JPH05251534A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH05251534A
JPH05251534A JP3303678A JP30367891A JPH05251534A JP H05251534 A JPH05251534 A JP H05251534A JP 3303678 A JP3303678 A JP 3303678A JP 30367891 A JP30367891 A JP 30367891A JP H05251534 A JPH05251534 A JP H05251534A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
internal circuit
burn
semiconductor integrated
integrated circuit
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Withdrawn
Application number
JP3303678A
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English (en)
Inventor
Hitoshi Goto
均 後藤
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP3303678A priority Critical patent/JPH05251534A/ja
Publication of JPH05251534A publication Critical patent/JPH05251534A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体集積回路装置の初期不良除去のため実施
されるスタティックバーンイン試験とダイナミックバー
ンイン試験とを同時に実施する。 【構成】半導体集積回路装置の内部にダイナミックバー
ンイン試験用の発振回路を内蔵させ、この発振回路に接
続した内部回路部でダイナミックバーンイン試験を行
い、この発振回路に接続しない内部回路部でスタティッ
クバーンイン試験を行なうようにした。 【効果】2種類のバーンイン試験が同時に実施できるの
で、効率的なスクリーニングが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路装置に
係わり、特に効率的なスクリーニングを可能とする半導
体集積回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路装置の製造工程において
発生する初期的な不良をスクリーニングする手段とし
て、ダイナミックバーンイン試験とスタティックバーン
イン試験とが行なわれる。
【0003】図3にスタティックバーンイン試験を示
す。内部回路部10に複数の入力端子1〜4および複数
の出力端子5〜8が接続されている。入力端子1,3は
プルアップ抵抗12を通して電源電圧(VCC)線に接
続され、Hレベルに固定される。一方、入力端子2,4
はプルダウン抵抗13を通して接地線に接続され、Lレ
ベルに固定される。そして一定の電源電圧を電源端子
(図示せず)に印加してスタティックバーンイン試験を
行なう。
【0004】図4にダイナミックバーンイン試験を示
す。図3と同じ半導体集積回路装置において入力端子1
〜4に外部の発振回路9を接続し、これにより内部回路
部10を動作させて行なう。
【0005】従来技術においては、同一の半導体集積装
置において、上記ダイナミックバーンイン試験とスタテ
ィックバーンイン試験をそれぞれ別々に行なっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】スタティックバーンイ
ン試験は、集積回路のペレットの汚染やペレット傷等の
比較的広範囲な領域におよぶ欠陥の発見に有効と考えら
れ、試験回路も簡単なために一般的によく利用される。
一方、ダイナミックバーンイン試験は、集積回路の内部
回路部を動作させるため、動作させる素子部の狭い領域
での欠陥(ピンホール、微小異物等)の検出に適してい
るといえる。従って、これら2種類のバーンイン試験を
別々に実施しなければならないという問題点があった。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる問題点
を解決するために、同一集積回路装置内にダイナミック
バーンイン試験のできる内部回路部とスタティックバー
ンイン試験のできる内部回路部とを同時に内蔵し、2種
類の試験を同時に実施出来るようにした。
【0008】すなわち本発明の特徴は、同一の半導体集
積回路装置内に、第1の内部回路部と、第2の内部回路
部と、前記第1および第2の内部回路部のうち一方の内
部回路部とのみに接続されている状態となるダイナミッ
クバーンイン試験専用の発振回路と、前記第1の内部回
路部に接続された複数の入力端子と、前記第2の内部回
路部に接続された複数の入力端子とを有し、これにより
ダイナミックバーンイン試験とスタティックバーンイン
試験とを同時に行なうことを可能ならしめた半導体集積
回路装置にある。
【0009】
【実施例】図1に本発明の第1の実施例を示す。第1の
内部回路部20に入力端子1,2および出力端子5,6
が接続され、第2の内部回路部30に入力端子3,4お
よび出力端子7,8が接続されている。そして、入力端
子1,2と第1の内部回路部20との間の半導体集積回
路装置内には、自己内蔵型の発振回路14が接続されて
おり、バーンイン試験時には、この発振回路9が自己発
振し、第1の内部回路部20はダイナミックバーンイン
試験動作を行なう。なお、この発振回路14は必ず発振
停止状態から発振する低周波(数Hz以下)動作を行な
い、また一定時間で発振停止する機能を有しているた
め、特性チェック時および実使用時には動作しない。一
方、第2の内部回路部30とその入力端子3,4間との
関係は従来技術と同様の構成となっており、バーンイン
試験時にはスタティックバーンイン試験動作となる。こ
のように、両内部回路部により両バーンイン試験を同時
に行なうことが出来る。
【0010】図2に本発明の第2の実施例を示す。図2
において図1と同一もしくは類似の箇所は同じ符号で示
している。この実施例では、入力端子1〜4と内部回路
部20,30との間に発振回路14をスイッチ回路11
を介して接続することにより発振回路9の信号を切換え
られるようにしている。これにより両内部回路部間でダ
イナミックバーンイン動作とスタティックバーンイン動
作とのたがいの切換えが可能となる。
【0011】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では同一半
導体集積回路装置内に発振回路を内蔵し、その発振回路
を入力端子に接続した内部回路部とその発振回路を入力
端子に接続しない内部回路部とで、それぞれダイナミッ
クバーンイン動作試験とスタティックバーンイン動作試
験を同時に実施することが出来るので、スクリーニング
機能が向上し、試験時間が短縮され効率的な試験が可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す図。
【図2】本発明の第2の実施例を示す図。
【図3】従来技術を示す図
【図4】従来技術を示す図
【符号の説明】
1,2,3,4 入力端子 5,6,7,8 出力端子 9 外部の発振回路 10,20,30 内部回路部 11 スイッチ回路 12 プルアップ抵抗 13 プルダウン抵抗 14 内部の発振回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/04 T 8427−4M

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同一の半導体集積回路装置内に、第1の
    内部回路部と、第2の内部回路部と、前記第1および第
    2の内部回路部のうち一方の内部回路部とのみに接続さ
    れている状態となるダイナミックバーンイン試験専用の
    発振回路と、前記第1の内部回路部に接続された複数の
    入力端子と、前記第2の内部回路部に接続された複数の
    入力端子とを有し、これによりダイナミックバーンイン
    試験とスタティックバーンイン試験とを同時に行なうこ
    とを可能ならしめたことを特徴とする半導体集積回路装
    置。
JP3303678A 1991-11-20 1991-11-20 半導体集積回路装置 Withdrawn JPH05251534A (ja)

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JP3303678A JPH05251534A (ja) 1991-11-20 1991-11-20 半導体集積回路装置

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JPH05251534A true JPH05251534A (ja) 1993-09-28

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ID=17923922

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JP (1) JPH05251534A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8346499B2 (en) 2009-09-18 2013-01-01 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device and its testing method

Cited By (1)

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Effective date: 19990204