JPH0529089B2 - - Google Patents
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- JPH0529089B2 JPH0529089B2 JP62274324A JP27432487A JPH0529089B2 JP H0529089 B2 JPH0529089 B2 JP H0529089B2 JP 62274324 A JP62274324 A JP 62274324A JP 27432487 A JP27432487 A JP 27432487A JP H0529089 B2 JPH0529089 B2 JP H0529089B2
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 28
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 28
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 23
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000007799 cork Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明はレンズの保持装置に係り、特に凸凸レ
ンズのごとき凸面を有するレンズの保持に最適な
レンズの保持装置に関する。 〔従来の技術〕 レンズを鏡胴に固定保持させる手段としては、
第１に固定具を用いてレンズを鏡胴に押し付けて
固定保持させる手段がある。具体的には、金属又
はプラスチツク等よりなる押え環を介してレンズ
を固定させる手段、ゴム、コルク、フエルト等の
緩衝材を介してレンズを固定保持させる手段、カ
シメによりレンズを鏡胴に固定保持させる手段等
が用いられている。 第２に、接着剤を介してレンズを鏡胴に固定保
持させる手段があり、その具体的手段としては次
のような手段がある。即ち、レンズの外周面の全
周にわたつて接着剤を充填し、接着剤を介してレ
ンズを鏡胴に固定保持させる方法、実開昭61−
155814号公開に開示された技術のごとく、レンズ
の有効口径外の外周部や鏡胴内周面に接着剤の非
接着用凹部を形設し、前記非接着用凹部を除くレ
ンズ外周面と鏡胴内周面間に接着剤を充填してレ
ンズを鏡胴に固定保持させる方法等がある。 〔発明が解決しようとする問題点〕 最近では、半導体分野でのLSIの高密度化に伴
い、縮小投影露光装置の縮小レンズの高精度化、
顕微鏡等の高分解能化等がもたらされ、そのため
にこれら高精度化、高分解能化等に対応できる光
学部品の出現が要求されてきている。即ち、具体
的には、波面歪がλ／20（λは波長、λ＝633nm）
以下の高精度の光学部品が要望され、従つて、光
学部品固定に伴う波面歪の変化はλ／30以下が必
要とされる。 ところが、上記従来技術においてはそれぞれ次
のような問題点があり、満足できるものではなか
つた。 まず、押え環等の固定具を介してレンズを鏡胴
に固定保持させる手段の場合には、光学部品に応
力が集中する部分が生じるために光学性能が低下
し、所定の光学性能を維持できないという問題点
があつた。 又、カシメ手段にてレンズを鏡胴に固定保持さ
せる手段の場合にも上記固定具による場合と同様
に光学部品を機械力学的に固定保持させるもので
あるために、固定時に生ずる応力が光学部品全体
に広がり、そのために光学性能が著しく低下する
という問題点があつた。 又、レンズの外周面の全周にわたつて接着剤を
充填して固定保持する手段の場合には、接着強度
等の点からレンズの波面歪の変化をλ／30以下に
維持することができなかつた。又、実開昭61−
155814号公報に開示された固定保持手段の場合に
は、レンズの外周面や鏡胴の内周面に非接着用の
凹部を形設加工しなければならず、加工コストが
著しく高くなるという問題点があつた。 本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなさ
れたものであつて、容易な加工で、レンズの波面
歪を高精度に維持しつつレンズを鏡胴に固定保持
しうるようにしたレンズ、特に凸面を有するレン
ズの保持装置を提供することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段及び作用〕 本発明は、凸面を有するレンズを接着剤を介し
て鏡胴に固定保持させるように構成してなるレン
ズの保持装置において、前記鏡筒の内周面におけ
るレンズ受け部側に近接した位置にある凸レンズ
面側の外周端縁部からレンズ外周面の光軸方向の
幅の1/2以内の一部に、光軸方向の幅が５mm以下
であつて、レンズの光軸と直交する方向に輪帯状
のレンズ保持部を突設し、このレンズ保持部の内
周面と前記レンズの外径周面との間に接着部を構
成したことにより、低コストにて、かつレンズの
波面歪の低下を極力抑制しつつ確実にレンズを固
定保持しうるようにしたものである。 〔実施例〕 以下、図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。 （第１実施例） 第１図は、本発明に係る凸面を有するレンズの
保持装置１の第１実施例を示す半断面正面図であ
り、図は縮小投影露光装置の縮小レンズのレンズ
保持装置を例示している。 図に示すようにレンズ保持装置１は、被保持体
であるレンズ２と、レンズ２を保持するための鏡
胴３とレンズ２を鏡胴３に対して接着固定するた
めの接着剤４とより構成してある。 被保持体であるレンズ２は、ガラス（硝材Ｆ
２）素材にて凹凸形状のレンズ（凸面下側）に形
設してあり、レンズ２の大きさは、直径120mm、
外周面２ａの幅L1＝15mmに設定してある。 鏡胴３は真鍮にて構成してあり、その光軸方向
の一端側にはレンズ２の支持部（受部）３ａが形
設してある。筒状の鏡胴３の内周面にはレンズ外
周面２ａを保持するためのレンズ保持部３ｂが光
軸と直交する方向に突設してある。レンズ保持部
３ｂの内周面とレンズ外周面２ａとの間には、
0.1mmのクリアランス（間隙）が設定してあり、
レンズ２は、このクリアランスに充填される接着
剤４を介して鏡胴３に接着固定保持されるように
なつている。 レンズ２を鏡胴３に接着固定する接着剤４は、
レンズ２における凸面側（即ち図において下面
側）のレンズ外周面２ａの下側位置（即ち、凸面
側レンズ面の外周縁）からｌ＝１mmの位置を中心
として光軸方向の幅を0.5mmに設定して充填して
ある。 なお、本実施例においては、凸面側のレンズ外
周面２ａ下端位置からｌ＝１mmの位置を接着部の
中心位置に設定したが、これに限定されるもので
はなく、第２図にて示すごとく、レンズ外周面２
ａの光軸方向の幅Ｌのうち凸面側レンズ外周面２
ａ下端位置から０〜1/2Ｌの範囲内に相当する鏡
筒の内周面に、光軸方向の幅が５mm以下であつ
て、レンズの光軸と直交する方向に輪帯状のレン
ズ保持部を穿設し、接着部を設定して構成するも
のであれば、本実施例に属するものである。 接着剤４は、紫外線硬化型接着剤を用いてあ
り、硬化物の硬度がシヨアA90（シヨアA30〜95
のもので可）のものを使用した。 次に、上記構成によりなるレンズ保持装置１の
作用、効果について説明する。 まず、レンズ保持装置１により凹凸レンズ２を
接着固定保持するに先立つてレンズ２の波面歪を
フイゾー型干渉計にて測定したところ、上面側の
凹面の波面歪はλ／33、下面側の凹面の波面歪は
λ／40であつた。 次に、上記構成のレンズ保持装置１にてレンズ
２を接着固定保持した後のレンズ２の各面の波面
歪をフイゾー型干渉計にて測定したところ、上面
側凹面の波面歪はλ／21、下面側凸面の波面歪は
λ／22であつた。従つて、接着固定前後のレンズ
２の波面歪の低下はλ／50以下であり、殆ど波面
歪を低下させることなくレンズ２を鏡胴３に接着
固定保持しうるものである。又、このレンズ２と
鏡胴３との接着構造物の接着強度を圧縮せん断強
度試験機により測定したところ、208Kgｆであり、
充分な保持強度を有していた。従つて、本実施例
のレンズ保持装置１によれば、レンズ固定保持前
のレンズ２の波面歪を殆ど低下させることなく、
かつ、レンズ２の保持強度も充分確保した状態で
レンズ２を鏡胴３に接着固定保持しうるものであ
る。換言すれば、接着固定時のレンズ２の光学性
能の低下を極力抑制しつつ大口径で重量の大きな
レンズをも確実に固定保持しうるものであり、そ
の結果、極めて高精度の光学部品（光学系）が得
られるものである。 又、レンズ外周面２ａや鏡胴３の内周面３ａに
非接着用の凹部を形設することなく上記のごとき
作用効果が得られるので、低コストにて高精度の
レンズ保持装置１が得られる。 第３図は、第１図にて示すレンズ２と同一のレ
ンズを接着位置を変化させて鏡胴３に固定保持し
た場合の波面歪の低下量の変化を示すグラフ図で
ある。図に示すように、接着位置を上方に移行さ
せるに従つて光学歪の発生が大きくなることが理
解できる。出願人の試験結果によれば、本実施例
と同じ接着幅で接着位置をレンズ外周面２ａ下面
位置から12mmの位置に設定したところ、波面歪は
λ／20以上となり、著しい光学性能の低下がみら
れた。なお、図中、実線は凸面側のグラフを波線
は凹面側のグラフを示している。 又、接着位置を凸面側レンズ外周面２ａ下端位
置から1/2Ｌの範囲内に設定し、接着部における
接着幅を0.5〜10mmの範囲内で変化させて設定し
たところ、波面歪の低下は下表のようになつた。
ンズのごとき凸面を有するレンズの保持に最適な
レンズの保持装置に関する。 〔従来の技術〕 レンズを鏡胴に固定保持させる手段としては、
第１に固定具を用いてレンズを鏡胴に押し付けて
固定保持させる手段がある。具体的には、金属又
はプラスチツク等よりなる押え環を介してレンズ
を固定させる手段、ゴム、コルク、フエルト等の
緩衝材を介してレンズを固定保持させる手段、カ
シメによりレンズを鏡胴に固定保持させる手段等
が用いられている。 第２に、接着剤を介してレンズを鏡胴に固定保
持させる手段があり、その具体的手段としては次
のような手段がある。即ち、レンズの外周面の全
周にわたつて接着剤を充填し、接着剤を介してレ
ンズを鏡胴に固定保持させる方法、実開昭61−
155814号公開に開示された技術のごとく、レンズ
の有効口径外の外周部や鏡胴内周面に接着剤の非
接着用凹部を形設し、前記非接着用凹部を除くレ
ンズ外周面と鏡胴内周面間に接着剤を充填してレ
ンズを鏡胴に固定保持させる方法等がある。 〔発明が解決しようとする問題点〕 最近では、半導体分野でのLSIの高密度化に伴
い、縮小投影露光装置の縮小レンズの高精度化、
顕微鏡等の高分解能化等がもたらされ、そのため
にこれら高精度化、高分解能化等に対応できる光
学部品の出現が要求されてきている。即ち、具体
的には、波面歪がλ／20（λは波長、λ＝633nm）
以下の高精度の光学部品が要望され、従つて、光
学部品固定に伴う波面歪の変化はλ／30以下が必
要とされる。 ところが、上記従来技術においてはそれぞれ次
のような問題点があり、満足できるものではなか
つた。 まず、押え環等の固定具を介してレンズを鏡胴
に固定保持させる手段の場合には、光学部品に応
力が集中する部分が生じるために光学性能が低下
し、所定の光学性能を維持できないという問題点
があつた。 又、カシメ手段にてレンズを鏡胴に固定保持さ
せる手段の場合にも上記固定具による場合と同様
に光学部品を機械力学的に固定保持させるもので
あるために、固定時に生ずる応力が光学部品全体
に広がり、そのために光学性能が著しく低下する
という問題点があつた。 又、レンズの外周面の全周にわたつて接着剤を
充填して固定保持する手段の場合には、接着強度
等の点からレンズの波面歪の変化をλ／30以下に
維持することができなかつた。又、実開昭61−
155814号公報に開示された固定保持手段の場合に
は、レンズの外周面や鏡胴の内周面に非接着用の
凹部を形設加工しなければならず、加工コストが
著しく高くなるという問題点があつた。 本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなさ
れたものであつて、容易な加工で、レンズの波面
歪を高精度に維持しつつレンズを鏡胴に固定保持
しうるようにしたレンズ、特に凸面を有するレン
ズの保持装置を提供することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段及び作用〕 本発明は、凸面を有するレンズを接着剤を介し
て鏡胴に固定保持させるように構成してなるレン
ズの保持装置において、前記鏡筒の内周面におけ
るレンズ受け部側に近接した位置にある凸レンズ
面側の外周端縁部からレンズ外周面の光軸方向の
幅の1/2以内の一部に、光軸方向の幅が５mm以下
であつて、レンズの光軸と直交する方向に輪帯状
のレンズ保持部を突設し、このレンズ保持部の内
周面と前記レンズの外径周面との間に接着部を構
成したことにより、低コストにて、かつレンズの
波面歪の低下を極力抑制しつつ確実にレンズを固
定保持しうるようにしたものである。 〔実施例〕 以下、図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。 （第１実施例） 第１図は、本発明に係る凸面を有するレンズの
保持装置１の第１実施例を示す半断面正面図であ
り、図は縮小投影露光装置の縮小レンズのレンズ
保持装置を例示している。 図に示すようにレンズ保持装置１は、被保持体
であるレンズ２と、レンズ２を保持するための鏡
胴３とレンズ２を鏡胴３に対して接着固定するた
めの接着剤４とより構成してある。 被保持体であるレンズ２は、ガラス（硝材Ｆ
２）素材にて凹凸形状のレンズ（凸面下側）に形
設してあり、レンズ２の大きさは、直径120mm、
外周面２ａの幅L1＝15mmに設定してある。 鏡胴３は真鍮にて構成してあり、その光軸方向
の一端側にはレンズ２の支持部（受部）３ａが形
設してある。筒状の鏡胴３の内周面にはレンズ外
周面２ａを保持するためのレンズ保持部３ｂが光
軸と直交する方向に突設してある。レンズ保持部
３ｂの内周面とレンズ外周面２ａとの間には、
0.1mmのクリアランス（間隙）が設定してあり、
レンズ２は、このクリアランスに充填される接着
剤４を介して鏡胴３に接着固定保持されるように
なつている。 レンズ２を鏡胴３に接着固定する接着剤４は、
レンズ２における凸面側（即ち図において下面
側）のレンズ外周面２ａの下側位置（即ち、凸面
側レンズ面の外周縁）からｌ＝１mmの位置を中心
として光軸方向の幅を0.5mmに設定して充填して
ある。 なお、本実施例においては、凸面側のレンズ外
周面２ａ下端位置からｌ＝１mmの位置を接着部の
中心位置に設定したが、これに限定されるもので
はなく、第２図にて示すごとく、レンズ外周面２
ａの光軸方向の幅Ｌのうち凸面側レンズ外周面２
ａ下端位置から０〜1/2Ｌの範囲内に相当する鏡
筒の内周面に、光軸方向の幅が５mm以下であつ
て、レンズの光軸と直交する方向に輪帯状のレン
ズ保持部を穿設し、接着部を設定して構成するも
のであれば、本実施例に属するものである。 接着剤４は、紫外線硬化型接着剤を用いてあ
り、硬化物の硬度がシヨアA90（シヨアA30〜95
のもので可）のものを使用した。 次に、上記構成によりなるレンズ保持装置１の
作用、効果について説明する。 まず、レンズ保持装置１により凹凸レンズ２を
接着固定保持するに先立つてレンズ２の波面歪を
フイゾー型干渉計にて測定したところ、上面側の
凹面の波面歪はλ／33、下面側の凹面の波面歪は
λ／40であつた。 次に、上記構成のレンズ保持装置１にてレンズ
２を接着固定保持した後のレンズ２の各面の波面
歪をフイゾー型干渉計にて測定したところ、上面
側凹面の波面歪はλ／21、下面側凸面の波面歪は
λ／22であつた。従つて、接着固定前後のレンズ
２の波面歪の低下はλ／50以下であり、殆ど波面
歪を低下させることなくレンズ２を鏡胴３に接着
固定保持しうるものである。又、このレンズ２と
鏡胴３との接着構造物の接着強度を圧縮せん断強
度試験機により測定したところ、208Kgｆであり、
充分な保持強度を有していた。従つて、本実施例
のレンズ保持装置１によれば、レンズ固定保持前
のレンズ２の波面歪を殆ど低下させることなく、
かつ、レンズ２の保持強度も充分確保した状態で
レンズ２を鏡胴３に接着固定保持しうるものであ
る。換言すれば、接着固定時のレンズ２の光学性
能の低下を極力抑制しつつ大口径で重量の大きな
レンズをも確実に固定保持しうるものであり、そ
の結果、極めて高精度の光学部品（光学系）が得
られるものである。 又、レンズ外周面２ａや鏡胴３の内周面３ａに
非接着用の凹部を形設することなく上記のごとき
作用効果が得られるので、低コストにて高精度の
レンズ保持装置１が得られる。 第３図は、第１図にて示すレンズ２と同一のレ
ンズを接着位置を変化させて鏡胴３に固定保持し
た場合の波面歪の低下量の変化を示すグラフ図で
ある。図に示すように、接着位置を上方に移行さ
せるに従つて光学歪の発生が大きくなることが理
解できる。出願人の試験結果によれば、本実施例
と同じ接着幅で接着位置をレンズ外周面２ａ下面
位置から12mmの位置に設定したところ、波面歪は
λ／20以上となり、著しい光学性能の低下がみら
れた。なお、図中、実線は凸面側のグラフを波線
は凹面側のグラフを示している。 又、接着位置を凸面側レンズ外周面２ａ下端位
置から1/2Ｌの範囲内に設定し、接着部における
接着幅を0.5〜10mmの範囲内で変化させて設定し
たところ、波面歪の低下は下表のようになつた。
以上のような構成による本発明によれば、被装
着レンズまたは鏡胴に特別な加工を施すことなく
簡単な構成にて鏡胴に凸レンズの装着位置を設定
することができることにより、レンズの波面歪を
低下させることなく固定保持できると共に、鏡胴
の設置方向を自由に選択できるなど生産性、品質
性および原価性に寄与する効果は大きい。
着レンズまたは鏡胴に特別な加工を施すことなく
簡単な構成にて鏡胴に凸レンズの装着位置を設定
することができることにより、レンズの波面歪を
低下させることなく固定保持できると共に、鏡胴
の設置方向を自由に選択できるなど生産性、品質
性および原価性に寄与する効果は大きい。
第１図は、本発明に係るレンズ保持装置の第１
実施例を示す半断面正面図、第２図は、第１図に
て示す凹凸形状レンズ（凸面下側）における接着
部の位置を示す説明図、第３図は、第１実施例に
おけるレンズ接着部の位置の変化とその位置の変
化に伴う波面歪の低下量との関係を示すグラフ
図、第４図は、凸凸形状レンズを保持する場合の
レンズの接着部位置を示す説明図、第５図は、本
発明に係るレンズ保持装置の第２実施例を示す半
断面正面図、第６図は、第５図にて示す凸凹形状
レンズ（凸面上側）における接着部の位置を示す
説明図、第７図は、第２実施例におけるレンズ接
着部の位置の変化とその位置の変化に伴う波面歪
の低下量との関係を示すグラフ図である。 ２……レンズ、２ａ……レンズ外周面、３……
鏡胴、３ａ……レンズ受部、４……接着剤、Ｌ…
…レンズ外周面の幅。
実施例を示す半断面正面図、第２図は、第１図に
て示す凹凸形状レンズ（凸面下側）における接着
部の位置を示す説明図、第３図は、第１実施例に
おけるレンズ接着部の位置の変化とその位置の変
化に伴う波面歪の低下量との関係を示すグラフ
図、第４図は、凸凸形状レンズを保持する場合の
レンズの接着部位置を示す説明図、第５図は、本
発明に係るレンズ保持装置の第２実施例を示す半
断面正面図、第６図は、第５図にて示す凸凹形状
レンズ（凸面上側）における接着部の位置を示す
説明図、第７図は、第２実施例におけるレンズ接
着部の位置の変化とその位置の変化に伴う波面歪
の低下量との関係を示すグラフ図である。 ２……レンズ、２ａ……レンズ外周面、３……
鏡胴、３ａ……レンズ受部、４……接着剤、Ｌ…
…レンズ外周面の幅。
１ (A)数平均分子量200〜5000の液状炭化水素と、
(B)一般式 （式中のR1〜R5は水素原子又は炭素数１〜２
のアルキル基、R6は水素原子又は炭素数１〜４
のアルキル基である） で表わされる化合物、一般式 （式中のｍは０又は１〜２、ｎは１〜２の数で
ある） で表わされる化合物及び式 で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも
(B)一般式 （式中のR1〜R5は水素原子又は炭素数１〜２
のアルキル基、R6は水素原子又は炭素数１〜４
のアルキル基である） で表わされる化合物、一般式 （式中のｍは０又は１〜２、ｎは１〜２の数で
ある） で表わされる化合物及び式 で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27432487A JPH01116506A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 凸面を有するレンズの保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27432487A JPH01116506A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 凸面を有するレンズの保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01116506A JPH01116506A (ja) | 1989-05-09 |
| JPH0529089B2 true JPH0529089B2 (ja) | 1993-04-28 |
Family
ID=17540066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27432487A Granted JPH01116506A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 凸面を有するレンズの保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01116506A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007097413A1 (ja) * | 2006-02-24 | 2007-08-30 | Nidec Sankyo Corporation | レンズ駆動装置 |
| JP2007264576A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Nidec Sankyo Corp | レンズ駆動装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61107309A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置 |
| JPS6128117B2 (ja) * | 1977-09-16 | 1986-06-28 | Hitachi Ltd |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6128117U (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-20 | アルプス電気株式会社 | 光学式ピツクアツプの対物レンズ |
| JPS61137911U (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-27 |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP27432487A patent/JPH01116506A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6128117B2 (ja) * | 1977-09-16 | 1986-06-28 | Hitachi Ltd | |
| JPS61107309A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01116506A (ja) | 1989-05-09 |
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