JPH0523565A - 無機質均一微小球体、及びその製造方法 - Google Patents
無機質均一微小球体、及びその製造方法Info
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- JPH0523565A JPH0523565A JP3180752A JP18075291A JPH0523565A JP H0523565 A JPH0523565 A JP H0523565A JP 3180752 A JP3180752 A JP 3180752A JP 18075291 A JP18075291 A JP 18075291A JP H0523565 A JPH0523565 A JP H0523565A
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- C03C4/0007—Compositions for glass with special properties for biologically-compatible glass
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- B01J2/02—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic by dividing the liquid material into drops, e.g. by spraying, and solidifying the drops
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 粒子原料を含有する水溶液11を、厚み方向
に貫通し孔径がほぼ均一である貫通孔を有するとともに
疎水性の表面を持つ高分子膜12を介して有機溶媒25
中に注入することにより、粒子径0.01〜500μm
の無機質均一微小球体を製造した。 【効果】 本発明の製造方法により無機質均一微小球体
の生産性が向上し、この方法により得られた無機質均一
微小球体は、その粒子径の不揃いが著しく改善された。
に貫通し孔径がほぼ均一である貫通孔を有するとともに
疎水性の表面を持つ高分子膜12を介して有機溶媒25
中に注入することにより、粒子径0.01〜500μm
の無機質均一微小球体を製造した。 【効果】 本発明の製造方法により無機質均一微小球体
の生産性が向上し、この方法により得られた無機質均一
微小球体は、その粒子径の不揃いが著しく改善された。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、無機質均一微小球体、
及びその製造方法に関するものである。
及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】特公昭5
4−6251号や特公昭57−55454号に、無機質
微小球体の製造方法が示されている。すなわち、無機化
合物の水溶液に、有機溶媒を混合してW/O型エマルジ
ョンとなし、このエマルジョン中に形成するエマルジョ
ン粒子を沈殿させて無機質微小球体を得る方法である。
4−6251号や特公昭57−55454号に、無機質
微小球体の製造方法が示されている。すなわち、無機化
合物の水溶液に、有機溶媒を混合してW/O型エマルジ
ョンとなし、このエマルジョン中に形成するエマルジョ
ン粒子を沈殿させて無機質微小球体を得る方法である。
【0003】しかし、上記した方法によれば、無機質微
小球体を、その粒子径をほぼ均一にして製造することが
困難であり、得られる無機質微小球体は、その粒子径が
不揃いであった。
小球体を、その粒子径をほぼ均一にして製造することが
困難であり、得られる無機質微小球体は、その粒子径が
不揃いであった。
【0004】そこで、上記の欠点を解決しようと、膜乳
化逆ミセル法を用いた無機質微小球体の製造方法が提案
された(特願平2−277507号)。すなわち、無機
化合物の水溶液を、表面が疎水化処理され均一な孔径を
有するミクロ多孔質膜に通して有機溶媒中に圧入する方
法である。この方法により、得られる無機質微小球体の
粒子径分布はある程度狭くなった。
化逆ミセル法を用いた無機質微小球体の製造方法が提案
された(特願平2−277507号)。すなわち、無機
化合物の水溶液を、表面が疎水化処理され均一な孔径を
有するミクロ多孔質膜に通して有機溶媒中に圧入する方
法である。この方法により、得られる無機質微小球体の
粒子径分布はある程度狭くなった。
【0005】しかしながら、この膜乳化逆ミセル法を用
いた上記製造方法には、次のような欠点があった。
いた上記製造方法には、次のような欠点があった。
【0006】粒子原料を含有する水溶液が、上記ミク
ロ多孔質膜の内部に入り込んで出てくるまでの間、長さ
数cmの細孔の内部を通過することになるので、大きな
圧損が生じ、特に粒子径の小さな無機質微小球体を製造
する場合や、粘性の大きな原料水溶液を用いる場合に
は、単位時間当たりの生産量が非常に少なかった。
ロ多孔質膜の内部に入り込んで出てくるまでの間、長さ
数cmの細孔の内部を通過することになるので、大きな
圧損が生じ、特に粒子径の小さな無機質微小球体を製造
する場合や、粘性の大きな原料水溶液を用いる場合に
は、単位時間当たりの生産量が非常に少なかった。
【0007】ミクロ多孔質膜に形成した細孔の孔径の
バラツキと、表面における開孔周縁部の形状のバラツキ
とにより、粒子径分布の体積標準偏差は、膜乳化逆ミセ
ル法によらない場合に比べて非常に狭くなったとはい
え、平均粒子径の20〜50%と、まだまだバラツキが
大きく、満足のいくものではなかった。
バラツキと、表面における開孔周縁部の形状のバラツキ
とにより、粒子径分布の体積標準偏差は、膜乳化逆ミセ
ル法によらない場合に比べて非常に狭くなったとはい
え、平均粒子径の20〜50%と、まだまだバラツキが
大きく、満足のいくものではなかった。
【0008】原料水溶液の中に含まれるアルカリによ
り、ミクロ多孔質膜は、該ミクロ多孔質膜に設けた疎水
化膜が剥離するなどのダメージを受けるために、その寿
命は数時間〜数十時間程度と短かった。
り、ミクロ多孔質膜は、該ミクロ多孔質膜に設けた疎水
化膜が剥離するなどのダメージを受けるために、その寿
命は数時間〜数十時間程度と短かった。
【0009】また、「E.Barringer他 U
trastructure Processing o
f Glass Ceramics and Comp
osites、John Wiley & Sons
New York(1984)315−333」に示さ
れているようなゾルゲル法を用いた無機質微小球体の製
造方法も知られている。すなわち、重合前の粒子原料を
含有するゾルを有機溶媒中に注入してゾルのエマルジョ
ン粒子を形成させ、その後、重合反応を促進させて前記
ゾルのエマルジョン粒子をゲル化して沈殿させる方法で
ある。
trastructure Processing o
f Glass Ceramics and Comp
osites、John Wiley & Sons
New York(1984)315−333」に示さ
れているようなゾルゲル法を用いた無機質微小球体の製
造方法も知られている。すなわち、重合前の粒子原料を
含有するゾルを有機溶媒中に注入してゾルのエマルジョ
ン粒子を形成させ、その後、重合反応を促進させて前記
ゾルのエマルジョン粒子をゲル化して沈殿させる方法で
ある。
【0010】しかし、この方法においても上記と同様、
得られる無機質微小球体の粒子径のバラツキが大きくな
るばかりか、使用できる原料水溶液がきわめて限定され
るといった問題点があった。
得られる無機質微小球体の粒子径のバラツキが大きくな
るばかりか、使用できる原料水溶液がきわめて限定され
るといった問題点があった。
【0011】細孔の孔径の揃った多孔質SiO2を作る
方法としては、次の2つの方法が開示されている。
方法としては、次の2つの方法が開示されている。
【0012】1.ホウ珪酸ガラスを分相させたのち、酸
可溶成分を溶出除去(酸洗)する方法(特開昭61−4
0841号公報、U.S patent 465787
5号公報参照)。
可溶成分を溶出除去(酸洗)する方法(特開昭61−4
0841号公報、U.S patent 465787
5号公報参照)。
【0013】2.シリカゾルと水溶性有機高分子とを混
合し、重合時に分相させ、のち水洗する方法(特開平3
−8729号公報参照)。
合し、重合時に分相させ、のち水洗する方法(特開平3
−8729号公報参照)。
【0014】しかしながら、上記の方法には、球状微粒
子を製造する方法は開示されていない。
子を製造する方法は開示されていない。
【0015】
【課題を解決するための手段と作用】上記の種々の問題
を解決するために、次のような手段を講じた。すなわ
ち、請求項1の製造方法は、粒子原料を含有する水溶液
を有機溶媒中に注入して、粒子径0.01〜500μm
の無機質均一微小球体を製造する方法であって、前記水
溶液を、厚み方向に貫通し孔径がほぼ均一である貫通孔
を有するとともに疎水性の表面を持つ高分子膜を介して
有機溶媒中に注入することにより、前記有機溶媒中にほ
ぼ均一な径を有する多数のエマルジョン粒子を形成さ
せ、前記エマルジョン粒子1個から無機質均一微小球体
1個を製造する方法である。
を解決するために、次のような手段を講じた。すなわ
ち、請求項1の製造方法は、粒子原料を含有する水溶液
を有機溶媒中に注入して、粒子径0.01〜500μm
の無機質均一微小球体を製造する方法であって、前記水
溶液を、厚み方向に貫通し孔径がほぼ均一である貫通孔
を有するとともに疎水性の表面を持つ高分子膜を介して
有機溶媒中に注入することにより、前記有機溶媒中にほ
ぼ均一な径を有する多数のエマルジョン粒子を形成さ
せ、前記エマルジョン粒子1個から無機質均一微小球体
1個を製造する方法である。
【0016】請求項2のように、前記高分子膜の膜厚が
孔径の5〜2,000倍の範囲にあることが好ましい。
孔径の5〜2,000倍の範囲にあることが好ましい。
【0017】請求項3のように、エマルジョン粒子を含
む有機溶媒と、前記エマルジョン粒子を沈殿させること
のできるような沈殿剤を含む水溶液とを混合して水不溶
性の沈殿物を形成させ、前記沈殿物を乾燥させたのち焼
成することに製造することが好適である。
む有機溶媒と、前記エマルジョン粒子を沈殿させること
のできるような沈殿剤を含む水溶液とを混合して水不溶
性の沈殿物を形成させ、前記沈殿物を乾燥させたのち焼
成することに製造することが好適である。
【0018】請求項4のように、エマルジョン粒子とす
る水溶液が、塩基性塩の水溶液であることが好ましい。
る水溶液が、塩基性塩の水溶液であることが好ましい。
【0019】請求項5のように、前記塩基性塩が、アル
カリ金属の珪酸塩であることが好ましい。
カリ金属の珪酸塩であることが好ましい。
【0020】請求項6のように、エマルジョン粒子とす
る水溶液が粒子原料のゾルであり、前記ゾルを有機溶媒
中に注入してゾルのエマルジョン粒子を形成させたの
ち、重合反応を促進させて前記ゾルのエマルジョン粒子
をゲル化することにより、粒子の前駆体である沈殿物を
形成させ、前記沈殿物を乾燥させたのち焼成して製造す
ることもできる。
る水溶液が粒子原料のゾルであり、前記ゾルを有機溶媒
中に注入してゾルのエマルジョン粒子を形成させたの
ち、重合反応を促進させて前記ゾルのエマルジョン粒子
をゲル化することにより、粒子の前駆体である沈殿物を
形成させ、前記沈殿物を乾燥させたのち焼成して製造す
ることもできる。
【0021】請求項7のように、粒子原料のゾルが、有
機珪素化合物を加水分解して得られたシリカゾルである
ことが好ましい。
機珪素化合物を加水分解して得られたシリカゾルである
ことが好ましい。
【0022】請求項8の無機質均一微小球体は、水溶性
有機高分子化合物を加えたシリカゾルを、厚み方向に貫
通し孔径がほぼ均一な貫通孔を有するとともに疎水性の
表面を持つ高分子膜を介して有機溶媒中に注入すること
により得られたゾルのエマルジョン粒子を、重合反応を
促進させてゲル化してシリカゲル微粒子となし、前記シ
リカゲル微粒子を水洗、乾燥、焼成することにより得ら
れた細孔径の均一なものである。
有機高分子化合物を加えたシリカゾルを、厚み方向に貫
通し孔径がほぼ均一な貫通孔を有するとともに疎水性の
表面を持つ高分子膜を介して有機溶媒中に注入すること
により得られたゾルのエマルジョン粒子を、重合反応を
促進させてゲル化してシリカゲル微粒子となし、前記シ
リカゲル微粒子を水洗、乾燥、焼成することにより得ら
れた細孔径の均一なものである。
【0023】請求項9の製造方法は、水溶性有機高分子
化合物を加えたシリカゾルを、厚み方向に貫通し孔径が
ほぼ均一な貫通孔を有するとともに疎水性の表面を持つ
高分子膜を介して有機溶媒中に注入することにより、前
記有機溶媒中にゾルのエマルジョン粒子を形成させ、そ
の後、重合反応を促進させて前記ゾルのエマルジョン粒
子をゲル化することにより、粒子の前駆体であるシリカ
ゲル微粒子を形成し、のち前記シリカゲル微粒子を水
洗、乾燥、焼成する細孔径の均一な無機質均一微小球体
の製造方法である。
化合物を加えたシリカゾルを、厚み方向に貫通し孔径が
ほぼ均一な貫通孔を有するとともに疎水性の表面を持つ
高分子膜を介して有機溶媒中に注入することにより、前
記有機溶媒中にゾルのエマルジョン粒子を形成させ、そ
の後、重合反応を促進させて前記ゾルのエマルジョン粒
子をゲル化することにより、粒子の前駆体であるシリカ
ゲル微粒子を形成し、のち前記シリカゲル微粒子を水
洗、乾燥、焼成する細孔径の均一な無機質均一微小球体
の製造方法である。
【0024】請求項10のように、中性子線などの粒子
線を照射し、その結果生じた欠陥をアルカリ水溶液によ
りエッチングすることにより、厚み方向に貫通し孔径の
ほぼ均一な貫通孔を設けた、例えばポリカーボネート、
ポリエステルなどからなる樹脂膜の表面を疎水化処理し
てなる膜が高分子膜として用いられることが好適であ
る。
線を照射し、その結果生じた欠陥をアルカリ水溶液によ
りエッチングすることにより、厚み方向に貫通し孔径の
ほぼ均一な貫通孔を設けた、例えばポリカーボネート、
ポリエステルなどからなる樹脂膜の表面を疎水化処理し
てなる膜が高分子膜として用いられることが好適であ
る。
【0025】請求項11のように、レーザーを照射する
ことにより厚み方向に貫通し孔径のほぼ均一な貫通孔を
設けた、例えばポリイミド、ポリエチレンテレフタレー
ト、フッ素系樹脂などからなる疎水性膜を高分子膜とし
て用いることもできる。
ことにより厚み方向に貫通し孔径のほぼ均一な貫通孔を
設けた、例えばポリイミド、ポリエチレンテレフタレー
ト、フッ素系樹脂などからなる疎水性膜を高分子膜とし
て用いることもできる。
【0026】請求項12のように、レーザーの波長が3
55nm以下であることが好ましい。
55nm以下であることが好ましい。
【0027】請求項13の無機質均一微小球体は、粒子
原料を含有する水溶液を、波長355nm以下のレーザ
ーを照射することにより厚み方向に貫通し孔径のほぼ均
一な貫通孔を設けた、例えばポリイミド、ポリエチレン
テレフタレート、フッ素系樹脂などからなる疎水性膜を
介して有機溶媒中に注入することにより得られた前記有
機溶媒中のエマルジョン粒子より製造されてなるもので
ある。
原料を含有する水溶液を、波長355nm以下のレーザ
ーを照射することにより厚み方向に貫通し孔径のほぼ均
一な貫通孔を設けた、例えばポリイミド、ポリエチレン
テレフタレート、フッ素系樹脂などからなる疎水性膜を
介して有機溶媒中に注入することにより得られた前記有
機溶媒中のエマルジョン粒子より製造されてなるもので
ある。
【0028】粒子原料を含有する水溶液を、厚み方向に
貫通し孔径がほぼ均一な貫通孔を持つ高分子膜を介して
有機溶媒中に注入することにより、大幅に膜の圧損を減
少させることができる。開口部の直径が0.5μmであ
り、膜厚が15μmの膜を使用した場合を考えると、従
来のミクロ多孔質膜の場合には、細孔の長さは約1cm
となるのに比べ、本発明の高分子膜のそれは、ほぼ膜厚
と同一、つまり15μmであり、細孔の密度が同一の場
合には、圧損は約600分の1と減少する。このように
圧損の制約が小さくなれば、無機質均一微小球体の生産
性を向上させることができる。
貫通し孔径がほぼ均一な貫通孔を持つ高分子膜を介して
有機溶媒中に注入することにより、大幅に膜の圧損を減
少させることができる。開口部の直径が0.5μmであ
り、膜厚が15μmの膜を使用した場合を考えると、従
来のミクロ多孔質膜の場合には、細孔の長さは約1cm
となるのに比べ、本発明の高分子膜のそれは、ほぼ膜厚
と同一、つまり15μmであり、細孔の密度が同一の場
合には、圧損は約600分の1と減少する。このように
圧損の制約が小さくなれば、無機質均一微小球体の生産
性を向上させることができる。
【0029】本発明で使用する粒子原料を含有する水溶
液は、アルカリ金属の珪酸塩、炭酸塩、リン酸塩、硫酸
塩、アルカリ土類金属のハロゲン化物並びに銅族元素及
び鉄族元素の硫酸塩、塩酸塩、硝酸塩からなる群れより
選ばれた無機化合物の少なくとも1種を含む濃度0.3
mol/リットル〜飽和の水溶液を使用し得る。
液は、アルカリ金属の珪酸塩、炭酸塩、リン酸塩、硫酸
塩、アルカリ土類金属のハロゲン化物並びに銅族元素及
び鉄族元素の硫酸塩、塩酸塩、硝酸塩からなる群れより
選ばれた無機化合物の少なくとも1種を含む濃度0.3
mol/リットル〜飽和の水溶液を使用し得る。
【0030】用いる高分子膜が疎水性を有しているので
あれば、あえて疎水化処理する必要はない。例えば、ポ
リイミド、ポリエチレンテレフタレート、テフロン(デ
ュポン社の登録商標)等のフッ素系樹脂などからなる膜
を使用した場合、それ自身が疎水性を有しているために
疎水化処理が不要である。また、アルカリに侵されない
ことから、化学的劣化を考慮する必要もなくなる。しか
し、疎水性を有していない場合には、表面を疎水化処理
する必要がある。
あれば、あえて疎水化処理する必要はない。例えば、ポ
リイミド、ポリエチレンテレフタレート、テフロン(デ
ュポン社の登録商標)等のフッ素系樹脂などからなる膜
を使用した場合、それ自身が疎水性を有しているために
疎水化処理が不要である。また、アルカリに侵されない
ことから、化学的劣化を考慮する必要もなくなる。しか
し、疎水性を有していない場合には、表面を疎水化処理
する必要がある。
【0031】疎水化処理する手段としては特に限定はな
く、ジメチルポリシロキサンやメチルハイドロジェンポ
リシロキサン等の熱硬化性シリコーンオイル、シリコー
ンエマルジョン、シリコーンレジン等のシリコーン樹
脂、メチルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラ
ン、ビニルトリメトキシシラン、トリメチルクロロシラ
ン等のシランカップリング剤、ジハイドロジェンヘキサ
メチルシクロテトラシロキサン、トリハイドロジェンペ
ンタメチルシクロテトラシロキサン等の環状シリコーン
化合物、イソプロピルトリステアロイルチタネートやイ
ソプロピルトリ(N−アミノエチル−)チタネート等の
チタネート系カップリング剤、アセトアルコキシアルミ
ニウムジイソプロピレート等のアルミニウム系カップリ
ング剤、フッ素シリコーンコーティング剤、フッ素系コ
ーティング剤、などで処理する方法が挙げられ、この中
には、シロキサンのプラズマ重合による方法も含まれ
る。
く、ジメチルポリシロキサンやメチルハイドロジェンポ
リシロキサン等の熱硬化性シリコーンオイル、シリコー
ンエマルジョン、シリコーンレジン等のシリコーン樹
脂、メチルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラ
ン、ビニルトリメトキシシラン、トリメチルクロロシラ
ン等のシランカップリング剤、ジハイドロジェンヘキサ
メチルシクロテトラシロキサン、トリハイドロジェンペ
ンタメチルシクロテトラシロキサン等の環状シリコーン
化合物、イソプロピルトリステアロイルチタネートやイ
ソプロピルトリ(N−アミノエチル−)チタネート等の
チタネート系カップリング剤、アセトアルコキシアルミ
ニウムジイソプロピレート等のアルミニウム系カップリ
ング剤、フッ素シリコーンコーティング剤、フッ素系コ
ーティング剤、などで処理する方法が挙げられ、この中
には、シロキサンのプラズマ重合による方法も含まれ
る。
【0032】本発明で使用する有機溶媒として何を使用
するかは特に限定はないが、水に対する溶解度が5%以
下である有機溶媒を使用することが好ましい。その具体
例を以下に列挙する。
するかは特に限定はないが、水に対する溶解度が5%以
下である有機溶媒を使用することが好ましい。その具体
例を以下に列挙する。
【0033】脂肪族炭化水素類;n−ヘキサン、イソヘ
キサン、n−ヘプタン、イソヘプタン、n−オクテン、
イソオクテン、ガソリン、石油エーテル、灯油、ベンジ
ン、ミネラルスピリットなど。
キサン、n−ヘプタン、イソヘプタン、n−オクテン、
イソオクテン、ガソリン、石油エーテル、灯油、ベンジ
ン、ミネラルスピリットなど。
【0034】脂環式炭化水素類;シクロペンタン、シク
ロヘキサン、シクロヘキセン、シクロノナンなど。
ロヘキサン、シクロヘキセン、シクロノナンなど。
【0035】芳香族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、
キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、クメ
ン、メシチレン、テトラリン、スチレンなど。
キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、クメ
ン、メシチレン、テトラリン、スチレンなど。
【0036】エーテル類;プロピルエーテル、イソプロ
ピルエーテルなど。
ピルエーテルなど。
【0037】ハロゲン化炭化水素;塩化メチレン、クロ
ロホルム、塩化エチレン、トリクロロエタン、トリクロ
ロエチレンなど。
ロホルム、塩化エチレン、トリクロロエタン、トリクロ
ロエチレンなど。
【0038】エステル類;酢酸エチル、酢酸−n−プロ
ピル、酢酸イソプロピル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソ
ブチル、酢酸−n−アミル、酢酸イソアミル、乳酸ブチ
ル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピ
オン酸ブチル、酪酸メチル、酪酸エチル、酪酸ブチルな
ど。
ピル、酢酸イソプロピル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソ
ブチル、酢酸−n−アミル、酢酸イソアミル、乳酸ブチ
ル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピ
オン酸ブチル、酪酸メチル、酪酸エチル、酪酸ブチルな
ど。
【0039】上記有機溶媒は、単独で使用してもよく、
2種以上を併用しても構わない。
2種以上を併用しても構わない。
【0040】上記有機溶媒に界面活性剤を配合する場
合、その界面活性剤としては、非イオン系のものである
という以外は特に限定はない。その好ましい具体例を以
下に列挙する。
合、その界面活性剤としては、非イオン系のものである
という以外は特に限定はない。その好ましい具体例を以
下に列挙する。
【0041】ポリオキシエチレンソルビタン脂肪族エス
テル系のもの;ポリオキシエチレンソルビタンモノラウ
レート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテー
ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、
ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリ
オキシエチレンソルビタンモノオレート、ポリオキシエ
チレンソルビタントリオレート、ポリオキシエチレンソ
ルビタンステアレートなど。
テル系のもの;ポリオキシエチレンソルビタンモノラウ
レート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテー
ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、
ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリ
オキシエチレンソルビタンモノオレート、ポリオキシエ
チレンソルビタントリオレート、ポリオキシエチレンソ
ルビタンステアレートなど。
【0042】ポリオキシエチレン高級アルコールエーテ
ル系のもの;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポ
リオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレン
ステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエー
テル、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテ
ル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテルな
ど。
ル系のもの;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポ
リオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレン
ステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエー
テル、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテ
ル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテルな
ど。
【0043】ポリオキシエチレン脂肪族エステル系のも
の;ポリオキシエチレングリコールモノラウレート、ポ
リオキシエチレングリコールモノステアレート、ポリオ
キシエチレングリコールステアレート、ポリオキシエチ
レングリコールモノオレートなど。
の;ポリオキシエチレングリコールモノラウレート、ポ
リオキシエチレングリコールモノステアレート、ポリオ
キシエチレングリコールステアレート、ポリオキシエチ
レングリコールモノオレートなど。
【0044】グリセリン脂肪族エステル系のもの;ステ
アリン酸モノグリセライド、オレイン酸モノグリセライ
ドなど。
アリン酸モノグリセライド、オレイン酸モノグリセライ
ドなど。
【0045】ポリオキシエチレンソルビトール脂肪族エ
ステル系のもの;テトラオレイン酸ポリオキシエチレン
ソルビットなど。
ステル系のもの;テトラオレイン酸ポリオキシエチレン
ソルビットなど。
【0046】上記界面活性剤は、単独で使用してもよ
く、2種以上を併用しても構わない。界面活性剤の使用
量としては、用いる有機溶媒の10重量%程度以下が好
ましく、0.1〜3重量%程度がさらに好ましい。
く、2種以上を併用しても構わない。界面活性剤の使用
量としては、用いる有機溶媒の10重量%程度以下が好
ましく、0.1〜3重量%程度がさらに好ましい。
【0047】エマルジョン粒子を沈殿させることのでき
るような沈殿剤を含む水溶液としては、アルカリ土類金
属のハロゲン化物、無機酸、有機酸、無機酸のアンモニ
ウム塩、有機酸のアンモニウム塩およびアルカリ金属の
炭酸塩からなる群より選ばれた少なくとも1種の水溶液
であり、その具体例としては、重炭酸アンモニウム、硫
酸アンモニウム、塩化カリウム、炭酸水素カリウム等の
水溶液が挙げられるが、これによって限定されるもので
はない。
るような沈殿剤を含む水溶液としては、アルカリ土類金
属のハロゲン化物、無機酸、有機酸、無機酸のアンモニ
ウム塩、有機酸のアンモニウム塩およびアルカリ金属の
炭酸塩からなる群より選ばれた少なくとも1種の水溶液
であり、その具体例としては、重炭酸アンモニウム、硫
酸アンモニウム、塩化カリウム、炭酸水素カリウム等の
水溶液が挙げられるが、これによって限定されるもので
はない。
【0048】上記水溶液は、0.05mol/リットル
〜飽和濃度で使用することが好ましく、0.1〜2.0
mol/リットルで使用することがさらに好ましい。
〜飽和濃度で使用することが好ましく、0.1〜2.0
mol/リットルで使用することがさらに好ましい。
【0049】本発明で使用し得る水溶性有機高分子化合
物としては、特に限定はなく、ポリエチレングリコー
ル、ポリスチレンスルホン酸ナトリウム、ポリアクリル
酸、ポリアクリルアミン、ポリエチレンイミン、ポリエ
チレンオキシド、ポリビニルピロリドンなどが挙げられ
る。
物としては、特に限定はなく、ポリエチレングリコー
ル、ポリスチレンスルホン酸ナトリウム、ポリアクリル
酸、ポリアクリルアミン、ポリエチレンイミン、ポリエ
チレンオキシド、ポリビニルピロリドンなどが挙げられ
る。
【0050】本発明で使用する高分子膜を得るために使
用する粒子線としては、中性子線のほか、電子線、アル
ファ線などが使用し得る。
用する粒子線としては、中性子線のほか、電子線、アル
ファ線などが使用し得る。
【0051】中性子線などの粒子線を照射して貫通孔を
設けた高分子膜を用いれば、開けられる細孔の孔径の分
布が狭くなり(99%以上が±10%以内に入る)、得
られる微小球体の粒子径分布も、従来のミクロ多孔質膜
を使用したものに比べ大幅にシャープとなる。
設けた高分子膜を用いれば、開けられる細孔の孔径の分
布が狭くなり(99%以上が±10%以内に入る)、得
られる微小球体の粒子径分布も、従来のミクロ多孔質膜
を使用したものに比べ大幅にシャープとなる。
【0052】また、レーザーを照射することにより貫通
孔を設けた高分子膜を用いる場合にあっては、中性子線
を用いる場合よりも高価ではあるが、孔径分布がさらに
狭くなり(99%以上が±1%以内に入る)、得られる
微小球体の粒子径分布も当然一層狭くなる。特に、35
5nm以下の短い波長のレーザーを用いた場合には、高
分子膜表面における開孔周縁部の形状に乱れがないた
め、上記効果は顕著に現れる(短波長のレーザーを使用
した場合、熱的に孔を開けるのではなく、化学結合を切
断して孔を開けるため、高分子膜表面における開孔周縁
部の形状に乱れが生じない。)。
孔を設けた高分子膜を用いる場合にあっては、中性子線
を用いる場合よりも高価ではあるが、孔径分布がさらに
狭くなり(99%以上が±1%以内に入る)、得られる
微小球体の粒子径分布も当然一層狭くなる。特に、35
5nm以下の短い波長のレーザーを用いた場合には、高
分子膜表面における開孔周縁部の形状に乱れがないた
め、上記効果は顕著に現れる(短波長のレーザーを使用
した場合、熱的に孔を開けるのではなく、化学結合を切
断して孔を開けるため、高分子膜表面における開孔周縁
部の形状に乱れが生じない。)。
【0053】レーザーを使用する場合、フィルムの膜厚
は孔径の10倍以下であることが望ましい。また、レー
ザーとしてエキシマレーザーを用い、ステッパー(半導
体用縮小露光装置)によりマスク上のパターンを当該高
分子膜上に結像させることにより孔を開けることが望ま
しいが、この方法によらなくても構わない。
は孔径の10倍以下であることが望ましい。また、レー
ザーとしてエキシマレーザーを用い、ステッパー(半導
体用縮小露光装置)によりマスク上のパターンを当該高
分子膜上に結像させることにより孔を開けることが望ま
しいが、この方法によらなくても構わない。
【0054】波長355nm以下のレーザーを照射する
ことにより貫通孔を設けた高分子膜を用いて製造された
無機質均一微小球体は、粒子径分布の体積標準偏差が平
均粒子径の10%以下と極めて狭いものである。
ことにより貫通孔を設けた高分子膜を用いて製造された
無機質均一微小球体は、粒子径分布の体積標準偏差が平
均粒子径の10%以下と極めて狭いものである。
【0055】なお、中性子線を照射したのちアルカリ水
溶液によりエッチングして貫通孔を設けたポリカーボネ
ート、ポリエステル製の高分子膜が、ゼネラル・エレク
トリック社より市販されており(販売;野村マイクロサ
イエンス(株)、商品名;ニューロポアーフィルタ
ー)、本発明における高分子膜として使用し得る。これ
らのうち、耐薬品性に優れているポリエステル膜を使用
することが望ましい。
溶液によりエッチングして貫通孔を設けたポリカーボネ
ート、ポリエステル製の高分子膜が、ゼネラル・エレク
トリック社より市販されており(販売;野村マイクロサ
イエンス(株)、商品名;ニューロポアーフィルタ
ー)、本発明における高分子膜として使用し得る。これ
らのうち、耐薬品性に優れているポリエステル膜を使用
することが望ましい。
【0056】有機溶媒中に形成した多数のエマルジョン
粒子を微小球体に至らしめる方法としては、上述したよ
うに、エマルジョン粒子を含む有機溶媒に沈殿剤を加え
て粒子の前駆体である沈殿剤を形成し、この沈殿剤を焼
成して粒子を得る方法と、重合前の粒子原料を含むゾル
を有機溶媒中でゾルのエマルジョン粒子としたのち、重
合反応を促進させて前記ゾルのエマルジョン粒子をゲル
化して沈殿させ、この沈殿物を乾燥して、焼成する方法
とがある。後者の方法は、前者の方法に比べ、得られた
無機質均一微小球体は不純物を含みにくい、細孔の孔径
のコントロールが容易となる、といったメリットがあ
り、このようにして得られた球体は、例えば液体クロマ
トグラフィー用の充填剤などの用途に適している。例え
ば、水ガラス−NH4CO3系の場合は、通常0.3%
以上のNaが残留するのに対し、上記ゾルゲル法によれ
ば純度99.99%のSiO2微小球体を製造すること
ができる。
粒子を微小球体に至らしめる方法としては、上述したよ
うに、エマルジョン粒子を含む有機溶媒に沈殿剤を加え
て粒子の前駆体である沈殿剤を形成し、この沈殿剤を焼
成して粒子を得る方法と、重合前の粒子原料を含むゾル
を有機溶媒中でゾルのエマルジョン粒子としたのち、重
合反応を促進させて前記ゾルのエマルジョン粒子をゲル
化して沈殿させ、この沈殿物を乾燥して、焼成する方法
とがある。後者の方法は、前者の方法に比べ、得られた
無機質均一微小球体は不純物を含みにくい、細孔の孔径
のコントロールが容易となる、といったメリットがあ
り、このようにして得られた球体は、例えば液体クロマ
トグラフィー用の充填剤などの用途に適している。例え
ば、水ガラス−NH4CO3系の場合は、通常0.3%
以上のNaが残留するのに対し、上記ゾルゲル法によれ
ば純度99.99%のSiO2微小球体を製造すること
ができる。
【0057】なお、重合反応を促進させる方法として
は、加熱する方法、重合促進剤を添加する方法、光を照
射する方法などがある。
は、加熱する方法、重合促進剤を添加する方法、光を照
射する方法などがある。
【0058】水溶性有機高分子化合物を加えたシリカゾ
ルを用いて無機質均一微小球体を製造する方法により、
前記無機質均一微小球体における細孔の孔径をさらに容
易にコントロールでき、細孔の孔径がほぼ均一な多孔質
SiO2球状微粒子からなる無機質均一微小球体を得る
ことができる。
ルを用いて無機質均一微小球体を製造する方法により、
前記無機質均一微小球体における細孔の孔径をさらに容
易にコントロールでき、細孔の孔径がほぼ均一な多孔質
SiO2球状微粒子からなる無機質均一微小球体を得る
ことができる。
【0059】本発明により製造された無機質均一微小球
体は、既に述べた液体クロマトグラフィー用充填剤のほ
か、ガスクロマトグラフィー用の充填剤、液晶用スペー
サ、レーザードップラー流速計用シーディング粒子など
の可視化用トレーサー粒子として使用することができ
る。
体は、既に述べた液体クロマトグラフィー用充填剤のほ
か、ガスクロマトグラフィー用の充填剤、液晶用スペー
サ、レーザードップラー流速計用シーディング粒子など
の可視化用トレーサー粒子として使用することができ
る。
【0060】また、除放性無機質マイクロカプセル壁材
として芳香剤、染料、殺菌剤、殺虫剤、虫獣類の忌避
剤、ビタミン剤、食品、栄養剤、医薬品、消臭剤、接着
剤、液晶などを包含し、多くの分野に幅広く利用でき
る。
として芳香剤、染料、殺菌剤、殺虫剤、虫獣類の忌避
剤、ビタミン剤、食品、栄養剤、医薬品、消臭剤、接着
剤、液晶などを包含し、多くの分野に幅広く利用でき
る。
【0061】体質顔料として化粧料、塗料、プラスチッ
ク、インキ、及びフィルム等の付着防止剤等の分野にも
利用できる。
ク、インキ、及びフィルム等の付着防止剤等の分野にも
利用できる。
【0062】顔料、染料などの着色物質を包含させて均
一な着色微小球体とすることも可能であるために、化粧
料、インキ、プラスチックの添加剤として優れた効果が
ある。磁気テープ並びに触媒としても優れた性能が期待
される。
一な着色微小球体とすることも可能であるために、化粧
料、インキ、プラスチックの添加剤として優れた効果が
ある。磁気テープ並びに触媒としても優れた性能が期待
される。
【0063】
【発明の効果】本発明の無機質均一微小球体の製造方法
により、粒子径の小さい無機質微小球体を製造する場合
や、粘性の大きな原料水溶液を用いる場合でも生産性が
低下するような心配はない。
により、粒子径の小さい無機質微小球体を製造する場合
や、粘性の大きな原料水溶液を用いる場合でも生産性が
低下するような心配はない。
【0064】本発明の製造方法により得られてなる無機
質均一微小球体は、粒子径の不揃いが著しく改善されて
なるものであり、粒子径分布が極めて狭い。
質均一微小球体は、粒子径の不揃いが著しく改善されて
なるものであり、粒子径分布が極めて狭い。
【0065】ポリイミド等の疎水性高分子膜を介して製
造する場合には、例えば水溶液にアルカリが含まれてい
ても、従来のように膜がダメージを受けるといった心配
はなく、膜の寿命の長期化を図ることができる。また、
使用できる原料水溶液が限定されることもない。
造する場合には、例えば水溶液にアルカリが含まれてい
ても、従来のように膜がダメージを受けるといった心配
はなく、膜の寿命の長期化を図ることができる。また、
使用できる原料水溶液が限定されることもない。
【0066】さらに、粒子原料を含有する水溶液に、水
溶性の有機高分子化合物を加えることにより、得られる
無機質均一微小球体における細孔の孔径をコントロール
することができる。
溶性の有機高分子化合物を加えることにより、得られる
無機質均一微小球体における細孔の孔径をコントロール
することができる。
【0067】
【実施例】本発明をより一層明らかにするため、以下に
実施例を挙げて説明する。
実施例を挙げて説明する。
【0068】実施例1
中性子線を照射し、その結果生じた欠陥をアルカリ水溶
液によりエッチングすることにより、厚み方向に貫通す
る孔径のほぼ均一な貫通孔を多数設けた薄膜(商品名;
ニューロポアフィルター、ゼネラル・エレクトリック社
製)を、110℃で24時間乾燥し、その後、室温でト
リエチルクロロシランの10重量%トルエン溶液に浸し
てシランカップリング処理することにより、前記薄膜の
表面を疎水化処理した。疎水化処理された薄膜の孔径は
0.20μm、膜厚は15μmであった。
液によりエッチングすることにより、厚み方向に貫通す
る孔径のほぼ均一な貫通孔を多数設けた薄膜(商品名;
ニューロポアフィルター、ゼネラル・エレクトリック社
製)を、110℃で24時間乾燥し、その後、室温でト
リエチルクロロシランの10重量%トルエン溶液に浸し
てシランカップリング処理することにより、前記薄膜の
表面を疎水化処理した。疎水化処理された薄膜の孔径は
0.20μm、膜厚は15μmであった。
【0069】上記薄膜を高分子膜として、図1に示すよ
うな乳化装置に装着し、珪酸ナトリウム4%水溶液を、
ポリオキシエチレン(20)ソルビタントリオレート2
0g/リットルのヘキサン溶液800mlの中にシリン
ジポンプを用いて圧入した。圧入時の条件は、圧入量毎
分1g/cm2、温度25℃であった。これにより、溶
液中に多数のエマルジョン粒子が形成した。
うな乳化装置に装着し、珪酸ナトリウム4%水溶液を、
ポリオキシエチレン(20)ソルビタントリオレート2
0g/リットルのヘキサン溶液800mlの中にシリン
ジポンプを用いて圧入した。圧入時の条件は、圧入量毎
分1g/cm2、温度25℃であった。これにより、溶
液中に多数のエマルジョン粒子が形成した。
【0070】ここで、図1に示した装置を簡単に説明す
る。符号10は、定量シリンジポンプ部である。この定
量シリンジポンプ部10の先端部に高分子膜12が装着
されている。符号14は、前記高分子膜12を支持する
ための支持網である。符号16は、筒状の反応容器であ
って、前記定量シリンジポンプ部10と連結するもので
ある。符号20は、送入管であって、定量ポンプ22に
より有機溶媒ビーカー24中の有機溶媒25を前記反応
容器16の中に供給することができる。しかるに、粒子
原料を含有する水溶液11を、前記定量シリンジポンプ
部10により、定量的に反応容器16内の有機溶媒25
に注入することができる。多数のエマルジョン粒子が形
成した反応容器16内の有機溶媒は、送出管26により
再度有機溶媒ビーカー24に戻されることになる。
る。符号10は、定量シリンジポンプ部である。この定
量シリンジポンプ部10の先端部に高分子膜12が装着
されている。符号14は、前記高分子膜12を支持する
ための支持網である。符号16は、筒状の反応容器であ
って、前記定量シリンジポンプ部10と連結するもので
ある。符号20は、送入管であって、定量ポンプ22に
より有機溶媒ビーカー24中の有機溶媒25を前記反応
容器16の中に供給することができる。しかるに、粒子
原料を含有する水溶液11を、前記定量シリンジポンプ
部10により、定量的に反応容器16内の有機溶媒25
に注入することができる。多数のエマルジョン粒子が形
成した反応容器16内の有機溶媒は、送出管26により
再度有機溶媒ビーカー24に戻されることになる。
【0071】多数のエマルジョン粒子が形成した溶液
を、予め溶解しておいた1.5mol/リットルの重炭
酸アンモニウム溶液1リットルに加えると、次第に水不
溶性の沈殿物が形成しだした。その後、2時間放置し、
濾過分離し、水洗、メタノール洗浄後、110℃で24
時間乾燥した。こうしてシリカ微小球体を得た。
を、予め溶解しておいた1.5mol/リットルの重炭
酸アンモニウム溶液1リットルに加えると、次第に水不
溶性の沈殿物が形成しだした。その後、2時間放置し、
濾過分離し、水洗、メタノール洗浄後、110℃で24
時間乾燥した。こうしてシリカ微小球体を得た。
【0072】得られたシリカ微小球体の平均粒子径は
1.2μm、体積基準の標準偏差は0.2μmであっ
た。
1.2μm、体積基準の標準偏差は0.2μmであっ
た。
【0073】またこの膜は30時間以上の使用に耐え
た。
た。
【0074】比較例1
孔径1.05μmのCaO−B2O3−SiO2−Na
2O−MgO系の円筒型ガラス質ミクロ多孔膜を図2に
示す乳化装置に装着した以外は、実施例1と同じ条件に
してシリカ微小球体を製造した。
2O−MgO系の円筒型ガラス質ミクロ多孔膜を図2に
示す乳化装置に装着した以外は、実施例1と同じ条件に
してシリカ微小球体を製造した。
【0075】なお、図2における各々の符号は以下のこ
とを示す。すなわち、31は円筒型ガラス質ミクロ多孔
膜、32はモジュール、33はポンプ、34は圧力計、
35は油相ライン、36は水相ライン、37は油相タン
ク、38は水相タンク、39は加圧用タンク、40は圧
力ゲージである。
とを示す。すなわち、31は円筒型ガラス質ミクロ多孔
膜、32はモジュール、33はポンプ、34は圧力計、
35は油相ライン、36は水相ライン、37は油相タン
ク、38は水相タンク、39は加圧用タンク、40は圧
力ゲージである。
【0076】得られたシリカ微小球体の平均粒子径は
3.8μm、体積標準偏差は0.8μmであった。
3.8μm、体積標準偏差は0.8μmであった。
【0077】また、Naを約0.5%含み、細孔の孔径
は200オングストロームを中心に幅広く分布してい
た。
は200オングストロームを中心に幅広く分布してい
た。
【0078】比較例2
孔径が0.4μmの円筒型ガラス質ミクロ多孔膜を使用
したという以外は比較例1と同じ条件にして、シリカ微
小球体を製造した。
したという以外は比較例1と同じ条件にして、シリカ微
小球体を製造した。
【0079】得られたシリカ微小球体の平均粒径は1.
2mμ、体積標準偏差は0.4μmであった。
2mμ、体積標準偏差は0.4μmであった。
【0080】また、この時の乳化速度は、単位面積当た
り実施例1の約20分の1であり、圧損は約100倍で
あった。
り実施例1の約20分の1であり、圧損は約100倍で
あった。
【0081】実施例2
膜厚10μmのポリイミドフィルムに、KrFエキシマ
レーザー(波長251nm)を照射して、孔径1.10
μmの孔をあけた。このフィルムを高分子膜として用
い、図1に示したような乳化装置に装着して微小球体を
製造した。
レーザー(波長251nm)を照射して、孔径1.10
μmの孔をあけた。このフィルムを高分子膜として用
い、図1に示したような乳化装置に装着して微小球体を
製造した。
【0082】有機溶媒として、ポリオキシエチレン(2
0)ソルビタントリオレートのヘキサン溶液(20g/
リットル)を用いた。
0)ソルビタントリオレートのヘキサン溶液(20g/
リットル)を用いた。
【0083】水溶液としては、水10モルに対し、テト
ラエトキシシラン1.0モル、メタノール2.2モル、
ジメチルホルムアミド1.0モル、アンモニア4×10
−4モルを加えたものを用いた。
ラエトキシシラン1.0モル、メタノール2.2モル、
ジメチルホルムアミド1.0モル、アンモニア4×10
−4モルを加えたものを用いた。
【0084】5℃で乳化を行ったのち、溶液を30時間
リフラックスして、有機溶媒中に形成したゾルのエマル
ジョン粒子をゲル化して沈殿させた。沈殿物を乾燥した
のち、800℃で焼成して粒子粒の均一なシリカ微小球
体を得た。
リフラックスして、有機溶媒中に形成したゾルのエマル
ジョン粒子をゲル化して沈殿させた。沈殿物を乾燥した
のち、800℃で焼成して粒子粒の均一なシリカ微小球
体を得た。
【0085】得られたシリカ微小球体の平均粒子径は
3.10μm、体積基準の標準偏差は0.10μ以下で
あった。また、細孔の孔径は60〜300オングストロ
ームの範囲に広く分布していた。
3.10μm、体積基準の標準偏差は0.10μ以下で
あった。また、細孔の孔径は60〜300オングストロ
ームの範囲に広く分布していた。
【0086】また、この膜は300時間以上の使用に耐
えた。
えた。
【0087】実施例3
実施例2で使用した水溶液中に、水溶性有機高分子であ
るポリエチレングリコール0.1モルを加えたという以
外は、実施例2と同じ条件にして、シリカ微小球体を製
造した。
るポリエチレングリコール0.1モルを加えたという以
外は、実施例2と同じ条件にして、シリカ微小球体を製
造した。
【0088】得られたシリカ微小球体の平均粒径は3.
02μ、標準偏差は0.10μ以下であった。形成した
細孔の孔径は、450オングストロームを中心に、狭い
範囲で分布していた。
02μ、標準偏差は0.10μ以下であった。形成した
細孔の孔径は、450オングストロームを中心に、狭い
範囲で分布していた。
【0089】また、ポリエチレングリコールの濃度を変
化させることにより、細孔の孔径をコントロールするこ
とができた。
化させることにより、細孔の孔径をコントロールするこ
とができた。
【図1】本発明の一実施例を実施するに際し使用する製
造装置の概略説明図である。
造装置の概略説明図である。
【図2】比較例を実施するに際し使用する製造装置の概
略説明図である。
略説明図である。
11……粒子原料を含む水溶液
12……高分子膜
25……有機溶媒
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 平野 光
大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪
瓦斯株式会社内
(72)発明者 鶴谷 毅
大阪市西区京町堀1丁目4番22号 株式会
社リキツドガス内
Claims (13)
- 【請求項1】粒子原料を含有する水溶液を有機溶媒中に
注入して、粒子径0.01〜500μmの無機質均一微
小球体を製造する方法であって、 前記水溶液を、厚み方向に貫通し孔径がほぼ均一である
貫通孔を有するとともに疎水性の表面を持つ高分子膜を
介して有機溶媒中に注入することにより、前記有機溶媒
中にほぼ均一な径を有する多数のエマルジョン粒子を形
成させ、前記エマルジョン粒子1個から無機質均一微小
球体1個を製造することを特徴とする無機質均一微小球
体の製造方法。 - 【請求項2】前記高分子膜の膜厚が孔径の5〜2,00
0倍の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の無
機質均一微小球体の製造方法。 - 【請求項3】エマルジョン粒子を含む有機溶媒と、前記
エマルジョン粒子を沈殿させることのできるような沈殿
剤を含む水溶液とを混合して水不溶性の沈殿物を形成さ
せ、前記沈殿物を乾燥させたのち焼成することを特徴と
する請求項1または2に記載の無機質均一微小球体の製
造方法。 - 【請求項4】エマルジョン粒子とする水溶液が、塩基性
塩の水溶液であることを特徴とする請求項1〜3に記載
の無機質均一微小球体の製造方法。 - 【請求項5】前記塩基性塩が、アルカリ金属の珪酸塩で
あることを特徴とする請求項4に記載の無機質均一微小
球体の製造方法。 - 【請求項6】エマルジョン粒子とする水溶液が粒子原料
のゾルであり、前記ゾルを有機溶媒中に注入してゾルの
エマルジョン粒子を形成させたのち、重合反応を促進さ
せて前記ゾルのエマルジョン粒子をゲル化することによ
り、粒子の前駆体である沈殿物を形成させ、前記沈殿物
を乾燥させたのち焼成することを特徴とする請求項1ま
たは2に記載の無機質均一微小球体の製造方法。 - 【請求項7】粒子原料のゾルが、有機珪素化合物を加水
分解して得られたシリカゾルであることを特徴とする請
求項6に記載の無機質均一微小球体の製造方法。 - 【請求項8】水溶性有機高分子化合物を加えたシリカゾ
ルを、厚み方向に貫通し孔径がほぼ均一な貫通孔を有す
るとともに疎水性の表面を持つ高分子膜を介して有機溶
媒中に注入することにより得られたゾルのエマルジョン
粒子を、重合反応を促進させてゲル化してシリカゲル微
粒子となし、前記シリカゲル微粒子を水洗、乾燥、焼成
することにより得られてなることを特徴とする細孔径の
均一な無機質均一微小球体。 - 【請求項9】水溶性有機高分子化合物を加えたシリカゾ
ルを、厚み方向に貫通し孔径がほぼ均一な貫通孔を有す
るとともに疎水性の表面を持つ高分子膜を介して有機溶
媒中に注入することにより、前記有機溶媒中にゾルのエ
マルジョン粒子を形成させ、その後、重合反応を促進さ
せて前記ゾルのエマルジョン粒子をゲル化することによ
り、粒子の前駆体であるシリカゲル微粒子を形成させ、
のち前記シリカゲル微粒子を水洗、乾燥、焼成すること
を特徴とする細孔径の均一な無機質均一微小球体の製造
方法。 - 【請求項10】中性子線などの粒子線を照射し、その結
果生じた欠陥をアルカリ水溶液によりエッチングするこ
とにより、厚み方向に貫通し孔径のほぼ均一な貫通孔を
設けた、例えばポリカーボネート、ポリエステルなどか
らなる樹脂膜の表面を疎水化処理してなる膜、が高分子
膜として用いられることを特徴とする請求項1〜7、9
のいずれか1項に記載の無機質均一微小球体の製造方
法。 - 【請求項11】レーザーを照射することにより厚み方向
に貫通し孔径のほぼ均一な貫通孔を設けた、例えばポリ
イミド、ポリエチレンテレフタレート、フッ素系樹脂な
どからなる疎水性膜、を高分子膜として用いることを特
徴とする請求項1〜7、9のいずれか1項に記載の無機
質均一微小球体の製造方法。 - 【請求項12】レーザーの波長が355nm以下である
ことを特徴とする請求項11に記載の無機質均一微小球
体の製造方法。 - 【請求項13】波長355nm以下のレーザーを照射す
ることにより厚み方向に貫通し孔径のほぼ均一な貫通孔
を設けた、例えばポリイミド、ポリエチレンテレフタレ
ート、フッ素系樹脂などからなる疎水性膜、を介して、
粒子原料を含有する水溶液を有機溶媒中に注入すること
により得られたエマルジョン粒子から製造されてなるこ
とを特徴とする無機質均一微小球体。
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