JPH0529936A - A/d変換器 - Google Patents
A/d変換器Info
- Publication number
- JPH0529936A JPH0529936A JP18424791A JP18424791A JPH0529936A JP H0529936 A JPH0529936 A JP H0529936A JP 18424791 A JP18424791 A JP 18424791A JP 18424791 A JP18424791 A JP 18424791A JP H0529936 A JPH0529936 A JP H0529936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mos
- sampling signal
- fet
- gate
- converter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】差動増幅器を有するA/D変換器において、サ
ンプリング終了時に生じるオフセットを無くする。 【構成】差動増幅器(COMP)の入力は、ゲートにサ
ンプリング信号(SAMP)が印加されたMOS−FE
T(N1 )及び(N2 )を介してバイアス電圧端子(V
B )に接続され、スイッチ回路(S1 )と等価な抵抗と
直列接続されたMOS−FET(N1 )におけるゲート
〜ソース間に存在する寄生容量と容量素子(C1 )の合
成容量で与えられる時定数よりも長い時間:tf1をかけ
てサンプリング信号(SAMP)を変化させMOS−F
ET(N1 )及び(N2 )をオフさせる。
ンプリング終了時に生じるオフセットを無くする。 【構成】差動増幅器(COMP)の入力は、ゲートにサ
ンプリング信号(SAMP)が印加されたMOS−FE
T(N1 )及び(N2 )を介してバイアス電圧端子(V
B )に接続され、スイッチ回路(S1 )と等価な抵抗と
直列接続されたMOS−FET(N1 )におけるゲート
〜ソース間に存在する寄生容量と容量素子(C1 )の合
成容量で与えられる時定数よりも長い時間:tf1をかけ
てサンプリング信号(SAMP)を変化させMOS−F
ET(N1 )及び(N2 )をオフさせる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はA/D変換器に関し、特
にMOS−FETで構成されたA/D変換器に関する。
にMOS−FETで構成されたA/D変換器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のA/D変換器は図8(a)に示し
たように、アナログ入力端子(AIN),ディジタル出力
端子(DOUT ),差動増幅器(COMP),レジスタ及
びD/A変換器を備え、差動増幅器(COMP)の第1
の入力(−)は容量素子(C1 )の一端及びゲートにサ
ンプリング信号(SAMP)が印加されたNチャネル型
MOS−FET(N1 )を介してバイアス電圧端子(V
B )に接続され、差動増幅器(COMP)の第2の入力
(+)は容量素子(C2 )の一端及びゲートにサンプリ
ング信号(SAMP)が印加されたNチャネル型MOS
−FET(N2 )を介してバイアス電圧端子(VB )に
接続され、容量素子(C1 )の他端はスイッチ回路(S
1 )を介してアナログ入力端子(AIN)及びスイッチ回
路(S2 )を介してD/A変換器(D/A)の出力に接
続され、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電圧端子
に接続(接地)され、差動増幅器(COMP)の出力が
レジスタの入力に、レジスタの出力がD/A変換器(D
/A)の入力に接続されて構成され、レジスタの内容が
ディジタル出力端子(DOUT )に出力される。
たように、アナログ入力端子(AIN),ディジタル出力
端子(DOUT ),差動増幅器(COMP),レジスタ及
びD/A変換器を備え、差動増幅器(COMP)の第1
の入力(−)は容量素子(C1 )の一端及びゲートにサ
ンプリング信号(SAMP)が印加されたNチャネル型
MOS−FET(N1 )を介してバイアス電圧端子(V
B )に接続され、差動増幅器(COMP)の第2の入力
(+)は容量素子(C2 )の一端及びゲートにサンプリ
ング信号(SAMP)が印加されたNチャネル型MOS
−FET(N2 )を介してバイアス電圧端子(VB )に
接続され、容量素子(C1 )の他端はスイッチ回路(S
1 )を介してアナログ入力端子(AIN)及びスイッチ回
路(S2 )を介してD/A変換器(D/A)の出力に接
続され、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電圧端子
に接続(接地)され、差動増幅器(COMP)の出力が
レジスタの入力に、レジスタの出力がD/A変換器(D
/A)の入力に接続されて構成され、レジスタの内容が
ディジタル出力端子(DOUT )に出力される。
【0003】次に図8(b)も参照しながら動作の説明
をする。まずサンプリング期間、サンプリング信号(S
AMP)がハイになってN1 及びN2 がオンし差動増幅
器の2入力(−)及び(+)が共にVB にチャージアッ
プされると共に、S1 がオンしてアナログ入力端子(A
IN)に印加されているアナログ入力電圧:VAIN が容量
素子(C1 )に印加され、容量素子(C1 )には、C1
(VAIN −VB )の、容量素子(C2 )にはC2 ・VB
の電荷が蓄えられる。続いてS1 がオフすると共にサン
プリング信号(SAMP)がロウになってN1 及びN2
がオフして容量素子(C1 )及び(C2 )に蓄えられた
電荷が保存されてサンプリングが終了し、S2 がオンし
て変換期間となる。変換期間では、D/A変換器(D/
A)の出力:VD/A がS2 を介して容量素子(C1 )に
印加され、差動増幅器(COMP)の第1の入力(−)
における電位は(VD/A −VAIN +VB )となる。一方
差動増幅器(COMP)の第2の入力(+)における電
位はVB であり、差動増幅器(COMP)の出力から
(VD/A −VAIN +VB )とVB を比較した結果が出力
され、この比較結果でレジスタをカウントアップ若しく
はカウントダウンすることによりVD/A をVAIN に近づ
けてゆくという動作を所望の精度が得られるまで繰り返
し、変換が終了する。そして変換終了後のレジスタ内に
あるディジタルデータが変換結果であり、ディジタル出
力端子(DOUT )から変換結果が出力される。
をする。まずサンプリング期間、サンプリング信号(S
AMP)がハイになってN1 及びN2 がオンし差動増幅
器の2入力(−)及び(+)が共にVB にチャージアッ
プされると共に、S1 がオンしてアナログ入力端子(A
IN)に印加されているアナログ入力電圧:VAIN が容量
素子(C1 )に印加され、容量素子(C1 )には、C1
(VAIN −VB )の、容量素子(C2 )にはC2 ・VB
の電荷が蓄えられる。続いてS1 がオフすると共にサン
プリング信号(SAMP)がロウになってN1 及びN2
がオフして容量素子(C1 )及び(C2 )に蓄えられた
電荷が保存されてサンプリングが終了し、S2 がオンし
て変換期間となる。変換期間では、D/A変換器(D/
A)の出力:VD/A がS2 を介して容量素子(C1 )に
印加され、差動増幅器(COMP)の第1の入力(−)
における電位は(VD/A −VAIN +VB )となる。一方
差動増幅器(COMP)の第2の入力(+)における電
位はVB であり、差動増幅器(COMP)の出力から
(VD/A −VAIN +VB )とVB を比較した結果が出力
され、この比較結果でレジスタをカウントアップ若しく
はカウントダウンすることによりVD/A をVAIN に近づ
けてゆくという動作を所望の精度が得られるまで繰り返
し、変換が終了する。そして変換終了後のレジスタ内に
あるディジタルデータが変換結果であり、ディジタル出
力端子(DOUT )から変換結果が出力される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この従来のA/D変換
器では、サンプリング終了時に差動増幅器(COMP)
の第1の入力(−)及び第2の入力(+)間に電位差つ
まりオフセットが生じ、変換精度を著しく低下させると
いう問題点があった。
器では、サンプリング終了時に差動増幅器(COMP)
の第1の入力(−)及び第2の入力(+)間に電位差つ
まりオフセットが生じ、変換精度を著しく低下させると
いう問題点があった。
【0005】ここで、図9を参照しながらオフセットが
生じる理由を説明しておく。
生じる理由を説明しておく。
【0006】図9(a)は図8(a)に示された従来の
A/D変換器のサンプリング時における等価回路図であ
り、スイッチ回路(S1 )はオン状態にあるスイッチ回
路(S1 )と等価な抵抗値を有する抵抗素子(RS1)で
表わされ、N1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在する
寄生容量(CGS)も示されている。尚、スイッチ回路
(S2 ),レジスタ,D/A変換器及びディジタル出力
端子(DOUT )は省略されている。又図9(b)はサン
プリング期間及びサンプリング終了後の各接続点
(A),(B)及び(C)における電位変化を示すタイ
ミングチャートである。
A/D変換器のサンプリング時における等価回路図であ
り、スイッチ回路(S1 )はオン状態にあるスイッチ回
路(S1 )と等価な抵抗値を有する抵抗素子(RS1)で
表わされ、N1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在する
寄生容量(CGS)も示されている。尚、スイッチ回路
(S2 ),レジスタ,D/A変換器及びディジタル出力
端子(DOUT )は省略されている。又図9(b)はサン
プリング期間及びサンプリング終了後の各接続点
(A),(B)及び(C)における電位変化を示すタイ
ミングチャートである。
【0007】まずサンプリング期間中、サンプリング信
号(SAMP)がハイになってN1 及びN2 がオンし
(A)及び(B)がバイアス電圧:VB にチャージアッ
プされると共に(C)がRS1を介してチィージアップさ
れアナログ入力電圧:VAIN となる。次にサンプリング
信号(SAMP)がハイからロウに変化するが、(A)
及び(B)はN1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在す
る寄生容量(CGS)を介してサンプリング信号(SAM
P)を結合しているので、サンプリング信号(SAM
P)の下降に伴って(A)及び(B)が下降する。ここ
で、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電圧端子に直
接接続されている為電位変動は無いが、(C)は抵抗素
子(RS1)を介してアナログ入力電圧源(VAIN )に接
続されると共に容量素子(C1)を介して(A)と結合
している為、(A)における電位の下降に伴って(C)
の電位がVAIN 以下に押し下げられ、従ってN1 及びN
2 のゲート〜ソース間に存在する寄生容量と容量素子
(C1)及び(C2 )を等しい値に設定してもサンプリ
ング信号(SAMP)が下降している期間(B)の電位
は(A)の電位よりも低くなる。ここでサンプリング信
号(SAMP)がハイからVB +VTN(VTN:N1 及び
N2 のしきい値電圧)まで下降する期間:tf0、N1 及
びN2 はオンしており、N1 及びN2 のドレイン電圧と
ゲート電圧は等しいがN1 のソース電圧(B)はN2 の
ソース電圧(A)よりも低い為、N1 に流れる電流はN
2 に流れる電流より大きく従って(A)に比べて(B)
により多くの電荷が注入される。そしてサンプリング信
号(SAMP)がロウとなりN1 及びN2 がオフして
(A)及び(B)がフローティング状態となってサンプ
リングが終了するが、(B)には(A)に比べてより多
くの電荷が注入されているので(C)の電位がVAIN に
回復した時点で(B)の電位が(A)の電位よりも高く
なりオフセットが生じる。
号(SAMP)がハイになってN1 及びN2 がオンし
(A)及び(B)がバイアス電圧:VB にチャージアッ
プされると共に(C)がRS1を介してチィージアップさ
れアナログ入力電圧:VAIN となる。次にサンプリング
信号(SAMP)がハイからロウに変化するが、(A)
及び(B)はN1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在す
る寄生容量(CGS)を介してサンプリング信号(SAM
P)を結合しているので、サンプリング信号(SAM
P)の下降に伴って(A)及び(B)が下降する。ここ
で、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電圧端子に直
接接続されている為電位変動は無いが、(C)は抵抗素
子(RS1)を介してアナログ入力電圧源(VAIN )に接
続されると共に容量素子(C1)を介して(A)と結合
している為、(A)における電位の下降に伴って(C)
の電位がVAIN 以下に押し下げられ、従ってN1 及びN
2 のゲート〜ソース間に存在する寄生容量と容量素子
(C1)及び(C2 )を等しい値に設定してもサンプリ
ング信号(SAMP)が下降している期間(B)の電位
は(A)の電位よりも低くなる。ここでサンプリング信
号(SAMP)がハイからVB +VTN(VTN:N1 及び
N2 のしきい値電圧)まで下降する期間:tf0、N1 及
びN2 はオンしており、N1 及びN2 のドレイン電圧と
ゲート電圧は等しいがN1 のソース電圧(B)はN2 の
ソース電圧(A)よりも低い為、N1 に流れる電流はN
2 に流れる電流より大きく従って(A)に比べて(B)
により多くの電荷が注入される。そしてサンプリング信
号(SAMP)がロウとなりN1 及びN2 がオフして
(A)及び(B)がフローティング状態となってサンプ
リングが終了するが、(B)には(A)に比べてより多
くの電荷が注入されているので(C)の電位がVAIN に
回復した時点で(B)の電位が(A)の電位よりも高く
なりオフセットが生じる。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のA/D変換器
は、アナログ入力端子,ディジタル出力端子,差動増幅
器,レジスタ及びD/A変換器を備え、差動増幅器の第
1の入力は第1の容量素子の一端及びゲートにサンプリ
ング信号が印加された一導電型の第1のMOS−FET
を介してバイアス電圧端子に接続され、差動増幅器の第
2の入力は第2の容量素子の一端及びゲートにサンプリ
ング信号が印加された第1のMOSF−FETと同一導
電型の第2のMOS−FETを介してバイアス電圧端子
に接続され、第1の容量素子の他端は第1のスイッチ回
路を介してアナログ入力端子及び第2のスイッチ回路を
介してD/A変換器の出力に接続され、第2の容量素子
の他端はバイアス電圧端子若しくは電圧端子に接続さ
れ、差動増幅器の出力がレジスタの入力に、レジスタの
出力がD/A変換器の入力に接続されて構成され、レジ
スタの内容がディジタル出力端子に出力されるA/D変
換器において、第1のスイッチ回路と等価な抵抗と直列
接続された第1のMOS−FETにおけるゲート〜ソー
ス間に存在する寄生容量及び第1の容量素子の合成容量
で与えられる時定数よりも長い時間をかけてサンプリン
グ信号を変化させ第1及び第2のMOS−FETをオフ
させる。
は、アナログ入力端子,ディジタル出力端子,差動増幅
器,レジスタ及びD/A変換器を備え、差動増幅器の第
1の入力は第1の容量素子の一端及びゲートにサンプリ
ング信号が印加された一導電型の第1のMOS−FET
を介してバイアス電圧端子に接続され、差動増幅器の第
2の入力は第2の容量素子の一端及びゲートにサンプリ
ング信号が印加された第1のMOSF−FETと同一導
電型の第2のMOS−FETを介してバイアス電圧端子
に接続され、第1の容量素子の他端は第1のスイッチ回
路を介してアナログ入力端子及び第2のスイッチ回路を
介してD/A変換器の出力に接続され、第2の容量素子
の他端はバイアス電圧端子若しくは電圧端子に接続さ
れ、差動増幅器の出力がレジスタの入力に、レジスタの
出力がD/A変換器の入力に接続されて構成され、レジ
スタの内容がディジタル出力端子に出力されるA/D変
換器において、第1のスイッチ回路と等価な抵抗と直列
接続された第1のMOS−FETにおけるゲート〜ソー
ス間に存在する寄生容量及び第1の容量素子の合成容量
で与えられる時定数よりも長い時間をかけてサンプリン
グ信号を変化させ第1及び第2のMOS−FETをオフ
させる。
【0009】
【実施例】次に本発明について図面を参照しながら説明
する。
する。
【0010】図1(a)及び(b)は本発明による第1
の実施例の回路図及び動作を示すタイミングチャートで
あり、アナログ入力端子(AIN),ディジタル出力端子
(DOUT ),差動増幅器(COMP),レジスタ及びD
/A変換器(D/A)を備え、差動増幅器(COMP)
の第1の入力(−)は容量素子(C1 )の一端及びゲー
トにサンプリング信号(SAMP)が印加されたNチャ
ネル型MOS−FET(N1 )を介してバイアス電圧端
子(VB )に接続され、差動増幅器(COMP)の第2
の入力(+)は容量素子(C2 )の一端及びゲートにサ
ンプリング信号(SAMP)が印加されたNチャネル型
MOS−FET(N2 )を介してバイアス電圧端子(V
B )に接続され、容量素子(C1 )の他端はスイッチ回
路(S1 )を介してアナログ入力端子(AIN)及びスイ
ッチ回路(S2 )を介してD/A変換器(D/A)の出
力に接続され、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電
圧端子に接続(接地)され、差動増幅器(COMP)の
出力がレジスタの入力に、レジスタの出力がD/A変換
器(D/A)の入力に接続されて構成され、レジスタの
内容がディジタル出力端子(DOUT )に出力されるD/
A変換器において、スイッチ回路(S1 )と等価な抵抗
と直列接続されたNチャネル型MOS−FET(N1 )
におけるゲート〜ソース間に存在する寄生容量及び容量
素子(C1 )の合成容量で与えられる時定数よりも長い
時間:tf1をかけてサンプリング信号(SAMP)を
(VB +VTN)まで下降させ、Nチャネル型MOS−F
ET(N1 )及び(N2 )をオフさせている。
の実施例の回路図及び動作を示すタイミングチャートで
あり、アナログ入力端子(AIN),ディジタル出力端子
(DOUT ),差動増幅器(COMP),レジスタ及びD
/A変換器(D/A)を備え、差動増幅器(COMP)
の第1の入力(−)は容量素子(C1 )の一端及びゲー
トにサンプリング信号(SAMP)が印加されたNチャ
ネル型MOS−FET(N1 )を介してバイアス電圧端
子(VB )に接続され、差動増幅器(COMP)の第2
の入力(+)は容量素子(C2 )の一端及びゲートにサ
ンプリング信号(SAMP)が印加されたNチャネル型
MOS−FET(N2 )を介してバイアス電圧端子(V
B )に接続され、容量素子(C1 )の他端はスイッチ回
路(S1 )を介してアナログ入力端子(AIN)及びスイ
ッチ回路(S2 )を介してD/A変換器(D/A)の出
力に接続され、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電
圧端子に接続(接地)され、差動増幅器(COMP)の
出力がレジスタの入力に、レジスタの出力がD/A変換
器(D/A)の入力に接続されて構成され、レジスタの
内容がディジタル出力端子(DOUT )に出力されるD/
A変換器において、スイッチ回路(S1 )と等価な抵抗
と直列接続されたNチャネル型MOS−FET(N1 )
におけるゲート〜ソース間に存在する寄生容量及び容量
素子(C1 )の合成容量で与えられる時定数よりも長い
時間:tf1をかけてサンプリング信号(SAMP)を
(VB +VTN)まで下降させ、Nチャネル型MOS−F
ET(N1 )及び(N2 )をオフさせている。
【0011】図1に示した本発明による第1の実施例に
おけるサンプリング及び変換動作は前述した図7に示さ
れている従来のA/D変換器におけるサンプリング及び
変換動作と同様であるのでここでの説明は省略し、続い
て図2を参照しながら本発明による第1の実施例におけ
るサンプリング終了時の動作について説明する。図2
(a)は図1(a)に示された本発明による第1の実施
例のサンプリング時における等価回路図であり、スイッ
チ回路(S1 )はオン状態にあるスイッチ回路(S1 )
と等価な抵抗値を有する抵抗素子(RS1)で表わされ、
N1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在する寄生容量
(CGS)も示されている。尚、スイッチ回路(S2 ),
レジスタ,D/A変換器(D/A)及びディジタル出力
端子(DOUT )は省略されている。又第2図(b)はサ
ンプリング期間及びサンプリング終了後の各接続点
(A),(B)及び(C)における電位変化を示すタイ
ミングチャートであり、前述したようにtf1は次式
(1)を満足するように設定されている。
おけるサンプリング及び変換動作は前述した図7に示さ
れている従来のA/D変換器におけるサンプリング及び
変換動作と同様であるのでここでの説明は省略し、続い
て図2を参照しながら本発明による第1の実施例におけ
るサンプリング終了時の動作について説明する。図2
(a)は図1(a)に示された本発明による第1の実施
例のサンプリング時における等価回路図であり、スイッ
チ回路(S1 )はオン状態にあるスイッチ回路(S1 )
と等価な抵抗値を有する抵抗素子(RS1)で表わされ、
N1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在する寄生容量
(CGS)も示されている。尚、スイッチ回路(S2 ),
レジスタ,D/A変換器(D/A)及びディジタル出力
端子(DOUT )は省略されている。又第2図(b)はサ
ンプリング期間及びサンプリング終了後の各接続点
(A),(B)及び(C)における電位変化を示すタイ
ミングチャートであり、前述したようにtf1は次式
(1)を満足するように設定されている。
【0012】
【0013】まずサンプリング期間中、サンプリング信
号(SAMP)がハイになってN1 及びN2 がオンし
(A)及び(B)がバイアス電圧:VB にチャージアッ
プされると共に(C)がRS1を介してチャージアップさ
れアナログ入力電圧:VAIN となる。次にサンプリング
信号(SAMP)がハイからロウに変化するが、(A)
及び(B)はN1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在す
る寄生容量(CGS)を介してサンプリング信号(SAM
P)と結合しているのでサンプリング信号(SAMP)
の下降に伴って(A)及び(B)の電位も下降する。こ
こで、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電圧端子に
直接接続されている為電位変動は無い。又容量素子(C
1 )の他端(C)は抵抗素子(RS1)を介してアナログ
入力電圧源(VAIN )に接続されており、さらにN1 の
ゲート〜ソース間に存在する寄生容量(CGS)及び容量
素子(C1 )を介してサンプリング信号(SAMP)と
結合しているが、式1で示したように抵抗素子(RS1)
と直列接続されたN1 のゲート〜ソース間に存在する寄
生容量(SGS)及び容量素子(C1 )の合成容量で与え
られる時定数よりも長い時間:tf1をかけてサンプリン
グ信号を変化させているので、(C)の電位はアナログ
入力電圧(VAIN )に追従し、電位変動は無い。従って
前述したように(A)及び(B)の電位はN1 及びN2
のゲート〜ソース間に存在する寄生容量(CGS)を介し
てサンプリング信号(SAMP)の下降に伴って下降す
るが、N1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在する寄生
容量(CGS)と容量素子(C1 )及び(C2 )の値を等
しく設定しておけば、(A)及び(B)の電位は常に等
しく電位差は生じない。ここでサンプリング信号(SA
MP)がハイから(VB +VTN)まで下降する期間:t
f1、N1 及びN2 はオンしているが、N1 及びN2 にお
けるドレイン電圧、ゲート電圧及びソース電圧((B)
及び(A)の電圧)が等しい為、N1 及びN2 に流れる
電流も等しく従って(A)及び(B)に注入される電荷
も等しい。そしてサンプリング信号(SAMP)がロウ
となりN1 及びN2 がオフして(A)及び(B)がフロ
ーティング状態となってサンプリングが終了するが、
(A)及び(B)には等しい電荷が注入されているの
で、(A)及び(B)の電位は等しく従ってオフセット
も生じない。
号(SAMP)がハイになってN1 及びN2 がオンし
(A)及び(B)がバイアス電圧:VB にチャージアッ
プされると共に(C)がRS1を介してチャージアップさ
れアナログ入力電圧:VAIN となる。次にサンプリング
信号(SAMP)がハイからロウに変化するが、(A)
及び(B)はN1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在す
る寄生容量(CGS)を介してサンプリング信号(SAM
P)と結合しているのでサンプリング信号(SAMP)
の下降に伴って(A)及び(B)の電位も下降する。こ
こで、容量素子(C2 )の他端は0[V]の電圧端子に
直接接続されている為電位変動は無い。又容量素子(C
1 )の他端(C)は抵抗素子(RS1)を介してアナログ
入力電圧源(VAIN )に接続されており、さらにN1 の
ゲート〜ソース間に存在する寄生容量(CGS)及び容量
素子(C1 )を介してサンプリング信号(SAMP)と
結合しているが、式1で示したように抵抗素子(RS1)
と直列接続されたN1 のゲート〜ソース間に存在する寄
生容量(SGS)及び容量素子(C1 )の合成容量で与え
られる時定数よりも長い時間:tf1をかけてサンプリン
グ信号を変化させているので、(C)の電位はアナログ
入力電圧(VAIN )に追従し、電位変動は無い。従って
前述したように(A)及び(B)の電位はN1 及びN2
のゲート〜ソース間に存在する寄生容量(CGS)を介し
てサンプリング信号(SAMP)の下降に伴って下降す
るが、N1 及びN2 のゲート〜ソース間に存在する寄生
容量(CGS)と容量素子(C1 )及び(C2 )の値を等
しく設定しておけば、(A)及び(B)の電位は常に等
しく電位差は生じない。ここでサンプリング信号(SA
MP)がハイから(VB +VTN)まで下降する期間:t
f1、N1 及びN2 はオンしているが、N1 及びN2 にお
けるドレイン電圧、ゲート電圧及びソース電圧((B)
及び(A)の電圧)が等しい為、N1 及びN2 に流れる
電流も等しく従って(A)及び(B)に注入される電荷
も等しい。そしてサンプリング信号(SAMP)がロウ
となりN1 及びN2 がオフして(A)及び(B)がフロ
ーティング状態となってサンプリングが終了するが、
(A)及び(B)には等しい電荷が注入されているの
で、(A)及び(B)の電位は等しく従ってオフセット
も生じない。
【0014】続いて、図3を参照しながら第1のスイッ
チ回路と等価な抵抗と直列接続された第1のMOS−F
ETにおけるゲート〜ソース間に存在する寄生容量及び
第1の容量素子で与えられる時定数よりも長い時間をか
けて変化するサンプリング信号(SAMP)を発生させ
る回路の第1の実施例を説明する。図3(a)に示した
ように、電源電圧端子(VDD)とGND間にPチャネル
型MOS−FET(P11)及びNチャネル型MOS−F
ET(N11)及び(N12)が直列に接続され、P11及び
N12のゲートにはインバータ(INV11)で(SAM
P)’が反転された信号が、N11のゲートには基準電圧
(Vref1)が印加されて構成されている。尚負荷容量
(C1 )は図1(a)で示したNチャネル型MOS−F
ET(N1 )及び(N2 )のゲート容量に相当する容量
である。次に図3(b)も参照しながら動作の説明をす
る。まず(SAMP)’がロウからハイに変化した場
合、インバータ(INV11)の出力はロウとなりP11が
オン、N12がオフしてSAMPはハイ(VDD)となる。
次に(SAMP)’がハイからロウに変化するとインバ
ータ(INV11)の出力がハイとなりP11がオフ、N12
がオンし負荷容量(CL )に蓄えられた電荷がN11及び
N12を介して放電しSAMPが下降するが、N11が飽和
領域で動作するような電圧(Vref1)をゲートに印加す
れば、N11は定電流源として動作し、N11に流れる電
流:I11は次式(2)で表わされる。
チ回路と等価な抵抗と直列接続された第1のMOS−F
ETにおけるゲート〜ソース間に存在する寄生容量及び
第1の容量素子で与えられる時定数よりも長い時間をか
けて変化するサンプリング信号(SAMP)を発生させ
る回路の第1の実施例を説明する。図3(a)に示した
ように、電源電圧端子(VDD)とGND間にPチャネル
型MOS−FET(P11)及びNチャネル型MOS−F
ET(N11)及び(N12)が直列に接続され、P11及び
N12のゲートにはインバータ(INV11)で(SAM
P)’が反転された信号が、N11のゲートには基準電圧
(Vref1)が印加されて構成されている。尚負荷容量
(C1 )は図1(a)で示したNチャネル型MOS−F
ET(N1 )及び(N2 )のゲート容量に相当する容量
である。次に図3(b)も参照しながら動作の説明をす
る。まず(SAMP)’がロウからハイに変化した場
合、インバータ(INV11)の出力はロウとなりP11が
オン、N12がオフしてSAMPはハイ(VDD)となる。
次に(SAMP)’がハイからロウに変化するとインバ
ータ(INV11)の出力がハイとなりP11がオフ、N12
がオンし負荷容量(CL )に蓄えられた電荷がN11及び
N12を介して放電しSAMPが下降するが、N11が飽和
領域で動作するような電圧(Vref1)をゲートに印加す
れば、N11は定電流源として動作し、N11に流れる電
流:I11は次式(2)で表わされる。
【0015】
【0016】又I=ΔQ/Δtより、サンプリング信号
(SAMP)の下降時間:tf1は次式(3)で与えられ
る。
(SAMP)の下降時間:tf1は次式(3)で与えられ
る。
【0017】
【0018】つまり、所望のtf1を得る為には(式3)
を満足するVref1を設定すればよい。
を満足するVref1を設定すればよい。
【0019】又図4(a)に示したように、図3(a)
におけるN11のかわりに抵抗素子(R11)で構成しても
同様の効果があり、所望のtf1を得る為には(式4)を
満足する抵抗値:R11を設定すればよい。
におけるN11のかわりに抵抗素子(R11)で構成しても
同様の効果があり、所望のtf1を得る為には(式4)を
満足する抵抗値:R11を設定すればよい。
【0020】
【0021】しかしこの場合、図4(b)に示したよう
にSAMPがGNDレベルに近づくに従って下降速度が
遅くなる為SAMPがGNDレベルになるまでに長い時
間を要し、サンプリング期間が長くなる。
にSAMPがGNDレベルに近づくに従って下降速度が
遅くなる為SAMPがGNDレベルになるまでに長い時
間を要し、サンプリング期間が長くなる。
【0022】つまり、負荷容量(CL )を定電流源で駆
動すればサンプリング期間が短時間で終了し、高速化が
図れるという効果がある。
動すればサンプリング期間が短時間で終了し、高速化が
図れるという効果がある。
【0023】さらに図5を参照しながらサンプリング信
号(SAMP)を発生させる回路の第2の実施例を説明
する。図5(a)に示したように、(SAMP)’がイ
ンバータ(INV21)及び(INV22)を通過した信号
及びNOR(NOR22)の出力が入力に印加されたNO
R(NOR21)と、NOR(NOR21)の出力及びサン
プリング信号(SAMP)がインバータ(INV24)で
反転された信号が入力に印加されたNOR(NOR22)
と、NOR(NOR22)の出力とSAMP間に接続され
た容量素子(CUP)と、ゲートに(SAMP)’が印加
され電源電圧端子(VDD)とSAMP間に接続されたN
チャネル型MOS−FET(N21)とSAMPとGND
間に直列接続されゲートにNOR(NOR22)の出力を
インバータ(INV23)で反転した信号が印加されたN
チャネル型MOS−FET(N22)及びゲートに(SA
MP)’がインバータ(INV21)で反転された信号が
印加されたNチャネル型MOS−FET(N23)及びS
AMPとGND間に直列接続されゲートに基準電圧(V
ref2)が印加されたNチャネル型MOS−FET
(N24)及び(SAMP)’がインバータ(INV21)
で反転された信号が印加されたNチャネル型MOS−F
ET(N25)で構成されている。尚、負荷容量(CL )
は図1(a)で示したNチャネル型MOS−FET(N
1 )及び(N2 )のゲート容量に相当する容量である。
次に図5(b)も参照しながら動作の説明をする。まず
(SAMP)’がロウからハイになるとN21がオンして
SAMPが(VDD−VTN)にチャージアップされ、イン
バータ(INV24)の出力(F)がハイからロウに変化
すると共に(N23)及び(N25)がオフする。続いてイ
ンバータ(INV21)及び(INV22)を通過する為
(SAMP)’の立ち上がりよりも遅れてインバータ
(INV22)の出力(D)がハイとなりNOR(NOR
21)の出力がロウになってNOR(NOR22)の出力
(E)がハイとなる。この時容量素子(CUP)でSAM
Pの電位が押し上げらてVH となり、VH は次式(5)
で与えられる。
号(SAMP)を発生させる回路の第2の実施例を説明
する。図5(a)に示したように、(SAMP)’がイ
ンバータ(INV21)及び(INV22)を通過した信号
及びNOR(NOR22)の出力が入力に印加されたNO
R(NOR21)と、NOR(NOR21)の出力及びサン
プリング信号(SAMP)がインバータ(INV24)で
反転された信号が入力に印加されたNOR(NOR22)
と、NOR(NOR22)の出力とSAMP間に接続され
た容量素子(CUP)と、ゲートに(SAMP)’が印加
され電源電圧端子(VDD)とSAMP間に接続されたN
チャネル型MOS−FET(N21)とSAMPとGND
間に直列接続されゲートにNOR(NOR22)の出力を
インバータ(INV23)で反転した信号が印加されたN
チャネル型MOS−FET(N22)及びゲートに(SA
MP)’がインバータ(INV21)で反転された信号が
印加されたNチャネル型MOS−FET(N23)及びS
AMPとGND間に直列接続されゲートに基準電圧(V
ref2)が印加されたNチャネル型MOS−FET
(N24)及び(SAMP)’がインバータ(INV21)
で反転された信号が印加されたNチャネル型MOS−F
ET(N25)で構成されている。尚、負荷容量(CL )
は図1(a)で示したNチャネル型MOS−FET(N
1 )及び(N2 )のゲート容量に相当する容量である。
次に図5(b)も参照しながら動作の説明をする。まず
(SAMP)’がロウからハイになるとN21がオンして
SAMPが(VDD−VTN)にチャージアップされ、イン
バータ(INV24)の出力(F)がハイからロウに変化
すると共に(N23)及び(N25)がオフする。続いてイ
ンバータ(INV21)及び(INV22)を通過する為
(SAMP)’の立ち上がりよりも遅れてインバータ
(INV22)の出力(D)がハイとなりNOR(NOR
21)の出力がロウになってNOR(NOR22)の出力
(E)がハイとなる。この時容量素子(CUP)でSAM
Pの電位が押し上げらてVH となり、VH は次式(5)
で与えられる。
【0024】
【0025】次に(SAMP)’がハイからロウになる
とN23及びN25がオンし、負荷容量(CL )及び容量素
子(CUP)に蓄えられた電荷がN24及びN25を介して放
電しサンプリング信号(SAMP)が下降すると共に
(D)がロウとなる。尚、サンプリング信号(SAM
P)の下降時間:tf1は次式で与えられ、所望のtf1を
得る為には次式(6)を満足するVref2を設定すればよ
い。
とN23及びN25がオンし、負荷容量(CL )及び容量素
子(CUP)に蓄えられた電荷がN24及びN25を介して放
電しサンプリング信号(SAMP)が下降すると共に
(D)がロウとなる。尚、サンプリング信号(SAM
P)の下降時間:tf1は次式で与えられ、所望のtf1を
得る為には次式(6)を満足するVref2を設定すればよ
い。
【0026】
【0027】ここで、インバータ(INV24)の論理し
きい値電圧を(VB +VTN)以下に設定しておけば、サ
ンプリング信号(SAMP)が(VB +VTN)以下に下
降しインバータ(INV24)の論理しきい値電圧まで到
達するとインバータ(INV24)の出力(F)がハイと
なり従ってNOR(NOR22)の出力(E)がハイに又
インバータ(INV23)の出力がハイとなってN22がオ
ンし、サンプリング信号(SAMP)は容量素子
(CUP)により引き下げられると共にN22及びN23を介
してGNDに接続され、サンプリング信号(SAMP)
の下降速度が大きくなり急速にGNDレベルになる。
きい値電圧を(VB +VTN)以下に設定しておけば、サ
ンプリング信号(SAMP)が(VB +VTN)以下に下
降しインバータ(INV24)の論理しきい値電圧まで到
達するとインバータ(INV24)の出力(F)がハイと
なり従ってNOR(NOR22)の出力(E)がハイに又
インバータ(INV23)の出力がハイとなってN22がオ
ンし、サンプリング信号(SAMP)は容量素子
(CUP)により引き下げられると共にN22及びN23を介
してGNDに接続され、サンプリング信号(SAMP)
の下降速度が大きくなり急速にGNDレベルになる。
【0028】図5(a)に示された回路から出力される
サンプリング信号(SAMP)を図1(a)におけるN
1 及びN2 に印加した場合、サンプリング信号(SAM
P)のハイレベルは押し上げられて高電圧:VH になっ
ている為N1 及びN2 のオン抵抗はゲートに電源電圧が
印加されている場合と比較すると小さくなり差動増幅器
(COMP)の第1及び第2の入力(−)及び(+)が
VB に短時間でチャージアップされているという効果が
ある他に、サンプリング信号(SAMP)が(VB +V
TN)以下で急速にGNDになる為、サンプリング期間が
短縮されさらに高速化が図れる。
サンプリング信号(SAMP)を図1(a)におけるN
1 及びN2 に印加した場合、サンプリング信号(SAM
P)のハイレベルは押し上げられて高電圧:VH になっ
ている為N1 及びN2 のオン抵抗はゲートに電源電圧が
印加されている場合と比較すると小さくなり差動増幅器
(COMP)の第1及び第2の入力(−)及び(+)が
VB に短時間でチャージアップされているという効果が
ある他に、サンプリング信号(SAMP)が(VB +V
TN)以下で急速にGNDになる為、サンプリング期間が
短縮されさらに高速化が図れる。
【0029】図6(a)及び(b)は本発明による第2
の実施例の回路図及び動作を示すタイミングチャートで
あり、図1(a)に示した本発明による第1の実施例を
示す回路図において、ゲートにサンプリング信号(SA
MP)の反転信号が印加されたPチャネル型MOS−F
ET(P3 )をNチャネル型MOS−FET(N1 )と
並列に接続すると共に、ゲートにサンプリング信号(S
AMP)の反転信号が印加されたPチャネル型MOS−
FET(P4 )をNチャネル型MOS−FET(N2 )
と並列に接続して構成され、第1のスイッチ回路
(S1 )と等価な抵抗と直列接続された(P3 )のゲー
ト〜ソース間に存在する寄生容量及び第1の容量素子
(C1 )の合成容量で与えられる時定数よりも長い時
間:tr1をかけてサンプリング信号の反転信号を(VB
−|VTP|)(VTP:Pチャネル型MOS−FETのし
きい値電圧)まで上昇させて(P3 )及び(P4 )をオ
フさせている。差動増幅器(COMP)の第1及び第2
の入力(−)及び(+)は(N1 )及び(N2 )のゲー
ト〜ソース間に存在する寄生容量を介してサンプリング
信号(SAMP)と結合すると共に(P2 )及び
(P3 )のゲート〜ソース間に存在する寄生容量を介し
てサンプリング信号の反転信号と統合している場合相殺
して、第8図に示した従来例と比較すればサンプリング
終了時差動増幅器(COMP)の第1及び第2の入力
(−)及び(+)における電位変動は小さくなる。しか
しMOS−FETのしきい値電圧の変動やサンプリング
信号(SAMP)とサンプリング信号の反転信号が変化
するタイミングの変動により電位差が生じ、オフセット
電圧が生じるので、本発明による第2の実施例では図6
(b)に示したようなサンプリング信号(SAMP)及
びサンプリング信号の反転信号を図6(a)に示した
(N1 ),(N2 )及び(P3 ),(P4 )のゲートに
印加し、オフセットを生じなくしている。本実施例では
前述した本発明による第1の実施例で説明した効果の他
にサンプリング信号(SAMP)とサンプリング信号の
反転信号の相殺効果が加わりより効果的である。図6
(b)に示されたサンプリング信号の反転信号は
(P3 )及び(P4 )のゲート容量を定電流源でプルア
ップすることにより実現でき、定電流源で駆動すること
によりサンプリング期間が短縮されることは前述してお
りここでの説明は省略する。又本発明による第2の実施
例の動作で本発明による第1の実施例と同様な動作を行
う部分の説明も省略した。
の実施例の回路図及び動作を示すタイミングチャートで
あり、図1(a)に示した本発明による第1の実施例を
示す回路図において、ゲートにサンプリング信号(SA
MP)の反転信号が印加されたPチャネル型MOS−F
ET(P3 )をNチャネル型MOS−FET(N1 )と
並列に接続すると共に、ゲートにサンプリング信号(S
AMP)の反転信号が印加されたPチャネル型MOS−
FET(P4 )をNチャネル型MOS−FET(N2 )
と並列に接続して構成され、第1のスイッチ回路
(S1 )と等価な抵抗と直列接続された(P3 )のゲー
ト〜ソース間に存在する寄生容量及び第1の容量素子
(C1 )の合成容量で与えられる時定数よりも長い時
間:tr1をかけてサンプリング信号の反転信号を(VB
−|VTP|)(VTP:Pチャネル型MOS−FETのし
きい値電圧)まで上昇させて(P3 )及び(P4 )をオ
フさせている。差動増幅器(COMP)の第1及び第2
の入力(−)及び(+)は(N1 )及び(N2 )のゲー
ト〜ソース間に存在する寄生容量を介してサンプリング
信号(SAMP)と結合すると共に(P2 )及び
(P3 )のゲート〜ソース間に存在する寄生容量を介し
てサンプリング信号の反転信号と統合している場合相殺
して、第8図に示した従来例と比較すればサンプリング
終了時差動増幅器(COMP)の第1及び第2の入力
(−)及び(+)における電位変動は小さくなる。しか
しMOS−FETのしきい値電圧の変動やサンプリング
信号(SAMP)とサンプリング信号の反転信号が変化
するタイミングの変動により電位差が生じ、オフセット
電圧が生じるので、本発明による第2の実施例では図6
(b)に示したようなサンプリング信号(SAMP)及
びサンプリング信号の反転信号を図6(a)に示した
(N1 ),(N2 )及び(P3 ),(P4 )のゲートに
印加し、オフセットを生じなくしている。本実施例では
前述した本発明による第1の実施例で説明した効果の他
にサンプリング信号(SAMP)とサンプリング信号の
反転信号の相殺効果が加わりより効果的である。図6
(b)に示されたサンプリング信号の反転信号は
(P3 )及び(P4 )のゲート容量を定電流源でプルア
ップすることにより実現でき、定電流源で駆動すること
によりサンプリング期間が短縮されることは前述してお
りここでの説明は省略する。又本発明による第2の実施
例の動作で本発明による第1の実施例と同様な動作を行
う部分の説明も省略した。
【0030】又図6(b)に示したサンプリング信号
(SAMP)及びサンプリング信号の反転信号の代り
に、図7に示した(VB +VTN)以下となって(N1 )
及び(N2 )がオフした後急速に下降するサンプリング
信号(SAMP)及び(VB −|VTP|)以上となって
(P3 )及び(P4 )がオフした後急速に上昇するサン
プリング信号の反転信号を図6(a)に示した回路に印
加することによりさらにサンプリング期間を短縮され高
速化が図れるという効果がある。
(SAMP)及びサンプリング信号の反転信号の代り
に、図7に示した(VB +VTN)以下となって(N1 )
及び(N2 )がオフした後急速に下降するサンプリング
信号(SAMP)及び(VB −|VTP|)以上となって
(P3 )及び(P4 )がオフした後急速に上昇するサン
プリング信号の反転信号を図6(a)に示した回路に印
加することによりさらにサンプリング期間を短縮され高
速化が図れるという効果がある。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、サンプリング終了
時に生ずるオフセットを無くしたので、変換誤差が生じ
なくなり高精度のA/D変換器が構成できるという効果
を有する。
時に生ずるオフセットを無くしたので、変換誤差が生じ
なくなり高精度のA/D変換器が構成できるという効果
を有する。
【図1】本発明一実施例の回路図とタイミングチャート
である。
である。
【図2】図1(a)の等価回路図とタイミングチャート
である。
である。
【図3】サンプリング信号発生回路図とタイミングチャ
ートである。
ートである。
【図4】他のサンプリング信号発生回路図とタイミング
チャートである。
チャートである。
【図5】さらに他のサンプリング信号発生回路図とタイ
ミングチャートである。
ミングチャートである。
【図6】第2実施例図とタイミングチャートである。
【図7】図6の他のタイミングチャートである。
【図8】従来例図とタイミングチャートである。
【図9】図8(a)の等価回路図とタイミングチャート
である。
である。
Claims (5)
- 【請求項1】 アナログ入力端子,ディジタル出力端
子,差動増幅器,レジスタ及びD/A変換器を備え、前
記差動増幅器の第1の入力は第1の容量素子の一端及び
ゲートにサンプリング信号が印加された一導電型の第1
のMOS−FETを介してバイアス電圧端子に接続さ
れ、前記差動増幅器の第2の入力は第2の容量素子の一
端及びゲートに前記サンプリング信号が印加された前記
第1のMOSF−FETと同一導電型の第2のMOS−
FETを介して前記バイアス電圧端子に接続され、前記
第1の容量素子の他端は第1のスイッチ回路を介して前
記アナログ入力端子及び第2のスイッチ回路を介して前
記D/A変換器の出力に接続され、前記第2の容量素子
の他端は前記バイアス電圧端子若しくは電圧端子に接続
され、前記差動増幅器の出力が前記レジスタの入力に、
前記レジスタの出力が前記D/A変換器の入力に接続さ
れて構成され、前記レジスタの内容が前記ディジタル出
力端子に出力されるA/D変換器において、前記第1の
スイッチ回路と等価な抵抗と直列接続された前記第1の
MOS−FETにおけるゲート〜ソース間に存在する寄
生容量及び前記第1の容量素子の合成容量で与えられる
時定数よりも長い時間をかけて前記サンプリング信号を
変化させ前記第1及び第2のMOS−FETをオフさせ
ることを特徴とするA/D変換器。 - 【請求項2】 前記第1及び第2のMOS−FETがオ
フしたことを検出して前記サンプリング信号が変化する
速度を大きくすることを特徴とする請求項1に記載のA
/D変換器。 - 【請求項3】 ゲートに前記サンプリング信号の反転信
号が印加された前記第1のMOS−FETと逆導電型の
第3のMOS−FETを前記第1のMOS−FETと並
列に接続すると共に、ゲートに前記サンプリング信号の
反転信号が印加された前記第1のMOS−FETと逆導
電型の第4のMOS−FETを前記第2のMOS−FE
Tと並列に接続し、前記第1のスイッチ回路と等価な抵
抗と直列接続された前記第3のMOS−FETにおける
ゲート〜ソース間に存在する寄生容量及び前記第1の容
量素子の合成容量で与えられる時定数よりも長い時間を
かけて前記サンプリング信号の反転信号を変化させて前
記第3及び第4のMOS−FETをオフさせることを特
徴とする請求項1に記載のA/D変換器。 - 【請求項4】 前記第3及び第4のMOS−FETがオ
フしたことを検出して前記サンプリング信号の反転信号
が変化する速度を大きくすることを特徴とする請求項1
又は2に記載のA/D変換器。 - 【請求項5】 前記第1と第2のMOS−FET及び前
記第3と第4のMOS−FETのゲートを定電流源で駆
動することにより、前記第1のスイッチ回路の等価抵抗
と前記第1若しくは第3のMOS−FETにおけるゲー
ト〜ソース間に存在する寄生容量及び前記第1の容量素
子が直列接続された場合の合成容量で与えられる時定数
よりも長い時間をかけて前記サンプリング信号及び前記
サンプリング信号の反転信号を変化させることを特徴と
する請求項1,2,3又は4に記載のA/D変換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18424791A JP2674369B2 (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | A/d変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18424791A JP2674369B2 (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | A/d変換器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0529936A true JPH0529936A (ja) | 1993-02-05 |
JP2674369B2 JP2674369B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=16149966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18424791A Expired - Fee Related JP2674369B2 (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | A/d変換器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2674369B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5968593A (en) * | 1995-03-20 | 1999-10-19 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Semiconductor manufacturing apparatus |
KR100712497B1 (ko) * | 2001-09-24 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 고속 비교회로 |
CN107800435A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-03-13 | 安凯(广州)微电子技术有限公司 | 一种电容阵列寄生效应的补偿电路和抵消方法 |
KR20190097018A (ko) | 2016-12-19 | 2019-08-20 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 현상 처리 방법, 컴퓨터 기억 매체 및 현상 처리 장치 |
US11960209B2 (en) | 2019-09-02 | 2024-04-16 | Tokyo Electron Limited | Developing treatment method and developing treatment apparatus |
-
1991
- 1991-07-24 JP JP18424791A patent/JP2674369B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5968593A (en) * | 1995-03-20 | 1999-10-19 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Semiconductor manufacturing apparatus |
KR100712497B1 (ko) * | 2001-09-24 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 고속 비교회로 |
KR20190097018A (ko) | 2016-12-19 | 2019-08-20 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 현상 처리 방법, 컴퓨터 기억 매체 및 현상 처리 장치 |
US11720026B2 (en) | 2016-12-19 | 2023-08-08 | Tokyo Electron Limited | Developing treatment method, computer storage medium and developing treatment apparatus |
CN107800435A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-03-13 | 安凯(广州)微电子技术有限公司 | 一种电容阵列寄生效应的补偿电路和抵消方法 |
CN107800435B (zh) * | 2017-11-27 | 2023-08-25 | 广州安凯微电子股份有限公司 | 一种电容阵列寄生效应的补偿电路和抵消方法 |
US11960209B2 (en) | 2019-09-02 | 2024-04-16 | Tokyo Electron Limited | Developing treatment method and developing treatment apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2674369B2 (ja) | 1997-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5222267B2 (ja) | 電流感知を伴う燃料計電力スイッチ | |
SG188739A1 (en) | Low power high resolution sensor interface | |
JPH0659024B2 (ja) | 時定数回路 | |
JP2002033651A (ja) | 負荷容量測定回路および出力バッファ | |
KR920010984B1 (ko) | 출력버퍼회로 | |
JP3105862B2 (ja) | 電圧比較回路 | |
EP1884856B1 (en) | Voltage/current converter circuit and method for providing a ramp current | |
JP2674369B2 (ja) | A/d変換器 | |
JPS62258521A (ja) | A−d変換器 | |
JP3431119B2 (ja) | 電流検出回路 | |
JPH08213886A (ja) | 遅延回路 | |
US5652382A (en) | Humidity meter | |
JPS6143896B2 (ja) | ||
KR20030072527A (ko) | 직류-직류 컨버터의 발진기 | |
KR19980013966A (ko) | 반도체 메모리 장치의 가변 지연 회로 | |
JP3810316B2 (ja) | 周波数逓倍回路 | |
JPH0159773B2 (ja) | ||
JPH118534A (ja) | 半導体集積回路 | |
JP2871902B2 (ja) | 電流セル回路 | |
US20240097618A1 (en) | Inductor current reconstruction circuit, controller and switched-mode power supply | |
JPH0529935A (ja) | A/d変換器 | |
JP3409526B2 (ja) | アナログスイッチ回路 | |
JP2002323518A (ja) | 電圧検出回路 | |
JP3168586B2 (ja) | 容量測定回路 | |
JPH1070440A (ja) | Cr発振回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970617 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |