JPH05243386A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
- Publication number
- JPH05243386A JPH05243386A JP4041166A JP4116692A JPH05243386A JP H05243386 A JPH05243386 A JP H05243386A JP 4041166 A JP4041166 A JP 4041166A JP 4116692 A JP4116692 A JP 4116692A JP H05243386 A JPH05243386 A JP H05243386A
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- JP
- Japan
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- output
- circuit
- fuse
- signal
- control circuit
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 救済されたアドレスの確認、不良解析が容易
な半導体記憶装置を得る。 【構成】 ヒューズ回路f0〜fnの出力を入力する出
力制御回路A13と、テストモード時にイネーブルとなる
TEST信号14を制御信号として、テストモード時にヒ
ューズ回路f0〜fnの情報を出力するデータピン15と
を設ける。
な半導体記憶装置を得る。 【構成】 ヒューズ回路f0〜fnの出力を入力する出
力制御回路A13と、テストモード時にイネーブルとなる
TEST信号14を制御信号として、テストモード時にヒ
ューズ回路f0〜fnの情報を出力するデータピン15と
を設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、不良メモリを救済で
きるようにした半導体記憶装置に関するものである。
きるようにした半導体記憶装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の半導体記憶装置の冗長回
路を示すブロック図であり、図において、f0〜fnは
ヒューズ回路、s0〜snはヒューズ回路の出力信号
線、a1〜anは内部アドレス信号、1は予備ライン用
デコーダ、2は予備ライン用デコーダ1の出力信号rd
である。図6は、ヒューズ回路の一例を示す回路図であ
る。図2において、3はVcc電源、4はGND、5は
容量、6はヒューズ、7はインバータ回路、8はヒュー
ズ回路の出力、Tr1,Tr2はPチャネル(以下Pc
hと略称。)トランジスタ、Tr3はNチャネル(以下
Nchと略称。)トランジスタ、である。
路を示すブロック図であり、図において、f0〜fnは
ヒューズ回路、s0〜snはヒューズ回路の出力信号
線、a1〜anは内部アドレス信号、1は予備ライン用
デコーダ、2は予備ライン用デコーダ1の出力信号rd
である。図6は、ヒューズ回路の一例を示す回路図であ
る。図2において、3はVcc電源、4はGND、5は
容量、6はヒューズ、7はインバータ回路、8はヒュー
ズ回路の出力、Tr1,Tr2はPチャネル(以下Pc
hと略称。)トランジスタ、Tr3はNチャネル(以下
Nchと略称。)トランジスタ、である。
【0003】次に動作について説明する。冗長ラインを
備えた半導体記憶装置において、不良ビット又は不良ラ
インを冗長ラインと置き換える方法として、ヒューズを
切断することにより不良ラインをプログラムする方法が
ある。図5において、ヒューズ回路f0は冗長ラインの
使用を決定するためのヒューズ回路であり、冗長ライン
を必要としない場合、すなわち、図6においてヒューズ
6が切断されていない場合には、GND4による“L”
レベルの信号が、PchトランジスタTr2、Nchト
ランジスタTr3に入力され、インバータ7を介してヒ
ューズ回路出力8からは“L”レベルの信号が出力さ
れ、図5におけるヒューズ回路f0の出力信号線s0は
“L”レベルとなる。予備ライン用デコーダ1は、出力
信号線s0が“H”レベルのときイネーブルとなり、こ
のため出力信号線s0が“L”レベルの時は予備ライン
は使用されない。
備えた半導体記憶装置において、不良ビット又は不良ラ
インを冗長ラインと置き換える方法として、ヒューズを
切断することにより不良ラインをプログラムする方法が
ある。図5において、ヒューズ回路f0は冗長ラインの
使用を決定するためのヒューズ回路であり、冗長ライン
を必要としない場合、すなわち、図6においてヒューズ
6が切断されていない場合には、GND4による“L”
レベルの信号が、PchトランジスタTr2、Nchト
ランジスタTr3に入力され、インバータ7を介してヒ
ューズ回路出力8からは“L”レベルの信号が出力さ
れ、図5におけるヒューズ回路f0の出力信号線s0は
“L”レベルとなる。予備ライン用デコーダ1は、出力
信号線s0が“H”レベルのときイネーブルとなり、こ
のため出力信号線s0が“L”レベルの時は予備ライン
は使用されない。
【0004】一方、半導体記憶装置に冗長ラインによる
救済可能な不良が存在した場合には、図6におけるヒュ
ーズ6が切断される。ヒューズ6が切断するとVcc電
源3に接続された容量5によって、電源投入時の過渡状
態に“H”レベルにチャージされた信号が、Pchトラ
ンジスタTr2、NchトランジスタTr3に入力さ
れ、ヒューズ回路出力8からは“H”レベルの信号が出
力され、図5におけるヒューズ回路f0の出力信号線s
0は“H”レベルとなる。この時、予備ライン用デコー
ダ1は活性状態となる。不良ラインのアドレスのプログ
ラムは、ヒューズ回路f1〜fnで行われ、その回路構
成はf0と同じで図6に示される。ヒューズ回路f1〜
fnは、外部アドレスA1〜An対応しており、ヒュー
ズ回路f1〜fnにプログラムされたアドレス信号、す
なわち、ヒューズ回路出力s1〜snと内部アドレス信
号a1〜anが一致した時に、予備ライン用デコーダ1
の出力であるrd信号は、選択状態となり予備ラインが
使用される。
救済可能な不良が存在した場合には、図6におけるヒュ
ーズ6が切断される。ヒューズ6が切断するとVcc電
源3に接続された容量5によって、電源投入時の過渡状
態に“H”レベルにチャージされた信号が、Pchトラ
ンジスタTr2、NchトランジスタTr3に入力さ
れ、ヒューズ回路出力8からは“H”レベルの信号が出
力され、図5におけるヒューズ回路f0の出力信号線s
0は“H”レベルとなる。この時、予備ライン用デコー
ダ1は活性状態となる。不良ラインのアドレスのプログ
ラムは、ヒューズ回路f1〜fnで行われ、その回路構
成はf0と同じで図6に示される。ヒューズ回路f1〜
fnは、外部アドレスA1〜An対応しており、ヒュー
ズ回路f1〜fnにプログラムされたアドレス信号、す
なわち、ヒューズ回路出力s1〜snと内部アドレス信
号a1〜anが一致した時に、予備ライン用デコーダ1
の出力であるrd信号は、選択状態となり予備ラインが
使用される。
【0005】外部アドレスと内部アドレスの関係を図7
に示す。図において、9はアドレス入力端子an、10は
入力バッファ回路、11は内部アドレス信号an、12は内
部アドレス信号anの反転信号で、内部アドレス信号反
転anである。
に示す。図において、9はアドレス入力端子an、10は
入力バッファ回路、11は内部アドレス信号an、12は内
部アドレス信号anの反転信号で、内部アドレス信号反
転anである。
【0006】ところで、冗長ラインによる不良メモリの
救済が行われた場合に、不良ラインの使用の有無、又は
不良ラインを使用している場合のアドレスを知るために
は、チップを顕微鏡等によって観察し、図6におけるヒ
ューズ6が切れているかを確認する必要があった。
救済が行われた場合に、不良ラインの使用の有無、又は
不良ラインを使用している場合のアドレスを知るために
は、チップを顕微鏡等によって観察し、図6におけるヒ
ューズ6が切れているかを確認する必要があった。
【0007】また、ヒューズ6を切ったにもかかわら
ず、ヒューズ6が完全に切れておらずにマイクロショー
トをしている場合には、Vcc電源3の電源立上りが緩
やかな時に、容量5による十分な“H”レベルの電位が
得られない。このため、ヒューズ出力回路8からは期待
信号“H”レベルの反転である“L”レベルが出力さ
れ、冗長ラインは使用されない。又は、不良メモリの存
在するラインとは違うラインを冗長ラインと置き換えて
しまい、結果的に不良メモリを救済できずにデバイスは
不良となってしまう。
ず、ヒューズ6が完全に切れておらずにマイクロショー
トをしている場合には、Vcc電源3の電源立上りが緩
やかな時に、容量5による十分な“H”レベルの電位が
得られない。このため、ヒューズ出力回路8からは期待
信号“H”レベルの反転である“L”レベルが出力さ
れ、冗長ラインは使用されない。又は、不良メモリの存
在するラインとは違うラインを冗長ラインと置き換えて
しまい、結果的に不良メモリを救済できずにデバイスは
不良となってしまう。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体記憶装置
は以上のように構成されているので、冗長ラインの使用
の有無、冗長ライン使用アドレスを調べるときにチップ
のヒューズを顕微鏡等で観察することが必要で、さら
に、マイクロショートしている場合には、SEM等の高
倍率なものでヒューズが切れているかどうかを確認しな
ければならないという問題点があった。
は以上のように構成されているので、冗長ラインの使用
の有無、冗長ライン使用アドレスを調べるときにチップ
のヒューズを顕微鏡等で観察することが必要で、さら
に、マイクロショートしている場合には、SEM等の高
倍率なものでヒューズが切れているかどうかを確認しな
ければならないという問題点があった。
【0009】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ヒューズの切断を容易に確認で
きるようにした半導体記憶装置を得ることを目的とす
る。
ためになされたもので、ヒューズの切断を容易に確認で
きるようにした半導体記憶装置を得ることを目的とす
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる第1の
発明による半導体記憶装置は、レーザ光で溶断し得る複
数個のヒューズを予備ライン用デコーダとテストモード
信号で制御される出力制御回路に入力し、出力制御回路
の出力と接続されヒューズの切断情報を出力するデータ
ピンを設けたものである。
発明による半導体記憶装置は、レーザ光で溶断し得る複
数個のヒューズを予備ライン用デコーダとテストモード
信号で制御される出力制御回路に入力し、出力制御回路
の出力と接続されヒューズの切断情報を出力するデータ
ピンを設けたものである。
【0011】この発明に係わる第2の発明による半導体
記憶装置は、レーザ光で溶断し得る複数個のヒューズを
予備ライン用デコーダとテストモード信号で制御される
出力制御回路に入力し、出力制御回路の出力と接続され
ヒューズの切断情報を出力するアドレスピンを設けたも
のである。
記憶装置は、レーザ光で溶断し得る複数個のヒューズを
予備ライン用デコーダとテストモード信号で制御される
出力制御回路に入力し、出力制御回路の出力と接続され
ヒューズの切断情報を出力するアドレスピンを設けたも
のである。
【0012】
【作用】この発明における第1の発明による半導体記憶
装置は、テストモード時に冗長回路におけるヒューズ切
断の情報がデータピンから出力される。
装置は、テストモード時に冗長回路におけるヒューズ切
断の情報がデータピンから出力される。
【0013】この発明における第2の発明による半導体
記憶装置は、テストモード時に冗長回路におけるヒュー
ズ切断の情報がアドレスピンから出力される。
記憶装置は、テストモード時に冗長回路におけるヒュー
ズ切断の情報がアドレスピンから出力される。
【0014】
【実施例】実施例1.以下、この発明の実施例1を図に
ついて説明する。図1はこの発明の実施例1による半導
体記憶装置の冗長回路を示すブロック図であり、図にお
いて、f0〜fn,s0〜sn,a1〜an,1,2は
従来の図5で説明したものと同様のため説明を省略す
る。13は出力制御回路A、14はTEST信号、15はデー
タピンである。
ついて説明する。図1はこの発明の実施例1による半導
体記憶装置の冗長回路を示すブロック図であり、図にお
いて、f0〜fn,s0〜sn,a1〜an,1,2は
従来の図5で説明したものと同様のため説明を省略す
る。13は出力制御回路A、14はTEST信号、15はデー
タピンである。
【0015】次に動作について説明する。図1におい
て、ヒューズ回路f0〜fnの出力信号線s0〜sn
は、予備ライン用デコーダ1と出力制御回路A13に接続
されている。TEST信号14はテストモード時、例え
ば、ある入力ピンを高圧にして作り出す。首都力制御回
路A13は、テストモード時、すなわちTEST信号14が
イネーブル信号となった時のみ動作し、ヒューズ回路f
0〜fnの出力信号線s0〜snの情報をデータピン15
より出力させる。
て、ヒューズ回路f0〜fnの出力信号線s0〜sn
は、予備ライン用デコーダ1と出力制御回路A13に接続
されている。TEST信号14はテストモード時、例え
ば、ある入力ピンを高圧にして作り出す。首都力制御回
路A13は、テストモード時、すなわちTEST信号14が
イネーブル信号となった時のみ動作し、ヒューズ回路f
0〜fnの出力信号線s0〜snの情報をデータピン15
より出力させる。
【0016】図2は、この発明の実施例1による出力制
御回路A13を示す回路図である。図において、16は正規
メモリセル、17はセンスアンプ、18及びl0〜lnはイ
ンバータ回路、19及びT0〜TnはPchトランジスタ
とNchトランジスタからなるトランスファーゲート、
N0〜NnはNAND回路、20は出力バッファ回路であ
る。
御回路A13を示す回路図である。図において、16は正規
メモリセル、17はセンスアンプ、18及びl0〜lnはイ
ンバータ回路、19及びT0〜TnはPchトランジスタ
とNchトランジスタからなるトランスファーゲート、
N0〜NnはNAND回路、20は出力バッファ回路であ
る。
【0017】通常動作時、ここではTEST信号14は
“L”であるとすると、センスアンプ17と出力バッファ
回路20との間のトランスファーゲート19はONし、セン
スアンプ17と出力バッファ回路20は接続される。このた
め、正規メモリセル16のデータはセンスアンプ17により
増幅され、出力バッファ回路20を経てデータピン15より
出力される。この時、NAND回路N0〜NnにはTE
ST信号14の“L”信号が入力されているため、内部ア
ドレス信号a0〜anの信号に関らず、NAND回路N
0〜Nnの出力は“H”信号となり、トランスファーゲ
ートT0〜TnはOFFしている。
“L”であるとすると、センスアンプ17と出力バッファ
回路20との間のトランスファーゲート19はONし、セン
スアンプ17と出力バッファ回路20は接続される。このた
め、正規メモリセル16のデータはセンスアンプ17により
増幅され、出力バッファ回路20を経てデータピン15より
出力される。この時、NAND回路N0〜NnにはTE
ST信号14の“L”信号が入力されているため、内部ア
ドレス信号a0〜anの信号に関らず、NAND回路N
0〜Nnの出力は“H”信号となり、トランスファーゲ
ートT0〜TnはOFFしている。
【0018】一方、テストモード時には、TEST信号
14は“H”信号となり、センスアンプ17と出力バッファ
回路20との間のトランスファーゲート19はOFFする。
ヒューズ回路出力信号s0の情報を読み出したい場合に
は、内部アドレス信号a0のみ“H”信号とし、他の内
部アドレス信号a1〜anを“L”信号にすると、ヒュ
ーズ回路出力信号s0と出力バッファ回路20とのトラン
スファーゲートT0のみONし、ヒューズ回路出力信号
s0の情報が出力バッファ回路20を経てデータピン15よ
り出力される。
14は“H”信号となり、センスアンプ17と出力バッファ
回路20との間のトランスファーゲート19はOFFする。
ヒューズ回路出力信号s0の情報を読み出したい場合に
は、内部アドレス信号a0のみ“H”信号とし、他の内
部アドレス信号a1〜anを“L”信号にすると、ヒュ
ーズ回路出力信号s0と出力バッファ回路20とのトラン
スファーゲートT0のみONし、ヒューズ回路出力信号
s0の情報が出力バッファ回路20を経てデータピン15よ
り出力される。
【0019】以上のように、テストモード時に内部アド
レス信号の内の1つだけを“H”信号とすることによ
り、1つのヒューズ回路の情報を読み出すことができ、
内部アドレスの組み合わせにより総てのヒューズ回路の
情報を読み出すことができる。
レス信号の内の1つだけを“H”信号とすることによ
り、1つのヒューズ回路の情報を読み出すことができ、
内部アドレスの組み合わせにより総てのヒューズ回路の
情報を読み出すことができる。
【0020】実施例2.図3は、この発明の実施例2に
よる半導体記憶装置の冗長回路を示すブロック図であ
り、出力制御回路B21がヒューズ回路f0〜fnの出力
信号s0〜snに接続されている。さらに、出力制御回
路B21はアドレスピン22に接続されている。実施例2で
は、ヒューズ回路f0〜fnの出力信号s0〜snの情
報がアドレスピン22より出力される。
よる半導体記憶装置の冗長回路を示すブロック図であ
り、出力制御回路B21がヒューズ回路f0〜fnの出力
信号s0〜snに接続されている。さらに、出力制御回
路B21はアドレスピン22に接続されている。実施例2で
は、ヒューズ回路f0〜fnの出力信号s0〜snの情
報がアドレスピン22より出力される。
【0021】図4は、この発明の実施例2による冗長回
路の出力制御回路B21の回路図であり、図において、23
はTEST信号14とヒューズ回路の出力を入力としたN
AND回路、24はTEST信号14の反転信号である反転
TEST信号25とヒューズ回路の出力を入力としたNO
R回路、Tr4はPchトランジスタ、Tr5はNch
トランジスタである。
路の出力制御回路B21の回路図であり、図において、23
はTEST信号14とヒューズ回路の出力を入力としたN
AND回路、24はTEST信号14の反転信号である反転
TEST信号25とヒューズ回路の出力を入力としたNO
R回路、Tr4はPchトランジスタ、Tr5はNch
トランジスタである。
【0022】実施例2においては、テストモード時にヒ
ューズ回路の出力信号s0〜snの信号が、NAND回
路S23とNOR回路24にそれぞれ入力され、Pchトラ
ンジスタTr4とNchトランジスタTr5からなるバ
ッファ回路を経て、各アドレスピンA0〜Anから同時
に出力され、同時に全ヒューズ回路の情報を読み出すこ
とができる。
ューズ回路の出力信号s0〜snの信号が、NAND回
路S23とNOR回路24にそれぞれ入力され、Pchトラ
ンジスタTr4とNchトランジスタTr5からなるバ
ッファ回路を経て、各アドレスピンA0〜Anから同時
に出力され、同時に全ヒューズ回路の情報を読み出すこ
とができる。
【0023】
【発明の効果】以上のようにこの発明の第1の発明によ
れば、レーザ光で溶断し得る複数個のヒューズを予備ラ
イン用デコーダとテストモード信号で制御される出力制
御回路に入力し、出力制御回路の出力をデータピンより
出力する構成としたので、救済アドレスの確認、不良解
析が容易に行える効果がある。
れば、レーザ光で溶断し得る複数個のヒューズを予備ラ
イン用デコーダとテストモード信号で制御される出力制
御回路に入力し、出力制御回路の出力をデータピンより
出力する構成としたので、救済アドレスの確認、不良解
析が容易に行える効果がある。
【0024】また、第2の発明によれば、レーザ光で溶
断し得る複数個のヒューズを予備ライン用デコーダとテ
ストモード信号で制御される出力制御回路に入力し、出
力制御回路の出力をデータピンより出力する構成とした
ので、救済アドレスの確認、不良解析が容易に行える効
果がある。
断し得る複数個のヒューズを予備ライン用デコーダとテ
ストモード信号で制御される出力制御回路に入力し、出
力制御回路の出力をデータピンより出力する構成とした
ので、救済アドレスの確認、不良解析が容易に行える効
果がある。
【図1】この発明の実施例1による半導体記憶装置の冗
長回路のブロック図である。
長回路のブロック図である。
【図2】この発明の実施例1による冗長回路の出力制御
回路Aの回路図である。
回路Aの回路図である。
【図3】この発明の実施例2による半導体記憶装置の冗
長回路のブロック図である。
長回路のブロック図である。
【図4】この発明の実施例2による冗長回路の出力制御
回路Bの回路図である。
回路Bの回路図である。
【図5】従来の半導体記憶装置の冗長回路のブロック図
である。
である。
【図6】従来の冗長回路ヒューズ回路の回路図である。
【図7】従来の外部アドレスと内部アドレスの関係を示
すブロック図である。
すブロック図である。
6 ヒューズ 13 出力制御信号A 14 TEST信号 15 データピン 21 出力制御回路B 22 アドレスピン f ヒューズ回路
Claims (2)
- 【請求項1】 冗長回路を有する半導体記憶装置におい
て、レーザ光で溶断し得る複数個のヒューズを予備ライ
ン用デコーダとテストモード信号で制御される出力制御
回路に入力し、上記出力制御回路の出力をデータピンと
接続したことを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項2】 半導体記憶装置において、レーザ光で溶
断し得る複数個のヒューズを予備ライン用デコーダとテ
ストモード信号で制御される出力制御回路に入力し、上
記出力制御回路の出力をアドレスピンと接続したことを
特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4041166A JPH05243386A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4041166A JPH05243386A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05243386A true JPH05243386A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12600843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4041166A Pending JPH05243386A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 半導体記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05243386A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0887900A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-04-02 | Sgs Thomson Microelectron Ltd | 冗長性実施回路 |
JPH08102529A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Nec Corp | 半導体記憶装置 |
JP2002279794A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
US7239548B2 (en) | 2004-12-24 | 2007-07-03 | Spansion Llc | Method and apparatus for applying bias to a storage device |
-
1992
- 1992-02-27 JP JP4041166A patent/JPH05243386A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0887900A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-04-02 | Sgs Thomson Microelectron Ltd | 冗長性実施回路 |
US5757814A (en) * | 1994-08-26 | 1998-05-26 | Sgs-Thomson Microelectronics Limited | Memory and test method therefor |
JPH08102529A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Nec Corp | 半導体記憶装置 |
JP2002279794A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
US7239548B2 (en) | 2004-12-24 | 2007-07-03 | Spansion Llc | Method and apparatus for applying bias to a storage device |
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