JPH05240611A - 変位センサ - Google Patents

変位センサ

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JPH05240611A
JPH05240611A JP7620592A JP7620592A JPH05240611A JP H05240611 A JPH05240611 A JP H05240611A JP 7620592 A JP7620592 A JP 7620592A JP 7620592 A JP7620592 A JP 7620592A JP H05240611 A JPH05240611 A JP H05240611A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
detection
reflected
displacement sensor
pinhole
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP7620592A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Sekii
宏 関井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP7620592A priority Critical patent/JPH05240611A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 発光ダイオード、光位置検出器等のそれぞれ
の部品を小型化することなく、高分解能で、かつ、コン
パクトな変位センサを提供する。 【構成】 発光素子2から検出対象物3の表面4に対し
て検出光が投射され、この検出光は検出対象物3の表面
4で反射される。そして、この反射された光はピンホー
ル5を通過して、反射部材10aに到達する。この反射
部材10aによって反射された光は、検出光の投射軸と
平行となるように配置された光位置検出器6の受光面7
で受光されて、この受光位置に応じて光位置検出器6の
出力電圧が比例して変化するので、この出力電圧に基づ
き、対象物の位置や変位を検出できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、対象物の位置や変位を
検出するための変位センサに係り、特に、その小型化、
高分解能化を図る技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、発光素子と光位置検出器(以下、
PSDという)を用いた光電交換方式の変位センサにお
いては、直線形の出力信号を得るため、信号形状補正回
路を設けているが、そのために電気回路が複雑になると
いった問題がある。この問題を解決するために、本願出
願人は先に、発光素子やPSDの配置構成を工夫して、
信号形状補正回路を設けなくても直線状の出力信号を得
ることができる変位センサを提供している。
【0003】以下に、本願出願人が先に提案(未公知)
している変位センサを図3、図4を用いて説明する。本
変位センサは、検出光を検出対象物の投射面に向けて投
射して、検出対象物の投射面で反射した反射光をピンホ
ールのみを介してPSDの受光面に入射させるようにし
たものである。この変位センサ1によれば、発光素子と
して所定位置に焦点を結ぶ集光レンズを一体化した発光
ダイオード(以下、LEDという)2を用い、このLE
D2から検出対象物3の投射面4に向けて投射した検出
光L1を、検出対象物3の投射面4で反射させ、この反
射光L2を、センサ本体1に穿孔したピンホール5を介
して、検出光の投射軸Jと平行に配置されたPSD6の
受光面7に受光させる。そして、この受光面7上の受光
位置は検出対象物3の変位に伴い変化し、それに応じて
PSD6の出力電圧が比例して変化するので、直線形の
出力信号が得られ、この直線形の出力信号から対象物の
位置を検出することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この変位センサの原理
を図4を参照して説明する。ピンホール5の中心点を
O、この点Oから検出光の投射軸におろした垂線と該投
射軸との交点をA、検出対象物3の投射面4上の検出光
が反射する点をB、PSD6の受光面7と反射光軸との
交点をb、交点bから線分AOの延長線におろした垂線
と線分AOの延長線との交点をaとすると、△ABOと
△abOとは相似関係にある。この△ABOと△abO
との比は、線分ABと線分abの長さの比kで決定さ
れ、このkの値によってセンサの性能は決定される。k
の値が小さければ小さい程、センサの分解能が向上して
性能のよいセンサであるが、kの値を小さくするために
は△abOを大きくしなければならず、そのためには線
分aOの長さを大きくする必要があるため、センサ自体
が大きくなってしまうという問題を有している。また、
LEDパッケージやPSD面積等の全ての部品を小型化
すると、同一性能のセンサを小型化することができる
が、それぞれの部品を小型化するのは容易ではない。
【0005】本発明は、上述した問題点を解決するもの
で、発光ダイオード、光位置検出器等のそれぞれの部品
を小型化することなく、高分解能で、かつ、コンパクト
な変位センサを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1の発明は、検出対象物の表面に対して検出光
を投射させるための発光素子と、前記検出対象物の表面
で反射された前記検出光を通過させるためのピンホール
と、前記ピンホールを通過した前記検出光を反射させる
反射部材と、前記反射部材によって反射された光を受光
する受光面が前記検出光の投射軸と平行となるように配
置された光位置検出器とを備えたものである。
【0007】また、請求項2の発明は、検出対象物の表
面に対して検出光を投射させるための発光素子と、前記
検出対象物の表面で反射された前記検出光を集光する受
光レンズと、前記受光レンズを通過した前記検出光を反
射させる反射部材と、前記反射部材によって反射された
光を受光する受光面が前記検出光の投射軸と平行となる
ように配置された光位置検出器とを備えたものである。
【0008】
【作用】上記の構成によれば、発光素子から検出対象物
の表面に対して検出光が投射され、この検出光は検出対
象物の表面で反射される。そして、この光はピンホール
もしくは受光レンズを通過して、反射部材に到達する。
この反射部材によって反射された光は、前記検出光の投
射軸と平行となるように配置された光位置検出器の受光
面で受光されて、この受光位置に応じて光位置検出器の
出力電圧が比例して変化するので、この出力電圧に基づ
いて、対象物の位置や変位を検出する。
【0009】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例について
図面を参照して説明する。図1は変位センサの断面図で
ある。変位センサ11は、上方に開口部を持つ凹型のホ
ルダ9の中に、発光素子として所定位置に焦点を結ぶ集
光レンズを一体化したLED2と、PSD6が埋設され
た樹脂モールド部10とが装着された構成である。樹脂
モールド部10の上部の凹型ホルダ9には、対象物の変
位を検出するための検出光を通過させるピンホール5が
穿孔され、このピンホール5を通過してきた光を反射さ
せる反射部材として、樹脂モールド部10の内部側面の
一部に金を上塗りした金コート面10aが形成されてい
る。また、樹脂モールド部10の内部には、前記金コー
ト面10aによって反射された反射光を受光するPSD
6の受光面7が検出光の投射軸Jと平行となるように、
PSD6が埋設されている。
【0010】上記構成において、対象物の変位量を検出
する動作を説明する。LED2から検出対象物3の投射
面4に向けて検出光L1を投射し、この検出光L1は検
出対象物3の投射面4で反射され、この反射光L2はピ
ンホール5を通過して、樹脂モールド部10の金コート
面10aで反射され、PSD6の受光面7に受光され
る。この受光位置は検出対象物3の変位に伴い変化し、
それに応じてPSD6の出力電圧が比例して変化するの
で、直線形の出力信号が得られ、この直線形の出力信号
から検出対象物3の位置を検出することができる。
【0011】従来のように、樹脂モールド部10の内部
側面に金コートを施していない場合、反射光L2は反射
されることなく直進する。この直進する光を受光するた
めに、受光部を設けなければならないから、樹脂モール
ド部10は図1より大きいサイズが必要となる。しか
し、本実施例の変位センサ11では、反射光L2が金コ
ート面10aで反射して、その光がPSD6の受光面7
に受光されるので、樹脂モールド部10は図1に示した
小型のサイズで済む。つまり、従来の変位センサの場合
では、図1の点線で示すように、金コート面10aの中
心線を軸にしてPSD6と線対称の位置8にPSDが存
在するのと同様の効果が、本実施例の変位センサ11で
得られる。従来はPSD8を含んだサイズの変位センサ
が必要であったが、それよりも小さいサイズの変位セン
サ11で、従来の変位センサと同様の性能が得られる。
従って、本実施例の変位センサ11では、容易にセンサ
の小型化と高分解能化を両立させることができる。
【0012】上記の実施例では、凹型ホルダ9の上部に
検出光を通過させるためのピンホール5を穿孔した変位
センサ11を用いたが、図2に示すように、このピンホ
ール5に受光レンズ15を、受光レンズ15の光軸Kが
検出光の投射軸Jと平行となるように嵌め込んだ変位セ
ンサ21を用いて、対象物の変位量を検出しても同様の
効果が得られる。なお、本実施例では、反射部材に金コ
ート面を使用したが、金コート面に限られず、例えば銀
を上塗りした銀コート面を使用してもよい。また、反射
部材は樹脂モールド部の内部側面だけに限定されるもの
ではなく、反射機能を有したものなら何でもよく、例え
ば図2のミラー10bなどが考えられる。
【0013】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、検出光を
検出対象物の投射面に向けて投射して、検出対象物の投
射面で反射させ、反射した光は、ピンホールもしくは受
光レンズを通過して、反射部材によって反射され、この
反射光は検出光の投射軸と平行となるように配置された
光位置検出器の受光面に受光される。この反射部材を使
用することによって、従来と比べて受光光路長を等価的
に長くすることができるため、変位センサの小型化と高
分解能化を同時に達成することが可能となる。また、従
来と同一性能のものを従来より小さいセンサ形状で達成
することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による変位センサの断側面
図である。
【図2】本発明の第2実施例による変位センサの断側面
図である。
【図3】従来の変位センサの断側面図である。
【図4】従来の変位センサの原理図である。
【符号の説明】
1,11,21 変位センサ 2 LED 3 検出対象物 5 ピンホール 6 PSD 10a 金コート面 10b ミラー 15 受光レンズ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検出対象物の表面に対して検出光を投射
    させるための発光素子と、前記検出対象物の表面で反射
    された前記検出光を通過させるためのピンホールと、前
    記ピンホールを通過した前記検出光を反射させる反射部
    材と、前記反射部材によって反射された光を受光する受
    光面が前記検出光の投射軸と平行となるように配置され
    た光位置検出器とを備えた変位センサ。
  2. 【請求項2】 検出対象物の表面に対して検出光を投射
    させるための発光素子と、前記検出対象物の表面で反射
    された前記検出光を集光する受光レンズと、前記受光レ
    ンズを通過した前記検出光を反射させる反射部材と、前
    記反射部材によって反射された光を受光する受光面が前
    記検出光の投射軸と平行となるように配置された光位置
    検出器とを備えた変位センサ。
JP7620592A 1992-02-26 1992-02-26 変位センサ Withdrawn JPH05240611A (ja)

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JP7620592A JPH05240611A (ja) 1992-02-26 1992-02-26 変位センサ

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JP7620592A JPH05240611A (ja) 1992-02-26 1992-02-26 変位センサ

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JPH05240611A true JPH05240611A (ja) 1993-09-17

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JP7620592A Withdrawn JPH05240611A (ja) 1992-02-26 1992-02-26 変位センサ

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JP (1) JPH05240611A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007010556A (ja) * 2005-07-01 2007-01-18 Sharp Corp 光学式測距センサ及びこれを備えた機器
JP2010048575A (ja) * 2008-08-19 2010-03-04 Sharp Corp 光学式測距センサおよびそれを搭載した機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007010556A (ja) * 2005-07-01 2007-01-18 Sharp Corp 光学式測距センサ及びこれを備えた機器
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Effective date: 19990518