JPH0531653A - 非接触倣い制御方式 - Google Patents

非接触倣い制御方式

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JPH0531653A
JPH0531653A JP3208814A JP20881491A JPH0531653A JP H0531653 A JPH0531653 A JP H0531653A JP 3208814 A JP3208814 A JP 3208814A JP 20881491 A JP20881491 A JP 20881491A JP H0531653 A JPH0531653 A JP H0531653A
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optical distance
light receiving
distance sensor
model
sensor
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JP3208814A
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Hitoshi Matsuura
仁 松浦
Eiji Matsumoto
英治 松本
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Fanuc Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 モデル形状の段差に対処できる非接触倣い制
御方式を提供すること。 【構成】 倣い制御中にモデル6上の受光位置Paが光
学式距離センサ5aの検出可能範囲PAを外れ、光学式
距離センサ5aからダークアラームが入力されると、光
学式距離センサ5a,5bが段差7の壁面を検出してダ
ークアラームが解除されるまでトレーサーヘッド4を回
転して光学式距離センサ5aの距離測定機能を回復し
(S3,S4)、更に、光学式距離センサ5a,5bの
距離測定機能を回復した状態でトレーサーヘッド4を段
差7に対し倣い方向に相対移動してトレーサーヘッド4
と段差7の壁面とのクリアランスを規定値Lに略一致さ
せてから再び倣い制御を再開することにより(S7〜S
10)、段差部に沿った倣い加工の実現を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学式距離センサの光
軸とモデル面とのなす角を略一定の値に保持して非接触
倣い制御を行う非接触倣い制御方式の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】トレーサーヘッドの先端に半導体レーザ
や発光ダイオード等を用いた光学式距離センサを装着
し、トレーサーヘッドの先端とモデル面との距離が一定
の値になるようにフィードバック制御を行いながらモデ
ル面の形状を検出するようにした非接触倣い制御装置が
既に公知である。しかし、半導体レーザや発光ダイオー
ド等と受光素子とで構成される光学式距離センサにおい
ては、モデル面の傾きや形状の変化等により照射光や反
射光の光路が様々に変化するため、必ずしも正確な距離
測定が行われるとは限らなかった。
【0003】このような不都合を解消するため、本出願
人は、垂直軸に対し回転可能に配備されたトレーサーヘ
ッドに2組の光学式距離センサを一定角度で配設すると
共に、この光学式距離センサによるサンプリング処理で
モデル面の法線ベクトルを検出して、光学式距離センサ
の光軸がモデル面の法線ベクトルと常に略一致するよう
な位置にトレーサーヘッドの回転角度を制御することに
より、光学式距離センサとモデル面との位置関係を一定
の状態に保って倣い加工を行うようにした非接触倣い制
御装置を特願平1−194500号および特願平1−3
28777号として既に提案している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】特願平1−19450
0号および特願平1−328777号で提案された非接
触倣い制御装置によれば光学式距離センサとモデル面と
の位置関係を常に一定の状態に保つことができるので、
従来品に比べてより正確な倣い加工を行うことが可能と
なるが、モデル面の形状が不連続状態となる場合、受光
位置の検出が不能となる場合がある。例えば、モデル面
の段差等によって光学式距離センサとモデル面との距離
が飛躍的に変化し、モデル面が照射光と平行またはそれ
以上に変化し、照射光がモデル面上にあたらなくなるよ
うな場合には、光学式距離センサによる受光位置の検出
が不能となり、光学式距離センサの回転位置制御や倣い
制御に支障をきたす。
【0005】そこで、本発明の目的は、モデル面の形状
が段差等のために不連続状態となったような場合でも、
光学式距離センサの位置検出機能を自動的に回復し、倣
い制御を継続して行うことのできる非接触倣い制御方式
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の非接触倣い制御
方式は、テーブルを通る垂直軸に対し光軸のなす角を一
定に保って前記垂直軸の周りに回動可能に装着された光
学式距離センサの回転位置を制御して非接触倣い制御を
行う非接触倣い制御方式であり、倣い制御中にモデル上
の受光位置が光学式距離センサの検出範囲を外れると光
学式距離センサの回転位置制御と倣い制御とを一旦停止
し、モデル上の受光位置が光学式距離センサの検出範囲
に入るまで光学式距離センサを回転した後、光学式距離
センサとモデル面上の受光位置との距離が設定範囲に収
まるまで光学式距離センサからの検出情報に基いてテー
ブルを移動してから、光学式距離センサの回転位置制御
と倣い制御を再開するようにしたことを特徴とする構成
を有する。
【0007】
【作用】テーブルを通る垂直軸に対し光軸のなす角を一
定に保って回動可能に装着された光学式距離センサの回
転位置を制御して非接触倣い制御を行う。
【0008】倣い制御中にモデル上の受光位置が光学式
距離センサの検出範囲を外れると、光学式距離センサの
回転位置制御と倣い制御とを一旦停止し、モデル上の受
光位置が光学式距離センサの検出範囲に入るまで光学式
距離センサを回転した後、光学式距離センサとモデル面
上の受光位置との距離が設定範囲に収まるまで光学式距
離センサからの検出情報に基いてテーブルを移動して、
光学式距離センサの回転位置制御と倣い制御を再開す
る。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図1は本発明の方式を適用した一実施例の非接触
倣い制御装置1および該制御装置1で駆動制御される工
作機械3の構成を概略で示すブロック図である。
【0010】工作機械3は、概略において、加工ヘッド
部36とワーク載置部37とからなり、加工ヘッド部3
6には、エンドミル等の工具34を駆動する図示しない
主軸モータと、加工ヘッド部36全体をワーク載置部3
7に対して相対的に上下移動するZ軸サーボモータ32
zが設けられている。また、ワーク載置部37には、ワ
ーク35やモデル6を載置するためのテーブル31が配
備され、該テーブル31は、X軸サーボモータ32xお
よびY軸サーボモータ32yにより各軸の方向に移動さ
れる。
【0011】また、加工ヘッド部36の下面にはテーブ
ル31を通る垂直軸に沿ってトレーサーヘッド4が設け
られ、このトレーサーヘッド4の先端には、照射光の光
軸を基準として、光学式距離センサ5aおよび5bの各
々が、トレーサーヘッド4に対して共に角度φをなして
並列的に固定されている。光学式距離センサ5aおよび
5bの各々はトレーサーヘッド4を回転駆動するC軸サ
ーボモータ32cの駆動により、トレーサーヘッド4の
中心軸を構成するC軸りの周りにトレーサーヘッド4と
一定の角度φを保って一体的に回転する。C軸はテーブ
ル31を通る垂直軸であってZ軸と平行であり、加工ヘ
ッド部36と一体的に上下移動する。
【0012】光学式距離センサ5aおよび5b自体は半
導体レーザや発光ダイオード等の照射手段とCCD等の
受光素子とからなる通常の光学式距離センサであり、受
光素子上での反射光の位置データと照射角度とに基いて
該センサ5a,5bからモデル6上の受光位置までの距
離を求めるものである。従って、従来品と同様、センサ
5a,5bとモデル6の表面との距離が飛躍的に変化し
たような場合では、照射光の傾きのためモデル6上の受
光位置が著しく変位して、モデル6上の受光位置を受光
素子上に検出することができなくなるという構成上の欠
点がある。実施例においては、光学式距離センサ5aの
照射光がC軸と交叉するときの光学式距離センサ5aの
距離測定値Laに対応するトレーサーヘッド4とモデル
6表面との距離L、より厳密に云えば、この状態におけ
るトレーサーヘッド4の最先端位置から光学式距離セン
サ5aの照射によるモデル6上の受光位置P1に至るC
軸方向の距離Lを、モデル6とトレーサーヘッド4との
間のクリアランスとして規定している(図2参照)。
【0013】また、非接触倣い制御装置1は制御手段と
してのマイクロプロセッサ11を有し、マイクロプロセ
ッサ11には、工作機械3の駆動制御やトレーサーヘッ
ド4による倣い制御等を実施するための各種のシステム
プログラムを格納したROM12や、光学式距離センサ
5aおよび5bからの距離測定値La′やLb′等のデ
ータを一時記憶するRAM13、および、各種のパラメ
ータや倣い方向およびテーブル移動速度(倣い速度)等
の設定データを記憶する不揮発性メモリ14、ならび
に、データ入力手段としての操作盤2を取り付けたイン
ターフェース15等がバス10を介して接続されてい
る。
【0014】非接触倣い制御装置1と工作機械3との関
係において、各軸のサーボモータ32x,32y,32
zの各々は、各軸のD/A変換器17x,17y,17
zを介してマイクロプロセッサ11から入力された各軸
の速度指令Vx,Vy,Vzにより各軸のサーボアンプ
18x,18y,18zで回転駆動され、各軸に配備さ
れたパルスコーダ33x,33y,33zは各軸の所定
回転毎にフィードバックパルスFPx,FPy,FPz
を出力して各軸の現在位置レジスタ19x,19y,1
9zに入力し、各軸の現在位置レジスタ19x,19
y,19zは、各軸の回転方向に応じてフィードバック
パルスFPx,FPy,FPzを積算的に加算または減
算記憶して各軸の現在位置データXa,Ya,Zaを求
め、これらの値をマイクロプロセッサ11に入力するよ
うになっている。また、光学式距離センサ5aおよび5
bは所定のサンプリング周期毎に制御回路21a,21
bを介してマイクロプロセッサ11から入力される測定
指令により距離測定を実行し、各々の距離測定値La′
およびLb′をA/D変換器16aおよび16bを介し
てマイクロプロセッサ11に入力し、マイクロプロセッ
サ11は各々の測定結果La′およびLb′が入力され
る毎に各軸の現在位置レジスタ19x,19y,19z
の値とトレーサーヘッド4の回転現在位置、即ち、C軸
用サーボモータ32cに対応して配備された現在位置レ
ジスタの値を1対1に対応させ、少なくとも、最近の2
回分のサンプリング結果を循環的にRAM13に保存す
る。
【0015】かかる構成において、テーブル31上にモ
デル6とワーク35を載置固定し、トレーサーヘッド4
の先端がモデル6上のトレース開始点に近接するように
テーブル31および加工ヘッド36をセッティングした
後、操作盤2を介して不揮発性メモリ14に倣い方向や
テーブル移動速度(倣い速度)等を設定入力して加工開
始キーを操作すると、マイクロプロセッサ11はROM
12の制御プログラムに従って工作機械3の倣い制御を
開始する。
【0016】倣い制御を開始したマイクロプロセッサ1
1は不揮発性メモリ14に設定された倣い方向やテーブ
ル移動速度等に基いてテーブル31に関する各軸の速度
指令Vx,Vyを出力し、各軸のD/A変換器17x,
17yとサーボアンプ18x,18yを介して各軸のサ
ーボモータ32x,32yを駆動制御してテーブル31
にX−Y平面内の送りを掛ける。同時に、マイクロプロ
セッサ11は光学式距離センサ5aおよび5bによる距
離測定値La′およびLb′を所定のサンプリング周期
毎に検出し、モデル6とトレーサーヘッド4との間のク
リアランスLに対応する距離測定値Laと今回のサンプ
リング結果による光学式距離センサ5aの距離測定値L
a′との差を求め、この値をC軸(Z軸)方向の距離に
変換してクリアランスに関する位置偏差を算出すると共
に、この位置偏差に基いてZ軸サーボモータ32zへの
速度指令Vzを出力して、D/A変換器17zとサーボ
アンプ18zを介してZ軸サーボモータ32zを駆動制
御し、加工ヘッド36をテーブル37に対し相対的に上
下移動してモデル6の表面とトレーサーヘッド4とのク
リアランスが常に規定値Lとなるようにして、工具34
によりワーク35をモデル6と同形状に切削する。
【0017】この時、マイクロプロセッサ11は、所定
のサンプリング周期毎に、RAM13に記憶された前回
および今回分のサンプリングデータ、即ち、光学式距離
センサ5aおよび5bの距離測定値La′およびLb′
と各軸の現在位置レジスタ19x,19y,19zの
値、更に、トレーサーヘッド4の回転現在位置ならびに
光学式距離センサ5aおよび5b間のオフセットデータ
等を読込んで、前回と今回のサンプリング時における光
学式距離センサ5aおよび5bによるモデル6上の受光
位置の座標データを算出し、これら受光位置の座標デー
タに基いて、モデル6表面における現在の受光位置の法
線ベクトルを求め、該法線ベクトルをテーブル31のX
−Y平面に投影した位置までトレーヘサーヘッド4を回
転する回転指令scを出力し、D/A変換器17cおよ
びサーボアンプ18cを介してC軸サーボモータ32c
を駆動し、トレーヘサーヘッド4を法線ベクトルの投影
位置まで駆動して、光学式距離センサ5a,5bの照射
光の光軸が法線ベクトルと近似するような位置に移動さ
せる。
【0018】例えば、テーブル31が図1のX軸正方向
に送られている時にC軸が図3に2点鎖線で示されるよ
うな仮想位置にあり、光学式距離センサ5aおよび5b
によるモデル6上の今回の受光位置がPan=(Xan
,Yan,Zan )およびPbn =(Xbn ,Ybn ,
Zbn )であって、前回の受光位置がPan-1 =(Xa
n-1 ,Yan-1 ,Zan-1 )およびPbn-1 =(Xbn-
1 ,Ybn-1 ,Zbn-1 )であったとするなら、この
内、3つの受光位置Pan ,Pbn およびPan-1 のデ
ータを用いて2つの表面ベクトルVa=(Xa n-1−X
an ,Yan-1−Yan ,Za n-1−Zan )およびV
b=(Xb n−Xa n,Yb n−Ya n,Zb n−Za
n )を求め、表面ベクトルVaとVbの外積から法線ベ
クトルV=(Xn,Yn,Zn)を算出し、法線ベクト
ルVをテーブル31のX−Y平面に投影した位置までト
レーヘサーヘッド4が移動する回転指令、即ち、X軸か
らの回転角度がtan-1(Yn/Xn)となる回転指令
scを出力することとなる。
【0019】従って、光学式距離センサ5a,5bの照
射光の光軸が常にモデル6表面の法線ベクトルと略一致
するような位置にトレーサーヘッド4の回転位置が制御
され、しかも、モデル6の表面とトレーサーヘッド4と
のクリアランスが常に規定値Lに保たれることとなり、
次のサンプリング周期においても、照射光によるモデル
6上の受光位置Pa,Pbを図5(a)および(a′)
に示されるように、各光学式距離センサ5a,5bの受
光素子による検出可能範囲PA,PBに収めることがで
き、適応制御による正確な倣い加工の実施が可能とな
る。
【0020】しかし、モデル6の表面に図3に示すよう
な段差7が形成されていると、光学式距離センサ5a,
5bが段差7を越えた段階で光学式距離センサ5a,5
bとモデル6の表面との距離が図5(b)に示されるよ
うに飛躍的に変化するため、光学式距離センサ5a,5
bからの照射光によるモデル6上の受光位置Pa,Pb
が図5(b′)に示されるようにX−Y平面上で大きく
変位して光学式距離センサ5a,5bの受光素子による
検出可能範囲PA,PBから外れ、距離測定値La′お
よびLb′の検出が不能となってトレーサーヘッド4の
回転位置の制御や倣い加工のためのZ軸制御が不能とな
る場合がある。
【0021】そこで本実施例においては、所定のサンプ
リング周期毎に、倣い制御に直接関与する光学式距離セ
ンサ5aからのダークアラームの有無を検出し、光学式
距離センサ5aからのダークアラームが検出された場合
には、トレーサーヘッド4の回転位置の制御や倣い加工
のための各軸制御を一旦停止した後、位置検出機能を回
復するための処理を実施してモデル6上の受光位置Pa
を再び光学式距離センサ5aの検出可能範囲PA内に収
めるようにしている。なお、光学式距離センサ5bのみ
がダークアラームとなった場合には、ダークアラーム発
生以前のサンプリングデータを用いて法線ベクトルを算
出することにより、倣い制御を継続して行うことができ
る。
【0022】図4はROM12に格納された「位置検出
機能回復処理」の概略を示すフローチャートであり、以
下、このフローチャートを参照して本実施例に固有の処
理動作について説明する。
【0023】図示しない所定のサンプリング周期毎の判
別処理で光学式距離センサ5aからのダークアラームを
検出したマイクロプロセッサ11は各軸の駆動制御を一
旦停止して各軸の回転位置を現在位置に保持した後、ま
ず、ダークアラーム信号の有無を無視してC軸サーボモ
ータ32cに所定量の回転指令を出力する(ステップS
1)。トレーサーヘッド4のC軸が設定値θ1だけ回転
して光学式距離センサ5aの照射光が図5(c)および
(c′)に示されるように段差7のエッジ部7aの凹凸
による検出,非検出、即ち、ダークアラーム信号の出
力,非出力を繰り返す状態とならないような位置まで回
転させる(ステップS2)。
【0024】マイクロプロセッサ11は光学式距離セン
サ5a,5bを設定値θ1回転させた後、次いで、光学
式距離センサ5aからのダークアラームが解除されてい
るか否かを判別するが(ステップS3)、ダークアラー
ムが解除されていなければC軸サーボモータ32cに対
して所定時間毎に微小な回転指令Δθを出力し、トレー
サーヘッド4を低速で回転しつつ(ステップS4)、ス
テップS3の処理でダークアラームの停止を待つ。
【0025】そして、トレーサーヘッド4の低速回転に
より光学式距離センサ5aの照射光が段差7の壁面に照
射されるようになると、図5(d)および(d′)に示
されるように受光位置Paが再び光学式距離センサ5a
の検出可能範囲PA内に収まるようになり、光学式距離
センサ5aからのダークアラームが解除されることとな
る。なお、図5(d)および(d′)は、トレーサーヘ
ッド4を設定値θ1だけ回転させた後、光学式距離セン
サ5a,5bによる距離測定を実施しながらトレーサー
ヘッド4を更にk・Δθだけ回転させた段階で受光位置
Paが検出可能範囲PA内に入った状態を例示するもの
である。
【0026】ステップS3の判別処理でダークアラーム
の解除を検出したマイクロプロセッサ11は、C軸サー
ボモータ32cに所定の回転指令を出力し(ステップS
5)、トレーサーヘッド4のC軸を更に設定値θ2だけ
回転させることによりモデル6上の受光位置Pa,Pb
を移動させ、図5(e)および(e′)に示されるよう
にダークアラーム解除直後よりも更に受光状態を安定さ
せる。
【0027】但し、この状態における光学式距離センサ
5aと壁面の受光位置Paとの間の距離La′は光学式
距離センサ5aにおける規定の距離測定値Laとは一致
せず、トレーサーヘッド4の先端と受光位置Paとの間
の距離もクリアランスLとは一致していない。
【0028】そこで、トレーサーヘッド4の先端と受光
位置Paとの間の距離をクリアランスLと一致させ、倣
い加工再開時の動作を安定させるため、照射光の光軸を
倣い平面に投影した照射方向に移動させることになる。
【0029】光学式距離センサ5aの受光状態の安定を
ステップS6の判別処理で検出したマイクロプロセッサ
11は、まず、光学式距離センサ5aからの距離測定値
La′の値を検出し、該La′の値が規定の距離測定値
Laに対して設定された許容値La+εよりも大きいか
否かを判別し(ステップS7)、大きければ、照射光の
光軸を倣い平面に投影した照射方向にモデル6に対しト
レーサーヘッド4を微小速度で相対的に接近させ(ステ
ップS9)、また、光学式距離センサ5aからの距離測
定値La′の値が規定の距離測定値Laに対して設定さ
れた許容値La−εよりも小さければ(ステップS
8)、トレーサーヘッド4を段差7の壁面から微小速度
で離間させて(ステップS10)、光学式距離センサ5
aと壁面の受光位置Paとの間の距離La′の値をLa
−ε<La′<La+εの範囲に収め、トレーサーヘッ
ド4の先端と受光位置Paとの間の距離を所定のクリア
ランスLと略一致させて、光学式距離センサ5a,5b
の位置検出機能および段差7とトレーサーヘッド4との
間のクリアランスを回復した後、距離測定精密化のため
のトレーサーヘッド4の回転位置の制御と倣い加工のた
めの各軸の制御を再開し、倣い加工を継続して実行す
る。
【0030】ステップS2,ステップS5におけるトレ
ーサーヘッド4の設定回転角度θ1,θ2はモデル6の
表面形状等に応じて任意に設定することができるが、図
3に示されるような倣い形状および倣い方向の例ではθ
1を90°程度、また、θ2を45°程度に設定するの
が一般的である。
【0031】また、トレーサーヘッド4の回転位置の制
御や倣い加工のための各軸の制御を一旦停止した後トレ
ーサーヘッド4を強制的に360°回転させ、この間に
所定の角度刻みで光学式距離センサ5aからのダークア
ラームの有無を検出してダークアラームがOFFとなる
角度区分を求めると共に、ダークアラームが連続的にO
FFとなる最長の角度区分の始点と終点を検出して該角
度区分の中心角度を求めることにより、光学式距離セン
サ5aの受光状態が最も安定する位置を検出し、再びこ
の中心角度までトレーサーヘッド4を回転させてからス
テップS7以降の処理を開始するようにしてもよい。こ
の場合、トレーサーヘッド4の回転角度θ1,θ2を設
定する必要はない。図5に示されるような例では、トレ
ーサーヘッド4の回転角度がθ1近傍に位置する角度区
分と、θ1+k・Δθ〜180°−(θ1+k・Δ)の
角度区分、および、180°−θ1近傍の角度区分がダ
ークアラームOFFの角度区分として検出されるが、ダ
ークアラームが連続的にOFFとなる最長の角度区分と
いう前提により、エッジ部7aの乱反射を検出したθ1
近傍および180°−θ1近傍の角度区分は排除され、
ダークアラームが連続的にOFFとなる最長の角度区分
θ1+k・Δθ〜180°−(θ1+k・Δ)の中心角
度が検出される。つまり、〔(θ1+k・Δθ)+{1
80°−(θ1+k・Δ)}〕/2=90°の値が検出
され、この値は、X−Y平面内で光学式距離センサ5
a,5bの光軸が段差7の壁面と直交する位置にトレー
サーヘッド4を回転する角度であり、光学式距離センサ
5a,5bの受光状態が最も安定する位置である。
【0032】
【発明の効果】本発明による非接触倣い制御方式は、モ
デル上の受光位置が光学式距離センサの検出可能範囲を
越えた段階で倣い制御のための処理を一旦中止し、モデ
ル上の受光位置が光学式距離センサの検出範囲に入るま
で光学式距離センサを自動的に回転して光学式距離セン
サの受光機能を回復した後、更に、受光機能が回復され
た状態で光学式距離センサとモデル上の受光位置との距
離を一定にしてから倣い制御を再開するようにしたの
で、モデル形状の段差等によって光学式距離センサの機
能が一時的に失われたような場合であっても、これを自
動的に回復し、適切な習い加工を継続して行うことが可
能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の方式を適用した一実施例の非接触倣い
制御装置と工作機械の構成を概略で示すブロック図
【図2】同実施例におけるトレーサーヘッドの概略を示
す斜視図
【図3】倣い加工の一例を示す斜視図
【図4】同実施例の非接触倣い制御装置による位置検出
機能回復処理の概略を示すフローチャート
【図5】同実施例の位置検出機能回復処理における作用
原理を説明する図であって、(a)〜(e)は側面図、
(a′)〜(e′)は受光素子の視野を基準として見た
平面図である
【符号の説明】
1 非接触倣い制御装置 3 工作機械 4 トレーサーヘッド 5a 光学式距離センサ 5b 光学式距離センサ 6 モデル 7 段差 11 マイクロプロセッサ 12 ROM 31 テーブル 32c トレーサーヘッド回転用のサーボモータ 35 ワーク L クリアランス Pa 受光位置 Pb 受光位置 PA 検出可能範囲 PB 検出可能範囲
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G05D 3/00 J 9179−3H

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 テーブルを通る垂直軸に対し光軸のなす
    角を一定に保って前記垂直軸の周りに回動可能に装着さ
    れた光学式距離センサの回転位置を制御して非接触倣い
    制御を行うと共に、倣い制御中にモデル上の受光位置が
    光学式距離センサの検出範囲を外れると、光学式距離セ
    ンサの回転位置制御と倣い制御とを一旦停止して、モデ
    ル上の受光位置が光学式距離センサの検出範囲に入るま
    で光学式距離センサを回転した後、光学式距離センサと
    モデル面上の受光位置との距離が設定範囲に収まるまで
    光学式距離センサからの検出情報に基いてテーブルを移
    動してから、光学式距離センサの回転位置制御と倣い制
    御を再開するようにしたことを特徴とする非接触倣い制
    御方式。
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