JPS5815844Y2 - プロ−ブ - Google Patents
プロ−ブInfo
- Publication number
- JPS5815844Y2 JPS5815844Y2 JP1977083308U JP8330877U JPS5815844Y2 JP S5815844 Y2 JPS5815844 Y2 JP S5815844Y2 JP 1977083308 U JP1977083308 U JP 1977083308U JP 8330877 U JP8330877 U JP 8330877U JP S5815844 Y2 JPS5815844 Y2 JP S5815844Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- positioning member
- measured
- contactor
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はプローブに係り、特に座標測定機に好適なプロ
ーブの改良に関する。
ーブの改良に関する。
被測定物の各部の座標を測定する為の測定機としてX−
Y座標測定機や三次元測定機などがある。
Y座標測定機や三次元測定機などがある。
これらの測定機には、定盤上に固定された被測定物に対
し定められた軸方向に移動可能な検出部が設けられ、こ
の検出部に固定されたプローブにより被測定物の各部の
座標が検出される。
し定められた軸方向に移動可能な検出部が設けられ、こ
の検出部に固定されたプローブにより被測定物の各部の
座標が検出される。
この種の測定機では被測定物とプローブとの接触が電気
的に検出され、その接触位置での座標値が読み取られる
。
的に検出され、その接触位置での座標値が読み取られる
。
この種の測定機において重要な点は、プローブが被測定
物の測定部に弾性的に接触しなければならないことであ
る。
物の測定部に弾性的に接触しなければならないことであ
る。
プローブは検出部と一体となり移動されるが、被測定物
に接する際には慣性力を伴うため、プローブが大きな力
を受は変形等が生じることがあるからである。
に接する際には慣性力を伴うため、プローブが大きな力
を受は変形等が生じることがあるからである。
つぎに、プローブは、被測定物に接触していない場合、
常に基準位置に維持されなければならない。
常に基準位置に維持されなければならない。
でなければ、測定に際し、プローブが移動し誤差が生ず
ることになるからである。
ることになるからである。
本考案の目的は、極めて簡単な構成で、接触子を変位可
能に弾性的に支持しつつ常に基準位置に維持するととも
に、接触子と被測定物との接触異常を検知することが、
できる接触子の提供にある。
能に弾性的に支持しつつ常に基準位置に維持するととも
に、接触子と被測定物との接触異常を検知することが、
できる接触子の提供にある。
以下、本考案を図面に示した実施例に基づき説明する。
第1図には座標測定装置が示されている。
図において、測定装置1は定盤2の上面に移動可能に設
置されている。
置されている。
即ち、定盤2の上面には測定装置の摺動台3が設置され
、この摺動台3に立設された支柱4には上下動可能に検
出部5が支承さ札この検出部にはプローブ6が固定され
ている。
、この摺動台3に立設された支柱4には上下動可能に検
出部5が支承さ札この検出部にはプローブ6が固定され
ている。
プローブ6は定盤2上の被測定物7に対し所定方向に移
動され、この移動量は検出部5に設けられた表示部8に
表示される。
動され、この移動量は検出部5に設けられた表示部8に
表示される。
プローブ6と被測定物7との間には両者の接触を電気的
に検出するための検出装置9が接続されている。
に検出するための検出装置9が接続されている。
プローブ6と被測定物7の検出装置9への接続は、第1
図に示されるように、被測定物7を検出装置9の一極側
に接続するとともに、後述する接触子11を、基準ロッ
ドIIBを介することなく、シャンク部13、スライダ
5、支柱4を介して検出装置9の他極側に接続するもの
であるが、被測定物7および接触子11を検出装置9の
端子に直接接続する(この場合は図示せず)ものであっ
てもよい。
図に示されるように、被測定物7を検出装置9の一極側
に接続するとともに、後述する接触子11を、基準ロッ
ドIIBを介することなく、シャンク部13、スライダ
5、支柱4を介して検出装置9の他極側に接続するもの
であるが、被測定物7および接触子11を検出装置9の
端子に直接接続する(この場合は図示せず)ものであっ
てもよい。
検出装置9は本実施例の場合直流電源及び表示ランプ1
0等から構成され、プローブ6が被測定物7具体的には
接触子11が被測定物7に接触した際に表示ランプ10
に直流電源が給電され、その接触が表示ランプ10の点
灯により表示されるようになっている。
0等から構成され、プローブ6が被測定物7具体的には
接触子11が被測定物7に接触した際に表示ランプ10
に直流電源が給電され、その接触が表示ランプ10の点
灯により表示されるようになっている。
従って、被測定物7の各部を測定する場合には、プロー
ブ6を所定の基準位置より移動し、接触子11が被測定
物7に接触したことを表示ランプ10の点灯に依って知
り、この点灯位置で表示部8の目盛を読み取ることによ
り行う。
ブ6を所定の基準位置より移動し、接触子11が被測定
物7に接触したことを表示ランプ10の点灯に依って知
り、この点灯位置で表示部8の目盛を読み取ることによ
り行う。
この読み取った値が座標値である。
このようにして被測定物Iの各部の座標値を得ることが
できる。
できる。
以下、プローブ6の具体的実施例について説明する。
第2図および第3図に示すように、プローブ6は全体と
して、被測定物7に接触される接触子11と、接触子1
1を保持する保持部12と、該保持部12に取付けられ
、前記検出部5に連結されるシャンク部13と、により
構成され、前記接触子11を弾性的に支持するとともに
常態において基準位置に維持する構成は、本実施例では
保持部12内に内蔵されている。
して、被測定物7に接触される接触子11と、接触子1
1を保持する保持部12と、該保持部12に取付けられ
、前記検出部5に連結されるシャンク部13と、により
構成され、前記接触子11を弾性的に支持するとともに
常態において基準位置に維持する構成は、本実施例では
保持部12内に内蔵されている。
まず接触子11はその略中央部においてピン14を介し
て保持部12に一定の範囲内で揺動自在に支承され、か
つその先端において球状の接触端子15を有している。
て保持部12に一定の範囲内で揺動自在に支承され、か
つその先端において球状の接触端子15を有している。
保持部12は、前記ピン14によって接触子11を支承
する小径部16と、箱状の大径部17と、この大径部1
7の開口部に装着された蓋体18と、により構成され、
前記シャンク部13はこの蓋体18に取付けられている
。
する小径部16と、箱状の大径部17と、この大径部1
7の開口部に装着された蓋体18と、により構成され、
前記シャンク部13はこの蓋体18に取付けられている
。
接触子11の基端側には絶縁材11Aを介して基準ロン
ド11Bが接触子11と同軸的に精度良く嵌合され、こ
の基準ロンド11Bは前記保持部12の大径部17内ま
で延在されている。
ド11Bが接触子11と同軸的に精度良く嵌合され、こ
の基準ロンド11Bは前記保持部12の大径部17内ま
で延在されている。
ここにおいて接触子11は基準ロッド11Bを介して弾
性的に、かつ基準位置に支持されている。
性的に、かつ基準位置に支持されている。
すなわち、大径部17内にはピン19の回りに水平に揺
動自在な位置決め部材加が設けられ、この位置決め部材
20は前記接触子11の基準ロンド11Bの外周に当接
して該接触子11を基準位置に位置決めする当接部21
を有している。
動自在な位置決め部材加が設けられ、この位置決め部材
20は前記接触子11の基準ロンド11Bの外周に当接
して該接触子11を基準位置に位置決めする当接部21
を有している。
この当接部21は円柱状の部材が精度良く位置決め部材
20に絶縁材20Aを介して固定されることにより構成
されている。
20に絶縁材20Aを介して固定されることにより構成
されている。
また、この位置決め部材20には突起22が設けられ、
この突起22と前記接触子11との間には第1のばね2
3が介装されている。
この突起22と前記接触子11との間には第1のばね2
3が介装されている。
この第1のばね23により位置決め部材20と接触子1
1は互に当接する方向に付勢されている。
1は互に当接する方向に付勢されている。
さらに、位置決め部材20が接触子11を基準位置に維
持せしめる状態、すなわち常態において、該位置決め部
材20は基準固定子24に当接されている。
持せしめる状態、すなわち常態において、該位置決め部
材20は基準固定子24に当接されている。
この基準固定子24は円柱状の部材が前記保持部12に
固定されることにより構成され、位置決め部材20はそ
の前記当接部21においてこの基準固定子24に当接さ
れている。
固定されることにより構成され、位置決め部材20はそ
の前記当接部21においてこの基準固定子24に当接さ
れている。
また、位置決め部材20には他の突起25が設けられ、
この突起25と基準固定子24との間には第2のばね2
6が介装されている。
この突起25と基準固定子24との間には第2のばね2
6が介装されている。
この第2のばね26により位置決め部材20は該基準固
定子24の方向に付勢されている。
定子24の方向に付勢されている。
また、前記保持部12の外周の一部には接触子11が基
準位置にあることを検出するためのランプ27が設けら
れ、このランプ2Tの一端子はリード線28を介して前
記基準固定子24に接続されている。
準位置にあることを検出するためのランプ27が設けら
れ、このランプ2Tの一端子はリード線28を介して前
記基準固定子24に接続されている。
ここで基準固定子24、位置決め部材20の当接部21
および接触子11の基準ロンド11Bはそれぞれ導電性
材により形成されている。
および接触子11の基準ロンド11Bはそれぞれ導電性
材により形成されている。
基準ロンド11Bはリード線29を介して保持部12に
取付けられたタップ30に接続され、かつタップ30は
リード線31を介して前記ランプ27の他の端子に接続
されている。
取付けられたタップ30に接続され、かつタップ30は
リード線31を介して前記ランプ27の他の端子に接続
されている。
また、タップ30は外部電源、例えば第1図に示した被
測定物7と接触子11との接触を検出する接触検知回路
の一部をなす検出装置9に接続されている。
測定物7と接触子11との接触を検出する接触検知回路
の一部をなす検出装置9に接続されている。
従って、ランプ27は接触子11が基準位置にあるとき
のみ点灯されるようになっている。
のみ点灯されるようになっている。
次に以上の構成のプローブの作動を第4図および第5図
に基いて説明する。
に基いて説明する。
まず、常態においては、位置決め部材20は第2のはね
26により基準固定子24に確実に当接されて位置決め
され、この位置決め部材20に第1のばね23により接
触子11が確実に当接されて基準位置に位置決め保持さ
れる。
26により基準固定子24に確実に当接されて位置決め
され、この位置決め部材20に第1のばね23により接
触子11が確実に当接されて基準位置に位置決め保持さ
れる。
この場合基準固定子24と位置決め部材20の当接部2
1、および接触子11の基準ロッド11Bと前記当接部
21はそれぞれ接触されているため、ランプ27は点灯
される。
1、および接触子11の基準ロッド11Bと前記当接部
21はそれぞれ接触されているため、ランプ27は点灯
される。
ここで、接触子11の接触端子15が被測定物に接触し
、第2図の右方向に押された場合、該接触子11はピン
14を支点として揺動し、第4図に示すようになる。
、第2図の右方向に押された場合、該接触子11はピン
14を支点として揺動し、第4図に示すようになる。
すなわち、接触子11は位置決め部材20から離間する
。
。
これによってランプ27は消灯される。
しかし、接触端子15が被測定物から離れると、接触子
11と位置決め部材20との間には第1のばね23が介
装されているため、接触子11は再び位置決め部材20
に当接し、基準位置に精度良く保持されることになる。
11と位置決め部材20との間には第1のばね23が介
装されているため、接触子11は再び位置決め部材20
に当接し、基準位置に精度良く保持されることになる。
また、ランプ27は再び点灯され、接触子11が基準位
置に戻ったことが確認できる。
置に戻ったことが確認できる。
また、接触子11の接触端子15が被測定物に接触し第
2図の左方向に押された場合、第5図に示すように接触
子11は位置決め部材20を図の右側に押出し、位置決
め部材20はピン19の回りに反時計方向に回動する。
2図の左方向に押された場合、第5図に示すように接触
子11は位置決め部材20を図の右側に押出し、位置決
め部材20はピン19の回りに反時計方向に回動する。
しかし、接触端子15が被測定物から離れると、位置決
め部材20は第2のはね26により基準固定子24に向
って付勢されているため、時計方向に戻され、再び該基
準固定子24に当接する。
め部材20は第2のはね26により基準固定子24に向
って付勢されているため、時計方向に戻され、再び該基
準固定子24に当接する。
これにより接触子11は再び基準位置に精度良く保持さ
れる。
れる。
本実症例によれば、ランプ27により接触子11の位置
を検出することができるとともに、接触子11と被測定
物7との間のごみ等の付着の有無を検出することができ
る。
を検出することができるとともに、接触子11と被測定
物7との間のごみ等の付着の有無を検出することができ
る。
すなわち、接触子11と被測定物7との間の接触面の一
方にごみ、酸化被膜等が付着し、接触面の導通性がなく
なった場合、接触子11が被測定物7に接触しても接触
検知回路の検出装置9の表示ランプ10が点灯しなくな
る。
方にごみ、酸化被膜等が付着し、接触面の導通性がなく
なった場合、接触子11が被測定物7に接触しても接触
検知回路の検出装置9の表示ランプ10が点灯しなくな
る。
しかし、前記ランプ27は接触と同時に消灯されること
になり、よって両ランプ10.27が同時に消灯状態に
なった場合には接触面に付着物が介在していることが検
出できる。
になり、よって両ランプ10.27が同時に消灯状態に
なった場合には接触面に付着物が介在していることが検
出できる。
なお、本実施例においては位置決め部材20を水平な面
内でピン19の回りに揺動可能にした力\これに限定す
る必要はなく、実質的に接触子11゜特に接触子11の
基準ロッド11Bが移動する方向に移動可能として該接
触子11を弾性的に支持できれば良い。
内でピン19の回りに揺動可能にした力\これに限定す
る必要はなく、実質的に接触子11゜特に接触子11の
基準ロッド11Bが移動する方向に移動可能として該接
触子11を弾性的に支持できれば良い。
また、基準固定子24も本実施例に限定されることなく
、例えば保持部12自体を内側に突出させて形成しても
よい。
、例えば保持部12自体を内側に突出させて形成しても
よい。
次に第6図ないし第8図には本考案の他の実施例が示さ
れ、本実施例は前記実施例が接触子11の揺動可能範囲
を一平面内のみとしたのに対し、接触子11を四方に揺
動し得るように支承したものである。
れ、本実施例は前記実施例が接触子11の揺動可能範囲
を一平面内のみとしたのに対し、接触子11を四方に揺
動し得るように支承したものである。
ここで前記実施例と同−若しくは相当部分は同一符号で
示し、これらの部分の説明は省略する。
示し、これらの部分の説明は省略する。
本実施例において、接触子11はピン14を介して内筒
35に揺動自在に支承されかっ内筒あは前記ピン14と
は直角のピン36.36を介して保持部12の小径部1
6に揺動自在に支承されている。
35に揺動自在に支承されかっ内筒あは前記ピン14と
は直角のピン36.36を介して保持部12の小径部1
6に揺動自在に支承されている。
これにより、接触子11は一定の範囲内であらゆる方向
に揺動し得るようになっている。
に揺動し得るようになっている。
また、接触子11を位置決めする位置決め部材は符号2
0,40で示、すように常態において互に直角な位置に
それぞれピン19 、39を介して揺動可能に2つ設け
られている。
0,40で示、すように常態において互に直角な位置に
それぞれピン19 、39を介して揺動可能に2つ設け
られている。
これら位置決め部材20.40は互に重なるように配置
され、該両部材20,40の当接部21.41にともに
接するようにして接触子11の基準ロッド11Bが位置
決めされている。
され、該両部材20,40の当接部21.41にともに
接するようにして接触子11の基準ロッド11Bが位置
決めされている。
この基準ロンド11Bが両部材20,40に向って第1
のばね23;43によってそれぞれ付勢されている。
のばね23;43によってそれぞれ付勢されている。
両位着決め部材20.40を位置決めするための基準固
定子も符号24,44で示すようにそれぞれの部材につ
いて1つ設けられ、両部材20.40をこの基準固定子
24,44に向って付勢するために第2のばね26,4
6がそれぞれ設けられている。
定子も符号24,44で示すようにそれぞれの部材につ
いて1つ設けられ、両部材20.40をこの基準固定子
24,44に向って付勢するために第2のばね26,4
6がそれぞれ設けられている。
また、特に第1図に示すように、ランプ27の一端子は
基準固定子24に接続され、ランプ27の他の端子は外
部電源を介して他方の基準固定子44に接続されている
。
基準固定子24に接続され、ランプ27の他の端子は外
部電源を介して他方の基準固定子44に接続されている
。
ここで、接触子11の基準ロッド11Bは常態において
位置決め部材20゜40にともに当接され、両基準固定
子24,44もそれぞれ位置決め部材20,40に当接
されているため、ランプ27に通電されランプ27が点
灯するようになっている。
位置決め部材20゜40にともに当接され、両基準固定
子24,44もそれぞれ位置決め部材20,40に当接
されているため、ランプ27に通電されランプ27が点
灯するようになっている。
本実施例によれば、接触子11はあらゆる方向に揺動自
在とされており、従って接触端子15の外周のあらゆる
点で被測定物に当接させても当接時の衝撃を吸収でき、
かつ、接触子11を被測定物から離間させれば再び精度
良く該接触子11を基準位置に位置決めすることができ
る。
在とされており、従って接触端子15の外周のあらゆる
点で被測定物に当接させても当接時の衝撃を吸収でき、
かつ、接触子11を被測定物から離間させれば再び精度
良く該接触子11を基準位置に位置決めすることができ
る。
また、前記実施例と同様に本実施例においても、接触子
11が例等かの原因で基準位置に設置されない場合には
ランプ27が消灯されるために測定者は容易にその事実
を確認でき、ランプ27が点灯される状態に接触子11
を位置決め修正することにより常に精度の高い測定をな
すことができる。
11が例等かの原因で基準位置に設置されない場合には
ランプ27が消灯されるために測定者は容易にその事実
を確認でき、ランプ27が点灯される状態に接触子11
を位置決め修正することにより常に精度の高い測定をな
すことができる。
なお、本実施例においては2つの位置決め部材20.4
0を互に直角に配置したが、これに限定する必要はなく
、実質的には一方の位置決め部材20に対し他方の位置
決め部材40をある角をもって交差するように配置すれ
ば、接触子11を基準位置に位置決めできる。
0を互に直角に配置したが、これに限定する必要はなく
、実質的には一方の位置決め部材20に対し他方の位置
決め部材40をある角をもって交差するように配置すれ
ば、接触子11を基準位置に位置決めできる。
以上のように、本考案によれば、簡単な構成で接触子を
弾性的に支持して衝撃等を吸収し得るとともに、該接触
子を常に基準位置に精度良く維持できるという優れた効
果がある。
弾性的に支持して衝撃等を吸収し得るとともに、該接触
子を常に基準位置に精度良く維持できるという優れた効
果がある。
第1図は一般的な座標測定機を示す正面図、第2図は本
考案に係るプローブの実施例を示す断面図、第3図は第
2図のI−1線に沿う断面図、第4図および第5図は同
実施例の作動状態をそれぞれ示す説明図、第6図は本考
案の他の実施例を示す断面図、第7図は第6図の■−■
線に沿う断面図、第8図は第7図の■−■に沿う断面図
である。 6・・・・・・プローブ、11・・・・・・接触子、1
2・・・・・・保持部、20,40・・・・・・位置決
め部材、23,43・・・・・・第1のばね、24,4
4・・・・・・基準固定子、26.46・・・・・・第
2のばね。
考案に係るプローブの実施例を示す断面図、第3図は第
2図のI−1線に沿う断面図、第4図および第5図は同
実施例の作動状態をそれぞれ示す説明図、第6図は本考
案の他の実施例を示す断面図、第7図は第6図の■−■
線に沿う断面図、第8図は第7図の■−■に沿う断面図
である。 6・・・・・・プローブ、11・・・・・・接触子、1
2・・・・・・保持部、20,40・・・・・・位置決
め部材、23,43・・・・・・第1のばね、24,4
4・・・・・・基準固定子、26.46・・・・・・第
2のばね。
Claims (1)
- 被測定物に接触される接触子と、接触子を一定の範囲内
で揺動自在に支承する保持部と、移動可能にされ、常態
において前記接触子と当接して該接触子を基準位置に位
置決めする位置決め部材と、位置決め部材と接触子との
間に介装され、接触子を位置決め部材の方向に付勢する
第1のばねと、常態において位置決め部材と当接して該
位置決め部材を位置決めする基準固定子と、基準固定子
と位置決め部材との間に介装され、位置決め部材を基準
固定子の方向に付勢する第2のばねと、前記被測定物と
前記接触子との接触を検出する接触検知回路と、前記接
触子と前記位置決め部材との接離を検出する基準位置検
知回路と、を備えたプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1977083308U JPS5815844Y2 (ja) | 1977-06-23 | 1977-06-23 | プロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1977083308U JPS5815844Y2 (ja) | 1977-06-23 | 1977-06-23 | プロ−ブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5410266U JPS5410266U (ja) | 1979-01-23 |
JPS5815844Y2 true JPS5815844Y2 (ja) | 1983-03-31 |
Family
ID=29004973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1977083308U Expired JPS5815844Y2 (ja) | 1977-06-23 | 1977-06-23 | プロ−ブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5815844Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5966105U (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-02 | 双葉電子工業株式会社 | タツチセンサ |
JPS59141002A (ja) * | 1983-02-01 | 1984-08-13 | Sony Magnescale Inc | 位置検出装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4994370A (ja) * | 1972-09-21 | 1974-09-07 |
-
1977
- 1977-06-23 JP JP1977083308U patent/JPS5815844Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4994370A (ja) * | 1972-09-21 | 1974-09-07 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5410266U (ja) | 1979-01-23 |
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