JPH05281163A - 組み合わせ型ｘ線スペクトルメータ - Google Patents
組み合わせ型ｘ線スペクトルメータInfo
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- JPH05281163A JPH05281163A JP5031393A JP3139393A JPH05281163A JP H05281163 A JPH05281163 A JP H05281163A JP 5031393 A JP5031393 A JP 5031393A JP 3139393 A JP3139393 A JP 3139393A JP H05281163 A JPH05281163 A JP H05281163A
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- ray
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- ray spectrometer
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- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
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-
- G—PHYSICS
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- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/36—Measuring spectral distribution of X-rays or of nuclear radiation spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 波長分散型の測定と、エネルギ分散型の測定
とを同時に行うことができるＸ線スペクトルメータを提
供する。 【構成】 本Ｘ線スペクトルメータは波長感応型測定チ
ャンネルと、エネルギ感応型測定チャンネルとを有す
る。結果として、一方のチャンネルからの測定データを
他方のチャンネルによる測定を最適化するために使用す
ることができ、また両測定チャンネルからの測定信号を
相関付けることができる。この場合、エネルギ感応型検
出器は、好ましくは、デュワー瓶から冷却用導体により
冷却される半導体検出器とする。
とを同時に行うことができるＸ線スペクトルメータを提
供する。 【構成】 本Ｘ線スペクトルメータは波長感応型測定チ
ャンネルと、エネルギ感応型測定チャンネルとを有す
る。結果として、一方のチャンネルからの測定データを
他方のチャンネルによる測定を最適化するために使用す
ることができ、また両測定チャンネルからの測定信号を
相関付けることができる。この場合、エネルギ感応型検
出器は、好ましくは、デュワー瓶から冷却用導体により
冷却される半導体検出器とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は励起源、分析すべき試
料用の試料ホルダ及び試料から発するＸ線を検出する検
出システムを有するようなＸ線スペクトルメータに関す
る。
料用の試料ホルダ及び試料から発するＸ線を検出する検
出システムを有するようなＸ線スペクトルメータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】この種のＸ線スペクトルメータは、ドイ
ツ特許第DE3524379号から既知である。この特許に述べ
られている装置は波長分散型（wavelength dispersiv
e）叉はエネルギ分散型（energy dispersive）の試料分
析用として動作する。この装置は測定のための高放射負
荷を達成するために２個のＸ線管を有している。
ツ特許第DE3524379号から既知である。この特許に述べ
られている装置は波長分散型（wavelength dispersiv
e）叉はエネルギ分散型（energy dispersive）の試料分
析用として動作する。この装置は測定のための高放射負
荷を達成するために２個のＸ線管を有している。
【０００３】
【発明の目的及び概要】本発明の目的は波長分散型の測
定とエネルギ分散型の測定とを同時に行うことができる
Ｘ線分析装置を提供することにある。
定とエネルギ分散型の測定とを同時に行うことができる
Ｘ線分析装置を提供することにある。
【０００４】上記目的を達成するため、本発明によるＸ
線分析装置は本明細書の冒頭で述べたような装置におい
て、前記検出システムが波長分散型測定チャンネルと、
エネルギ分散型測定チャンネルとを有することを特徴と
している。
線分析装置は本明細書の冒頭で述べたような装置におい
て、前記検出システムが波長分散型測定チャンネルと、
エネルギ分散型測定チャンネルとを有することを特徴と
している。
【０００５】本発明による装置は両測定方法用の各測定
チャンネル（測定すべき試料と、信号処理装置との間の
信号装置と理解されたい）を有しているので、これら両
測定方法により得られた測定信号を所望に応じて個々に
叉は一緒に記録することができ、これにより例えばエネ
ルギ分散型測定チャンネルを介して高速の定性的試料画
像を形成することができる一方、波長分散型測定チャン
ネルを介して例えば特定の元素の定量分析を実施するこ
とができる。この場合、エネルギ分散型測定及び波長分
散型測定によって得られたデータを所望に応じて相関づ
けることができる。
チャンネル（測定すべき試料と、信号処理装置との間の
信号装置と理解されたい）を有しているので、これら両
測定方法により得られた測定信号を所望に応じて個々に
叉は一緒に記録することができ、これにより例えばエネ
ルギ分散型測定チャンネルを介して高速の定性的試料画
像を形成することができる一方、波長分散型測定チャン
ネルを介して例えば特定の元素の定量分析を実施するこ
とができる。この場合、エネルギ分散型測定及び波長分
散型測定によって得られたデータを所望に応じて相関づ
けることができる。
【０００６】試料を励起するため、当該装置は１個以上
の放射線源、例えば端部窓式Ｘ線管叉は側部窓式Ｘ線
管、を有してもよい。
の放射線源、例えば端部窓式Ｘ線管叉は側部窓式Ｘ線
管、を有してもよい。
【０００７】好適な実施例におけるエネルギ分散型測定
チャンネルは特に定性的情報を発生するよう動作し、半
導体検出器を有している。一方、波長分散型測定チャン
ネルは特に定量的情報を発生するよう動作する。エネル
ギ分散型測定用の測定チャンネルには、該当する検出器
を過度の露出から保護するために、例えばピンホールの
形態の放射絞りが含まれる。
チャンネルは特に定性的情報を発生するよう動作し、半
導体検出器を有している。一方、波長分散型測定チャン
ネルは特に定量的情報を発生するよう動作する。エネル
ギ分散型測定用の測定チャンネルには、該当する検出器
を過度の露出から保護するために、例えばピンホールの
形態の放射絞りが含まれる。
【０００８】好ましい実施例においては、前記エネルギ
分散型検出器としてノイズ抑制のために冷却された検出
器を使用する。この冷却には、実際のスペクトルメータ
の外側に配置される冷却装置と、当該検出器との間に設
けられるコールドフィンガ（cold finger）を利用す
る。他の例として、非冷却型検出器叉はペルチェ効果冷
却型の検出器を用いてもよい。
分散型検出器としてノイズ抑制のために冷却された検出
器を使用する。この冷却には、実際のスペクトルメータ
の外側に配置される冷却装置と、当該検出器との間に設
けられるコールドフィンガ（cold finger）を利用す
る。他の例として、非冷却型検出器叉はペルチェ効果冷
却型の検出器を用いてもよい。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面を参照し
て説明する。図１は本発明によるＸ線分析装置の一実施
例の構成を示し、該装置は陽極４、出力窓６及び真空容
器８を持つＸ線管２と、分析すべき試料12を位置決めす
るための試料ホルダチェンジャ10と、コリメータ14とを
有している。当該装置は更にエネルギ感応型検出器16を
有し、該検出器は当該装置から最小距離を隔てて（この
例においては、実際のスペクトルメータ20のハウジング
の外側に）配置されたデュワー瓶22に接続されたコール
ドフィンガ（cold finger）18を有している。
て説明する。図１は本発明によるＸ線分析装置の一実施
例の構成を示し、該装置は陽極４、出力窓６及び真空容
器８を持つＸ線管２と、分析すべき試料12を位置決めす
るための試料ホルダチェンジャ10と、コリメータ14とを
有している。当該装置は更にエネルギ感応型検出器16を
有し、該検出器は当該装置から最小距離を隔てて（この
例においては、実際のスペクトルメータ20のハウジング
の外側に）配置されたデュワー瓶22に接続されたコール
ドフィンガ（cold finger）18を有している。
【００１０】前記Ｘ線管の陽極４から放射されたＸ線ビ
ーム24は試料の表面26に入射する。そして、この試料か
ら放射されるＸ線ビーム28はコリメータ14を経ることに
より、平行化されたビーム30として分析結晶32に入射す
る。そして、この結晶32から放射されたＸ線ビーム34
は、検出器36により角度に依存し、従って波長に依存し
た既知の方法で測定される。この角度依存性はθ-2θ角
度調整機構33を用いて既知の方法で実現される。
ーム24は試料の表面26に入射する。そして、この試料か
ら放射されるＸ線ビーム28はコリメータ14を経ることに
より、平行化されたビーム30として分析結晶32に入射す
る。そして、この結晶32から放射されたＸ線ビーム34
は、検出器36により角度に依存し、従って波長に依存し
た既知の方法で測定される。この角度依存性はθ-2θ角
度調整機構33を用いて既知の方法で実現される。
【００１１】前記試料から放射された放射ビーム40は絞
り42を介してエネルギ感応型検出器16に入射するが、こ
の検出器は好ましくは半導体検出器により構成される。
上記検出器16はホルダ44内に取り付けられた前記コール
ドフィンガ18の端部に配置される。このホルダは真空封
止及び磁気遮蔽手段として作用するフランジ46を有し、
該フランジはこのような目的のため好ましくはニッケル
鉄により製作される。前記冷却導体（コールドフィン
ガ）内の電気導体48は前記検出器16を前置増幅器50に接
続する。この前置増幅器は本例においては実際のスペク
トルメータの外側に設けられるが、他の例として検出器
16の近傍に配置してもよい。この検出器16により発生さ
れた信号は、既知の方法で、以後の処理のために直接叉
は接続部52を介してコンピュータ54に供給される。ま
た、波長感応型検出器36により形成された信号は前記θ
-2θ調整機構の信号と一緒に、既知の方法で直接叉は接
続部52を介して前記コンピュータ54に供給される。そし
て、例えばプリンタ等の記録ユニット56が上記コンピュ
ータに組み合わされる。
り42を介してエネルギ感応型検出器16に入射するが、こ
の検出器は好ましくは半導体検出器により構成される。
上記検出器16はホルダ44内に取り付けられた前記コール
ドフィンガ18の端部に配置される。このホルダは真空封
止及び磁気遮蔽手段として作用するフランジ46を有し、
該フランジはこのような目的のため好ましくはニッケル
鉄により製作される。前記冷却導体（コールドフィン
ガ）内の電気導体48は前記検出器16を前置増幅器50に接
続する。この前置増幅器は本例においては実際のスペク
トルメータの外側に設けられるが、他の例として検出器
16の近傍に配置してもよい。この検出器16により発生さ
れた信号は、既知の方法で、以後の処理のために直接叉
は接続部52を介してコンピュータ54に供給される。ま
た、波長感応型検出器36により形成された信号は前記θ
-2θ調整機構の信号と一緒に、既知の方法で直接叉は接
続部52を介して前記コンピュータ54に供給される。そし
て、例えばプリンタ等の記録ユニット56が上記コンピュ
ータに組み合わされる。
【００１２】前記接続部52においては、前記２種の信号
が相関付けられ、及び必要なら組み合わされる。このよ
うな接続部は、例えば検出器36の出力と増幅器50の出力
とを各々デジタル信号に変換するA/D変換器と、これらA
/D変換器によるサンプリング時点及び速度を制御するク
ロック回路と、これらA/D変換器の出力を各々一時保持
するバッファ回路とを設けて構成することができ、前記
コンピュータ54はこれらバッファ回路の内容を選択的に
読み出すことができる。このように、エネルギ感応型チ
ャンネルを介する高速定性分析から、波長感応型チャン
ネルを介する特定の元素の詳細な定性分析を実現するこ
とができ、これにより試料中に存在する物質（元素）の
高速調査を、このようにして発見され且つ当該調査で重
要な物質の正確な分析と組み合わせることが可能とな
る。なお、上記波長感応型測定チャンネルは発見された
元素の１個叉は数個のものに調整することができ、これ
により当該分析を比較的高速で且つ低ノイズレベルで実
施することができる。
が相関付けられ、及び必要なら組み合わされる。このよ
うな接続部は、例えば検出器36の出力と増幅器50の出力
とを各々デジタル信号に変換するA/D変換器と、これらA
/D変換器によるサンプリング時点及び速度を制御するク
ロック回路と、これらA/D変換器の出力を各々一時保持
するバッファ回路とを設けて構成することができ、前記
コンピュータ54はこれらバッファ回路の内容を選択的に
読み出すことができる。このように、エネルギ感応型チ
ャンネルを介する高速定性分析から、波長感応型チャン
ネルを介する特定の元素の詳細な定性分析を実現するこ
とができ、これにより試料中に存在する物質（元素）の
高速調査を、このようにして発見され且つ当該調査で重
要な物質の正確な分析と組み合わせることが可能とな
る。なお、上記波長感応型測定チャンネルは発見された
元素の１個叉は数個のものに調整することができ、これ
により当該分析を比較的高速で且つ低ノイズレベルで実
施することができる。
【図１】 図１は本発明によるＸ線スペクトルメータの
一実施例の構成を示すブロック図である。
一実施例の構成を示すブロック図である。
２…Ｘ線管、 10…試料ホルダ、12…試
料、 16…エネルギ分散型検出器、18…
コールドフィンガ、 22…デュワー瓶、36…波長分散
型検出器、 42…放射絞り、52…接続部、
54…コンピュータ。
料、 16…エネルギ分散型検出器、18…
コールドフィンガ、 22…デュワー瓶、36…波長分散
型検出器、 42…放射絞り、52…接続部、
54…コンピュータ。
フロントページの続き (72)発明者 ロベルタス ヤコブス マリア ブリンカ ー オランダ国 アインドーフェン フルーネ ヴァウツウェッハ １ (72)発明者 ウァルテラス アルフォンサス ローレン ティウス アントニウス ファン エゲラ ート オランダ国 アインドーフェン フルーネ ヴァウツウェッハ １
Claims (8)
- 【請求項１】 励起源と、分析すべき試料を保持するホ
ルダと、該試料から放射されるＸ線を検出する検出シス
テムとを有してなるＸ線スペクトルメータにおいて、 前記検出システムが波長分散型測定チャンネルと、エネ
ルギ分散型測定チャンネルとを有していることを特徴と
するＸ線スペクトルメータ。 - 【請求項２】 請求項１に記載のＸ線スペクトルメータ
において、前記励起源が前記両測定チャンネル用の放射
線を発生する１個以上の励起源を有していることを特徴
とするＸ線スペクトルメータ。 - 【請求項３】 請求項１叉は請求項２に記載のＸ線スペ
クトルメータにおいて、前記励起源の少なくとも１個が
側部窓式Ｘ線管を有していることを特徴とするＸ線スペ
クトルメータ。 - 【請求項４】 請求項１叉は請求項２に記載のＸ線スペ
クトルメータにおいて、前記励起源の少なくとも１個が
端部窓式Ｘ線管を有していることを特徴とするＸ線スペ
クトルメータ。 - 【請求項５】 請求項１ないし請求項４の何れか一項に
記載のＸ線スペクトルメータにおいて、前記エネルギ分
散型測定チャンネルのＸ線ビーム通路に放射絞りが配置
されていることを特徴とするＸ線スペクトルメータ。 - 【請求項６】 請求項１ないし請求項５の何れか一項に
記載のＸ線スペクトルメータにおいて、前記エネルギ分
散型測定チャンネルがデュワー瓶からのコールドフィン
ガにより冷却することができる半導体検出器を有してい
ることを特徴とするＸ線スペクトルメータ。 - 【請求項７】 請求項１ないし請求項６の何れか一項に
記載のＸ線スペクトルメータにおいて、前記エネルギ分
散型測定チャンネルが分析すべき試料に関する定性的情
報を発生するように動作し、前記波長分散型測定チャン
ネルが該試料に関する定量的情報を発生するように動作
することを特徴とするＸ線スペクトルメータ。 - 【請求項８】 請求項１ないし請求項７の何れか一項に
記載のＸ線スペクトルメータにおいて、前記両測定チャ
ンネル用の各制御及び信号処理装置が定性的及び定量的
試料情報を相関させるために結合されていることを特徴
とするＸ線スペクトルメータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP92200300 | 1992-02-03 | ||
| NL92200300.9 | 1992-02-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05281163A true JPH05281163A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=8210402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5031393A Withdrawn JPH05281163A (ja) | 1992-02-03 | 1993-01-27 | 組み合わせ型ｘ線スペクトルメータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0554935A1 (ja) |
| JP (1) | JPH05281163A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1123723A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-29 | Rikagaku Kenkyusho | 粒子線検出装置 |
| DE19963331B4 (de) * | 1998-12-28 | 2007-10-04 | Rigaku Industrial Corporation, Takatsuki | Röntgenfluoreszenzanalysator zur Verwendung als wellenlängendispersiver Analysator und energiedispersiver Analysator |
| WO2018100873A1 (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9519771D0 (en) * | 1995-09-28 | 1995-11-29 | Oxford Analytical Instr Ltd | X-ray fluorescence inspection apparatus and method |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2054464A1 (de) * | 1970-11-05 | 1972-05-10 | Siemens Ag | Röntgenfluoreszenz-Mikroanaly sator |
| DE3524379A1 (de) * | 1984-08-08 | 1986-02-20 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Roentgenspektrometer |
| JPS6193938A (ja) * | 1984-10-13 | 1986-05-12 | Jeol Ltd | 分析電子顕微鏡等による試料の分析方法 |
| JPS6417369A (en) * | 1987-07-10 | 1989-01-20 | Jeol Ltd | Spectrum display unit in x-ray microanalyzer and the like |
| US4959848A (en) * | 1987-12-16 | 1990-09-25 | Axic Inc. | Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis |
| JPH0238850A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-08 | Jeol Ltd | Ｘ線分光器を用いた定性分析方法 |
-
1993
- 1993-01-26 EP EP93200181A patent/EP0554935A1/en not_active Withdrawn
- 1993-01-27 JP JP5031393A patent/JPH05281163A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1123723A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-29 | Rikagaku Kenkyusho | 粒子線検出装置 |
| DE19963331B4 (de) * | 1998-12-28 | 2007-10-04 | Rigaku Industrial Corporation, Takatsuki | Röntgenfluoreszenzanalysator zur Verwendung als wellenlängendispersiver Analysator und energiedispersiver Analysator |
| WO2018100873A1 (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0554935A1 (en) | 1993-08-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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