JPH05242515A - 光学ヘッド - Google Patents

光学ヘッド

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JPH05242515A
JPH05242515A JP3068574A JP6857491A JPH05242515A JP H05242515 A JPH05242515 A JP H05242515A JP 3068574 A JP3068574 A JP 3068574A JP 6857491 A JP6857491 A JP 6857491A JP H05242515 A JPH05242515 A JP H05242515A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は小型でかつ作製が容易に実現し得るこ
とを主要な目的とする。 【構成】導波路が形成された透明基板と、レ−ザ光源か
らのレ−ザ光を分離する光分離手段と、前記光分離手段
を通過したレ−ザ光を前記導波路に導く円形またはスパ
イラル状第1グレ−ティングと、前記導波路に導かれた
レ−ザ光を放射させる複数に分割された円形またはスパ
イラル状第2グレ−ティングと、前記第2グレ−ティン
グより放射される光の一部を、分割された放射光の偏光
方向が一様に沿うように分割された放射光に対して適切
な角度で光学軸が設定された1/2波長板と、戻り光を
受光する光検知手段とを具備する光学ヘッド。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学ヘッドの改良に関
する。
【0002】
【従来の技術】図16は、従来の導波型光ピックアップを
示す(従来技術1;「光集積ディスクピックアップヘッ
ド」、オプトロニクス(1989)No.2 ,p150)。図におい
て、61はSi基板、62はSi基板61と導波路63間に形成
されたバッファ層、64は光ディスク、65はフォ−カシン
ググレ−ティングカプラ(集光用回折格子;FGC)、
66はグレ−ティングビ−ムスプリッタ−、67はフォトダ
イオ−ド、68はレ−ザダイオ−ドである。こうした構成
の光ピックアップでは、レ−ザダイオ−ド68から発した
レ−ザ光は、導波路63を伝搬してグレ−ティングビ−ム
スプリッタ66を通り、FGC65において回折されて外部
の光ディスク64に集光される。次に、光ディスク64で反
射されたレ−ザ光はFGC65に入射し、グレ−ティング
ビ−ムスプリッタ66に至り、その光路を変更されてフォ
トダイオ−ド67に至る。
【0003】図17は、光学ヘッド装置の概略図を示す
(従来技術2;特願平1-508307号)。図中の1は、Si
基板である。この基板1上には低屈折率の透明層2が形
成され、その上に抗屈折率の透明層3(3a,3b)が
形成されている。前記透明層3a,3bの表面には、中
心軸Lに対して同心円もしくはスパイラル状のグレ−テ
ィングカプラ4a,4bが形成されている。前記透明層
3aの表面には低屈折率槽の透明層5aを挟んで高屈折
率の透明層3cが形成され、透明層3cは透明層3bと
そのグレ−ティングカプラ4bの内周側に面した領域で
接する。透明層3cの表面には中心軸Lに対して同心円
もしくはスパイラル状のグレ−ティングカプラ4cが中
心軸Lに同心した円形の領域上に形成されている。透明
層3bの表面にはグレ−ティングカプラ4bの領域を覆
う形で低屈折率の透明槽5bが形成されており、透明層
5bの屈折率は透明層5aに等しい。前記透明層3a,
3b間の断絶部に相当する位置には光検出器6a,6b
が形成され、それらの光検出器を覆う形で透明層5内に
反射膜7が形成されている。なお、図中の8は半導体レ
−ザ、9は集光レンズ、10a,10bは偏光子、11,13,
14,17a ,17bは光、12は導波光、16は反射面、18a,18
b は導波光を示す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術1によれば、以下に述べる問題点を有する。 (1) レ−ザダイオ−ド(LD)68と導波層63を直接端面
結合しているため、非常に光の利用効率が低い。つま
り、ほとんどの光は導波せずに散乱で逃げてしまう。
【0005】(2) FGC65の開口から放射される光の強
度分布が手前(LD68に近い側)が一番強く、その後指
数関数的に減少しているような分布をもつため、集光ス
ポットの強度分布が円形にならなかったり、偏ったサイ
ドロ−ブガ出る。
【0006】(3) 導波層自体は薄いが、FGC65から光
を出射させる時、導波層基板から垂直に出射させること
は大きな効率低下を招くため、15度程度傾いている、
このため、実際は薄型のメリットがいかされていない。
【0007】そこで、上記従来技術2は、上記問題点
(1) 〜(3) を改善し、かつ偏光方向がバラバラなことに
よる集光性の悪さの改善を目的としている。しかし、従
来技術2によれば、円周奉公を向いている偏光奉公を一
方向にそろえるための液晶や波長板は現在の技術では作
成が困難である。また、仮に実現できたとしても、相当
高額な部品となり光学ヘッドそのものの価格が高くな
る。このように、現在、安価で円周の接線方向または半
径方向に沿った偏光を一方向に揃える偏光素子は存在し
ない。また、従来技術2によれば、このような多層の導
波路構造で、かつ導波路内にPDを形成した透明基板は
作成が難しく、しかも作製に要する工程は複雑多岐にわ
たりとても量産性は望めない。本発明は上記事情を鑑み
てなされたもので、小型で、かつ作製が容易に実現し得
る光学ヘッドを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願第1の発明は、一主
面に導波路が形成された透明基板と、レ−ザ光源からの
レ−ザ光を分離する光分離手段と、前記透明基板上に形
成され、前記光分離手段を通過したレ−ザ光を前記導波
路に導く円形またはスパイラル状第1グレ−ティング
と、前記透明基板上に形成され、前記導波路に導かれた
レ−ザ光を放射させる分割された円形またはスパイラル
状第2グレ−ティングと、前記グレ−ティングより放射
される光の一部を、分割された放射光の偏光方向が一様
に沿うように分割された放射光に対して適切な角度で光
学軸が設定された1/2波長板と、光を情報記録用ディ
スクの記録面で反射させた後,前記第2グレ−ティン
グ,導波路,第1グレ−ティング,光分離手段を経た戻
り光を受光する光検知手段とを具備することを特徴とす
る光学ヘッドである。
【0009】本願第2の発明は、一主面に導波路が形成
された透明基板と、レ−ザ光源からのレ−ザ光を分離す
る光分離手段と、前記透明基板上に形成され、前記光分
離手段を通過したレ−ザ光を前記導波路に導く円形また
はスパイラル状第1グレ−ティングと、前記透明基板上
に形成され、前記導波路に導かれたレ−ザ光を放射させ
る円形またはスパイラル状第2グレ−ティングと、前記
第2グレ−ティングの上方に配置され、放射後のレ−ザ
光を分割させるマスクと、第2前記グレ−ティングより
放射される光の一部を、分割された放射光の偏光方向が
一様に沿うように分割された放射光に対して適切な角度
で光学軸が設定された1/2波長板と、光を情報記録用
ディスクの記録面で反射させた後,前記第2グレ−ティ
ング,導波路,第1グレ−ティング,光分離手段を経た
戻り光を受光する光検知手段とを具備することを特徴と
する光学ヘッド。図1及び図2は本発明に係る光学ヘッ
ドの原理図を示し、図1は正面図、図2は斜視図であ
る。
【0010】図1,2に示すように、レ−ザダイオ−ド
(LD)20から出た光を1/4波長板21を通して円偏光
とする。この先を円形に形成した第1グレ−ティング22
により、透明基板23上の導波路24内に導波し、外側の円
形状第2グレ−ティングにより放射集光する。本発明で
は、この集光用第2グレ−ティングを複数に分割して集
光グレ−ティングカプラ(FGC)25a,25b,25c,
25dとする。そして、そのうちいくつかのゾ−ン(例え
ば、FGC25a,25c)から放射される偏光の中心的な
偏光方向に光学軸を合わせるように1/2λ板26を設置
する。
【0011】図3(A),(B)は前記FGCを真上よ
り見た図で、各々のFGCにより放射される光の偏光方
向はFGCの方向、即ち円周の接線方向になる。図3
(A)中の角度θは小さければ小さい程、そのゾ−ン内
の偏光方向のバラツキは小さくなる。しかし、余り小さ
くなると、ゾ−ンとゾ−ンの間が大きくなり、光の利用
効率が低下する。従って、この両者のバランスで角度θ
が決まる。
【0012】図3(B)は、こうしたゾ−ンのうち2つ
について1/2λ板26を通した後の偏光状態を表わして
いる。各々の波長板の光学軸は、ゾ−ンの真中でのFG
Cに対する接線と45度の角度をなしており、FGCか
ら放射された偏光は波長板通過時に90度回転し、図の
ように全部のゾ−ンで略一様に揃うことになる。
【0013】図4,6は、夫々ド−ナツ型の開口から集
光された光の焦点位置での光強度分布を示す特性図であ
る。なお、図4は図5の直線偏光に対応し分布を、図6
は図7の偏光に対応した分布を示す。その時の偏光の状
態により、強度分布は大きく変化する。直線偏光(図5
参照)や位相のそろった円偏光(図8参照)に比べて偏
光接線方向を向いている場合(図7参照)は、光強度が
1/e2 になる半径が3μm以上になり、高密度な光記
録には使えない。なお、図5,図7,図8において、斜
線部分は光がひかっている白い部分を示す。ここで、F
GCの分割は、光の利用効率を考えればできるだけ多く
することが好ましいが、構造が複雑になるので、分割数
は制限される。
【0014】本発明において、量産性,コストを考え、
透明基板と導波路の2層構造あるいはクラッド層を入れ
た3層構造とグレ−ティング以外の段差は設けない。ま
た、同じ理由で、フォトディテクタ(PD)は導波路上
には形成しない。ディスクからの反射光は、後記する実
施例に示すように、逆戻りして中心の円形グレ−ティン
グから放射される。その光をホログラム素子で回折さ
せ、サ−ボ用のフォ−カス,トラッキングエラ−信号及
びRF信号を得ることが本発明を実現させるための一つ
の方法である。前記ホログラム素子は、1次回折光を2
つに分け夫々に非点収差をもたせることにより、フォ−
カスエラ−信号を得る。また、トラッキングエラ−信号
はpush-pull 法を用いる。
【0015】
【作用】本発明において、図9を例にとれば、LDから
出た光はホログラム素子(光分離手段)を通り、1/4
波長板により円偏光となる。それが、透明基板に形成さ
れたFGCに入射,導波光となって基板中央から外側に
拡がるように伝播する。その導波光を90度の間隔で分
けられた4つのFGCに達して、そこから上方に放射さ
れる。その4のFGCのうち例えば向い合うFGC上に
偏向方向に対して45度に光学軸を合わせて1/2波長
板を設置することにより、偏向方向を90度回転させて
偏向面を揃えた状態にして集光させる。この光は、情報
記録用ディスクの記録面で反射し、逆の光路を戻り、ホ
ログラム素子に到達し、ここで回折を受け、0次光と1
次光にわかれる。このとき、右と左側の1次光の差がpu
sh−pull信号となる。右と左の1次光は各々三分割され
たPDで受光されるが、右と左で1次光の非点収差が逆
位相で与えられているので、図10にあるような受光量の
差をとるとフォ−カスエラ−信号が得られる。また、全
部の和をとったものがRF信号となる。
【0016】
【実施例】
(実施例1)
【0017】図9は、本発明の実施例1に係る光学ヘッ
ドの説明図を示す。図中の31は、上部に導波路32を形成
した例えば石英からなる透明基板である。前記導波層32
は、例えばコ−ニング社製7059ガラスをRFスパッタ法
を用いて厚さ約0.9μmに形成した。前記導波路32上
には、図2に示すように4つに分割された集光グレ−テ
ィングカプラ(FGC)25a,25b,25c,25dが形成
されている。ここで、前記FGCは、窒化シリコン膜を
同じくRFスパッタリング法により厚さ25nmに形成
し、その上からレジストを塗布し、電子ビ−ムによりグ
レ−ティングのパタ−ンを描画し、エッチングすること
により形成する。前記透明基板31の下部には、1/4波
長板33が配置されている。前記FGCのうち例えばFG
C25a,25cの真上には、FGC25a,25cから放射さ
れる偏光の中心的な偏光方向に光学軸を合わせるように
1/2波長板34,35が設置されている。前記1/4波長
板33の真下には、光を分離するホログラム素子(光分離
手段)36が配置されている。また、前記ホログラム素子
の近くには、前記ホログラム素子36からの光を受光する
光検知器(フォトダイオ−ド;PD)37,38が配置され
ている。なお、図中の39は情報記録用ディスク、40はレ
−ザダイオ−ド(LD)を示す。
【0018】こうした構成の光学ヘッドの作用は、以下
に述べる通りである。LD39から出た光はホログラム素
子36を通り、1/4波長板33により円偏光となる。それ
が、透明基板31に形成されたFGCに入射,導波光とな
って基板中央から外側に拡がるように伝播する。その導
波光を90度の間隔で分けられた4つのFGC25a,25
b,25c,25dに達して、そこから上方に放射される。
その4のFGCのうち例えば向い合うFGC25a,25c
上に偏向方向に対して45度に光学軸を合わせて1/2
波長板34,35を設置することにより、偏向方向を90度
回転させて偏向面を揃えた状態にして集光させる。この
光は、情報記録用ディスク39の記録面で反射し、逆の光
路を戻り、ホログラム素子36に到達し、ここで回折を受
け、0次光と1次光にわかれる。このとき、右と左側の
1次光の差がpush-pull 信号となる。右と左の1次光は
各々三分割されたPD37で受光されるが、右と左で1次
光の非点収差が逆位相で与えられているので、図10にあ
るような受光量の差をとるとフォ−カスエラ−信号が得
られる。また、全部の和をとったものがRF信号とな
る。
【0019】図11は、フォ−カスエラ−信号が発生する
様子を示した図である。トラッキング用は、一般のpush
-pull 信号と同様に、ディスクの案内溝による回折によ
り得られる。また、図12(A)〜(F)は夫々図11のP
D37,38に対応したビ−ムの形状を示し、(A),
(B)は焦点が遠い場合、(C),(D)は焦点が一致
した場合、(E),(F)は焦点が近い場合を示す。
【0020】上記実施例に係る光学ヘッドよれば、上面
に導波路32が形成された透明基板31と、LD40からのレ
−ザ光を分離するホログラム素子36と、前記透明基板31
上に形成され前記ホログラム素子36を通過したレ−ザ光
を前記導波路32に導く円形状の第1グレ−ティング22
と、前記透明基板31上に形成され前記LD40から前記ホ
ログラム素子36を通過してレ−ザ光を前記導波層32に導
く複数に分割された円形状のFGC25a〜25dと、前記
グレ−ティングより放射される光の一部を、分割された
放射光の偏光方向が一様に沿うように分割された放射光
に対して適切な角度で光学軸が設定された1/2波長板
35と、情報記録用ディスク39の記録面で反射させた後,
前記FGC,導波路32,第1グレ−ティング22,導波路
32を経た戻り光を受光するPD37,38とから構成されて
いる。従って、LD40からディスク39面までの光路長を
短くすることにより、より小型の光学ヘッドを実現でき
る。また、従来技術に比べて光学ヘッドを容易に作製で
きる。図13(A),(B)は上記実施例による効果を示
す図であり、ホログラム素子を使って光学ヘッドを小型
化する場合でも、同図(A)から同図(B)のように、
LD40からディスク39面までの光路長を短くすることに
より、より小型の光学ヘッドを実現できることが明らか
である。 (実施例2)
【0021】図14は、実施例2に係る光学ヘッドの要部
の平面図である。実施例1の第2グレ−ティング(FG
C)は4つに分割されていたが、グレ−ティングとグレ
−ティングの間の光は何も使われずに捨てられる。そこ
で、実施例2では、同じ4つに分割する場合でも、図14
に示すように導波路内で集光佐用をもつグレ−ティング
レンズ51を配置し、中心から全方向に導波してくる光を
もらすことなく4つに分割し、各々FGC25a〜25dよ
り放射させることができるという利点を有する。 (実施例3)
【0022】図15は、実施例3に係る光学ヘッドの要部
の説明図である。この実施例3は、放射用のFGCを分
割せずに円形のFGC52とし、導波路の分割を所定の位
置に開口部53aを有したマスク53を配置した構成のもの
である。このように、放射用のFGC52を分割しなくて
も放射後に余分を遮蔽することによっても上記実施例1
と同様な効果が得られる。
【0023】なお、上記実施例1,2ではFGCを4分
割を採用したが、前述しようにこの数に制限はなく、例
えば量産性を優先するのか、光の利用効率を優先するか
によって分割数は選択される。
【0024】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明によれば、小型
で、かつ作製が容易に実現し得る光学ヘッドを提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る光学ヘッドの原理を説
明するための略正面図。
【図2】図2の斜視図。
【図3】集光される光を1/2波長板を使ってそろえる
原理図。
【図4】ド−ナツ型の開口から集光された光の焦点位置
での光強度分布図。
【図5】直線偏光の説明図。
【図6】ド−ナツ型の開口から集光された光の焦点位置
での光強度分布図。
【図7】円偏光の説明図。
【図8】偏光接線方向の説明図。
【図9】本発明の実施例1に係る光学ヘッドの説明図。
【図10】ホトグラム素子からの受光量の差によりフォ
−カスエラ−信号を得る場合の原理説明図。
【図11】フォ−カスエラ−信号が発生する様子を示す
説明図。
【図12】ディスク面に焦点が一致する場合,遠い場合
及び近い場合のフォトダイオ−ドのパタ−ン図。
【図13】本発明により光学ヘッドを小型化する場合の
説明図。
【図14】本発明の実施例2に係る光学ヘッドの要部の
説明図。
【図15】本発明の実施例3に係る光学ヘッドの要部の
説明図。
【図16】従来技術1の説明図。
【図17】従来技術2の説明図。
【符号の説明】
20,40…レ−ザダイオ−ド、21,34,35…1
/2λ板、22…第1グレ−ティング、23,31…透
明基板、24,32…導波路、25a〜25d,52…第
2グレ−ティング(FGC)、36…ホログラム素子、
37,38…フォトダイオ−ド、39…ディスク、51
…グレ−ティングレンズ、53…マスク。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一主面に導波路が形成された透明基板
    と、レ−ザ光源からのレ−ザ光を分離する光分離手段
    と、前記透明基板上に形成され、前記光分離手段を通過
    したレ−ザ光を前記導波路に導く円形またはスパイラル
    状第1グレ−ティングと、前記透明基板上に形成され、
    前記導波路に導かれたレ−ザ光を放射させる複数に分割
    された円形またはスパイラル状第2グレ−ティングと、
    前記第2グレ−ティングより放射される光の一部を、分
    割された放射光の偏光方向が一様に沿うように分割され
    た放射光に対して適切な角度で光学軸が設定された1/
    2波長板と、光を情報記録用ディスクの記録面で反射さ
    せた後,前記第2グレ−ティング,導波路,第1グレ−
    ティング,光分離手段を経た戻り光を受光する光検知手
    段とを具備することを特徴とする光学ヘッド。
  2. 【請求項2】 一主面に導波路が形成された透明基板
    と、レ−ザ光源からのレ−ザ光を分離する光分離手段
    と、前記透明基板上に形成され、前記光分離手段を通過
    したレ−ザ光を前記導波路に導く円形またはスパイラル
    状第1グレ−ティングと、前記透明基板上に形成され、
    前記導波路に導かれたレ−ザ光を放射させる円形または
    スパイラル状第2グレ−ティングと、前記第2グレ−テ
    ィングの上方に配置され、放射後のレ−ザ光を分割させ
    るマスクと、第2前記グレ−ティングより放射される光
    の一部を、分割された放射光の偏光方向が一様に沿うよ
    うに分割された放射光に対して適切な角度で光学軸が設
    定された1/2波長板と、光を情報記録用ディスクの記
    録面で反射させた後,前記第2グレ−ティング,導波
    路,第1グレ−ティング,光分離手段を経た戻り光を受
    光する光検知手段とを具備することを特徴とする光学ヘ
    ッド。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100403599B1 (ko) * 2001-11-06 2003-10-30 삼성전자주식회사 조명계 및 이를 채용한 프로젝션 시스템

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KR100403599B1 (ko) * 2001-11-06 2003-10-30 삼성전자주식회사 조명계 및 이를 채용한 프로젝션 시스템

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