JPH05265054A - 分散液封入装置 - Google Patents

分散液封入装置

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JPH05265054A
JPH05265054A JP9473392A JP9473392A JPH05265054A JP H05265054 A JPH05265054 A JP H05265054A JP 9473392 A JP9473392 A JP 9473392A JP 9473392 A JP9473392 A JP 9473392A JP H05265054 A JPH05265054 A JP H05265054A
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glass cell
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dispersion liquid
clamper
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Yukinori Sano
幸範 佐野
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡易な真空雰囲気機構中で対向電極板間に気
泡等の異物を混入させる虞なく安定且つ確実に表示用分
散液を封入可能な電気泳動表示素子の製造用分散液封入
装置を提供する。 【構成】 上端開口部を着脱自在な蓋体1で密閉可能で
あってガラスセル24を配置させ且つ真空排気自在な真
空チャンバ−2を有し、真空チャンバ−2内にはフィル
ム基板23の一端部を着脱自在に係止させてガラスセル
24の上方に支持するクランパ−15を配装し、蓋体1
にはフィルム基板23の他端をガラスセル24の上面端
部に押し付ける可動ロッド7と、クランパ−15による
係止状態を断ってフィルム基板23をガラスセル24上
に落とす為の他の可動ロッド6とを気密に配装し、真空
チャンバ−2内に分散液を供給する為の手段を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電気泳動粒子に電界を
作用させて所望の表示動作を行わせるような電気泳動表
示素子を製造する際、表示用分散液をガラスセルに気泡
などの異物を混入させる虞なく安定確実に封入する手段
として好適な電気泳動表示素子の製造用分散液封入装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の電気泳動表示素子は、所要の電
極パタ−ンを形成した二枚の対向電極板間に分散媒に適
当な電気泳動粒子を分散させた分散液を連続相状に密封
するか又は多孔質スペ−サ等を介して微細な不連続相状
に分割密封し、上記両電極板間に印加した電界の作用下
に電気泳動粒子を一方の電極板に吸着・離間させて所望
の文字、図形或いは記号等の表示動作を行わせるもので
ある。
【0003】このような電気泳動表示素子を製作するに
は、ガラスセルと通称される一方の電極板に予め調製し
た表示用分散液を充満させた状態で対向電極板を可及的
速やかにその電極板に密着させ、次いで両電極板の外周
部を密封するという一般的な手法が採用される。
【0004】また、酸化インジウム・スズ膜等を用いて
所要の電極パタ−ンを形成したフィルム基板により対向
電極板の一方を構成する形態では、ガラスセルからなる
分散液を充満させた電極板にそのフィルム基板をロ−ラ
等の適当な押圧手段の使用下に順次密着させる手法も採
用できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】斯かる電気泳動表示素
子に於いては、対向電極板間に塵埃等の異物はもとより
気泡等による空孔の混入の虞なく表示用分散液を確実に
密封しなければ表示欠陥を招き、電気泳動表示素子とし
ての品質を極端に低下させることとなる。
【0006】しかし、表示用分散液を変質させることな
く且つ特に気泡を混入させる虞なく安定確実に対向電極
板間にこの分散液を封入させることは大規模な設備を除
き、容易ではないものがある。
【0007】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、簡易な
真空雰囲気機構の中で対向電極板間に気泡等の異物を混
入させる虞なく安定且つ確実に表示用分散液を封入可能
な電気泳動表示素子の製造用分散液封入装置を提供する
ものである。
【0008】その為に本発明では、電極を備えたガラス
セル上に電気泳動粒子を分散させた表示用分散液を注
ぎ、透明電極パタ−ンを備えたフィルム基板を上記ガラ
スセル上に密着させて分散液を封入するようにした電気
泳動表示素子を製造する為の分散液封入装置に於いて、
上端開口部を着脱自在な蓋体で密閉可能であって上記ガ
ラスセルを配置させ且つ真空排気自在な真空チャンバ−
を設け、該真空チャンバ−内には上記フィルム基板の一
端部を着脱自在に係止させて該フィルム基板を上記ガラ
スセルの上方に支持する為のクランパ−を配装し、上記
蓋体には上記フィルム基板の他端を上記ガラスセルの上
面端部に押し付ける為の可動ロッドと上記クランパ−に
よる係止状態を断って上記フィルム基板を上記ガラスセ
ル上に落とす為の他の可動ロッドとを気密に配装し、上
記真空チャンバ−内に分散液を供給する為の手段を備え
るように構成したものである。
【0009】ここで、上記の如きクランパ−は復帰動自
在に装着され且つ上記フィルム基板の一端部を湾曲状態
に係止保持する為のクランプを備えるように構成するこ
とも好適である。
【0010】
【実施例】以下、図示の一実施例を参照しながら本発明
を更に詳述する。図1は本発明の一実施例により構成さ
れた電気泳動表示素子の製造用分散液封入装置の概念的
な要部断面構成図であり、真空チャンバ−2は例えば強
化ガラス又は強化プラスチック等の好ましくは透明な部
材で所要深さを持つ上端開口のトレ−状に形成されてお
り、その上端開口部には蝶番等で着脱自在に装着した蓋
体1を具備し、この蓋体1の底面外周部位に装着したO
リング等の気密シ−ル材3により、蓋体1を閉じた状態
で真空チャンバ−2内を気密状態に保持可能に構成して
ある。
【0011】真空チャンバ−2の内部底面には、電極を
備えた所要のガラスセル24を所定位置に載置させる為
の保持具を配装し、また、この真空チャンバ−2の一方
側の内部には、透明電極パタ−ンを形成したフィルム基
板23の一端部を係止させることにより、このフィルム
基板23をガラスセル24の上方位置に略水平に保持さ
せる為のクランパ−15を備え、このクランパ−15は
コイルバネ等により図の如き復帰状態に常時付勢された
支持具14に装着されている。21は真空チャンバ−2
の一側に設けた分散液の排出口であり、また、22はそ
の他側に形成した真空排気口であってこれは図示しない
真空ポンプに接続される。
【0012】一方、蓋体1の上面には上記クランパ−1
5の位置と対応する箇所とフィルム基板23の一方の中
央端部に対応する箇所とに、各々復帰弾力を有し上下方
向に伸縮動自在な気密ベロ−ズ4及び5を装置し、これ
らの各ベロ−ズ4、5内には上端部をその上部に固着さ
れ且つ下端部が蓋体1を貫通して真空チャンバ−2内に
臨む上下動自在な可動ロッド6、7を各別に装着してあ
る。
【0013】8及び9は各ベロ−ズ4、5の頂部に一端
部を固着したストッパ−で、それら各ストッパ−8、9
の他端部は対応して設けた各解除レバ−10及び11に
各別に当接すべく構成してある。12は開閉バルブ13
を有し且つその先端部が蓋体1を気密に貫通して真空チ
ャンバ−2内に臨む分散液の供給パイプを示す。
【0014】ここで、真空チャンバ−2の所定真空圧に
対応させて各気密ベロ−ズ4、5の復帰弾力特性を大小
に適宜選定するか又はコイルバネ等による補助弾圧付勢
手段の併用により、真空チャンバ−2の真空圧に応動し
て各可動ロッド6、7を徐々に下降動させるように構成
することも可能であり、斯かる場合には真空チャンバ−
2内が所定真空圧に達した段階で例えば各ベロ−ズ4、
5の頂部に対して軽い付加的な押圧力を与えることによ
り後述するフィルム基板23の落し込み操作を容易に処
理できる。従って、この構成を採用する場合には、各ス
トッパ−8、9及び解除レバ−10、11を排除するこ
とも任意である。
【0015】図2は上記クランパ−15の好適な実施例
を示すもので、このクランパ−15は、下端の両端部に
適宜な面取りを設けると共にネジ等の取付具17により
上下に位置調整可能に装着したセンタ−クランプ16
と、このセンタ−クランプ16に於ける下端両端部の面
取り部位近傍に各々ネジ等の取付具19を介して傾きを
適宜調整し得る二個の下部クランプ18とを具備する。
【0016】これらのセンタ−クランプ16及び両下部
クランプ18とで形成された間隙に上記フィルム基板2
3の一端部を差し込んで係止させると、フィルム基板2
3は仮想線の如く湾曲した状態で支持されるので、この
クランパ−15に片持状態でフィルム基板23を略水平
に支持させることが可能である。
【0017】斯かるフィルム基板23の支持態様に於い
て、フィルム基板23の厚さやその弾力等に応じて、差
し込み間隙を調整すべくセンタ−クランプ16の位置を
任意に設定し、また、両下部クランプ18の傾きを適宜
調定することにより、種々のフィルム基板23を最適状
態で係止保持させることができる。
【0018】電気泳動表示素子を製作するに際し、上記
構成の装置を用いてガラスセル24に分散液を封入する
には、清浄雰囲気中で蓋体1を解放して真空チャンバ−
2の内底面の所定部位にガラスセル24を載置する一
方、上記態様に従ってフィルム基板23をクランパ−1
5に図1の破線で示す如く水平状態にセットした段階で
蓋体1を閉鎖し真空チャンバ−2を密封する。この状態
では分散液の供給パイプ12はバルブ13で閉路され、
また、分散液排出口21も閉じられている。
【0019】そこで、真空ポンプを始動させて排気口2
2を通して真空チャンバ−2内が約0.5ト−ル前後の
真空状態に達する迄排気終了後、先ず開閉バルブ13を
開いて分散液供給パイプ12から予め調製した表示用分
散液を真空チャンバ−2内に供給してガラスセル24に
分散液を十分に充満させた段階で供給停止させる。
【0020】次いで、一方のレバ−11を回動操作して
ストッパ−9を解除し、ベロ−ズ5を介して真空チャン
バ−2の負圧に抗しながらその可動ロッド7を緩やかに
降下させてその下端部でフィルム基板23の一端をガラ
スセル24の上面端部に破線の如く密着させた後、同様
に他の解除レバ−10の操作下にストッパ−8を解除し
てベロ−ズ4を介して真空チャンバ−2の負圧に抗しな
がら同じく可動ロッド6を徐々に降下させてクランパ−
15の上端部にその下端部を当接させるに応動して、ク
ランパ−15は時計方向に回動操作され、その所定の回
動段階でクランパ−15によるフィルム基板23の係止
保持状態が自然に絶たれる結果、フィルム基板23は自
然にガラスセル24上に落下して密着する。
【0021】そこで、例えば蓋体1を徐々に開放する等
の処理により真空チャンバ−2内を常圧に戻して上記の
如くフィルム基板23の密着下に分散液を封入したガラ
スセル24を取り出し、これを封止工程に付してその外
周端部を封止処理することにより空孔等の欠陥のない良
好な電気泳動表示素子を製作することができる。
【0022】そして、真空チャンバ−2内の残留分散液
を排出口21から廃棄し、次いで、装置を図1の状態に
再びセットすることにより、次の分散液封入処理に移行
することができる。
【0023】
【発明の効果】電気泳動表示素子を製作する為の本発明
による分散液封入装置は、簡易な真空雰囲気機構中でガ
ラスセルに表示用分散液を充満させて対向するフィルム
基板を密着させることが可能であり、従って気泡等の空
孔の無い良好な表示品質の電気泳動表示素子を製作でき
る。
【0024】この分散液封入装置のクランパ−によれ
ば、複雑な機構を採用することなく、種々のフィルム基
板の一端部を係止保持でき、その係止解除もクランパ−
の所定の回動段階で自然に行える。このような分散液封
入装置は、操作が簡易であってコンパクト且つ低コスト
に構成でき、また、一連の操作は適当なプログラム制御
系の付設により簡易に自動化することも容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例により構成された電気泳動
表示素子を製造する為の分散液封入装置の概念的な要部
断面構成図。
【図2】 本発明に従った好適なクランパ−の概念的な
正面構成図。
【符号の説明】
1 蓋体 13 開閉バル ブ 2 真空チャンバ− 14 支持具 3 気密シ−ル材 15 クランパ − 4 気密ベロ−ズ 16 センタ− クランプ 5 気密ベロ−ズ 17 取付具 6 可動ロッド 18 下部クラ ンプ 7 可動ロッド 19 取付具 8 ストッパ− 21 分散液排 出口 9 ストッパ− 22 真空排気 口 10 解除レバ− 23 フィル ム基板 11 解除レバ− 24 ガラス セル 12 分散液供給パイプ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電極を備えたガラスセル上に電気泳動粒
    子を分散させた表示用分散液を注ぎ、透明電極パタ−ン
    を備えたフィルム基板を上記ガラスセル上に密着させて
    分散液を封入するようにした電気泳動表示素子を製造す
    る為の分散液封入装置に於いて、上端開口部を着脱自在
    な蓋体で密閉可能であって上記ガラスセルを配置させ且
    つ真空排気自在な真空チャンバ−を設け、該真空チャン
    バ−内には上記フィルム基板の一端部を着脱自在に係止
    させて該フィルム基板を上記ガラスセルの上方に支持す
    る為のクランパ−を配装し、上記蓋体には上記フィルム
    基板の他端を上記ガラスセルの上面端部に押し付ける為
    の可動ロッドと上記クランパ−による係止状態を断って
    上記フィルム基板を上記ガラスセル上に落とす為の他の
    可動ロッドとを気密に配装し、上記真空チャンバ−内に
    分散液を供給する為の手段を備えるように構成したこと
    を特徴とする分散液封入装置。
  2. 【請求項2】 前記クランパ−は、復帰動自在に装着さ
    れ且つ上記フィルム基板の一端部を湾曲状態に係止保持
    する為のクランプを備える請求項1に記載の分散液封入
    装置。
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WO1999002742A2 (en) 1997-06-27 1999-01-21 Pohang Iron & Steel Co., Ltd. Method for manufacturing high magnetic flux density grain oriented electrical steel sheet based on low temperature slab heating method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010072198A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Casio Computer Co Ltd 表示装置及び表示装置の駆動方法

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