JPH05267975A - 弾性表面波装置およびその製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置およびその製造方法Info
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- JPH05267975A JPH05267975A JP6270792A JP6270792A JPH05267975A JP H05267975 A JPH05267975 A JP H05267975A JP 6270792 A JP6270792 A JP 6270792A JP 6270792 A JP6270792 A JP 6270792A JP H05267975 A JPH05267975 A JP H05267975A
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- Japan
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- insulating film
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
- piezoelectric substrate
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外部よりの異物の付着による弾性表面波装置
の機能停止、経時的な機能劣化を防ぐ。 【構成】 表面波の送信部、受信部および伝搬路上に第
１の感光剤を塗布し、その上に第１の絶縁膜を全面形成
する。次に、クロスオーバが必要な部分に第２の感光剤
を第１の絶縁膜上に塗布し、第２の感光剤のない部分の
第１の絶縁膜をエッチングにより除去する。次に、第１
の感光剤を除去し、クロスオーバ部を形成する。さら
に、第１の絶縁膜上の全面に第２の絶縁膜を形成する。
の機能停止、経時的な機能劣化を防ぐ。 【構成】 表面波の送信部、受信部および伝搬路上に第
１の感光剤を塗布し、その上に第１の絶縁膜を全面形成
する。次に、クロスオーバが必要な部分に第２の感光剤
を第１の絶縁膜上に塗布し、第２の感光剤のない部分の
第１の絶縁膜をエッチングにより除去する。次に、第１
の感光剤を除去し、クロスオーバ部を形成する。さら
に、第１の絶縁膜上の全面に第２の絶縁膜を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電基板上に形成され
た交叉指状電極を有する弾性表面波装置およびその製造
方法に関する。
た交叉指状電極を有する弾性表面波装置およびその製造
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の弾性表面波装置の正面図
と断面図である。従来の弾性表面波装置は図３に示すよ
うに、圧電基板１４，１６上に交叉指状電極１５，１７
が金属薄膜により形成されており、圧電基板の表面上を
伝搬する弾性表面波を阻害しないようにするため、表面
は半導体デバイスのような絶縁膜（ＳｉＮ，ＳｉＯ2 ）
により保護されていない。
と断面図である。従来の弾性表面波装置は図３に示すよ
うに、圧電基板１４，１６上に交叉指状電極１５，１７
が金属薄膜により形成されており、圧電基板の表面上を
伝搬する弾性表面波を阻害しないようにするため、表面
は半導体デバイスのような絶縁膜（ＳｉＮ，ＳｉＯ2 ）
により保護されていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の弾性表面波
装置では、圧電基板の表面が絶縁膜（ＳｉＮ，Ｓｉ
Ｏ2）により、保護されていないため、外部より弾性表
面波伝搬路上に異物が付着すると、弾性表面波装置の機
能に重大な影響を与える。例えば、外部より交叉指状電
極の電極幅より大きい導電性の異物が交叉指状電極上に
付着すると、デバイスは電気的に短絡状態となり、デバ
イスの機能は停止する。
装置では、圧電基板の表面が絶縁膜（ＳｉＮ，Ｓｉ
Ｏ2）により、保護されていないため、外部より弾性表
面波伝搬路上に異物が付着すると、弾性表面波装置の機
能に重大な影響を与える。例えば、外部より交叉指状電
極の電極幅より大きい導電性の異物が交叉指状電極上に
付着すると、デバイスは電気的に短絡状態となり、デバ
イスの機能は停止する。
【０００４】さらに、交叉指状電極は、通常、Ａｌ電極
が用いられているため、外部より腐蝕性のガス（Ｋ，Ｃ
ｌ，Ｎａ）によつて交叉指状電極が腐蝕し、経時的に特
性が劣化していくことがある。
が用いられているため、外部より腐蝕性のガス（Ｋ，Ｃ
ｌ，Ｎａ）によつて交叉指状電極が腐蝕し、経時的に特
性が劣化していくことがある。
【０００５】また、弾性表面波チップをパッケージにダ
イボンディングするための接着剤の揮発性ガスが、経時
的に表面波伝搬路上に積層していき、弾性表面波装置の
共振、中心周波数の低下または挿入損失の増大をもたら
す原因となる。
イボンディングするための接着剤の揮発性ガスが、経時
的に表面波伝搬路上に積層していき、弾性表面波装置の
共振、中心周波数の低下または挿入損失の増大をもたら
す原因となる。
【０００６】したがって、表面波が伝搬する部分を外部
から物理的にしゃ断するために、中心部を設ける方法が
検討されているが、製造工法的に困難であった。
から物理的にしゃ断するために、中心部を設ける方法が
検討されているが、製造工法的に困難であった。
【０００７】本発明の目的は、中空部を設ける方法を確
立し、外部からの異物の付着による機能停止がなく、経
時的な機能劣化の少ない弾性表面波装置およびその製造
方法を提供することにある。
立し、外部からの異物の付着による機能停止がなく、経
時的な機能劣化の少ない弾性表面波装置およびその製造
方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、交叉指状電極
が形成された圧電基板と、圧電基板上の交叉指状電極の
部分に中空部を設け、ボンディングパット部を除いて圧
電基板上に全面形成された絶縁膜とからなることを特徴
としている。
が形成された圧電基板と、圧電基板上の交叉指状電極の
部分に中空部を設け、ボンディングパット部を除いて圧
電基板上に全面形成された絶縁膜とからなることを特徴
としている。
【０００９】また、本発明は、圧電基板上に形成された
交叉指状電極を有する弾性表面波装置の製造方法におい
て、表面波の送信部、受信部および伝搬路上に第１の感
光剤を塗布し、第１の感光剤の上に第１の絶縁膜を全面
形成し、クロスオーバが必要な部分に第２の感光剤を第
１の絶縁膜上に塗布し、第２の感光剤のない部分の第１
の絶縁膜をエッチングにより除去し、第２の感光剤のな
い部分の第１の絶縁膜を除去した後に第１の感光剤を除
去してクロスオーバ部を形成し、第１の絶縁膜上の全面
に第２の絶縁膜を形成することを特徴としている。
交叉指状電極を有する弾性表面波装置の製造方法におい
て、表面波の送信部、受信部および伝搬路上に第１の感
光剤を塗布し、第１の感光剤の上に第１の絶縁膜を全面
形成し、クロスオーバが必要な部分に第２の感光剤を第
１の絶縁膜上に塗布し、第２の感光剤のない部分の第１
の絶縁膜をエッチングにより除去し、第２の感光剤のな
い部分の第１の絶縁膜を除去した後に第１の感光剤を除
去してクロスオーバ部を形成し、第１の絶縁膜上の全面
に第２の絶縁膜を形成することを特徴としている。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１１】図１は、本発明の弾性表面波装置の製造方
法の工程図であり、図２は、本発明の弾性表面波装置の
正面図である。圧電基板１の上に弾性表面波パターン２
が形成されている。さらに、その上に、ボンディングパ
ット部４，５を除いて絶縁膜が形成されており、点線の
内側は中空部３となっている。ボンディングパット部
４，５は、ボンディング接続のため絶縁膜９が除去され
ている。
法の工程図であり、図２は、本発明の弾性表面波装置の
正面図である。圧電基板１の上に弾性表面波パターン２
が形成されている。さらに、その上に、ボンディングパ
ット部４，５を除いて絶縁膜が形成されており、点線の
内側は中空部３となっている。ボンディングパット部
４，５は、ボンディング接続のため絶縁膜９が除去され
ている。
【００１２】次に、本実施例の製造工法について説明す
る。
る。
【００１３】なお、図１は、図２におけるＡ−Ａ，Ｂ−
Ｂ断面での製造工程別の断面図を示している。
Ｂ断面での製造工程別の断面図を示している。
【００１４】図１（１）は、弾性表面波装置において絶
縁膜により中空にしたい部分に感光剤８を塗布する工程
である。図１（２）は、その上に絶縁膜９（ＳｉＮ，Ｓ
ｉＯ2 等）を蒸着・スパッタ・ＣＶＤ等で全面成膜する
工程である。図１（３）は、感光剤１０を塗布し、クロ
スオーバ部以外を露光、現像した後の工程を示す。図１
（４）は、感光剤１０が残っている部分以外の絶縁膜９
をエッチングにより除去する工程である。
縁膜により中空にしたい部分に感光剤８を塗布する工程
である。図１（２）は、その上に絶縁膜９（ＳｉＮ，Ｓ
ｉＯ2 等）を蒸着・スパッタ・ＣＶＤ等で全面成膜する
工程である。図１（３）は、感光剤１０を塗布し、クロ
スオーバ部以外を露光、現像した後の工程を示す。図１
（４）は、感光剤１０が残っている部分以外の絶縁膜９
をエッチングにより除去する工程である。
【００１５】図１（５）は、感光剤８を除去する工程で
ある。このとき１２の部分がクロスオーバで中空にな
る。図１（６）は、絶縁膜１３で全体をカバーする工程
である。これによって、クロスオーバの部分は外部と完
全にしゃ断された中空部を形成することができる。
ある。このとき１２の部分がクロスオーバで中空にな
る。図１（６）は、絶縁膜１３で全体をカバーする工程
である。これによって、クロスオーバの部分は外部と完
全にしゃ断された中空部を形成することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、表面波
が伝搬する部分を外部から完全にしゃ断した中空部を形
成する方法を確立することにより、外部からの異物の付
着による弾性表面波装置の機能停止を防止することがで
き、また、経時的な機能劣化を大幅に削減することがで
きるという効果を有する。
が伝搬する部分を外部から完全にしゃ断した中空部を形
成する方法を確立することにより、外部からの異物の付
着による弾性表面波装置の機能停止を防止することがで
き、また、経時的な機能劣化を大幅に削減することがで
きるという効果を有する。
【図１】本発明の弾性表面波装置の製造工法を示す工程
図である。
図である。
【図２】本発明の弾性表面波装置の正面図であるる
【図３】従来の弾性表面波装置の正面図および断面図で
ある。
ある。
１，６，１４，１６ 圧電基板 ２，７，１５，１７ 弾性表面波パターン ３，１２ 中空部 ４，５ ボンディングパット部 ８，１０ 感光剤 ９，１３ 絶縁膜
Claims (2)
- 【請求項１】交叉指状電極が形成された圧電基板と、 圧電基板上の交叉指状電極の部分に中空部を設け、ボン
ディングパット部を除いて圧電基板上に全面形成された
絶縁膜とからなることを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】圧電基板上に形成された交叉指状電極を有
する弾性表面波装置の製造方法において、 表面波の送信部、受信部および伝搬路上に第１の感光剤
を塗布し、 第１の感光剤の上に第１の絶縁膜を全面形成し、 クロスオーバが必要な部分に第２の感光剤を第１の絶縁
膜上に塗布し、 第２の感光剤のない部分の第１の絶縁膜をエッチングに
より除去し、 第２の感光剤のない部分の第１の絶縁膜を除去した後に
第１の感光剤を除去してクロスオーバ部を形成し、 第１の絶縁膜上の全面に第２の絶縁膜を形成することを
特徴とする弾性表面波装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6270792A JPH05267975A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6270792A JPH05267975A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267975A true JPH05267975A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13208062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6270792A Pending JPH05267975A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267975A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004105237A1 (ja) | 2003-05-26 | 2004-12-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電電子部品、およびその製造方法、通信機 |
| JP2006128930A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびにその弾性表面波装置を備えた通信装置 |
| JP2007142636A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| JP2007150824A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| JP2009296640A (ja) * | 2009-09-07 | 2009-12-17 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP6270792A patent/JPH05267975A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004105237A1 (ja) | 2003-05-26 | 2004-12-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電電子部品、およびその製造方法、通信機 |
| KR100725010B1 (ko) * | 2003-05-26 | 2007-06-04 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 압전 전자 부품, 및 그 제조방법, 통신기 |
| US7342351B2 (en) | 2003-05-26 | 2008-03-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric electronic component, and production method therefor, and communication equipment |
| US8123966B2 (en) | 2003-05-26 | 2012-02-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric electronic component, process for producing the same, and communication apparatus |
| JP2006128930A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびにその弾性表面波装置を備えた通信装置 |
| JP2007142636A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| JP4714006B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2011-06-29 | 日本無線株式会社 | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| JP2007150824A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| JP2009296640A (ja) * | 2009-09-07 | 2009-12-17 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
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