JPH01153253A - 非接触倣い方法 - Google Patents

非接触倣い方法

Info

Publication number
JPH01153253A
JPH01153253A JP62312913A JP31291387A JPH01153253A JP H01153253 A JPH01153253 A JP H01153253A JP 62312913 A JP62312913 A JP 62312913A JP 31291387 A JP31291387 A JP 31291387A JP H01153253 A JPH01153253 A JP H01153253A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
distance
contact
optical axis
contact copy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62312913A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2542653B2 (ja
Inventor
Hitoshi Matsuura
仁 松浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP62312913A priority Critical patent/JP2542653B2/ja
Priority to US07/392,921 priority patent/US4949024A/en
Priority to PCT/JP1988/001194 priority patent/WO1989005212A1/ja
Priority to DE3850391T priority patent/DE3850391T2/de
Priority to EP88910125A priority patent/EP0353302B1/en
Publication of JPH01153253A publication Critical patent/JPH01153253A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2542653B2 publication Critical patent/JP2542653B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q35/00Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually
    • B23Q35/04Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually using a feeler or the like travelling along the outline of the pattern, model or drawing; Feelers, patterns, or models therefor
    • B23Q35/08Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work
    • B23Q35/12Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means
    • B23Q35/127Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means using non-mechanical sensing
    • B23Q35/128Sensing by using optical means
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37425Distance, range
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37554Two camera, or tiltable camera to detect different surfaces of the object

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Machine Tool Copy Controls (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分舒〉 本発明は非接触倣い方式に係り、特に距離測定プローブ
を傾けて倣いを行う非接触倣い方式に関する。
〈従来技術〉 レーザ測長プローブのような非接触で距離が測定できる
プローブセンサ(距離測定プローブ)によりモデル面を
なられせて該モデル通りの倣い加工を行ったり、あるい
はモデル面データをデジタイジングする非接触倣い方式
がある。
かかる非接触倣いにおいて用いられる距離測定プローブ
は一般に基準距離り。を持っており、実際の測定距離り
と基準距離L0の差を誤差量ΔLとして出力できるよう
になっている。
第9図は非接触倣いの説明図であり、モデルMDLを倣
うものとし、又A、B、C点を適当に選ばれtこサンプ
リング点とした場合、まずA点での距$L1(=L0+
ΔL、)を測定しこれが基準距離L0に比べてΔL、た
け誤差がある時、その誤差分だけ測定軸方向(光軸方向
)に補正動作を掛けながら次のサンプリング点Bに向か
う。そして、B点におけろ誤差量ΔL2を求めて同様に
該誤差分だけ補正するように0点に向かい、以後同様な
処理を行うことによりモデル面を非接触で倣う。
ところで、非接触の距離測定プローブとしては、たとえ
ば光学的三角測距方式を採用したものがあり、かかるプ
ローブでは発光素子(半導体レーザ)から出たレーザ光
が投光し・ンズを介してモデル表面に照射され、その際
に拡散反射した光線の一部が受光レンズを介して位置検
出素子上にスポットを作り、該スポット位置がモデル表
面上の距離に応じて変化することにより距離が測定され
るようになっている。尚、受光レンズに十分の光量が入
力されないと正確な距離測定ができなくなる。
このため、距離測定プローブPBには正確に距離を測定
できる範囲があり、第10図において基準距1iStL
o+lの範囲が測定可能範囲MSRとなる。
又、距に#測定プローブPBには正確に距am定できろ
モデル面傾斜角度θ(第11図参照)の限界値があり、
該限界値以上の傾斜角度を有する面迄の距離は正確に測
定できない。
このため、第12図に示すようにモデルMDLに直角に
近い壁(上り、下りを問わない)WALが存在する場合
において、距離測定プローブPBがA→Bと移動すると
コーナ部Pで距離が測定できなくなる。そして、距離測
定が不可能になると従来(よ、逆方向にプローブPBを
戻し、極端に速度を落として再びA→B方向にプローブ
を移動させ、かつプローブを上下させて測定可能になる
位置を捜し、測定可能位置が求まれば該位置から通常の
非接触倣いを再開するようになっている。
〈発明が解決しようとしている問題点〉しかし、かかる
従来の非接触倣い方法においては、距離測定不能になる
と正常の非接触倣いが再開される迄に相当の時間が掛り
、高速の非接触倣い加工や高速の非接触倣いによるデジ
タイジングができないという問題がある。
又、従来の方法では非接触倣いができない範囲が大きく
なるという問題もある。
9上から、本発明の目的は距離測定不能となっても、短
時間に正常の非接触倣いを再開することができ、しかも
倣い不可能な範囲を減少することができる非接触倣い方
式を提供することである。
く問題点を解決するための手段〉 第1図は本発明方式の説明図である。
MDLは上り、下りの壁WALI〜WAL4を有するモ
デル、PBは距III測定プローブ p1〜P3は距−
測定不能点である。
く作用〉 距離測定プローブPBの光軸を垂直軸から角度θ傾けて
非接触倣いを行い、ポイントP2に到達して距離測定不
能となった場合に(よ距離測定プローブPBの移動を停
止する□と共に、該距離測定プローブを回転させて光軸
を垂直方向から逆方向にθ傾け、しかる後非接触倣いを
再開する。
〈実施例〉 第2図は本発明の非接触倣い方式を実現するシステムの
プローブ図である。
11は倣い制御装置、122,12Xは倣い制御装置か
ら発生するデジタルの各軸速度信号v2.”VxGDA
変換するDA変換器、132,13Xは各軸のサーボ回
路、142,14XはZ軸及びX軸駆動用のモータ、1
52,15Xは対応するモータが所定角度回転する毎に
検出パルスP2.Pxを発生する位置検出用のパルスコ
ーグ、16Z。
16Xは対応するパルスコーグから発生するパルスを移
動方向に応じて可逆計数して各軸現在位置ZA、xAを
監視する各軸現在位置レジスタ、17はレーザを用いて
非接触でモデル表面上の距離を測定できろ距l1il!
測定プローブ(第1図におけろ距離測定プローブPB−
に対応)、18は倣い制御装置からの回転指令RDSに
よりプローブ17を回転させるプローブ回転駆動部であ
る。
倣い制御装置11はコンピュータ構成になっており、プ
ロセッサ(CPU)11 a1プログラムメモIJ (
ROM)  1 l b、各種演算結果等を記憶するR
AM11cを備え、非接触倣いやデジタ・イジング処理
ができるようになっている。尚、第2図のブロック図に
はY軸に関係する部分は省略しているが当然Y軸につい
ても他の軸と同様の構成を有しているものである。
r!r!離測定プローゴ17は、垂直軸からの光軸の傾
きを変更できるようになっており、垂直軸から倣い進行
方向への傾きの符号をプラスとすれば、最初−θ(たと
えばθ=30°)の状態で非接触倣いを行い(第1図参
照)、距離測定不能となる毎に(ポイントP −P に
おいて)−θ→+θあるいは+θ−−θへ光軸の傾きを
変更する。第3図及び第4図は光軸の傾きを変更させる
機構の原理説明図であり、第3図はレールRLに沿って
機械的にプローブ17を移動させることによりモデルM
DL上の測定点Pを変更することなく光軸を進行方向に
±θの間で変更させるものであり、第4図は水平に配設
された円形レールRL’に沿ってプローブを180°回
転させることによりモデルMDL上の測定点Pを変更す
ることなく光軸を進行方向に十〇の間で変更させるもの
である。
又、距離測定プローブ17は、検出光量が設定値以上か
チエツクし、換言すれば正しく距離測定可能かをチエツ
クし、検出光量が設定値以上であればハイレベルの距離
測定可能信号DMSを出力するようになっている。
以下、非接触倣いを行いながらデジタイジングする場合
について本発明を説明する。尚、初期時、距離測定プロ
ーブ17の光軸を垂直軸から一θ傾けておく (第1図
参照)。
非接触ならいの起動が掛かつて、プローブ17から測定
距glLが入力されると、プロセッサ1111(よ基準
距#L0と測定距離りとの誤差量ΔLを計算すると共l
こ、ΔL−VN特性、ΔL−V、特性に従って法線方向
速度信号vNと接線方向速度信号V、を計算する。
又、プロセッサ11Aは非接触ならい開始からの時間を
所定のサンプリング時間TS毎に分割する時、前々回の
タイムスロットにおけるならい方向θn−1(第5図参
照)と前回のタイムスロットにおけるならい方向θ。ど
の差分Δθ。並びに前回のならい方向θ。を用いて、 θ。+(1/n)  ・Δθ。→θ、、+1(1)(n
は適宜に決めた定数:通常1/2)により今回のタイム
スロットにおけるならい方向θnや、を演算する。
そして、速度信号vN、vT及び倣い方向が求まれば、
プロセッサは次式 %式%(2) により各軸速度信号vx、v2を発生し、該各軸方向の
なライ速度信号V、、V2eDA変#@12X。
12Z及びサーボ回路13X、132を介してモータ1
4X、142に印加して距離測定プローブ17を各軸方
向に同時に移動させモデル面をならわせる。これにより
、プローブ17はならい方向演算部11aで計算された
方向θ、+、の方向に移動する。
以上の非接触倣い制御と並行して、プロセッサ11aは
所定のサンプリング時間T、毎に各軸現在位置データZ
A、xAを現在軸レジスタ16Z、16xから取り込ん
でモデル面をデジタイジングする。尚、光軸を傾けてい
るため、ZA、xAをそのま5面データとして用いるこ
とができず補正が必要である。第6図は位置データの補
正処理説明図であり、測定距離をL1傾斜角度をθとす
れば、測定点Pの座標値xP、Zpは次式 %式%(4) で与えられる。尚、(4)式においてプラスは光軸が進
行方向(+2方向)と逆方向に傾いている場合であり、
マイナスは進行方向に傾いている場合である。
又、プロセッサはllaは非接触倣いによるデジタイジ
ング処理と並行して、距離測定可能信号DMSを参照し
て距離測定不能位置に到達したかチエツクしている。
そして、距離測定不能点(たとえば第1図のP、。
P2. P、等)に到達して距離測定プローブDMSが
ローレベルになると、直ちに非接触倣いを停止してプロ
ーブ17の移動を停止する。
しかる後、プロセッサllaはプローブ回転駆動部18
に回転駆動信号RDSを、入力し、該回転駆動部をして
プローブ17を回転させ、光軸が垂直軸から逆方向にθ
傾くように制御する(第1図の21〜23点におけるプ
ローブの傾きを参照)。
尚、倣い停止直後に光軸が垂直軸から進行方向にθ傾い
ていれば、進行方向と逆方向にθ傾くようにプローブを
回転させ(+θ→−θ)、一方非接触倣い停止直後に光
軸が垂直軸から進行方向と逆方向にθ傾いていれば、進
行方向にθ傾くようにプローブ回転させる(−θ→+θ
)。
しかる後、回転によりプローブの現在位置が変化してい
るから、第7図(a)のA矢印で示すように進行方向(
+X方向)に回転しtコ場合には次式%式%(6) により現在位置を補正し、一方第7図(blでB矢印で
示すように進行方向と逆方向に回転した場合には次式 %式%(71 により現在位置を補正する。
さて、プローブの回転により、距S測定が可能になるか
ら以後非接触倣いによるデジタイジング処理を行い、距
離測定不可能になる毎に同様にプローブを回転させて非
接触倣いを継続する。
第8図If本発明により距離測定不能点でプローブを停
止させ、しかる後光軸方向を回転させて非接触倣いを再
開する場合において、非接触倣いが行われなかった範囲
、換言すればデジタイジングされなかった範囲を示す説
明図である。距離測定プローブの送り速度をvIIII
II/5eC1傾斜角度をθ、壁WALの垂直面との角
度ψ、サンプリング時間をT、(ms)とすると距離測
定不能が検出されて瞬時に停止した時の最大行き過ぎ量
ΔL(第8図(al参照)は ΔL=TeJ−v/1000IIIIl(8)となる。
又、壁部WALの最高点Pから光が当たる位置Q(第8
図(b)参照)迄の垂直方向距離HはH=ΔL/ (t
 a nθ+tanφ)(9)となり、例えばV=10
0mm/5ee1’r、=2msec、θ=30°、φ
=θ°とすれば、 H=0.2/ 0.58=0.3mm すなわち、高さ方向に約300μ下がった位置から壁面
のデジタイジングが再開されることになり、精度上問題
は無い。
〈発明の効果〉 以上本発明によれば、距離測定プローブの光軸を垂直方
向から角度θ傾けて非接触倣いを行い、距離測定不可能
となった゛場合には距離測定プローブの移動を停止する
と共に、該距離測定プローブの光軸を垂直方向から逆方
向にθ傾け、しかる後非接触倣いを再開するように構成
したから、モデル面の傾斜がきつくなって距離測定不能
となっても、短時間に正常の非接触倣いを再開すること
ができ、しかも倣い精2−1=低下することもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方式の説明図、 第2図は本発明方式にかかるシステムのブロック図、 第3図及び第4図はプローブ回転機構の原理図、第5図
は非接触倣いにおける倣い方向の算出説明図、 第6図は位置データ補正説明図、 第7図はプ四−ブ回転後の現在位置データ補正説明図、 第8図は倣いが行われない範囲説明図、第9図及び第1
1図は非接触倣いの背景説明図、第10図は距離測定プ
ローブ説明図、 第12図は従来の問題点説明図である。 MDL・・モデル、 PR・・距離測定プローブ、 p −p  ・・距離測定不能点 特許出顆人        ファナック株式会社代理人
          弁理士  齋藤千幹第3図 □進行方向 第5図 −7−′ 第6図 (Xp、Zp) 第7図 (a) (b) 第8図 (a) (b) 第9図 第1or3 二:τ12図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 非接触で距離を測定できる距離測定プローブによりモデ
    ル面をならわせる非接触倣い方式において、 距離測定プローブの光軸を垂直方向から角度θ傾けて非
    接触倣いを行い、 距離測定不可能となった場合には距離測定プローブの移
    動を停止すると共に、該距離測定プローブの光軸を垂直
    方向から逆方向にθ傾け、しかる後非接触倣いを再開す
    ることを特徴とする非接触倣い方式。
JP62312913A 1987-12-10 1987-12-10 非接触倣い方法 Expired - Lifetime JP2542653B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62312913A JP2542653B2 (ja) 1987-12-10 1987-12-10 非接触倣い方法
US07/392,921 US4949024A (en) 1987-12-10 1988-11-25 Contactless profiling method
PCT/JP1988/001194 WO1989005212A1 (en) 1987-12-10 1988-11-25 Non-contact profiling method
DE3850391T DE3850391T2 (de) 1987-12-10 1988-11-25 Kontaktlose profilierungsmethode.
EP88910125A EP0353302B1 (en) 1987-12-10 1988-11-25 Non-contact profiling method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62312913A JP2542653B2 (ja) 1987-12-10 1987-12-10 非接触倣い方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01153253A true JPH01153253A (ja) 1989-06-15
JP2542653B2 JP2542653B2 (ja) 1996-10-09

Family

ID=18034970

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62312913A Expired - Lifetime JP2542653B2 (ja) 1987-12-10 1987-12-10 非接触倣い方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4949024A (ja)
EP (1) EP0353302B1 (ja)
JP (1) JP2542653B2 (ja)
DE (1) DE3850391T2 (ja)
WO (1) WO1989005212A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0248152A (ja) * 1988-08-03 1990-02-16 Osaka Kiko Co Ltd 非接触計測装置
WO1992008576A1 (en) * 1990-11-20 1992-05-29 Fanuc Ltd Equipment for controlling digitizing
JPH0531653A (ja) * 1991-07-26 1993-02-09 Fanuc Ltd 非接触倣い制御方式

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2810709B2 (ja) * 1989-07-27 1998-10-15 ファナック 株式会社 非接触ならい制御装置
JPH03190652A (ja) * 1989-12-19 1991-08-20 Fanuc Ltd 非接触ならい制御装置
FR2656465B1 (fr) * 1989-12-21 1992-05-07 France Etat Procede de mesure des dimensions d'un espaceur.
GB9013744D0 (en) * 1990-06-20 1990-08-08 Renishaw Plc Measurement of a workpiece
US6215269B1 (en) * 1996-05-21 2001-04-10 Kent Gregg Method of exposing a path on a curved, or otherwise irregularly shaped, surface
US7147338B2 (en) 2001-04-09 2006-12-12 Kent Gregg Circuit on a curved, or otherwise irregularly shaped, surface, such as on a helmet to be worn on the head, including a fiber optic conductive path

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3909131A (en) * 1974-02-12 1975-09-30 United Technologies Corp Surface gauging by remote image tracking
US3986774A (en) * 1975-05-08 1976-10-19 United Technologies Corporation Gauging surfaces by remotely tracking multiple images
DE2834612A1 (de) * 1978-08-07 1980-02-14 Siemens Ag Kopierfuehler
US4445184A (en) * 1980-07-19 1984-04-24 Shin Meiwa Industry Co., Ltd. Articulated robot
DE3279731D1 (en) * 1981-07-07 1989-07-06 Renishaw Plc Device for measuring dimensions
US4708482A (en) * 1982-02-22 1987-11-24 Armco Inc. Method and apparatus for measuring wear in the lining of refractory furnaces
FR2551860B1 (fr) * 1983-09-08 1987-05-07 Sciaky Sa Installation pour la determination des coordonnees spatiales d'un point d'une piece, notamment pour le controle d'un outillage tel qu'un outillage de soudage de carrosserie de vehicule automobile
JPS60128304A (ja) * 1983-12-15 1985-07-09 Nippon Tsushin Gijutsu Kk 溶接機計測ヘツド
FI68910C (fi) * 1984-01-17 1986-11-25 Kimmo Koskenohi Foerfarande foer optisk maetning av laongstraeckta stycken
CH661981A5 (de) * 1984-02-13 1987-08-31 Haenni & Cie Ag Optisches messgeraet zur beruehrungslosen abstandsmessung.
DE3517671A1 (de) * 1985-05-15 1986-11-20 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Vorrichtung zum bildpunktweisen erfassen der oberflaechengestalt eines entfernten objektes
US4681450A (en) * 1985-06-21 1987-07-21 Research Corporation Photodetector arrangement for measuring the state of polarization of light
US4798469A (en) * 1985-10-02 1989-01-17 Burke Victor B Noncontact gage system utilizing reflected light
US4724301A (en) * 1985-10-21 1988-02-09 Hitachi, Ltd. Apparatus utilizing light stripe image for detecting portion to be welded prior to welding thereof
US4758093A (en) * 1986-07-11 1988-07-19 Robotic Vision Systems, Inc. Apparatus and method for 3-D measurement using holographic scanning
DE3623602A1 (de) * 1986-07-12 1988-01-14 Zeiss Carl Fa Steuerung fuer koordinatenmessgeraete
EP0282599B1 (en) * 1986-08-29 1994-12-14 Fanuc Ltd. Method of preparing nc part program for laser machining
US5371864A (en) * 1992-04-09 1994-12-06 International Business Machines Corporation Apparatus for concurrent multiple instruction decode in variable length instruction set computer

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0248152A (ja) * 1988-08-03 1990-02-16 Osaka Kiko Co Ltd 非接触計測装置
WO1992008576A1 (en) * 1990-11-20 1992-05-29 Fanuc Ltd Equipment for controlling digitizing
US5247233A (en) * 1990-11-20 1993-09-21 Fanuc Ltd Digitizing control device for generating tracing data
JPH0531653A (ja) * 1991-07-26 1993-02-09 Fanuc Ltd 非接触倣い制御方式
WO1993002832A1 (en) * 1991-07-26 1993-02-18 Fanuc Ltd Method of non-contact copy control
US5426356A (en) * 1991-07-26 1995-06-20 Fanuc Ltd. Non-contact profile control method

Also Published As

Publication number Publication date
EP0353302A1 (en) 1990-02-07
WO1989005212A1 (en) 1989-06-15
EP0353302B1 (en) 1994-06-22
DE3850391T2 (de) 1994-10-06
DE3850391D1 (de) 1994-07-28
US4949024A (en) 1990-08-14
EP0353302A4 (en) 1992-03-11
JP2542653B2 (ja) 1996-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1991020020A1 (en) Measurement of a workpiece
JP2542631B2 (ja) 非接触ならい方法
JPH0360956A (ja) 非接触ならい制御装置
JPH01153253A (ja) 非接触倣い方法
US5760906A (en) Shape measurement apparatus and method
JPH0914921A (ja) 非接触三次元測定装置
JPH01188254A (ja) 非接触倣いデジタイジング方法
JPH01109058A (ja) 非接触ならい制御装置
EP0215127B1 (en) Apparatus for detecting machine positions
JP2679236B2 (ja) 非接触式形状測定装置
JPH0444961B2 (ja)
JPH0621767B2 (ja) 曲面形状測定方法およびその装置
JPS628007A (ja) 非接触センサによる断面形状の自動測定方法
JPH03261816A (ja) 座標測定機のスタイラスの倣い制御方法
JPS59154308A (ja) 物体形状の自動測定方法
JPH0519641B2 (ja)
JPS6268565A (ja) 教示ロボットを使用した自動塗布装置
JPS61189405A (ja) 非接触形状測定装置
JPH02114109A (ja) 形状急変検出方法
JPH06194139A (ja) 形状測定方法
JPS61207909A (ja) 非接触形状計測装置の角度変化機構の角度検出法
JPS63253206A (ja) 形状計測装置
JPH02205453A (ja) 非接触ならい制御方式
JPS60205203A (ja) 非接触式三次元座標計測システム
JPS63298006A (ja) 形状計測装置