JPH0526601A - 接触検出装置 - Google Patents

接触検出装置

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JPH0526601A
JPH0526601A JP14626391A JP14626391A JPH0526601A JP H0526601 A JPH0526601 A JP H0526601A JP 14626391 A JP14626391 A JP 14626391A JP 14626391 A JP14626391 A JP 14626391A JP H0526601 A JPH0526601 A JP H0526601A
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JP
Japan
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axis
case
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joint
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Pending
Application number
JP14626391A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasumoto Mai
庸元 真井
Yasunobu Tokuhara
康伸 徳原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikken Kosakusho Works Ltd
Original Assignee
Nikken Kosakusho Works Ltd
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Publication date
Application filed by Nikken Kosakusho Works Ltd filed Critical Nikken Kosakusho Works Ltd
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Publication of JPH0526601A publication Critical patent/JPH0526601A/ja
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高精度な復元性を有する接触検出装置を提供
することを目的とする。 【構成】 ケース部(9) のセンター軸に沿って探触子(1
0)が突出し、該探触子(10)の基部が中心保持力を有する
継手装置(11)を介して前記ケース部(9) に揺動自在且つ
軸方向変位可能に支持され、かつ、前記ケース部(9) に
は前記探触子(10)をセンター軸部において先端側に押圧
する弾性部材(12)が設けられている。前記探触子(10)の
基部側には、前記継手装置(11)よりも径外方に延出する
アーム部(13)が設けられ、前記ケース部(9) には、セン
ター軸を中心とする円周上の少なくとも3等分位置で且
つ前記弾性部材(12)の押圧方向において、前記アーム部
(13)に接離自在に点接触して、前記探触子(10)の軸心を
前記ケース部(9) のセンター軸に一致させる休止部(14)
が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定装置に使用される
接触検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の接触検出装置として、例えば、
特開平1-299401号公報に記載のものが公知である。この
従来の接触検出装置は、図12に示すように、探触子50が
ケース部51に継手装置52を介して揺動自在に設けられて
成るものであった。前記継手装置52は、複数枚の板バネ
を対向状とし、その端部を180 度及び90度の位相をずら
したヒンジ部で接続して成るものであった。
【0003】前記継手装置52は、探触子50が測定物53に
接触しない休止状態において、探触子50の軸心をケース
部51のセンターに一致させ、探触子50が測定物53に接触
した作動状態では、探触子50の軸心をケース部51の軸心
に対して傾斜させるものである。即ち、前記継手装置52
は、探触子50の作動状態と休止状態を繰り返し行わせる
ものである。そして、この継手装置52には、作動状態か
ら休止状態になったときに、探触子50の軸心をケース部
51のセンターに高精度で一致させる繰り返し復元性が要
求されるものである。
【0004】この復元性は、前記従来技術では、継手装
置52の弾性復元力に依存させるか、又は、図示省略する
が、継手装置52の一番外側の板に3本のピンを固定し、
該ピンを他の板バネに設けた孔に係合させることにより
得るようにしていた。尚、前記従来のものでは、ケース
部51に設けられたラグ54と継手装置52に設けられたボー
ル55とにより、電気接点が構成されているが、この電気
接点は、前記復元性に寄与するものでなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の接触検出装
置では、探触子の復元性を、継手装置の弾性復元力、又
は、ピンと孔との係合により得ていたので、高精度の復
元性を得ることができなかった。即ち、復元性能を継手
装置の弾性復元力に依存するものでは、休止位置で継手
装置を拘束するものがないので、継手装置の一部分がフ
ラツキ、高精度の復元性を得ることが出来ず、又、繰り
返し使用により継手装置の各部が変形し、探触子の軸心
がケース部のセンターに一致しなくなると言うおそれが
あった。
【0006】更に、3本のピンと孔との係合によるもの
では、孔は、探触子の傾斜に影響を与えないよう、ピン
の直径より大きく形成されているので、高精度の復元性
を得ることができなかたった。そこで、本発明は、高精
度な復元性を有する接触検出装置を提供することを目的
とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は次の手段を講じた。即ち、本発明の特徴と
するところは、ケース部のセンター軸に沿って探触子が
突出し、該探触子の基部が中心保持力を有する継手装置
を介して前記ケース部に揺動自在且つ軸方向変位可能に
支持され、かつ、前記ケース部には前記探触子をセンタ
ー軸部において先端側に押圧する弾性部材が設けられた
接触検出装置において、前記探触子の基部側には、前記
継手装置よりも径外方に延出するアーム部が設けられ、
前記ケース部には、センター軸を中心とする円周上の
少なくとも3等分位置で且つ前記弾性部材の押圧方向に
おいて、前記アーム部に接離自在に点接触して、前記探
触子の軸心を前記ケース部のセンター軸に一致させる休
止部が設けられている点にある。
【0008】前記休止部は、前記ケース部とアーム部間
に転動自在な硬球を介在させることによって構成するこ
とができる。前記硬球は、前記ケース部に設けられたリ
テーナの凹部に、ソフト弾性体を介して転動自在に保持
されている。前記弾性部材と探触子は、点接触手段を介
して接当している。
【0009】前記休止部の点接触部が電気的なスイッチ
を構成している。前記休止部は、前記アーム部から探触
子の軸心に平行に突設されたロッドの先端曲面と、前記
ケース部に形成された平坦面との点接触により構成する
ことができる。前記休止部は、前記ケース部からセンタ
ー軸心に平行に突設されたロッドの先端曲面と、前記ア
ーム部に形成された平坦面との点接触により構成するこ
とができる。
【0010】前記継手装置は、互いに直交するx−y−
z座標軸を仮想して、ケース部のセンターをz軸とした
場合、該ケース部内にz軸方向に所定間隔をおいてx−
y平面に平行になるよう対向状に配置された第1及び第
2取付部と、前記第1及び第2取付部の間にz軸方向に
所定間隙を有して配置された第1乃至第3継手部と、z
軸を介したx軸上の対称位置に、y軸に平行に配置され
た第1及び第2結合部と、 z軸を介したy軸上の対称
位置に、x軸に平行に配置された第3及び第4結合部と
を有し、前記第1取付部と第1継手部が、前記第1結合
部により結合され、前記第1及び第2継手部が、前記第
2結合部により結合され、前記第2及び第3継手部が、
前記第3結合部により結合され、前記第3継手部と第2
取付部が、前記第4結合部により結合され、前記第2取
付部が前記ケース部に取り付けられ、前記第1取付部
に、前記探触子のアーム部が設けられ、該探触子は、第
1乃至第3継手部及び第2取付部を貫通して前記ケース
部の外方に延出している。
【0011】
【作用】本発明の接触検出装置は、測定機械の主軸ヘッ
ドに装着される。即ち、接触検出装置のケース部が測定
機械の主軸ヘッドに同軸心状に装着され、測定物が測定
機械のテーブルに載置される。そして、前記主軸ヘッ
ド、又は、テーブルが互いに直交するX−Y−Z方向に
同時亦は単独で移動し、探触子が測定物に当接すること
により、測定物の位置を測定する。(尚、以下の説明に
おいて、テーブル平面をX−Y平面とし、主軸ヘッドに
取り付けられたケース部のセンター軸心をZ軸とす
る。) 本発明において、探触子が測定物に接触しない休止状態
では、弾性部材の付勢力により探触子がその軸方向先端
側に押圧され、この押圧力は、休止部で支承され、探触
子は中心保持力を有する継手装置によってケース部のセ
ンター軸心上に保持される。 探触子がz軸に直交する
方向から、測定物に当接した作動状態においては、探触
子は測定物に押圧され、ケース部のセンター軸心に対し
て傾斜しようとする。この探触子の傾斜力は、アーム部
をある1つの休止部を支点として傾斜させようとする。
この傾動力は、弾性部材の付勢力及び継手装置の中心保
持力によって阻止されるが、傾動力がこれら阻止力に勝
と、探触子とアーム部は傾動する。このアーム部の傾動
により、他の休止部に於てアーム部とケース部の接触が
解除される。
【0012】しかして、休止部の点接触部を電気的なス
イッチとしておくことにより、この傾動を電気的に検出
することができ、探触子が測定物に当接したことを自動
的に知ることができる。次に、前記探触子と測定物の当
接が解除されると、探触子は、元の休止位置に復帰しよ
うとする。
【0013】即ち、探触子に対する押圧力が解除される
と、探触子及びアーム部は、弾性部材の付勢力及び継手
装置の中心保持力により、元の休止状態に復元する。即
ち、アーム部が全ての休止部に於てケース部と接触す
る。この復元に際して、休止部を転動自在な硬球で構成
すれば、該硬球がアーム部とケース部の接触部において
転動し、アーム部の復帰を低摩擦の下で円滑に行う。
【0014】前記硬球をソフト弾性体を介してリテーナ
の凹部に転動自在に保持することにより、リテーナの凹
部に硬球を接触して保持するものに比べ、更に転動抵抗
を減少させることができ、アーム部の円滑な復元を約束
することができる。また、弾性部材と探触子を点接触手
段を介して当接させれば、該当接部での摩擦抵抗が小さ
くなり、アーム部の復元移動の抵抗を減少させる。
【0015】従って、高精度の復元性能を得ることがで
きる。また、休止部は、前記各結合部よりも外側に配置
されているので、弾性部材による押圧点と休止部の点接
触部との間の距離が長くなる。従って、弾性部材による
復元モーメントの腕が長くなり、弾性部材の弾性力が小
さくても、確実にアーム部を元の休止状態に復元させる
ことができる。
【0016】このように弾性部材の押圧力が小さくても
良いことは、及び、摩擦抵抗の小さいことは、探触子を
小さな力で傾動・復元させることができることを意味
し、高精度の検出及び復元を可能とする。尚、本発明に
よれば、探触子と測定物とがz軸方向に当接した場合
は、探触子にz軸方向の押圧力が作用し、探触子は、弾
性部材の押圧力に抗してz軸方向に移動し、休止部にお
けるアーム部とケース部の接触が解除される。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。図11に示すものは、検出ヘッド装置1 であり、該ヘ
ッド装置1 は、測定機械の主軸(図示省略)に着脱自在
に装着されるシャンク部2 と、シャンク部2の先端部に
設けられたボディ部3 と、ボディ部3 の先端に取付ネジ
4 を介して着脱自在に取り付けられた本発明の接触検出
装置5 とから構成されている。
【0018】前記ボディ部3 には、バッテリー6 、ブザ
ー7 、及び、ランプ8 等が収納されている。 図1に前
記接触検出装置5 の詳細が示されている。この接触検出
装置5 は、ケース部9 と、該ケース部9 のセンター軸に
沿って突出する探触子10と、該探触子10の基部を中心保
持力を有して保持すると共に、揺動自在且つ軸方向変位
可能に支持する継手装置11と、前記探触子10をセンター
軸部において先端側に押圧する弾性部材12等を有する。
【0019】前記探触子10は、棒状体で形成され、その
先端は球形に形成されている。探触子10の基部側には、
前記継手装置11よりも径外方に延出する円盤状のアーム
部13が一体的に設けられている。前記ケース部9 には、
センター軸を中心とする円周上の少なくとも3等分位置
で且つ前記弾性部材12の押圧方向において、前記アーム
部13に接離自在に点接触して、前記探触子10の軸心を前
記ケース部9 のセンター軸に一致させる休止部14が設け
られている。 更に前記構成を詳述すれば、前記ケース
部9 は、前記検出ヘッド装置1 のボディ部3 に着脱自在
に装着されるケース本体15と、該本体15の先端面に取り
付けられたキャップ16とからなる。ケース本体15には先
端面側に開口する収納部17が形成されている。キャップ
16はこの収納部17を塞ぐように取り付けられている。
【0020】前記キャップ16には、その軸心部に探触子
挿通孔18が開設されている。この挿通孔18から探触子10
が外方に突出している。そして、キャップ16下面と探触
子10の間に防塵手段19が設けられている。前記キャップ
16の前記収納部17内の端面に、前記探触子挿通孔18を囲
うように前記継手装置11が固定されている。図2に前記
継手装置11の詳細が示されている。
【0021】この継手装置11は、互いに直交するx−y
−z座標軸を仮想して、ケース部のセンターをz軸とし
た場合、該ケース部9 の収納部17内にz軸方向に所定間
隔をおいてx−y平面に平行になるよう対向状に配置さ
れた第1及び第2取付部20,21 を有する。これら第1及
び第2取付部20,21 は、円盤状またはx、y軸に平行な
辺を有する正方形状に形成されている。
【0022】前記第1取付部20は、前記探触子10のアー
ム部13に同心状に固定されている。前記第2取付部21は
前記キャップ16に同心状に固定されている。前記第1及
び第2取付部20,21 の間に、z軸方向に所定間隙を有し
て第1乃至第3継手部22,23,24が配置されている。この
各継手部22,23,24は、前記取付部20,21 と同様に円盤状
または正方形状に形成されている。各継手部22,23,24の
厚みは前記取付部20,21 の厚みより薄くされている。
【0023】z軸を介したx軸上の対称位置に、第1及
び第2結合部25,26 がy軸に平行に配置され、z軸を介
したy軸上の対称位置に、第3及び第4結合部27,28 が
x軸に平行に配置されている。そして、前記第1取付部
20と第1継手部22が、前記第1結合部25により結合さ
れ、前記第1及び第2継手部22,23 が、前記第2結合部
26により結合され、前記第2及び第3継手部23,24 が、
前記第3結合部27により結合され、前記第3継手部24と
第2取付部21が、前記第4結合部28により結合されてい
る。
【0024】前記第1及び第2取付部20,21 、第1乃至
第3継手部22,23,24、並びに、第1乃至第4結合部25,2
6,27,28 は、同一部材から一体的に形成されている。第
1乃至第3継手部22,23,24、並びに、第1乃至第4結合
部25,26,27,28 は、弾性変形可能とされている。 しか
して、前記継手装置11は、探触子10に外力が作用する
と、弾性変形して該探触子10をz軸に対して変位させ、
また外力が無くなると該探触子10を元の位置に復元させ
る中心保持力を有する。
【0025】前記ケース本体15には、その軸心部に孔29
が貫通して設けられている。この孔29に、前記弾性部材
12が収納されている。この弾性部材12は圧縮コイルスプ
リングで構成されている。この弾性部材12の一端を支承
する押板30が、前記ケース本体15に着脱自在に取り付け
られている。前記弾性部材12は、点接触手段31を介して
前記探触子10を軸方向に押圧している。この点接触手段
31は、前記ケース本体15の孔29に軸方向移動可能に収納
された大径の鋼球32と、前記探触子の軸心部に埋設され
た小径の鋼球33との点接触により構成されている。 前
記弾性部材12により探触子10がz軸方向に押圧され、そ
れによって前記継手装置11も押圧される。このとき、前
記第1取付部と第2取付部20,21 がx−y平面と平行を
維持する限り、探触子10の軸心はz軸に一致する。即
ち、前記アーム部13がx−y平面と平行関係を維持すれ
ば、探触子10の軸心はz軸に一致する。
【0026】このアーム部13をx−y平面に平行に保持
するのが前記休止部14である。この休止部14は、前記キ
ャップ16とアーム部13との間に転動自在に介在された硬
球34から構成されている。この硬球34は、前記キャップ
16に取り付けられたリテーナ35に転動自在に保持されて
いる。このリテーナ35は、前記継手装置11を囲うよう
に、前記キャップ16の前記収納部17内の端面に、ボルト
36で固定されている。
【0027】図3及び図4に示すように、前記リテーナ
35には、その外周面の周方向6等分の位置に凹部37が形
成され、該凹部37にソフト弾性体38が収納され、該ソフ
ト弾性体38に硬球34が転動自在に保持されている。前記
硬球34は前記キャップ16の端面及びアーム部13の端面に
当接して転動する。前記ソフト弾性体38はフエルとから
なり、硬球34は金属球からなる。また前記リテーナ35は
絶縁体から形成されている。
【0028】図5〜図7に示すように、前記休止部14の
点接触部は、電気的なスイッチを構成している。即ち図
5は、アーム部13の硬球接触端面を示し、該端面は絶縁
面とされている。この絶縁端面の前記硬球接触部に電気
接点39が設けられている。そして相隣接する一対の接点
39は電導体40で接続されている。
【0029】図6は、キャップの硬球接触端面を示し、
該端面は絶縁面とされている。この絶縁端面の前記硬球
接触部に電気接点41が設けられている。そして相隣接す
る一対の接点41は電導体42で接続されている。前記電導
体42の1が、前記バッテリー6 とランプ8 を直列接続す
るランプ回路43を構成している。図7は前記図5と図6
を合成した回路図である。即ち、アーム部13の電気接点
39と、キャップ16の電気接点41が、硬球34を介して接続
され、前記ランプ回路43を閉じた状態としている。この
閉じ状態は、全ての休止部14に於て、硬球34がアーム部
13に接触している休止状態である。この休止状態で、ラ
ンプ8 は点灯している。
【0030】前記休止部14の1つに於て、アーム部13と
硬球34の接触が解除されると、ランプ8 は消灯する。
尚、前記実施例で、6 個の硬球34の直径を全て等しくし
て、休止状態で、これら6 個の硬球34の全てにアーム部
13が接触するように加工、組立するのは極めて困難であ
るので、1 つ飛びに硬球34の直径を僅かに大きくし、こ
の大径の3 個の硬球34のみが休止位置で当接するように
してもよい。この場合、、大径の硬球34のみを電気的ス
イッチとする。
【0031】以下、前記構成の本発明の実施例の作用を
図8を交えて説明する。図1の状態が休止状態で、図8
の状態が作動状態である。図1の休止状態では、探触子
10は、弾性部材12に押圧されて、そのアーム部13は、全
ての休止部14に於て、硬球34を介してキャップ16に当接
し、継手装置11の第1取付部20と第2取付部21は平行を
保持している。従って、探触子10は、ケース部9 のセン
ターに位置し、ランプ8 は点灯している。
【0032】図8に示すように、探触子10が測定物44に
横方向から当接すると、探触子10はセンター軸に対して
傾斜し、それによりアーム部13が傾斜して休止部14の一
部の接触が解除される。この接触解除によりランプ8 が
消灯し、ブザー7 が鳴りだす。探触子10と測定物44との
接当が解除されると、探触子10は図1に示す元の休止位
置に戻る。
【0033】この復元に際して、休止部14が転動自在な
硬球34で構成されているので、該硬球34がアーム部13と
キャップ16の接触部において転動し、アーム部13の復帰
を低摩擦の下で円滑に行う。また、前記硬球34はソフト
弾性体38を介してリテーナ35の凹部37に転動自在に保持
されているので、リテーナ35の凹部37に硬球34を直接接
触して保持するものに比べ、更に転動抵抗を減少させる
ことができ、アーム部13の円滑な復元を約束することが
できる。 また、弾性部材12と探触子10を点接触手段31
を介して当接させているので、該当接部での摩擦抵抗が
小さくなり、アーム部13の復元移動の抵抗を減少させ
る。
【0034】従って、高精度の復元性能を得ることがで
きる。また、休止部14は、前記継手装置11の各結合部2
5,26,27,28 よりも外側に配置されているので、弾性部
材12による押圧点と休止部14の点接触部との間の距離が
長くなる。従って、弾性部材12による復元モーメントの
腕が長くなり、弾性部材12の弾性力が小さくても、確実
にアーム部13を元の休止状態に復元させることができ
る。
【0035】このように弾性部材12の押圧力が小さくて
も良いことは、及び、摩擦抵抗の小さいことは、探触子
10を小さな力で傾動・復元させることができることを意
味し、高精度の検出及び復元を可能とする。尚、6 個の
硬球34の内1 つ飛びの3 個の硬球34を大径として、且
つ、スイッチとした場合、小径の硬球34は、アーム部13
が傾斜するときの支点となるので、3点支点でありなが
ら、6 点支点の傾動が得られる。
【0036】図9は本発明の他の実施例であり、この実
施例では、継手装置11の第1取付部20が、探触子10のの
アーム部13を兼用している。また、休止部14は、ケース
部9 のキャップ16からセンター軸心に平行に突設された
ロッド45の先端曲面と、アーム部13に形成された平坦面
との点接触により構成されている。 前記ロッド45は周
方向3等分位置に設けられている。このロッド45の設け
られている同一円周上で、ロッド45とロッド45の中間位
置に補助ピン46が突設されている。この補助ピン46の高
さは、前記ロッド45の高さより若干低くされている。従
って、休止状態では補助ピン46の先端はアーム部13に接
触しない。しかし、作動状態に於て、アーム部13の傾斜
方向によっては、この補助ピン46にアーム部13が接当す
るよう構成されている。
【0037】ロッド45を6本立設して、休止状態の時、
これら全てのロッド45をアーム部13に接触させること
は、きわめて困難である。そこで休止状態の平行度を出
すロッド45は3本とし、傾動時は6支点に近づけるよ
う、補助ピン46を設けている。尚、この実施例では、弾
性部材12が直接探触子10を押圧しているが、大小の鋼球
を介して押圧するようにしてもよい。
【0038】また、図10に示すように、小球の接触面を
平坦面47としてもよい。尚、前記休止部は、アーム部か
ら探触子の軸心に平行に突設されたロッドの先端の曲面
と、キャップに形成された平坦面との点接触により構成
してもよい。尚、本発明は前記実施例に限定されるもの
ではなく、継手装置は、中心保持力を有して、探触子を
揺動且つ軸方向移動可能に保持するものであれば良い。
また休止部は、継手装置の外側に於て、アーム部を平行
に保持するものであればよい。
【0039】
【発明の効果】本発明によれば、探触子の基部側に、前
記継手装置よりも径外方に延出するアーム部を設け、ケ
ース部に、センター軸を中心とする円周上の少なくとも
3等分位置で且つ前記弾性部材の押圧方向において、前
記アーム部に接離自在に点接触して、前記探触子の軸心
を前記ケース部のセンター軸に一致させる休止部を設け
たので、高精度の復帰性能を得ることができた。
【0040】また、前記休止部を転がり接触、または、
点接触とすることにより、更に高精度の復帰性能を得る
ことができる。また、前記休止部を電気的なスイッチと
することにより、別途スイッチを設ける必要がなくな
り、構造が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す接触検出装置の断面図で
ある。
【図2】継手装置の詳細を示す拡大断面図である。
【図3】リテーナの平面図である。
【図4】リテーナの凹部を示す拡大平面図である。
【図5】アーム部端面の電気的接点を示す下面図であ
る。
【図6】キャップ端面の電気的接点を示す平面図であ
る。
【図7】電気的スイッチの回路図である。
【図8】接触検出装置の作動状態を示す断面図である。
【図9】本発明の他の実施例を示す接触検出装置の断面
図である。
【図10】点接触手段の他の例を示す部分拡大図である。
【図11】本発明の接触検出装置を組み込んだ測定ヘッド
を示す正面図である。
【図12】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
9 ケース部 10 探触子 11 継手装置 12 弾性部材 13 休止部 31 点接触手段 34 硬球 35 リテーナ 37 凹部 38 ソフト弾性体 45 ロッド

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ケース部(9) のセンター軸に沿って探触
    子(10)が突出し、該探触子(10)の基部が中心保持力を有
    する継手装置(11)を介して前記ケース部(9)に揺動自在
    且つ軸方向変位可能に支持され、かつ、前記ケース部
    (9) には前記探触子(10)をセンター軸部において先端側
    に押圧する弾性部材(12)が設けられた接触検出装置にお
    いて、 前記探触子(10)の基部側には、前記継手装置(11)よりも
    径外方に延出するアーム部(13)が設けられ、 前記ケース部(9) には、センター軸を中心とする円周上
    の少なくとも3等分位置で且つ前記弾性部材(12)の押圧
    方向において、前記アーム部(13)に接離自在に点接触し
    て、前記探触子(10)の軸心を前記ケース部(9) のセンタ
    ー軸に一致させる休止部(14)が設けられていることを特
    徴とする接触検出装置。
  2. 【請求項2】 前記休止部(14)は、前記ケース部(9) と
    アーム部(13)間に転動自在な硬球(34)を介在させること
    によって構成されていることを特徴とする請求項1記載
    の接触検出装置。
  3. 【請求項3】 前記硬球(34)は、前記ケース部(9) に設
    けられたリテーナ(35)の凹部(37)に、ソフト弾性体(38)
    を介して転動自在に保持されていることを特徴とする請
    求項2記載の接触検出装置。
  4. 【請求項4】 前記弾性部材(12)と探触子(10)は、点接
    触手段(31)を介して接当していることを特徴とする請求
    項1記載の接触検出装置。
  5. 【請求項5】 前記休止部(14)の点接触部が電気的なス
    イッチを構成していることを特徴とする請求項1記載の
    接触検出装置。
  6. 【請求項6】 前記休止部は、前記アーム部から探触子
    の軸心に平行に突設されたロッドの先端曲面と、前記ケ
    ース部に形成された平坦面との点接触により構成されて
    いることを特徴とする請求項1記載の接触検出装置。
  7. 【請求項7】 前記休止部(14)は、前記ケース部(9) か
    らセンター軸心に平行に突設されたロッド(45)の先端曲
    面と、前記アーム部(13)に形成された平坦面との点接触
    により構成されていることを特徴とする請求項1記載の
    接触検出装置。
  8. 【請求項8】 前記継手装置(11)は、互いに直交するx
    −y−z座標軸を仮想して、ケース部(9) のセンターを
    z軸とした場合、該ケース部(9) 内にz軸方向に所定間
    隔をおいてx−y平面に平行になるよう対向状に配置さ
    れた第1及び第2取付部(20)(21)と、 前記第1及び第
    2取付部(20)(21)の間にz軸方向に所定間隙を有して配
    置された第1乃至第3継手部(22)(23)(24)と、 z軸を介したx軸上の対称位置に、y軸に平行に配置さ
    れた第1及び第2結合部(25)(26)と、 z軸を介したy軸上の対称位置に、x軸に平行に配置さ
    れた第3及び第4結合部(27)(28)とを有し、 前記第1取付部(20)と第1継手部(22)が、前記第1結合
    部(25)により結合され、 前記第1及び第2継手部(22)
    (23)が、前記第2結合部(26)により結合され、 前記第2及び第3継手部(23)(24)が、前記第3結合部(2
    7)により結合され、 前記第3継手部(24)と第2取付部(21)が、前記第4結合
    部(28)により結合され、 前記第2取付部(21)が前記ケ
    ース部(9) に取り付けられ、 前記第1取付部(20)に、前記探触子(10)のアーム部(13)
    が設けられ、 該探触子(10)は、第1乃至第3継手部(22)(23)(24)及び
    第2取付部(21)を貫通して前記ケース部(9) の外方に延
    出していることを特徴とする請求項1記載の接触検出装
    置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009047689A (ja) * 2007-07-26 2009-03-05 Renishaw Plc モジュラー測定プローブ
CN102749058A (zh) * 2011-04-19 2012-10-24 株式会社三丰 表面性状测量仪
WO2015093459A1 (ja) * 2013-12-18 2015-06-25 コニカミノルタ株式会社 プローブユニット及び形状測定装置

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