JPH0525633A - アルミニウム薄膜の形成方法および抵抗加熱用ボート - Google Patents
アルミニウム薄膜の形成方法および抵抗加熱用ボートInfo
- Publication number
- JPH0525633A JPH0525633A JP20755191A JP20755191A JPH0525633A JP H0525633 A JPH0525633 A JP H0525633A JP 20755191 A JP20755191 A JP 20755191A JP 20755191 A JP20755191 A JP 20755191A JP H0525633 A JPH0525633 A JP H0525633A
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- JP
- Japan
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- aluminum
- boat
- chamber
- acrylic resin
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 溶融室から主蒸発室へアルミニウムが流れ込
み易い温度勾配をもつボート３３の溶融室にアルミニウ
ム線５１を逐次供給し、蒸着室１１の真空を破ることな
く、第１および第２入換室１３，１５からアクリル系樹
脂基板６１を順次蒸着室１１に導入し、アクリル系樹脂
基板６１にアルミニウムを連続して蒸着する。 【効果】 真空蒸着により、レーザーディスク等のアク
リル系樹脂基板に、アルミニウム薄膜を連続して形成で
きる。
み易い温度勾配をもつボート３３の溶融室にアルミニウ
ム線５１を逐次供給し、蒸着室１１の真空を破ることな
く、第１および第２入換室１３，１５からアクリル系樹
脂基板６１を順次蒸着室１１に導入し、アクリル系樹脂
基板６１にアルミニウムを連続して蒸着する。 【効果】 真空蒸着により、レーザーディスク等のアク
リル系樹脂基板に、アルミニウム薄膜を連続して形成で
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アクリル系樹脂からな
る基板上へアルミニウム薄膜を形成する方法、抵抗加熱
用ボートおよびこれを用いたアルミニウム薄膜の連続形
成方法に関する。
る基板上へアルミニウム薄膜を形成する方法、抵抗加熱
用ボートおよびこれを用いたアルミニウム薄膜の連続形
成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザーディスク等においては基板とし
てアクリル系樹脂が用いられており、この基板上にアル
ミニウム薄膜が形成されている。
てアクリル系樹脂が用いられており、この基板上にアル
ミニウム薄膜が形成されている。
【０００３】従来は、バッチ型の真空蒸着装置を用い、
一度に多数枚の基板をセットし、フィラメント型の抵抗
加熱蒸着源にアルミニウム線を吊るし、真空蒸着法によ
りアルミニウム薄膜をアクリル系樹脂基板上に形成して
いた。
一度に多数枚の基板をセットし、フィラメント型の抵抗
加熱蒸着源にアルミニウム線を吊るし、真空蒸着法によ
りアルミニウム薄膜をアクリル系樹脂基板上に形成して
いた。
【０００４】しかし、バッチ法は生産性が悪く、特にレ
ーザーディスクのように基板が大きい場合には問題であ
る。また、無塵化による品質改善、ロボット化による省
力化の観点からも連続製造システムの導入が望ましい。
ーザーディスクのように基板が大きい場合には問題であ
る。また、無塵化による品質改善、ロボット化による省
力化の観点からも連続製造システムの導入が望ましい。
【０００５】連続して薄膜を形成する一般的な手法とし
ては、スパッタ法がある。スパッタ法によれば、同一の
ターゲットを長期間使用できるので、真空蒸着法のよう
にアルミニウムを蒸発源に逐次供給する必要がない。
ては、スパッタ法がある。スパッタ法によれば、同一の
ターゲットを長期間使用できるので、真空蒸着法のよう
にアルミニウムを蒸発源に逐次供給する必要がない。
【０００６】しかしながら、スパッタ法でアクリル系樹
脂からなる基板上にアルミニウム薄膜を形成した場合
は、アルミニウム薄膜の付着強度が著しく低く、実使用
に耐え得る薄膜が得られなかった。
脂からなる基板上にアルミニウム薄膜を形成した場合
は、アルミニウム薄膜の付着強度が著しく低く、実使用
に耐え得る薄膜が得られなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、真空雰囲気
を破ることなく連続的にアクリル系樹脂基板上にアルミ
ニウム薄膜を形成することを目的とする。
を破ることなく連続的にアクリル系樹脂基板上にアルミ
ニウム薄膜を形成することを目的とする。
【０００８】本発明は、また、上記アルミニウム薄膜の
形成に好適な抵抗加熱用ボート、およびこのボートの一
般的なアルミニウム連続蒸着への適用を目的とする。
形成に好適な抵抗加熱用ボート、およびこのボートの一
般的なアルミニウム連続蒸着への適用を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のアクリル系樹脂
基板へのアルミニウム薄膜の形成方法は、蒸着室の真空
雰囲気を破ることなく、アルミニウムを蒸発源に供給す
るとともに、アクリル系樹脂からなる基板を逐次蒸着室
内に導入し、アクリル系樹脂からなる基板上にアルミニ
ウムを連続して真空蒸着することを特徴とする。
基板へのアルミニウム薄膜の形成方法は、蒸着室の真空
雰囲気を破ることなく、アルミニウムを蒸発源に供給す
るとともに、アクリル系樹脂からなる基板を逐次蒸着室
内に導入し、アクリル系樹脂からなる基板上にアルミニ
ウムを連続して真空蒸着することを特徴とする。
【００１０】本発明の抵抗加熱用ボートは、抵抗発熱体
からなり、底の深い凹部からなる主蒸発室と、底の浅い
凹部からなり主蒸発室に連通する溶融室とを有し、か
つ、電流が流される方向と直交する断面において、溶融
室形成部のボートの断面積と主蒸発室形成部のボートの
断面積との比を調整し、アルミニウムが主蒸発室へ流れ
込み易い温度勾配を持たせたことを特徴とする。
からなり、底の深い凹部からなる主蒸発室と、底の浅い
凹部からなり主蒸発室に連通する溶融室とを有し、か
つ、電流が流される方向と直交する断面において、溶融
室形成部のボートの断面積と主蒸発室形成部のボートの
断面積との比を調整し、アルミニウムが主蒸発室へ流れ
込み易い温度勾配を持たせたことを特徴とする。
【００１１】本発明のアルミニウムの蒸着方法は、上記
抵抗加熱用ボートの溶融室にアルミニウムを逐次供給
し、真空雰囲気を破ることなくアルミニウムを連続して
蒸着せしめることを特徴とする。
抵抗加熱用ボートの溶融室にアルミニウムを逐次供給
し、真空雰囲気を破ることなくアルミニウムを連続して
蒸着せしめることを特徴とする。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の実施例で用いられる装置を示
す一部省略説明図である。真空蒸着装置は、真空ポンプ
２１を具えた蒸着室１１と、それぞれ真空ポンプ２３，
２５を具えた第１入換室１３および第２入換室１５とか
ら構成されている。蒸着室１１と２つの入換室１３，１
５とは、それぞれゲートバルブ１７，１９で結ばれてい
る。さらに、２つの入換室１３，１５は、それぞれドア
バルブ１６，１８で大気と結ばれている。レーザーディ
スク等のアクリル系樹脂基板６１は、図示しない基板ホ
ルダおよび搬送手段により、ゲートバルブ１７または１
９を開いた状態で、第１入換室１３−蒸着室１１間、お
よび第２入換室１５−蒸着室１１間を搬送される。
す一部省略説明図である。真空蒸着装置は、真空ポンプ
２１を具えた蒸着室１１と、それぞれ真空ポンプ２３，
２５を具えた第１入換室１３および第２入換室１５とか
ら構成されている。蒸着室１１と２つの入換室１３，１
５とは、それぞれゲートバルブ１７，１９で結ばれてい
る。さらに、２つの入換室１３，１５は、それぞれドア
バルブ１６，１８で大気と結ばれている。レーザーディ
スク等のアクリル系樹脂基板６１は、図示しない基板ホ
ルダおよび搬送手段により、ゲートバルブ１７または１
９を開いた状態で、第１入換室１３−蒸着室１１間、お
よび第２入換室１５−蒸着室１１間を搬送される。
【００１３】蒸着室１１内の抵抗加熱用電極２７，２９
間には、ボート３３（抵抗加熱蒸発源）が取り付けられ
ている。ボート３３の上部には、開閉自在にシャッタ３
１が設けられている。
間には、ボート３３（抵抗加熱蒸発源）が取り付けられ
ている。ボート３３の上部には、開閉自在にシャッタ３
１が設けられている。
【００１４】アルミボビン５９に巻回されたアルミニウ
ム線５１は、駆動ローラ５３を回転することにより、そ
の必要量がボート３３に供給される。５５，５７はガイ
ドローラを示す。
ム線５１は、駆動ローラ５３を回転することにより、そ
の必要量がボート３３に供給される。５５，５７はガイ
ドローラを示す。
【００１５】アルミニウム薄膜の形成に際しては、真空
ポンプ２１により蒸着室１１を排気したのち、ゲートバ
ルブ１７を開いてアクリル系樹脂基板６１を蒸着室１１
に入れた状態で、シャッタ３１を開き、抵抗加熱用電極
２７，２９に電流を流してボート３３を加熱しボート３
３からアルミニウムを蒸着する。蒸着に必要なアルミニ
ウム線５１は、駆動ローラ５３により、ボート３３に逐
次供給する。
ポンプ２１により蒸着室１１を排気したのち、ゲートバ
ルブ１７を開いてアクリル系樹脂基板６１を蒸着室１１
に入れた状態で、シャッタ３１を開き、抵抗加熱用電極
２７，２９に電流を流してボート３３を加熱しボート３
３からアルミニウムを蒸着する。蒸着に必要なアルミニ
ウム線５１は、駆動ローラ５３により、ボート３３に逐
次供給する。
【００１６】蒸着室１１内のアクリル系樹脂基板６１へ
のアルミニウム蒸着が終了すると、シャッタ３１を閉
じ、蒸着済みの基板６１を第１入換室に戻し、ゲートバ
ルブ１７を閉じる。ついで、既に新しい未蒸着のアクリ
ル系樹脂基板６１がセットされ、真空排気された第２入
換室１５との間のゲートバルブ１９を開き、新たなアク
リル系樹脂基板６１を蒸着室１１の蒸着位置にセットす
る。新たな蒸着の準備ができたら、シャッタ３１を開
き、再びアルミニウム蒸着を行なう。なお、上記のアク
リル系樹脂基板６１の入換え操作中も、アルミニウムの
ボート３３からの蒸発は続行しておき、シャッタ３１を
閉じることにより、基板６１へのアルミニウムの飛翔を
防止しておく。
のアルミニウム蒸着が終了すると、シャッタ３１を閉
じ、蒸着済みの基板６１を第１入換室に戻し、ゲートバ
ルブ１７を閉じる。ついで、既に新しい未蒸着のアクリ
ル系樹脂基板６１がセットされ、真空排気された第２入
換室１５との間のゲートバルブ１９を開き、新たなアク
リル系樹脂基板６１を蒸着室１１の蒸着位置にセットす
る。新たな蒸着の準備ができたら、シャッタ３１を開
き、再びアルミニウム蒸着を行なう。なお、上記のアク
リル系樹脂基板６１の入換え操作中も、アルミニウムの
ボート３３からの蒸発は続行しておき、シャッタ３１を
閉じることにより、基板６１へのアルミニウムの飛翔を
防止しておく。
【００１７】蒸着している間に、第１入換室１３の真空
を破り、ドアバルブ１６を開き、蒸着済みのアクリル系
樹脂基板６１を搬送機構で外部に取り出し、新たな基板
６１に交換し、搬送機構で第１入換室１３にセットし、
ドアバルブ１６を閉め、次回の蒸着に具えて真空排気す
る。このように、第１および第２入換室１３，１５を交
互に使用し、蒸着室１１の真空を破ることなく、アクリ
ル系樹脂基板６１にアルミニウムを連続して真空蒸着す
ることができる。実際の装置は、第１入換室１３と第２
入換室１５を扇形にすることにより、第１入換室１３と
第２入換室１５から同じ位置に基板６１を取り出せるよ
うになっている。また、真空蒸着は短時間で終了するの
で、装置の運転速度を決めるのは、基板６１の入換えに
要する時間である。よって必要に応じて、さらに多くの
入換室を設けてもよい。
を破り、ドアバルブ１６を開き、蒸着済みのアクリル系
樹脂基板６１を搬送機構で外部に取り出し、新たな基板
６１に交換し、搬送機構で第１入換室１３にセットし、
ドアバルブ１６を閉め、次回の蒸着に具えて真空排気す
る。このように、第１および第２入換室１３，１５を交
互に使用し、蒸着室１１の真空を破ることなく、アクリ
ル系樹脂基板６１にアルミニウムを連続して真空蒸着す
ることができる。実際の装置は、第１入換室１３と第２
入換室１５を扇形にすることにより、第１入換室１３と
第２入換室１５から同じ位置に基板６１を取り出せるよ
うになっている。また、真空蒸着は短時間で終了するの
で、装置の運転速度を決めるのは、基板６１の入換えに
要する時間である。よって必要に応じて、さらに多くの
入換室を設けてもよい。
【００１８】アルミニウムは非常に濡れが大きく、通常
の金属ボートではこぼれ落ちてしまう。そこで本発明で
は、図２，３に示したボートを使用することが望まし
い。図２（Ａ）は本発明のボート３３の実施例を示す平
面図、図２（Ｂ）はその側面図である。また、図３
（Ａ）は図２（Ａ）の線Ａ−Ａに沿った断面図、図３
（Ｂ）は同じく線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。このボ
ート３３は、ブロック状の窒化ボロン（ＢＮ）と二硼化
チタン（ＴｉＢ2） から形成され、凹部からなる主蒸発
室３５と、主蒸発室３５よりも浅い凹部からなり、主蒸
発室３５に連通する溶融室３７とを有する。さらに溶融
室３７の周辺には、刻設部３９，４１が設けられてい
る。この結果、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、ボー
ト３３に電流が流される方向と直角方向の断面積につい
ては、溶融室３７の端の部分の方が、主蒸着室３５の設
けられている部分よりも狭い。よって、ボート３３に電
流を流してボート３３を抵抗加熱すると、溶融室３７の
端の部分が最も温度が高く、主蒸発室３５へ向かって温
度勾配を持つ。そこで、溶融室３７の中央部にアルミニ
ウム線５１を供給すると、アルミニウムは濡れが大きく
温度が高い部分から低い部分へ流れるという性質を有す
るので、溶融したアルミニウムは主蒸着室３５に流れ込
み、ここで速やかに蒸発し、溶融室３７を乗り越えてボ
ート３３の支持部分へ流れて固化することなく、確実
に、かつ、高い再現性でアルミニウムを真空蒸着するこ
とができる。
の金属ボートではこぼれ落ちてしまう。そこで本発明で
は、図２，３に示したボートを使用することが望まし
い。図２（Ａ）は本発明のボート３３の実施例を示す平
面図、図２（Ｂ）はその側面図である。また、図３
（Ａ）は図２（Ａ）の線Ａ−Ａに沿った断面図、図３
（Ｂ）は同じく線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。このボ
ート３３は、ブロック状の窒化ボロン（ＢＮ）と二硼化
チタン（ＴｉＢ2） から形成され、凹部からなる主蒸発
室３５と、主蒸発室３５よりも浅い凹部からなり、主蒸
発室３５に連通する溶融室３７とを有する。さらに溶融
室３７の周辺には、刻設部３９，４１が設けられてい
る。この結果、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、ボー
ト３３に電流が流される方向と直角方向の断面積につい
ては、溶融室３７の端の部分の方が、主蒸着室３５の設
けられている部分よりも狭い。よって、ボート３３に電
流を流してボート３３を抵抗加熱すると、溶融室３７の
端の部分が最も温度が高く、主蒸発室３５へ向かって温
度勾配を持つ。そこで、溶融室３７の中央部にアルミニ
ウム線５１を供給すると、アルミニウムは濡れが大きく
温度が高い部分から低い部分へ流れるという性質を有す
るので、溶融したアルミニウムは主蒸着室３５に流れ込
み、ここで速やかに蒸発し、溶融室３７を乗り越えてボ
ート３３の支持部分へ流れて固化することなく、確実
に、かつ、高い再現性でアルミニウムを真空蒸着するこ
とができる。
【００１９】なお、図２，３に示したボート３３は、ア
クリル系樹脂基板以外の材質の基板へのアルミニウム蒸
着、さらにはアルミニウムと同様の性質を有する材料な
ど、アルミニウム以外の蒸着材料の蒸着用ボートとして
利用できる。
クリル系樹脂基板以外の材質の基板へのアルミニウム蒸
着、さらにはアルミニウムと同様の性質を有する材料な
ど、アルミニウム以外の蒸着材料の蒸着用ボートとして
利用できる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、真空蒸着により連続し
てアクリル系樹脂基板にアルミニウムを蒸着することが
でき、高い生産で付着強度に優れたアルミニウム薄膜が
得られ、また、ロボット化やクリーン化も容易である。
また、本発明の抵抗加熱用ボートを用いることにより、
アルミニウム等を確実に蒸着することができ、再現性が
高く、連続蒸着も容易である。
てアクリル系樹脂基板にアルミニウムを蒸着することが
でき、高い生産で付着強度に優れたアルミニウム薄膜が
得られ、また、ロボット化やクリーン化も容易である。
また、本発明の抵抗加熱用ボートを用いることにより、
アルミニウム等を確実に蒸着することができ、再現性が
高く、連続蒸着も容易である。
【図１】本発明のアルミニウム薄膜の形成方法の実施例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図２】（Ａ）は本発明のボートの実施例を示す平面
図、（Ｂ）は同じく側面図である。
図、（Ｂ）は同じく側面図である。
【図３】（Ａ）は図２（Ａ）の線Ａ−Ａに沿った断面
図、（Ｂ）は同じく線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
図、（Ｂ）は同じく線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
１１ 蒸着室
１３ 第１入換室
１５ 第２入換室
１６，１８ ドアバルブ
１７，１９ ゲートバルブ
２１，２３，２５ ポンプ
２７，２９ 抵抗加熱用電極
３１ シャッタ
３３ ボート
３５ 主蒸発室
３７ 溶融室
３９，４１ 刻設部
５１ アルミニウム線
５３ 駆動ローラ
５５，５７ ガイドローラ
５９ アルミボビン
６１ アクリル系樹脂基板
Claims (5)
- 【請求項１】 蒸着室の真空雰囲気を破ることなく、ア
ルミニウムを蒸発源に供給するとともに、アクリル系樹
脂からなる基板を逐次蒸着室内に導入し、アクリル系樹
脂からなる基板上にアルミニウムを連続して真空蒸着す
ることを特徴とする、アクリル系樹脂基板上へのアルミ
ニウム薄膜の形成方法。 - 【請求項２】 蒸発源として抵抗発熱体からなるボート
を用いる請求項１に記載のアクリル系樹脂基板上へのア
ルミニウム薄膜の形成方法。 - 【請求項３】 抵抗発熱体からなるボートとして、底の
深い凹部からなる主蒸発室と、底の浅い凹部からなり主
蒸発室に連通する溶融室とを有し、かつ、電流が流され
る方向と直交する断面において、溶融室形成部のボート
の断面積を調整することにより主蒸発室形成部へアルミ
ニウムが円滑に流れ込むような形に成形したボートを用
い、溶融室にアルミニウムを供給して溶融せしめる請求
項２に記載のアクリル系樹脂基板上へのアルミニウム薄
膜の形成方法。 - 【請求項４】 抵抗発熱体からなり、底の深い凹部から
なる主蒸発室と、底の浅い凹部からなり主蒸発室に連通
する溶融室とを有し、かつ、電流が流される方向と直交
する断面において、溶融室形成部のボートの断面積と主
蒸発室形成部のボートの断面積との比を調整することに
より、アルミニウムが主蒸発室へ流れ込みやすい温度勾
配を持たせたことを特徴とする抵抗加熱用ボート。 - 【請求項５】 請求項４に記載の抵抗加熱用ボートの溶
融室にアルミニウムを逐次供給し、真空雰囲気を破るこ
となくアルミニウムを連続して蒸着せしめることを特徴
とするアルミニウム薄膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20755191A JPH0525633A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | アルミニウム薄膜の形成方法および抵抗加熱用ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20755191A JPH0525633A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | アルミニウム薄膜の形成方法および抵抗加熱用ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0525633A true JPH0525633A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16541610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20755191A Pending JPH0525633A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | アルミニウム薄膜の形成方法および抵抗加熱用ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0525633A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0846785A2 (en) * | 1996-12-03 | 1998-06-10 | Harris Corporation | A method of metalizing ceramic members |
| WO2011116565A1 (zh) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 蒸发镀膜设备 |
-
1991
- 1991-07-23 JP JP20755191A patent/JPH0525633A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0846785A2 (en) * | 1996-12-03 | 1998-06-10 | Harris Corporation | A method of metalizing ceramic members |
| EP0846785A3 (en) * | 1996-12-03 | 2000-09-20 | Harris Corporation | A method of metalizing ceramic members |
| WO2011116565A1 (zh) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 蒸发镀膜设备 |
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