル１の更に他の実施例を示す。本実施例
は十字状の溝４の深さが下面３の突出形状に沿つ
た円弧状に形成されている。このように形成して
も前記実施例と同様の効果が得られる。

ところで、ノズル１の材質は実験の結果、硬度
が30〜100（JIS規格Hs）のゴム材でノズル１を製
作したところ、ペーストの糸引き現象が生じなか
つた。これは、ノズル１をリードフレーム１５よ
り持ち上げた時、ノズル１の下面３の弾性復帰に
よる反発力によりペーストの糸が切りちぎられる
ものと思われる。特にノズル１の材質はゴム材に
限られるものではなく、他の弾性部材でもよい。

［考案の効果］ 以上の説明から明らかなように、本考案になる
デイスペンサー用ノズルは、下面を円弧状に突出
して形成し、かつ下面にノズル孔を中心として十
字状の溝を形成してなるので、ペーストがペレツ
トの下面に万遍なく広がるようにペースト滴下を
行うことができる。またノズルは弾性部材よりな
るので、ペーストの糸引き現象が防止される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示し、ａは断面
図、ｂは底面図、ｃは上面図、第２図はダイボン
ダーの概略平面図、第３図はペースト滴下アーム
のノズル取付け部の側面図、第４図ａ，ｂは第１
図に示すノズルを用いた場合におけるペレツトボ
ンデイング工程の説明図、第図５は本考案になる
ノズルの他の実施例を示し、ａは断面図、ｂは底
面図、第６図は本考案になるノズルの更に他の実
施例を示し、ａは断面図、ｂは底面図である。 １……ノズル、２……ノズル孔、３……下面、
４……十字状の溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ダイボンダーにおいてリードフレーム等に下面
   を接触させてペーストを滴下するデイスペンサー
   部に用いるデイスペンサー用ノズルにおいて、弾
   性部材よりなり、下面を円弧状に突出して形成
   し、かつ下面にノズル孔を中心として十字状の溝
   を形成したことを特徴とするデイスペンサー用ノ
   ズル。