JPH05261662A - パッド装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 取付ベース３３に、ユニバーサルジョイント
３９を介して昇降用シリンダ４３の下端部を取付け、こ
の昇降用シリンダ４３のピストンロッド４３ａの先端に
パッド２２を載置する載置体５３を固定し、この載置体
５３の筒部５４内周面に、載置体５３の上昇によりパッ
ド取付円板１６のマジックファスナ３１に案内され、載
置体５３がパッド取付円板１６の偏心中心Ｑに対し、求
心的に水平移動する案内面５５を設けた。 【効果】 パッド交換時に、回転主軸を定位置停止させ
ることなくパッドを装着できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、自動研磨装置を構成す
るパッド装着装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のパッド装着装置は、回転主軸への
パッド装着位置下方に、円形研磨パッドを載置する載置
体を昇降手段に連結し、パッド装着時に昇降手段により
載置体を上昇させ、回転主軸に設けたパッド取付円板の
反主軸側面に円形研磨パッドをフックとループの係合を
利用した面ファスナ等の着脱手段を介して装着するよう
になっていた。

【０００３】ところで、回転主軸の１回転でより広い範
囲の研磨を行ない得るように、パッド取付円板は、回転
主軸に対して偏心して設けてある。従ってワークの研磨
中に摩耗したパッドを交換するために回転主軸の回転を
停止すると、パッド取付円板の中心即ち円形研磨パッド
の中心は、回転主軸の回転中心に対して回転方向にどの
角度位置に止まるのかが一定しない。そのため従来で
は、回転主軸の回転角度を検出するエンコーダからの検
出値により回転主軸を回転させる駆動モータを所定回転
角度位置に、パッド取付円板の中心が絶えず一定位置と
なるように停止させて、円形研磨パッドを取り去り、そ
の中心と同一軸芯に載置体中心を設けておいて円形研磨
パッドをパッド取付円板に中心を合わせて装着したり、
あるいは回転主軸とパッド取付円板間に偏心補正機構を
設けてパッド装着に先立ち一旦パッド取付円板の軸心を
回転主軸の軸心と一致させ、回転主軸と同一軸心上に中
心を設けた載置体の上昇により円形研磨パッドを装着し
たりしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】回転主軸の回転方向定
位置停止を伴う従来技術は、エンコーダ等の回転主軸回
転方向位置検出手段が必要とな成り、制御が煩わしい問
題があり、また、偏心補正機構を持つものでは機構が複
雑化する上に、偏心補正のための動作時間だけパッド交
換時間が長くなる問題もあった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記問題を解決するため
の本発明では、回転主軸へのパッド装着位置下方に、円
形研磨パッドを載置する載置体を昇降手段に連結して設
け、パッド装着時に昇降手段により載置体を上昇させ、
回転主軸に偏心して設けたパッド取付円板の反主軸側面
に円形研磨パッドを装着するようにしたパッド装着装置
において、前記載置体を固定ベースに対して水平方向移
動自在に設け、この載置体に載置体の上昇によりパッド
取付円板の周面に案内され、載置体をパッド取付円板の
偏心中心に対し求心的に移動させる案内面を設けたこと
を特徴とする。

【０００６】

【作用】パッド装着時に、パッド装着位置に位置する回
転主軸のパッド取付円板が回転主軸の芯軸に対して任意
の角度位置にあっても、昇降手段により円形研磨パッド
を載置した載置体を上昇させると、載置体は、その案内
面がパッド取付円板の周面に案内され、パッド取付円板
の偏心中心に対し求心的に水平移動し、パッド取付円板
には円形研磨パッドの中心を正確に一致させて取付けら
れる。

【０００７】

【実施例】次に、図面において本発明の実施例について
説明する。図１において自動研磨装置１は、工具ホルダ
２を三次元方向に移動させるロボット３，パッド装着装
置４及びパッド剥取装置５より構成されている。先ず、
ロボット３について説明すると、支持台６上に旋回自在
に支持されたロボット本体８には、図２に示すように、
その先端に水平体９を揺動自在に支持した長支持棒１０
の基端が回動可能かつ昇降可能とされている。この長支
持棒１０の略中央部には、その基端が前記長支持棒１０
と同様にしてロボット本体８に回動可能かつ昇降可能に
支持された短支持棒１１の先端が回動自在に支持されて
いる。前記水平体９は常に水平状態を保つようになって
おり、この水平体９の下面には、垂直軸線回りに回動可
能に傾斜体１２が支持してあり、この傾斜体１２の傾斜
面には、この傾斜面と直交する軸線回りに回動可能に手
首１３が支持されている。この手首１３の先端には、工
具ホルダ２が取付けられており、この工具ホルダ２は、
回転主軸１４を回動自在に支持し、この回動主軸１４を
回動駆動させる駆動モータ１５を備えている。回転主軸
１４には、図４に示すようにその軸心と偏心５してパッ
ト取付円板１６が固定され、このパット取付円板１６に
は後述の円形研磨パッド２２が装着されるようになって
いる。また、駆動モータ１５及びロボット３の各可動部
の駆動手段は、前記水平体９に設けた制御装置１８に接
続され、この制御装置１８の指令により駆動モータ１５
及び各駆動手段が駆動されパッド２２を回転させるとと
もにロボット３が駆動され工具ホルダ２を三次元方向に
移動させ、加工位置Ａにおいて載置台１９上の治具２０
により固定されたワークＷを多角度から研磨加工し、工
具ホルダ２は加工位置Ａ、パッド剥取位置Ｂ及びパッド
装着位置Ｃ間を移動するようになっている。

【０００８】次に、図３，４において割出テーブル２
１、円形研磨パッド２２（以後パッドと略記する）につ
いて説明する。円周方向に所定角度で複数（図面上１０
コ）のパッド２２が載置される割出テーブル２１は、図
示しない割出手段により所定角度づつ旋回割出しを行な
いパッド装着時にパッド装置位置Ｃ下方に新品のパッド
２２が割り出されるようになっている。この割出テーブ
ル２１には、円周方向に所定角度でパッド２２の直径よ
り大きなパッド載置用孔２３が穿設され、また、割出テ
ーブル２１上には、１つのパッド載置用孔２３に対して
４つのＬ形支持部材２４が取付けられ、各Ｌ形支持部材
２４の先端部は、パッド載置用孔２３内に入り込み、こ
れらの４つの先端部上にパッド２２が載置されるように
なっている。

【０００９】前記パッド２２は、研磨ペーパ２５上に、
後述の第１クランプ片７５がくい込むことができる厚さ
を有し、弾性体として示すスポンジ２６が取付けられ、
このスポンジ２６上にフック２７とループ３１から成る
面ファスナの一方、例えばフック２７を取付けて成る三
重構造となっている。また、このパッド２２が装着され
る前記パッド取付円板１６は、回転主軸１４に偏心して
固定された金属円板２９の下面にスポンジ３０が取付け
られ、このスポンジ３０の下面には、前記パッド２２の
フック２７と着脱するループ３１を取付けて成されてい
る。

【００１０】次に、前記パッド装着位置Ｃ下方に設けら
れたパッド装着装置４について説明する。取付ベース３
３上にねじ止めされた取付ブロック３４上には、球部材
３５及び可動部材３６から成るユニバーサルジョイント
３７が螺着されている。この可動部材３６は球部材３５
に対して両部材の球面を介して三次元方向に傾動自在に
嵌装されている。この可動部材３６には、その外周に形
成されたねじ３８により支持ブラケット３９がねじ止め
され、この支持ブラケット３９はボルト４０により支持
円板４２下面に取付けられている。この支持円板４２に
は、昇降手段として示す昇降用シリンダ４３の下大径部
４４と、下端部にねじ止めされたナット４５との間で挾
持された挾持板４６がねじ止めされ、昇降用シリンダ４
３は支持円板４２に一体に取付けられている。

【００１１】前記支持円板４２上の４箇所には、付勢体
４８がねじ止めされている。この付勢体４８は内蔵され
たバネにより突出方向に付勢された付勢ピン４９を有
し、この付勢ピン４９は支持円板４２下面より下方に向
かって突出している。前記取付ベース３３上には、この
付勢体４８と対応する位置に、支持ブロック５０が螺着
され、この支持ブロック５０上面に穿設された支持孔５
１に前記付勢ピン４９が嵌入し、付勢体４８内のバネ力
によって支持円板４２及び昇降用シリンダ４３は、図に
示すようにパット装着装置４が待機した状態で直立状態
を保つようになっている。

【００１２】また、取付ベース３３上には、支持円板４
２と対向する６ヵ所の位置に規制ボルト５２がねじ止め
され、この規制ボルト５２は、前記したように支持円板
４２が直立状態のとき、支持円板４２下面との間に隙間
を持ち、後述の作用で説明するようにパッド装着時に昇
降用シリンダ４３及び支持円板４２が傾動する際、支持
円板４２下面と当接し、所定の傾斜角度以上傾動しない
ように規制するようになっている。

【００１３】前記昇降用シリンダ４３のピストンロッド
４３ａ先端には、前記Ｌ形支持部材２４の先端部２４ａ
と対応する部分が切欠かれパッド２２と略同じ直径を有
する受皿状の載置体５３がねじ止めされている。この載
置体５３の筒部５４内周面には、上方に向かって広がっ
て傾斜する案内面５５が形成されている。また、昇降用
シリンダ４３の作用により載置体５３を上昇させると、
載置体５３は、図４において仮想線で示す中間位置Ｄで
パッド載置用孔２３内に入り込みＬ形支持部材２４上に
載置されたパッド２２を受け取り、上昇端位置Ｅでパッ
ド装着位置Ｃに位置する工具ホルダ２のパッド取付円板
１６にパッド２２を互いのフック，ループ２７，３１を
介して装着するようになっている。また、図４において
パッド装着位置Ｃに位置する工具ホルダ２の回転主軸１
４の軸心Ｐは直立状態の載置体５３の中心と一致し回転
主軸１４に偏心して固定されたパッド取付円板１６の外
周の一部は、前記案内面５５の一部と対向するようにな
っており、載置体５３の上昇により載置体５３の案内面
５５がパッド取付円板１６のフック３１の外周面に案内
され載置体５３はユニバーサルジョイント３７の作用に
よりパッド取付円板１６の偏心中心に対し水平方向に移
動しつつ求心的に傾動するのでパッド取付円板１６にパ
ッド２２が互いの取付面を完全に一致して装着される。

【００１４】次に、図５，６，７，８，９，１０におい
てパッド剥取装置５について説明する。パッド剥取位置
Ｂ下方の取付ベース５９上には、断面凹状の支持ブラケ
ット６０が溶着され、この支持ブラケット６０の後面に
は軸受ケース６１が取付けられている。この軸受ケース
６１内には、軸受部材６２を介してクランプロッド６３
が上下方向移動自在に支持されている。このクランプロ
ッド６３の下端部には、連結アーム６４が取付けられ、
この連結アーム６４の先端に穿設した挿入孔６５には、
前記取付ベース５９上に固定されたクランプ用シリンダ
６６のピストンロッド６６ａ先端に取付けられた連結ロ
ッド６８が挿入されている。この連結ロッド６８上端に
螺着したナット６９と連結アーム６４との間には圧縮バ
ネ７０が介在されている。また前記クランプロッド６３
上端部には、クランプケース７１が固定され、このクラ
ンプケース７１内には、可動バー７２が前後方向移動自
在に支持されるとともにクランプケース７１との間に介
在したバネ７３により前方に付勢されている。この可動
バー７２の前端部には、断面Ｌ字形のクランプ部材７４
がねじ止めされ、このクランプ部材７４の前面には、パ
ッド装着時にパッド２２のスポンジ２６周面にくい込
み、パッド２２と同心円弧状の第１クランプ片７５が設
けられている。従ってクランプ用シリンダ６６の作用に
より第１クランプ片７５は上下移動を行ない後述の第２
クランプ片８５との間でパッド２２をクランプ、アンク
ランプするようになっている。また、後述の作用で説明
するように図９に示すように工具ホルダ２の回転停止時
にパッド取付円板１６の偏心中心Ｑが回転主軸１４の軸
心Ｐと第１クランプ片７５との間の直線上に位置してい
る場合、この状態でロボット３により工具ホルダ２がパ
ッド剥取位置Ｂに向かって移動すると第１クランプ片７
５がパッド２２のスポンジの２６周面にくい込んだ後、
第１クランプ片７５及び可動バー７２はバネ７３の付勢
力に抗して偏心量Ｓの２倍だけ後退し、この位置でパッ
ド２２は第１，２クランプ片７５，８５間でクランプさ
れるようになっている。

【００１５】また、前記支持ブラケット６０の左右の支
持片７６，７６間には支持軸７７が取付けられ、この支
持軸７７には、断面Ｔ字状の揺動部材７８の略中央部に
取付けた筒部材７９が回動自在に支持されている。この
揺動部材７８の下端部後面は、支持ブラケット６０に取
付けられ、前記付勢体４８と同様にして内蔵したバネに
より突出方向に付勢された付勢ピン８１を備えた付勢体
８２により前方に付勢され、揺動７８は図６において時
計回りに揺動するように付勢されている。また、支持ブ
ラケット６０に取付けられた取付板８３には、揺動部材
７８下端部前面と対向する規制ボルト８７が螺着され、
この規制ボルト８７により揺動部材７８の時計回りの揺
動が規制されるようになっている。また、揺動部材７８
の上端に溶着された取付部材８４上には、パッド装着時
にパッド２２の研磨ペーパ２５の反主軸側面と重なり、
前記第１クランプ片７５と対向するクランプ片８５が固
定されている。この第２クランプ片８５の後面は、前記
クランプ部材７４の前面と当接し、バネ７３と付勢体８
２との付勢力のつりあいにより揺動部材７８及び可動バ
ー７２は図６に示すような状態を保つようになってい
る。

【００１６】また、前記ロボット３の制御装置１８に
は、パッド剥ぎ取り時に前記第１，２クランプ片７５，
８５間でパッド２２をクランプした状態でパッド２２か
らパッド取付円板１６を剥がすように前記手首１３を移
動させる指令手段８６（図２に示す）が備えられ、この
指令手段８６とパッド２２のクランプ、アンクランプを
行う第１，２クランプ片７５，８５とによりパッド剥取
装置５は成されている。

【００１７】また、図５，７において８８は、前記軸受
ケース６１の側面に取付けたブラケット８９を介して固
定されたパッド着脱確認用のリミットスイッチである。
このリミットスイッチ８８のスイッチレバー９０先端に
取付けた係合板９１上方を工具ホルダ２を通過させるこ
とにより、工具ホルダ２にパッド２２が装着されている
とき、パッド２２が係合板９１と係合しリミットスイッ
チ８８は、ＯＮ状態となり、また工具ホルダ２にパッド
２２が装着されていないとき、係合板９１には何も係合
せずリミットスイッチ８８はＯＦＦ状態のままである。

【００１８】次に、以上のように構成された自動研磨装
置１の作用について説明する。工具ホルダ２にパッド２
２を装着した状態で制御装置１８の作用により駆動モー
タ１５及びロボット３が駆動され、回転するパッド２２
で多角度から加工位置ＡでワークＷの研磨加工が行われ
る。先ず、パッド剥ぎ取り動作について説明すると、こ
の研磨加工中にパッド２２が摩耗し、この摩耗パッド２
２を交換するに際して、制御装置１８によりロボット３
を制御して工具ホルダ２を図２の実線で示すような直立
状態とするとともに駆動モータ１５の駆動を止めパッド
２２の回転を停止させる。この時、パッド２２が装着さ
れたパッド取付円板１６は工具ホルダ２に対して任意の
位置で停止しており、例えば図８に実線で示す状態で停
止しているものとする。

【００１９】その後、制御装置１８によりロボット３を
移動して工具ホルダ２をパッド剥取位置Ｂに向かって移
動させる。そして工具ホルダ２が第１，２クランプ片７
５，８５に向かって正面から近づき、第２クランプ片７
５上面にパッド２２の研磨ペーパ２５の下面が重なり、
図８に示す第１クランプ片７５の円弧面の上部分とスポ
ンジの周面が当接し、さらに工具ホルダ２が移動するの
でパッド取付円板１６及び回転主軸１４は図８において
反時計回りに回転し実線で示す状態から仮想線で示す状
態まで移動し、この状態でさらに工具ホルダ２の移動に
より図５，６で示すように第１クランプ片７５はパッド
２２のスポンジ２６周面にくい込んだ状態で工具ホルダ
２は移動を止める。

【００２０】その後、クランプ用シリンダ６６のピスト
ンロッド６６ａを没入させると、圧縮バネ７０及び連結
アーム６４を介してクランプロッド６３とともにクラン
プケース７１及びスポンジ２６にくい込んだ状態の第１
クランプ片７５が下方に移動し、第１，２クランプ片７
５，８５間で研磨ぺーぱ２５を挾持し、パッド２２のク
ランプを行う。そしてこのクランプ状態を保ったまま、
制御装置１８に設けた指令手段８６により手首１３が移
動して工具ホルダ２は、パッド２２に対してクランプ部
より順次離れる方向に移動し、図１０の実線で示す位置
に到ったのち仮想線で示す位置でパッド取付円板１６か
らパッド２２が完全に剥ぎ取られる。このパッド２２が
剥ぎ取られた工具ホルダ２は、確実にパッド２２が剥ぎ
取られたかどうかを確認するため制御装置１８によりロ
ボット３が制御され図５に示すようにリミットスイッチ
８８上方を通過し、リミットスイッチ８８がＯＦＦ状態
のままなら制御装置１８はパッド剥取完了と判断し、工
具ホルダ２を新しいパッド２２装着のためパッド装着位
置Ｃに向かって移動させ、またリミットスイッチ８８が
ＯＮ状態となると制御装置１８はパッド剥取未完了と判
断し、工具ホルダ２を、再びパッド剥取位置Ｂに向かっ
て移動させる。また、パッド剥取完了後に第１，２クラ
ンプ片７５，８５間にクランプされた摩耗パッド２２
は、クランプ用シリンダ６６の作用によりアンクランプ
されると第２クランプ片７５下方に落下し、図示しない
収集ボックス内に回収される。

【００２１】次に、前記したようにパッド摩耗交換のた
め、制御装置１８により工具ホルダ２の駆動モータ１５
が駆動を止め回転主軸１４の回転が停止したとき、図９
に示すように回転主軸１４の軸心Ｐと第１クランプ片７
５間を結ぶ直線上にパッド取付円板１６の偏心中心Ｑが
位置する状態で工具ホルダ２に対してパッド取付円板１
６が停止した場合のパッド剥取動作について説明する。
ロボット３の移動により工具ホルダ２は第１，２クラン
プ片７５，８５に向かって正面から近づき、第２クラン
プ片８５上面に研磨ペーパ２５の下面が重なり、第１ク
ランプ片７５の円弧面全体がスポンジ２６周面と当接す
る。そしてさらに工具ホルダ２が移動するがパッド取付
円板１６は、その偏心中心Ｑが回転主軸１４の軸心Ｐと
第１クランプ片７５とを結ぶ直線上にあるのでパッド取
付円板１６は回転して逃げることができず、その状態の
ままスポンジ２６周面に第１クランプ片７５がくい込
み、さらに工具ホルダ２が移動し、この移動とともにこ
のくい込み状態の第１クランプ片７５及び可動バー７２
はバネ７３の付勢力に抗して偏心Ｓの２倍長さだけ後退
移動し、工具ホルダ２はパッド剥取位置Ｂに到る。この
後退移動にともなってクランプ部材７４の前面に第２ク
ランプ片８５の後面が当接した状態を保つように、付勢
体８２の付勢力により揺動部材７８は図６において時計
回りに揺動する。そしてその状態でパッド２２は第１，
２クランプ片７５，８５間でクランプされ、工具ホルダ
２の移動によりパッド取付円板１６より摩耗パッド２２
は剥ぎ取られる。

【００２２】次に、パッド装着動作について説明する
と、パッド装着位置Ｃ下方には割出テーブル２１の旋回
割出しによりＬ形支持部材２４上に載置された新しいパ
ッド２２が割り出されており、リミットスイッチ８８に
よりパッド剥取り完了が確認された工具ホルダ２はパッ
ド装着位置Ｃまで移動する（図４に示す）。その後昇降
用シリンダ４３のピストンロッド４３ａを突出させる
と、載置体５３は真直上昇し、図４に想像線で示す中間
位置Ｄで割出テーブル２１からパッド２２を受け取り、
さらに上昇する。そして載置体５３の案内面５５がパッ
ド取付円板１６のループ３１周面と係合し、載置体５３
は、ユニバーサルジョイント３７の作用でパッド取付円
板１６の偏心中心Ｑに対し、求心的に傾動しながら上昇
をつづける。この傾動時に載置体５３とともに支持円板
４２は、その傾動側の付勢体４８がその付勢力に抗して
傾動する。その後載置体５３は上昇端位置Ｅに到り、こ
の位置でパッド取付円板１６にパッド２２が互いのフッ
ク，ループ２７，３１を介し互いの中心を完全に一致し
て装着される。

【００２３】その後、昇降用シリンダ４３のピストンロ
ッド４３ａを没入させると、載置体５３は下降をし始
め、その案内面５５が、パッド取付円板１６に装着した
パッド２２の研磨ペーパ２５との係合を止めると、付勢
体４８により支持円板４２，昇降用シリンダ４３ととも
に載置体５３は、直立状態にもどり待機位置まで下降す
る。そしてパッド２２の装着された工具ホルダ２は確実
にパッド２２が装着されたかどうかを確認するため、制
御装置１８によりロボット３が制御され、図５に示すよ
うにリミットスイッチ８８上方を通過し、リミットスイ
ッチ８８がＯＮ状態となれば制御装置１８はパッド装着
完了を判断し、工具ホルダ２を研磨加工のため加工位置
Ａに向かって移動させ、またリミットスイッチ８８がＯ
ＦＦ状態のままであると制御装置１８はパッド装着未完
了を判断し、工具ホルダ２を再びパッド装着位置Ｃに向
かって移動させる。

【００２４】以上のように、本実施例の自動研磨装置１
ではパッド剥取装置５８において、パッド剥取位置Ｂに
位置する工具ホルダ２の摩耗パッド２２を第１，２クラ
ンプ片７５，８５間でクランプし、このクランプ状態の
パッド２２に対して、制御装置１８の指令手段８６によ
りロボット３を移動させ、工具ホルダ２が剥ぎ取り方向
に移動し、工具ホルダ２から摩耗パッド２２を剥ぎ取る
ようにしたので、従来のようにパッド剥取位置Ｂに停止
したままの工具ホルダ２に対して、この工具ホルダ２の
摩耗パッド２２をクランプした第１，２クランプ片７
５，８５を剥ぎ取り方向に移動させるものに比べ、第
１，２クランプ片７５，８５を移動させる移動手段を必
要とせず、装置自体を簡素化できる。

【００２５】また、パッド剥取装置５８において、パッ
ド剥取位置Ｂに向かって移動する工具ホルダ２に対して
パッド取付円板１６がどんな位置に停止していても、特
に工具ホルダ２に対してパッド取付円板１６が、その偏
心中心Ｑが回転主軸１４の軸心Ｐと第１クランプ片７５
との間を結ぶ直線上に位置する位置に停止していても、
工具ホルダ２の移動と共に第１クランプ片７５は後退
し、その後第２クランプ片８５との間で確実にパッド２
２をクランプし、工具ホルダ２から摩耗パッド２２を剥
ぎ取ることができ、また、パッド装着装置３２におい
て、パッド装着位置Ｃに位置する工具ホルダ２に対して
パッド取付円板１６がどんな位置に停止していても、昇
降用シリンダ４３により上昇する載置体５３は、その案
内面５５がパッド取付円板１６のループ３１外周に係合
すると、ユニバーサルジョイント３７の作用でパッド取
付円板１６の偏心中心Ｑに対して求心的に傾動しながら
上昇し、工具ホルダ２に確実に新しいパッド２２を装着
することができ、従来のように工具ホルダ２の回転主軸
１４を定位置停止させる手段を必要とせず、装置全体と
して簡素化できる。

【００２６】

【発明の効果】以上により本発明のパッド装着装置で
は、パッド装着位置下方で昇降手段に連結され、円形研
磨パッドが載置された載置体を固定ベースに対して水平
方向移動自在に設け、この載置体の上面に、載置体の上
昇によりパッド取付円板の周面に案内され載置体をパッ
ド取付円板の偏心中心に対し求心的に移動させる案内面
を設けたので、回転主軸に対してパッド取付円板が任意
の位置に停止していても、パッド取付円板にパッドを確
実に取り付けることができ、従来のようにパッド取付円
板を所定の停止位置に割り出す必要がなく、また偏心補
正機構などを用いることもないのでその分装置を簡素化
でき、安価に実施することができる上にパッド装着時間
を短くし得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の自動研磨装置の平面図である。

【図２】ロボットの側面図である。

【図３】パッド装着装置の平面図である。

【図４】図３のIV−IV線断面図である。

【図５】パッド剥取装置の平面図である。

【図６】図５の縦断面図である。

【図７】図５の正面図である。

【図８】作用説明図である。

【図９】作用説明図である。

【図１０】作用説明図である。

【符号の説明】

４ パッド装着装置、 １４ 回転主軸、 １６ パッ
ド取付円板、２２ 円形研磨パッド、 ４３ 昇降用シ
リンダ、 ５３ 載置体、５５ 案内面、 Ｃ パッド
装着位置、 Ｑ パッド取付円板の偏心中心

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転主軸へのパッド装着位置下方に、円
   形研磨パッドを載置する載置体を昇降手段に連結して設
   け、パッド装着時に昇降手段により載置体を上昇させ、
   回転主軸に偏心して設けたパッド取付円板の反主軸側面
   に円形研磨パッドを装着するようにしたパッド装着装置
   において、前記載置体を固定ベースに対して水平方向移
   動自在に設け、この載置体に載置体の上昇によりパッド
   取付円板の周面に案内され、載置体をパッド取付円板の
   偏心中心に対し求心的に移動させる案内面を設けたこと
   を特徴とするパッド装着装置。